JPS6192455A - 光学的記録媒体 - Google Patents

光学的記録媒体

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Publication number
JPS6192455A
JPS6192455A JP21143884A JP21143884A JPS6192455A JP S6192455 A JPS6192455 A JP S6192455A JP 21143884 A JP21143884 A JP 21143884A JP 21143884 A JP21143884 A JP 21143884A JP S6192455 A JPS6192455 A JP S6192455A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
optical recording
carbide
nitride
recording medium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP21143884A
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuharu Sawamura
光治 沢村
Kazuoki Motomiya
一興 本宮
Kazuhiko Kikuchi
一彦 菊池
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP21143884A priority Critical patent/JPS6192455A/ja
Publication of JPS6192455A publication Critical patent/JPS6192455A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体に関するものである。
〔従来の技術〕
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては希土類−遷移金1萬の合金薄膜、非晶質から結晶賀
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元[土酸
化物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモプラスチック
記録媒体等が知られている。例えば、希土類−As−1
、ywv、属の合金j+’、I71模で形成される光磁
気記録媒体としては、MnB1 、 MnCuB1など
の多結晶薄膜、GdCo 、  GdFe 、  Tb
Fe 、  DyFe ;GdTbFe、  TbDy
Fe、  GdFeCo、  TbFeCo、  Gd
TbCoなどの非晶質薄膜、GdIGなどの単結晶4膜
などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を゛堅温近傍の温度
で製作する際の55.慢性、信号を小さな光熱エネルギ
ーで書き込むための書き込み効率、および書き込まれた
信号をS/N比よく読み出すための読み出し効率等を勘
案して、最近では前記非晶質薄膜が光磁気記録媒体用と
して後れていると考えられている。特に、150〜20
0℃程度のキューリ一温度を持つGdTbFeやカー回
転角が大きく再生性能に優れたGdTbFeCo (特
開昭58−196639)等が光磁気記録媒体用として
最適である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、一般に前記GdTbFe等の光磁気記録
媒体をはじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質磁
性体は、耐食性が悪いという欠点を持つている。すなわ
ち、大気、水蒸気に触れると磁気特性が低下し、最終的
には完全に酸化されて透明化するに至る。
このような欠点を除くために、従来から光学的記録層の
上に各種の保護層、例えば5i02 、  SiO。
Al2O3など透明物質の保護層を設けたり、さらに不
活性ガスにより封じ込めたディスク状記録媒体が提案さ
れているが、いずれも、記録層が酸化され易い材料から
成る場合、磁性膜の厚さが〜数百又と薄い場合には、保
護効果が不十分であった。
上記酸化物に代わり窒化物の薄膜、例えばA7N 。
Si、N4膜など、あるいは炭化物の薄膜、 例えばS
iC,B4C膜を保護膜として設けることも提案されて
いるが、プラスチック基板上に直接設けられた場合には
、密着性が悪く、膜割れ等が生じゃすく、膜割れ部分か
ら腐食がすすみ易い等の欠点があった。
本発明の目的は、従来の記録媒体に比べ更に耐腐食性に
優れた光学的記録媒体を提供することにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の目的は、以下の光学的記録媒体によって達成さ
れる。
すなわち、基板上に少なくとも光学的記録層を有する光
学的記録媒体において、前記基板と光学的記録層の間に
、基板側からj1n1膜化ケイ素の膜、金属の膜、炭化
物又は窒化物又は炭化物と窒化物の混合物から成る保護
膜?設けたことを特徴とする光学的記録媒体である。
前記酸化ケイ素の膜としては、SiOまたはSiO2が
適しており、膜厚500〜2000 Xに、好ましくは
1000 A程度に形成される。
前記金属の膜としては、Al、 Cr、 Ti、 St
、 Ge。
Ta、 Nb、 NiまたはCoが適しており、膜厚1
00久以下、好ましくは40X以下に形成される。
前記炭化物の膜としては、A7− C系、B−C系。
Ba−C系、Be−C系、Ce−C系、Cr−C系、 
 Fe −C系、  Hf−C系、  La−C系、 
Mn−C系、Mo−C系。
Nb−C系、  5i−C系、5r−C系、  Ta−
C系、Ti−C系、v−c系、w−c系、Y−C系、Z
r−C系の炭化物が用いられ、好ましくはSiC,B4
Cが用いられる。前記窒化物の膜としては、針!ミ転#
Iミ≠Zr−N系、 ±コ込ミ≠Cr−N系、Nb−N
系、V−N系、W−N系の窒化物が用いられ、好ましく
はSi3N4.  AlN 、  ZrN 、  Cr
Nが用いられる。又、前記炭化物と窒化物の混合膜とし
ては、Si3N4−8iC、AlN−8iC、BN−B
、C、CrN−CrC等が用いられ、好ましくはSi3
N4− SiCが用いられる。
膜厚ハ、500〜3000X、好マシくハ500〜1o
oO久に形成される。
本発明の光学的記録媒体の代表的な例を第1図に示す。
図において、1aは書き込み側基板、2は酸化ケイ素の
膜、6は金属の膜、4は炭化物又は窒化物又は炭化物と
窒化物の混合物から成る保護膜、5は光学的記録層、6
はスペーサ一層、7は反射層、8は保護層、9は接着層
、1bは保護用基板である。
1aの書き込み側基板としては、使用光に対して透明で
あるものが用いることができ、ガラス、アクリル系樹脂
等のプラスチックが用いられる。
酸化ケイ素を基板と相接して設ける本発明の構成におい
ては、基板との密着性を向上させることができるので、
従来密着性が問題であったプラスチック基板も好ましく
用いることができる。
5の光学的記録層としては、GdTbFeの3元系非晶
質膜、GdTbFeCoの4元系非晶質膜あるいはカル
コゲン化合物の薄膜などを用いることができる。
6のスペーサ一層としては、層2と同様の酸化ケイ素、
層4と同様の炭化物または窒化物又は大化物と窒化物の
混合物が用いられ、膜厚500〜3000 Xに形成さ
れる。
7の反射層としては、AlまたはCuを用いて、膜厚4
00〜1000Xに形成される。
8の保護層としては、前記スペーサー、顎と同様の物質
を用い、膜厚1000〜3000 久に形成される。
9の接着層としては、シリコーン系接着剤、例えば東し
シリコーン■% S E L700などが、10μm程
度の厚さで用いられる。
1bの保護用基板としては、ガラス、グラスチックなど
が用いられる。
スペーサ一層1反射層、保護層、接着層、保護用基板は
、必要に応じ、設けても設けなくてもよいっ又、池の補
助層を設けてもよい。
第1図には貼り合わせ構造の光学的記録媒体を示したが
、不活性ガスを封じ込めたエアーサンドインチ構造であ
ってもよい。
〔実施例〕
本発明を更に具体的に説明するために、以下に実施例を
示す。
実施例1 第1図に示す構造の磁気記録媒体を以下のように製造し
た。
書き込み側基板1aとして厚さ1mのプラスチック仮を
用い、その上に酸化ケイ素の膜2、金属の嘆6、保護膜
4として順次Si膜膜、 Si膜、SiC膜?それぞれ
1000久、40久、1oooX厚に形成した。SiC
膜は、Siターゲットを用いて、Ar、 CH4ガス雰
囲気中で反応性スパッタリングにより形成した。Arお
よびCH4ガスの導入油の比は9.5:5であり、80
0 nmの使用波長ではほぼ吸収のないl莫を得ること
が出来た。
次に光学的記録層5としてGdTbFeCo  4元系
jp品質磁性層をスパッタリングにより200 X厚に
形成した。スペーサ一層6としては5iNl]%を10
00久厚に形成した。反射層7としてAl膜を600 
入、rgに真空蒸着法により形成した。次いで、保護層
8としてSi膜膜を2000 久厚に真空蒸着法により
形成した後、接着層9として東しシリコーン!m 装5
E1700を10μ厚にスクリーン印刷して、保護用基
板1bの1M厚のアクリル樹脂板と接着したつ作製した
磁気記録媒体を、温度45℃、相対湿度95%の恒温恒
湿槽に1000時間入れて耐腐食性試験を行った。試験
前後における保磁力の変化、りV観の肉眼的観察を行っ
たところ、耐腐食性試験後において保磁力は初期値に対
して9割とほとんど変化なく、外観も変化は認められな
かった。
実施例2 酸化ケイ素の膜2として5in2膜、金属の膜6として
Cr膜、保護膜4としてB4C膜を形成した他は、実施
例1と同様にして、磁気記録媒体を製造した。
製造した磁気記録媒体を、実施例1と同様の耐腐食性試
験を行なったところ、保磁力は9割以上であり、外観に
も変化は認められなかった。
実施例6 酸化ケイ素の膜2としてSi膜膜、金属の膜6としてC
r膜、保護膜4としてCrN膜を形成した他は、実施例
1と同様にして磁気記録媒体を製造した。
製造した磁気記録媒体を実施例1と同様の耐腐食性試験
を行なったところ、保磁力は9割以上であり、外観変化
も認められなかった。CrN膜はSiN膜に比較して成
膜速度が速いため、製造上有利であるという利点がある
実施例4 酸化ケイ素の膜2としてSi膜膜、金属の膜6としてS
i膜、保護j摸4としてSiNとSiCの混合膜を形成
した他は、実施例1と同様にして磁気記録媒体?製造し
た。SiNとSiCの混合膜は、S1ターゲツトを用い
てN2. CH4ガス雰囲気中で反す訃スパッタリング
によって形成した。Ar、 N2 + CH4のガス導
入量の比は90 : 5 : 5である。N2とCH4
の流量比を調整すると、2.0〜2.6のl+fi、囲
の屈折率の膜を得ることができる。
製造した磁気記録媒体を実施例1と同様の耐腐食性試験
を行ったところ、保磁力は9割以上であり、外観変化も
認められなかった。
比較例1 比較のために、第1図に図示した構成の6i (ヒケイ
素の膜2、金属の膜6、保護膜4の代わりに、プラスチ
ック基板上にSiNから成る保護膜のみを設けた磁気記
録媒体を作製した。この媒体に実施例1と同様の耐腐食
性試験を行なったところ、試験開始後200時間で媒体
に膜ワレを生じ、1000時間後では外観、磁気特性と
もに使用不可の状態となった。
比較例2 比較例1の保護層をSiO膜とした以外は比較例1と同
様にして磁気記録媒体を作製した。この媒体に実施例1
と同様の耐腐食性試験を行なったところ、1000時間
後には保磁力は3割程度に劣化してしまい、媒体として
は使用不可の状態となった。
〔発明の効果〕
基板と光学的記録層の間に、基板側から順次酸化ケイ素
の膜、金属の膜、炭化物又は窒化物又は炭化物と窒化物
の混合物の保護膜を設けろことにより、基板特にプラス
チック基板との密着性に優れた、耐腐食性に侵れた光学
的記録媒体の提供が可能である。
尚、本発明は磁気記録媒体に限定されるものでなく、た
とえばカルコゲ:/化合物の薄膜等、酸化され易い記録
層を有する他の光学的記録媒体の耐久性向上に関しても
同様に効果的である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光学的記録媒体の略断面図である。 1a・・・書き込み側基板 2・・・・酸1ヒケイ素の膜 6・・・・金属の膜 4・・・・炭化物又は窒化物又は炭化物と窒化物の混合
物から成る保護膜 5・・・・光学的記録層 6・・・・スペーサ一層 7・・・・反射層 8・・・・保護層 9・・・・接着層 1b・・・保護用基板

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板上に少なくとも光学的記録層を有する光学的記録媒
    体において、前記基板と光学的記録層の間に、基板側か
    ら順次酸化ケイ素の膜、金属の膜、炭化物又は窒化物又
    は炭化物と窒化物の混合物からなる保護膜を設けたこと
    を特徴とする光学的記録媒体。
JP21143884A 1984-10-11 1984-10-11 光学的記録媒体 Pending JPS6192455A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21143884A JPS6192455A (ja) 1984-10-11 1984-10-11 光学的記録媒体

Applications Claiming Priority (1)

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JP21143884A JPS6192455A (ja) 1984-10-11 1984-10-11 光学的記録媒体

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JPS6192455A true JPS6192455A (ja) 1986-05-10

Family

ID=16605953

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JP21143884A Pending JPS6192455A (ja) 1984-10-11 1984-10-11 光学的記録媒体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786559A (en) * 1985-12-25 1988-11-22 Sharp Kabushiki Kaisha Magnetooptical storage element

Cited By (1)

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