JPS6192456A - 光学的記録媒体 - Google Patents

光学的記録媒体

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JPS6192456A
JPS6192456A JP21143984A JP21143984A JPS6192456A JP S6192456 A JPS6192456 A JP S6192456A JP 21143984 A JP21143984 A JP 21143984A JP 21143984 A JP21143984 A JP 21143984A JP S6192456 A JPS6192456 A JP S6192456A
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JP
Japan
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film
optical recording
carbide
layer
recording medium
Prior art date
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Pending
Application number
JP21143984A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuharu Sawamura
光治 沢村
Kazuoki Motomiya
一興 本宮
Kazuhiko Kikuchi
一彦 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPS6192456A publication Critical patent/JPS6192456A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体に関するものである。
〔従来の技術〕
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質へ
の相転移を利用したカルコゲノ化合物等の還元性酸化物
薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモグラスナック記録
媒体等が知られている。例えば、希土類−遷移金属の合
金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては、MnB1
 、■tcuBiなどの多結晶薄膜、GdCo、 Gd
Fe、 TbFe、 DyFe。
GdTbFe、  TbDyFe、  GdFeCo、
  TbFeCo、  GdTbCoなどの非晶質薄膜
、Gd1Gなどの単結晶薄膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むための書き込み効率、および書き込まれた信号を
S/N比よく読み出すための読み出し効率等を勘案して
、最近では前記非晶質薄膜が光磁気記録媒体用として優
れていると考えられている。特に、150〜200℃程
度のキューリ一温度を持っGdTbFeやカー回転角が
大きく再生性能(1優れたGdTbFeCo (特開昭
58−196639)等が光磁気記録媒体用として最j
メである。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、一般に前記GdTbFe等の光磁気記録
媒体?はじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質磁
性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。すなわ
ち、大気、水蒸気に触れると磁気特性が低下し、最終的
には完全に酸化されて透明化するに至る。
このような欠点を除くために、従来から光学的記録層の
上に各種の保護層、例えば5i02. Sin。
AA205など透明物質の保護層を設けたり、さらに不
活性ガスにより封じ込めたディスク状記録媒体が提案さ
れているが、いずれも、記録層が酸化され易い材料から
成る場合、磁性膜の厚さが〜数百人と薄い場合には、保
護効果が不十分であった。
上記酸化物【二枚わり窒化物の薄膜、例えばAI!N。
5i5N4膜など、あるいは炭化物の薄膜、例えばSa
c、 B4C膜を保護膜として設けることも提案されて
いるが、プラスチック基板上に面接設けられた場合【二
は、密着性が悪く、膜割れ等が生じやすく、膜割れ部分
から腐食がすすみ易い等の欠点があつ本発明の目的は、
従来の記録媒体に比べ更(1耐食性(1優れた光学的記
録媒体を提供することC二ある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の目的は、以下の光学的記録媒体によって達成さ
れる。
すなわち、基板上(1少なくとも光学的記録層を有する
光学的記録媒体において、前記基板に相接して金属の膜
を設け、少なくとも該金属の膜と前記光学的記録層の間
(1炭化物の膜又は炭化物と窒化物の混合物の膜又はZ
r−N系、B−N系+ Cr−N系、 Nb−N系、 
V−N系、 W−N系のいずれかの窒化物の膜を設けた
ことを特徴とする光学的記録媒体である。
前記金属の嘆としては、A4 Cr、 Ti、 Si、
 Ge。
Ta、Nb+ N+、またはCoを用いることができる
が、好ましくはCr、 Ti、  Siが用いられる。
上記金属により膜厚10OA以下、好ましくは40A以
下G二形成される。
前記炭化物の膜としては、At−C系、 B−C系。
Ba−C系、 Be−C系、 Ce−C系、 Cr−C
系、 Fe−C系、Hf−C系。
La−C系、 MnC系、Mo−C系、Nb−C系、 
5i−C系、 5r−C系。
Ta−C,系、 Ti−C系、V−C系、W−C系、Y
−C系、 Zr−C系の炭化物が用いられ、好ましくは
SiC、B4Cが用いられる。
炭化物と窒化物の混合物からなる膜としては、上記炭化
物のいずれかと、5n−N系、 In−N系、 Zr−
N系、 Cr−N系、At−N系、5i−N系、 Ta
−N系、V−N系、Nb−N系、Mo−N系、W−N系
の窒化物のいずれかとの混合物が用いられる。上記混合
物のうち好ましくは5iC−Si 3N4. 5iC−
AtN、  5iC−ZrN 、  5iC−CrNが
用いられる。又、Zr−N系、B−N系、 Cr−N系
、Nb−N系。
V−N系、W−N系の窒化物のいずれかの膜を用いるこ
とも出来、好ましくはZrN、 CrN膜が用いられる
上記炭化物又は窒化物又は炭化物と窒化物の混合物を膜
厚500〜3000 A、  好ましくは500〜10
00 A を二、前記金属の膜の上に積層する。
本発明の光学的記録媒体の代表的な例を第1図に示す。
図中、1aは書き込み側基板、2は金属の膜、6は炭化
物の膜、4は光学的記録層、5はスペーサ層、6は反射
層、7は保護jA、8は接着層、1bは保護用基板であ
る。
1aの書き込み側基板としては、使用光に対しる。
5のスペーサ一層としては、Sin、 5i02などの
酸化ケイ素、炭化物の層6で述べたような炭化物又はZ
rN、 CrN、 BNなどの窒化物を用いることがで
きる。膜厚は500〜3000Aが通している。
4の光学的記録層としては、GdTbFeの6元系非晶
質膜、GdTbFeCo (7’) 4元系非晶質膜ノ
150〜20OA厚の薄膜、あるいはカルコゲン化合物
の100〜2000A厚の薄膜などを用いることができ
る。
6の反射層としては、AtあるいはCuを用いろことが
できる。膜厚は400〜10CIOAが適している。
7の保護層としては、前記スペーサ一層と同様の材料を
用いることができる。膜厚は10ロ0〜300ロAが適
している。
8の接着層としては、シリコーン系接着剤、例えば東し
ンリコーノ■製5E1700などが、10訓程度の厚さ
で用いられる。
1bの保護用基板としては、ガラス、プラスチツタなど
が用いられる。
スペーサ一層2反射層、保護層、接着層、保護用基板は
、必要に応じ、設けても設けなくてもよい。又、他の補
助層を設けてもよい。
第1図には貼り合わせ構造の光学的記録媒体を示したが
、不活性ガスを封じ込めたエアーサンドイッチ構造であ
ってもよい。
〔実施例〕
本発明を更に具体的に説明するために、以下に実柿例を
示す。
実施例1 第1図に示す構造の光磁気記録媒体を以下のように製造
した。
書き込み側基板1aとして厚さ1劇のゲラステック板を
用い、金属の膜2、炭化物の嘆6として、基板上に順次
Si膜、 SiC膜をそれぞれ40A。
1000A+二壮址形成した。次に光学的肥録層4とし
てGdTbFeCo′\4元系非晶質磁性層をスパツタ
リングにより200A厚を二形成した。スペーサ一層5
としてはSiCMを10CICIA厚にスパツタリング
により形成した。反射層6としてAt膜を60OA厚に
真空蒸着法により形成した。次いで、保獲層7としてS
iC膜を2000A厚に真空蒸着法により形成した後、
接着層9として東しンリコーノ(掬製5E1700を1
0μ厚Cニスクリーン印刷して、保護用基板1bの1順
厚のアクリル樹脂板と接着し7た0た0 作製した光磁気記録媒体を、温度45℃、相対湿度95
%の恒温恒湿槽c1000時間入れて耐腐食性試験を行
った。試験前後における保磁力の変化、外観の肉眼的観
察を行ったところ、#f腐貧性試験後において保磁力は
初期値C二対して9割以上とほとんど変化なく、外観も
変化は認められなかった。
比較のために、炭化物膜SiCのかわりt二5i5N4
膜を設けた以外は同様にして記録媒体を製作して、同様
にIIiltg食性試験を行った試験後の保磁力は初期
値に対して8〜9割と本発明の実施例1より劣った。又
、SiNはSiCと比較して成膜速度が遅かった。
実施例2 金属の膜2としてCr膜、炭化物の膜としてB4C膜を
形成した他は、実施例1と同様(ニして磁気記録媒体を
製造した。
製造した磁気記録媒体を、実施例1と同様の耐腐食性試
験を行なったところ、保磁力は9割以上であり、外観に
も変化は認められなかった。
実施例6 基板1aとしてアクリル樹脂を用い金属層2として、ス
パッタ法により約4OAのCr膜を設け、保護、す6と
して、反りぶ性スパッタにより約60OAのCrN膜を
設け、更に、磁気記録層4として約20OAのF”e!
l5c055calO’rb104元系非晶質薄膜を成
膜した。さらにスペーサ一層5として約600AのCr
N膜、反射層6として約500人のAt膜を金属層2と
同様な方法により順次成膜し、さらに保護層7として約
2000Acr)SiC膜を設けた。さらに接着層8と
してシリコン系接着材を用いてアクリル樹脂からなる基
板1bを貼り合わせ本発明の光磁気記録媒体を得た。C
rNの成膜速度はS 13N4 膜の約6倍と大きく製
作上有利であり、実施例1と同様の耐腐食性試験を行っ
たところ保磁力は9割以上であり外観劣化も認められな
かった。
実施例4 実施例6の保藤層3.スペーサ一層5のCrN膜C二か
えてZrN膜を設けた他は実施例6と同様にして光磁気
記録媒体を得た。保磁力、カー回転角の較してZrN膜
の成膜速度は〜1.5倍と大きく、CrN同様製作上有
利である。
実施例5 金属膜2としてSi膜、炭化物と窒化物の混合膜製造し
た媒体を実施例1と同様の耐食性試験を行なったところ
保磁力は9割以上であり外観劣化も認められなかった。
実施声」6 実施例5のSiCと51sN4の混合膜3の代りにSi
CとAmの混合膜を保護層として設けた外は実施例1と
同様の1換構成の光磁気記録媒体を作成した0 8iCとAtNの混合膜(・ま5インチのSiC化合物
ターゲット上にはぼ10団角のAt片を4つ均−C二並
べて、ArとN2の比が11の混合ガス中でスパッタリ
ングにより成膜した。この媒体についても実施例1と同
様の耐腐食性試験を行ったところ保磁力は9割以上であ
り外観劣化も認められなかった・ 〔発明の効果〕 基板と光学的記録層の間f二、基板側から順次金属の膜
、炭化物の膜又は窒化物の膜又は炭化物と窒化物の混合
物の膜を設けることにより、従来の酸fヒ物、炭化物の
膜を単独に設けるよりも、グラスチック基板との密着性
にも優れ、耐腐食性を向上させることができる。
尚、本発明は光磁気記録媒体C二限定さ才℃るちJ)で
なく、たとえばカルコゲノ化合物の薄膜等、酸化され易
い記録層を有する他の光学的記録媒体の耐久性向上に関
しても同様2二効果的である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光学的記録媒体の略断面図である。 5・・スペーサ一層、6・・反射層、7・・保護層、8
 接着層、1b 保護用基板

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に少なくとも光学的記録層を有する光学的
    記録媒体において、前記基板に相接して金属の膜を設け
    、少なくとも該金属の膜と前記光学的記録層の間に炭化
    物の膜又は炭化物と窒化物の混合物の膜又はZr−N系
    、B−N系、Cr−N系、Nb−N系、V−N系、W−
    N系のいずれかの窒化物の膜を設けたことを特徴とする
    光学的記録媒体。
  2. (2)前記光学的記録層の基板と反対側に更に反射層を
    設けた特許請求の範囲第1項記載の光学的記録媒体。
JP21143984A 1984-10-11 1984-10-11 光学的記録媒体 Pending JPS6192456A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6242350A (ja) * 1985-08-19 1987-02-24 Seiko Epson Corp 光記録媒体
JPH01158645A (ja) * 1987-12-15 1989-06-21 Sharp Corp 磁気光学記憶素子
US5192626A (en) * 1988-12-14 1993-03-09 Teijin Limited Optical recording medium

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH01158645A (ja) * 1987-12-15 1989-06-21 Sharp Corp 磁気光学記憶素子
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