JPS6132242A - 光熱磁気記録媒体 - Google Patents
光熱磁気記録媒体Info
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- JPS6132242A JPS6132242A JP15216484A JP15216484A JPS6132242A JP S6132242 A JPS6132242 A JP S6132242A JP 15216484 A JP15216484 A JP 15216484A JP 15216484 A JP15216484 A JP 15216484A JP S6132242 A JPS6132242 A JP S6132242A
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- light
- reflected
- transparent
- thin film
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は光磁気メモリー、磁気記録、表示素子等に用い
られる光熱磁気記録媒体に関する。より詳しくは、カー
効果、ファラデー効果等の磁気光学効果を用いて読出す
ことのできる光熱磁気記録媒体に関する。
られる光熱磁気記録媒体に関する。より詳しくは、カー
効果、ファラデー効果等の磁気光学効果を用いて読出す
ことのできる光熱磁気記録媒体に関する。
従来、光熱磁気記録媒体としてはＭｎＢ１． ＭｎＣｕ
Ｂ１等の多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 ＴｂＦ
ｅ、 ＤｙＦｅ。
Ｂ１等の多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 ＴｂＦ
ｅ、 ＤｙＦｅ。
ＧｄＴｂＦｅ＝、 ＧｄＴｂＦｅＣｏ等の非晶質薄膜、
ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ。
ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ。
ＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦ
ｅＣ：ｏ等の非晶質薄膜、ＴｂＦｅＯ３等の単結晶薄膜
等が知られている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜
を室温近傍の温度で製作する成膜性、信号を小さなエネ
ルギーで書込むための書込効率、記録信号をＳ／Ｎ比よ
く読出すための再生効率等を勘案すると、最近では、非
晶質薄膜が光磁気記録媒体として優れていると考えられ
ている。しかしながら、これらの非晶質薄膜においても
未だ、再生信号のＳ／Ｎ比が十分でなく満足な再生信号
レベルが得られないという欠点があった。特にカー効果
を用いる再生方式ではカー回転角が小さいためＳ／Ｎ比
を高めることが困難であった。そのため本発明者らはカ
ー回転角をさらに増大させるためにＧｄＦｅやＴｂＦｅ
にＧｏを添加したＧｄＦｅＣｏ、 ＴｂＦｅＣｏまたＧ
ｄＴｂＦｅにＧｏを添加したＧｄＴｂＦｅＣｏの研究を
すすめ、特にＧｄＴｂＦｅＣｏの４元非晶質合金膜が十
分カー回転角が大きく、熱安定性にすぐれ、かつＳ／Ｎ
比の良く再生できる光熱磁気記録媒体であることを見出
した。
ｅＣ：ｏ等の非晶質薄膜、ＴｂＦｅＯ３等の単結晶薄膜
等が知られている。これらの薄膜のうち、大面積の薄膜
を室温近傍の温度で製作する成膜性、信号を小さなエネ
ルギーで書込むための書込効率、記録信号をＳ／Ｎ比よ
く読出すための再生効率等を勘案すると、最近では、非
晶質薄膜が光磁気記録媒体として優れていると考えられ
ている。しかしながら、これらの非晶質薄膜においても
未だ、再生信号のＳ／Ｎ比が十分でなく満足な再生信号
レベルが得られないという欠点があった。特にカー効果
を用いる再生方式ではカー回転角が小さいためＳ／Ｎ比
を高めることが困難であった。そのため本発明者らはカ
ー回転角をさらに増大させるためにＧｄＦｅやＴｂＦｅ
にＧｏを添加したＧｄＦｅＣｏ、 ＴｂＦｅＣｏまたＧ
ｄＴｂＦｅにＧｏを添加したＧｄＴｂＦｅＣｏの研究を
すすめ、特にＧｄＴｂＦｅＣｏの４元非晶質合金膜が十
分カー回転角が大きく、熱安定性にすぐれ、かつＳ／Ｎ
比の良く再生できる光熱磁気記録媒体であることを見出
した。
このように記録媒体である磁性材料の特性の改良検討を
進める一方、記録媒体上に誘電体膜や金属反射膜を形成
してみかけのカー回転角を高める試みについても検討が
続けられている。しかしながらＳ／Ｎ比を高めるものと
して最適な層構成は未だ見出されておらず、多くの改良
の余地が残されている。
進める一方、記録媒体上に誘電体膜や金属反射膜を形成
してみかけのカー回転角を高める試みについても検討が
続けられている。しかしながらＳ／Ｎ比を高めるものと
して最適な層構成は未だ見出されておらず、多くの改良
の余地が残されている。
本発明は以上の点に鑑みなされたものであり、従来の種
々の光熱磁気記録媒体よりも、みかけのカー回転角が大
きくでき、高いＳ／Ｎ比を得ることが可能な新規な積層
構造を有する光熱磁気記録媒体を提供することにある。
々の光熱磁気記録媒体よりも、みかけのカー回転角が大
きくでき、高いＳ／Ｎ比を得ることが可能な新規な積層
構造を有する光熱磁気記録媒体を提供することにある。
以上の目的は下記の本発明の光熱磁気記録媒体によって
達成される。すなわち本発明の光熱磁気記録媒体は、透
明膜と、該透明膜上に形成された磁気光学効果を有する
薄膜とからなる一単位の積層構造体が基板上に少なくと
も二単位以上積層され更に反射膜が設けられてなる。
達成される。すなわち本発明の光熱磁気記録媒体は、透
明膜と、該透明膜上に形成された磁気光学効果を有する
薄膜とからなる一単位の積層構造体が基板上に少なくと
も二単位以上積層され更に反射膜が設けられてなる。
本発明に規定する磁気光学効果を有する薄膜とは、記録
光（例えばレーザー光）を照射すると、その照射された
部分に於いて光エネルギーが熱エネルギーに変換される
ことにより温度が上昇し、キュリ一点に達して、磁化が
反転するような磁性薄膜である。このような磁化の反転
により記録ビットを形成することができ、この記録ビッ
トに再生光を照射し、その反射光を検知することにより
再生が可能である。このような磁気光学効果を有する薄
膜としては、ＭｎＢ１． ＭｎＣｕＢ１等の多結晶薄膜
、ＴｂＦｅＯ３等の単結晶薄膜、非晶質磁性薄膜等から
なる膜面に垂直な磁化容易軸を有する種々のものが使用
できるが、次に挙げるものが好ましい。
光（例えばレーザー光）を照射すると、その照射された
部分に於いて光エネルギーが熱エネルギーに変換される
ことにより温度が上昇し、キュリ一点に達して、磁化が
反転するような磁性薄膜である。このような磁化の反転
により記録ビットを形成することができ、この記録ビッ
トに再生光を照射し、その反射光を検知することにより
再生が可能である。このような磁気光学効果を有する薄
膜としては、ＭｎＢ１． ＭｎＣｕＢ１等の多結晶薄膜
、ＴｂＦｅＯ３等の単結晶薄膜、非晶質磁性薄膜等から
なる膜面に垂直な磁化容易軸を有する種々のものが使用
できるが、次に挙げるものが好ましい。
すなわち、Ｆｅ、 Ｇｏ、旧等の遷移金属から選ばれた
一種以上の金属元素とＧｄ、 Ｔｂ、 Ｄｙ等の希土類
金属から選ばれた一種以上の金属元素（以下、遷移金属
−希土類金属と略す。）とを含有し、膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜が好ましい。例えば
、ＧｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ
Ｃｏ。
一種以上の金属元素とＧｄ、 Ｔｂ、 Ｄｙ等の希土類
金属から選ばれた一種以上の金属元素（以下、遷移金属
−希土類金属と略す。）とを含有し、膜面に垂直方向に
磁化容易軸を有する非晶質磁性薄膜が好ましい。例えば
、ＧｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ
Ｃｏ。
ＧｄＤｙＦｅＣｏ、 ＴｂＤｙＦｅＣｏ等の非晶質薄膜
である。このように、薄膜が非晶質物質から構成されれ
ば、磁化容易軸が膜面の垂直方向に向けられるのに十分
な垂直磁気異方性を有する。
である。このように、薄膜が非晶質物質から構成されれ
ば、磁化容易軸が膜面の垂直方向に向けられるのに十分
な垂直磁気異方性を有する。
このような非晶質磁性薄膜は、この薄膜を構成する成分
である各金属元素を蒸着源として、スパッタリング法、
真空蒸着法等の方法によって成膜することができる。
である各金属元素を蒸着源として、スパッタリング法、
真空蒸着法等の方法によって成膜することができる。
以上述べたような遷移金属−希土類金属からなる非晶質
磁性薄膜に於いて、十分な垂直磁気異方性かつ大きなカ
ー回転角を得るためには下記表１に示すような組成範囲
が好ましい。
磁性薄膜に於いて、十分な垂直磁気異方性かつ大きなカ
ー回転角を得るためには下記表１に示すような組成範囲
が好ましい。
本発明の光熱磁気記録媒体の有する透明膜とは、この透
明膜に記録光又は再生光を照射した場合にそれらの光を
実質的に透過させる薄膜である。言い換えれば、この透
明膜を透過した記録光又は再生光が前記の磁気光学効果
を有する薄膜の記録又は再生作用を果すことを妨げるこ
とのないような透光度を有する薄膜である。この透明膜
に使用することができる材料として、ＳｉＣ，５ｉ０２
゜Ｓｉ３Ｎ４ 、 ＡＩＮ、 Ｓｉｎ、 ＺｒＯ２，Ｔ
ａ２０５ 、 Ｎｂ２Ｏ，、等を挙げることができる。
明膜に記録光又は再生光を照射した場合にそれらの光を
実質的に透過させる薄膜である。言い換えれば、この透
明膜を透過した記録光又は再生光が前記の磁気光学効果
を有する薄膜の記録又は再生作用を果すことを妨げるこ
とのないような透光度を有する薄膜である。この透明膜
に使用することができる材料として、ＳｉＣ，５ｉ０２
゜Ｓｉ３Ｎ４ 、 ＡＩＮ、 Ｓｉｎ、 ＺｒＯ２，Ｔ
ａ２０５ 、 Ｎｂ２Ｏ，、等を挙げることができる。
透明膜はこのような材料を使用して磁気光学効果を有す
る薄膜と同様な方法によって形成することができる。
る薄膜と同様な方法によって形成することができる。
本発明の光熱磁気記録媒体の有する反射膜は、上記の磁
気光学効果を有する薄膜及び透明膜を透過した記録光及
び再生光を反射することにより、それらのエネルギーを
有効に利用するためのものである。この反射膜として、
Ａｕ、 Ａｇ、 Ｃｕ、 ＡＩ等を使用できる。
気光学効果を有する薄膜及び透明膜を透過した記録光及
び再生光を反射することにより、それらのエネルギーを
有効に利用するためのものである。この反射膜として、
Ａｕ、 Ａｇ、 Ｃｕ、 ＡＩ等を使用できる。
本発明の光熱磁気記録媒体は、以上で説明した透明膜と
、この透明膜上に形成された磁気光学効果を有する薄膜
とからなる積層構造体をｌづの単位として、この積層構
造体を２単位以上積層し、更に反射膜が設けられて形成
される。１単位中の磁気光学効果を有する薄膜と透明膜
との間に他の層が設けられてもよいし、もちろん１単位
の積層構造体と別単位の積層構造体との間に他の層が設
けられてもよい。このような層として記録の際に熱エネ
ルギーを有効に利用するための有機高分子化合物等から
なる断熱層等が挙げられる。
、この透明膜上に形成された磁気光学効果を有する薄膜
とからなる積層構造体をｌづの単位として、この積層構
造体を２単位以上積層し、更に反射膜が設けられて形成
される。１単位中の磁気光学効果を有する薄膜と透明膜
との間に他の層が設けられてもよいし、もちろん１単位
の積層構造体と別単位の積層構造体との間に他の層が設
けられてもよい。このような層として記録の際に熱エネ
ルギーを有効に利用するための有機高分子化合物等から
なる断熱層等が挙げられる。
本発明の光熱磁気記録媒体を図面を参照して詳細に説明
する。
する。
第１図は本発明に係る光熱磁気記録媒体の一実施例を示
す模式断面図である。
す模式断面図である。
第１図に於てｌは基板である。この基板は記録光又は再
生光をほぼ透過することができるような例えば板ガラス
、アクリル樹脂等からなる。２゜４は透明膜、３．５は
磁気光学効果を有する薄膜であり、この実施例に於ては
前記の非晶質磁性薄膜である。７は記録光を反射するこ
とのできる反射膜でこの実施例においてはＣｕである。
生光をほぼ透過することができるような例えば板ガラス
、アクリル樹脂等からなる。２゜４は透明膜、３．５は
磁気光学効果を有する薄膜であり、この実施例に於ては
前記の非晶質磁性薄膜である。７は記録光を反射するこ
とのできる反射膜でこの実施例においてはＣｕである。
６は透明膜であり、この光熱磁気記録媒体の化学的安定
性を確保するための保護膜であると同時に磁性膜と反射
膜の間の光の多重反射による干渉効果によってみかけの
磁気光学効果を増大せしめるのに適した膜厚を有する干
渉膜である。この膜の材料としテＡＩＮ、 ＭｇＦ２．
ＳｉＯ，Ｓｉ３Ｎ４ 、 Ｓｉｎ、等を挙げることが
できる。この光熱磁気記録媒体の記録、再生の機構につ
いて以下に説明する。記録は以下のような機構でなされ
る。
性を確保するための保護膜であると同時に磁性膜と反射
膜の間の光の多重反射による干渉効果によってみかけの
磁気光学効果を増大せしめるのに適した膜厚を有する干
渉膜である。この膜の材料としテＡＩＮ、 ＭｇＦ２．
ＳｉＯ，Ｓｉ３Ｎ４ 、 Ｓｉｎ、等を挙げることが
できる。この光熱磁気記録媒体の記録、再生の機構につ
いて以下に説明する。記録は以下のような機構でなされ
る。
基板１側よりこの光熱磁気記録媒体へ記録光を照射する
とそれは基板ｌ、透明膜２誉通過後非晶質磁性膜３へ達
する。この３で記録光の一部は吸収されその光エネルギ
ーが熱に変換され、この薄ＩＩ ３の温度が上昇してキ
ュリ一点に達する。すると磁化が反転し、記録ビットが
形成される。一方この薄膜３を透過した記録光は更に透
明膜４を通過し、非晶質磁性薄膜５へ達する。この薄膜
５でも薄膜３の場合と同様にして記録ビットが形成され
る。このように、透明膜と非晶質磁性膜の２つのユニッ
トが情報を記録するための記録層とじて働く。
とそれは基板ｌ、透明膜２誉通過後非晶質磁性膜３へ達
する。この３で記録光の一部は吸収されその光エネルギ
ーが熱に変換され、この薄ＩＩ ３の温度が上昇してキ
ュリ一点に達する。すると磁化が反転し、記録ビットが
形成される。一方この薄膜３を透過した記録光は更に透
明膜４を通過し、非晶質磁性薄膜５へ達する。この薄膜
５でも薄膜３の場合と同様にして記録ビットが形成され
る。このように、透明膜と非晶質磁性膜の２つのユニッ
トが情報を記録するための記録層とじて働く。
また別の機構で記録がなされる場合もありうる。即ち非
晶質磁性膜ｐＪ３及び５のどちらか一方の保磁力が他方
の磁化を反転するに十分であるならば、この非晶質薄膜
の一方が先に磁化が反転すれば他方もそれに伴い磁化が
反転し、両方の薄膜３及び５とも記録ビットが形成され
る。このような機構で記録ビットが記録される方が記録
効率の点で好ましい。
晶質磁性膜ｐＪ３及び５のどちらか一方の保磁力が他方
の磁化を反転するに十分であるならば、この非晶質薄膜
の一方が先に磁化が反転すれば他方もそれに伴い磁化が
反転し、両方の薄膜３及び５とも記録ビットが形成され
る。このような機構で記録ビットが記録される方が記録
効率の点で好ましい。
再生は以下のような機構で行なわれる。
基板ｌ側から入射したレーザ光は透明膜２を透過の後非
晶質磁性薄膜３表面で一部は反射される。この薄膜３を
透過した光は透明膜４をさらに透過し、非晶質磁性膜５
０表面で再び一部反射される。この薄膜５を透過した光
は透明膜６を透過した後、７の反射膜で反射される。
晶質磁性薄膜３表面で一部は反射される。この薄膜３を
透過した光は透明膜４をさらに透過し、非晶質磁性膜５
０表面で再び一部反射される。この薄膜５を透過した光
は透明膜６を透過した後、７の反射膜で反射される。
非晶質磁性薄膜３で反射された光は薄膜３のカー効果を
うけ、薄膜３を透過して薄膜５で反射された光は薄膜３
を透過する際に生じるファラデー効果と、薄膜５で反射
される際に生じるカー効果とが加わる。更に薄膜５を透
過した光は透明膜６を介して反射膜７との間で多重反射
することによって生ずる干渉効果をうけた後に反射され
る。従って、上記３種の反射光が合成された反射光のカ
ー回転角は大きなものが得られる。その結果として本発
明の光磁気記録媒体は従来の光熱磁気記録媒体よりも再
生時の信号雑音比は向上する。
うけ、薄膜３を透過して薄膜５で反射された光は薄膜３
を透過する際に生じるファラデー効果と、薄膜５で反射
される際に生じるカー効果とが加わる。更に薄膜５を透
過した光は透明膜６を介して反射膜７との間で多重反射
することによって生ずる干渉効果をうけた後に反射され
る。従って、上記３種の反射光が合成された反射光のカ
ー回転角は大きなものが得られる。その結果として本発
明の光磁気記録媒体は従来の光熱磁気記録媒体よりも再
生時の信号雑音比は向上する。
この光熱磁気記録媒体においては２層の非晶質磁性薄膜
層をともに記録層として動作させるが記録光は非晶質磁
性薄膜層３．５を透過する際に、エネルギーの損失を伴
う。従って特に第２磁性層５に到達する光エネルギーは
この記録媒体面に照射される光エネルギーよりも減少す
る。このようなことを考慮すると記録効率を高めるため
には■非晶質磁性薄膜３及び５の透過率を極力大きくす
ること。少なくともｌＯ％以」−が望ましい。
層をともに記録層として動作させるが記録光は非晶質磁
性薄膜層３．５を透過する際に、エネルギーの損失を伴
う。従って特に第２磁性層５に到達する光エネルギーは
この記録媒体面に照射される光エネルギーよりも減少す
る。このようなことを考慮すると記録効率を高めるため
には■非晶質磁性薄膜３及び５の透過率を極力大きくす
ること。少なくともｌＯ％以」−が望ましい。
■透明膜２，４はできるだけ光吸収の少ない材料を選び
かつ、非晶質磁性薄膜間の熱絶縁をよくし、書込み効率
の低下を防ぐことができ、しかもこの薄膜３と５の一方
の磁化が反転すればそれに伴い他方の磁化も反転するよ
うな磁気的な干渉効果を生じせしめることが可能な膜厚
であること。
かつ、非晶質磁性薄膜間の熱絶縁をよくし、書込み効率
の低下を防ぐことができ、しかもこの薄膜３と５の一方
の磁化が反転すればそれに伴い他方の磁化も反転するよ
うな磁気的な干渉効果を生じせしめることが可能な膜厚
であること。
■非晶質磁性薄膜５のように前の磁性層を透過して減衰
した光が照射される膜は低い光エネルギーでも十分な記
録感度を得ることができるように、より低いキュリ一温
度を有する材料を使用すること。
した光が照射される膜は低い光エネルギーでも十分な記
録感度を得ることができるように、より低いキュリ一温
度を有する材料を使用すること。
などを考慮することが好ましい。また次に挙げる事項を
考慮すると更に記録効率が向上する。
考慮すると更に記録効率が向上する。
■記録媒体全体としてのみかけのカー回転角を増大せし
めるために透明膜２，４をファラデー効果を示す磁性体
からなる透明膜 とすること。
めるために透明膜２，４をファラデー効果を示す磁性体
からなる透明膜 とすること。
以上説明した実施例においては磁気光学効果を有する薄
膜と透明膜との積層構造体を２単位有したが３単位以上
でもかまわない。このような光熱磁気記録媒体について
も記録効率を高めるためには第１図に示した光熱磁気記
録媒体の記録効率を高めるために考慮した■■■及び■
の事項を応用して作製すればよい。
膜と透明膜との積層構造体を２単位有したが３単位以上
でもかまわない。このような光熱磁気記録媒体について
も記録効率を高めるためには第１図に示した光熱磁気記
録媒体の記録効率を高めるために考慮した■■■及び■
の事項を応用して作製すればよい。
本発明の光熱磁気記録媒体により従来の種々の層構造を
有する光熱磁気記録媒体よりもみかけのカー回転角を大
きくすることができるようになり、再生に於て高いＳ／
Ｎ比を得ることが可能となった。
有する光熱磁気記録媒体よりもみかけのカー回転角を大
きくすることができるようになり、再生に於て高いＳ／
Ｎ比を得ることが可能となった。
以下、本発明を実施例をあげて詳細に説明する。
実施例１
３インチ角の白板ガラスを基板とし、高周波スパータ法
において前記基板ｌ上にＭｇＦ２からなる透明膜２を成
膜した。この際にターゲットとして５インチφのＭ ｇ
Ｆ２化合物を用い、真空槽内をｌＸ１０″ＳＰａ程度
まで排気の後Ａｒガスを０．８Ｐａまで導入し、高周波
電源より ２００Ｗのスパッタ電力を供給して成膜を行
なった。
において前記基板ｌ上にＭｇＦ２からなる透明膜２を成
膜した。この際にターゲットとして５インチφのＭ ｇ
Ｆ２化合物を用い、真空槽内をｌＸ１０″ＳＰａ程度
まで排気の後Ａｒガスを０．８Ｐａまで導入し、高周波
電源より ２００Ｗのスパッタ電力を供給して成膜を行
なった。
次いで、高周波スパッタ法において前記透明膜２」二に
磁性膜３を成膜した。この際ターゲットとして５インチ
φのＦｅ７６Ｃｏ３（、（原子％）合金上に１ｃｍ角で
組成比がｌ：ｌのＧｄＴｂ合金片を均一に並べたものを
使用し、透明ＩＩＩ ２を成膜するのと同一のガス圧、
スパッタ電力の条件を用いて成膜を行なった。膜厚はこ
の膜の透光率が１０％以上を有するように２０〜３００
人とした、このようにしてできた磁性膜３はＸ線回析に
より非晶質であることを確認した。また組成分析の結果
この膜は（Ｇｄｏ、５Ｔｂｏ、ｓ ）ｏ、２ｓ （
Ｆｅｏ７Ｃ［１０，３）０．７５ テあり、膜面に垂直
方向に磁化容易軸を有することを確認した。カー回転角
は発振波長（ｊ３３ｎｍのＨｅＮｅレーザを用いた測定
の結果、０．３７度、キュリ一温度は２８０度であった
。
磁性膜３を成膜した。この際ターゲットとして５インチ
φのＦｅ７６Ｃｏ３（、（原子％）合金上に１ｃｍ角で
組成比がｌ：ｌのＧｄＴｂ合金片を均一に並べたものを
使用し、透明ＩＩＩ ２を成膜するのと同一のガス圧、
スパッタ電力の条件を用いて成膜を行なった。膜厚はこ
の膜の透光率が１０％以上を有するように２０〜３００
人とした、このようにしてできた磁性膜３はＸ線回析に
より非晶質であることを確認した。また組成分析の結果
この膜は（Ｇｄｏ、５Ｔｂｏ、ｓ ）ｏ、２ｓ （
Ｆｅｏ７Ｃ［１０，３）０．７５ テあり、膜面に垂直
方向に磁化容易軸を有することを確認した。カー回転角
は発振波長（ｊ３３ｎｍのＨｅＮｅレーザを用いた測定
の結果、０．３７度、キュリ一温度は２８０度であった
。
次に、透明膜４及び磁性膜５を成膜する際、前記透明膜
？及び磁性膜３を成膜するのと、同一の方法、条件で、
真空を破らずに連続的に成膜した。さらに、干渉膜６を
高周波スパッタ法で成膜した。この際ターゲットとして
ＡＩＮを用いる以外は透明膜２及び４を成膜するのと同
様に膜厚１０００Ａを有する膜を成膜した。その上に蒸
着法によって５００ＡのＣｕを成膜し、反射膜７とした
。この反射膜の材料をＡｕ、 Ａｇ、 ＡＩに変えても
回転角に変化はなかった。
？及び磁性膜３を成膜するのと、同一の方法、条件で、
真空を破らずに連続的に成膜した。さらに、干渉膜６を
高周波スパッタ法で成膜した。この際ターゲットとして
ＡＩＮを用いる以外は透明膜２及び４を成膜するのと同
様に膜厚１０００Ａを有する膜を成膜した。その上に蒸
着法によって５００ＡのＣｕを成膜し、反射膜７とした
。この反射膜の材料をＡｕ、 Ａｇ、 ＡＩに変えても
回転角に変化はなかった。
更にその上に蒸着法によって２００ＯＡのＳｉＯ薄膜を
成膜し、保護膜８とした。
成膜し、保護膜８とした。
以上のようにして作製した本発明の光熱磁気記録媒体に
対して発振波長８３０ｎｍのＨｅｒｅレーザ光を基板ｌ
側から入射させた場合に得られたカー回転角は １．５
度であり、希土類−遷移金属合金非晶質膜を一層のみ有
する光熱磁気記録媒体のカー回転角０．２５〜０．３５
度に比較して大幅に増大させることができた。
対して発振波長８３０ｎｍのＨｅｒｅレーザ光を基板ｌ
側から入射させた場合に得られたカー回転角は １．５
度であり、希土類−遷移金属合金非晶質膜を一層のみ有
する光熱磁気記録媒体のカー回転角０．２５〜０．３５
度に比較して大幅に増大させることができた。
比較例１
実施例１における反射膜７．保護膜８を成膜しない以外
は、実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製した
。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定した結
果、値は０．８０度であった。
は、実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製した
。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定した結
果、値は０．８０度であった。
実施例１及び比較例１との比較から本発明の光熱磁気記
録媒体における反射膜７は明らかにみかけの磁気光学効
果を増大させる効果を有してｌ、％る。
録媒体における反射膜７は明らかにみかけの磁気光学効
果を増大させる効果を有してｌ、％る。
比較例２
実施例１における、透明膜と磁性膜の組合せを１組にし
た以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製
した。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定し
たところ、１．２０度であった。
た以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製
した。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定し
たところ、１．２０度であった。
実施例１と比較例２と比較すると、本発明の光熱磁気記
録媒体において透明膜と磁性膜の組合せ数を増したこと
による優位性は明らかである。
録媒体において透明膜と磁性膜の組合せ数を増したこと
による優位性は明らかである。
実施例２，３
実施例１において透明膜と合せ数を３組にした以外は実
施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製した。これ
を実施例１と同様にしてカー回転角を測定した結果を表
１に示す。このように、透明膜と磁性膜の組の数を増し
ていくとカー回転角は少し増加した。
施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を作製した。これ
を実施例１と同様にしてカー回転角を測定した結果を表
１に示す。このように、透明膜と磁性膜の組の数を増し
ていくとカー回転角は少し増加した。
実施例４
実施例１において磁性膜５を成膜する際にターゲットと
して６インチφのＦｅを用い、その上に１ｃｍ角のＴｂ
合金を並べたものを用いて高周波スパッタ法によって成
膜する以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を
作製した。ＴｂＦｅ膜のカー回転角は０．２１度である
。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定したと
ころ１．４５度であった。
して６インチφのＦｅを用い、その上に１ｃｍ角のＴｂ
合金を並べたものを用いて高周波スパッタ法によって成
膜する以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録媒体を
作製した。ＴｂＦｅ膜のカー回転角は０．２１度である
。これを実施例１と同様にしてカー回転角を測定したと
ころ１．４５度であった。
ＴｂＦｅはキュリ一温度が１２５℃であり、ＧｄＴｂＦ
ｅＣｏの２８０℃に比較して低いため、記録効率の点で
有利である。実際、発振波長８３００Ａパワー１０ｍＷ
の半導体レーザを用いてこの光熱磁気記録媒体に書込み
を試みたところ、 １．２ｕのスポットが形成されるこ
とを確認した。
ｅＣｏの２８０℃に比較して低いため、記録効率の点で
有利である。実際、発振波長８３００Ａパワー１０ｍＷ
の半導体レーザを用いてこの光熱磁気記録媒体に書込み
を試みたところ、 １．２ｕのスポットが形成されるこ
とを確認した。
このように、ＴｂＦｅ膜を基板ｌ側から第１番目の磁性
膜以外の磁性膜として用いると、再生効率をあまり劣化
させることなく、より記録効率を高めることができた。
膜以外の磁性膜として用いると、再生効率をあまり劣化
させることなく、より記録効率を高めることができた。
実施例５，６
実施例１において非晶質磁性膜３および５を形成する際
に５インチφの（Ｆｅ７ｏＣｏ３ｏ） （原子％）円
板上に１ｃｍ角のＧｄＤｙ合金（１： １） 、或いは
’ｒｂｏｙ合金（１： １）を並べたものをターゲット
として用いる以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録
媒体を作製した。これを実施例１と同様にしてカー回転
角を測定した結果を表２に示す。
に５インチφの（Ｆｅ７ｏＣｏ３ｏ） （原子％）円
板上に１ｃｍ角のＧｄＤｙ合金（１： １） 、或いは
’ｒｂｏｙ合金（１： １）を並べたものをターゲット
として用いる以外は実施例１と同様にして光熱磁気記録
媒体を作製した。これを実施例１と同様にしてカー回転
角を測定した結果を表２に示す。
以上述べた実施例から明らかなように、本発明の光熱磁
気記録媒体により再生時に大きなカー回転角を得ること
が可能となり、再生信号レベルが向上した。また、非晶
質磁性薄膜と透明膜との積層構造体を３単位或いは４単
位有するような光熱磁気記録媒体のカー回転角はそれを
２単位有する記録媒体と同等又はそれ以上の値を示した
。このため、磁気光学効果を有する薄膜として希土類−
遷移金属からなる非晶質磁性薄膜を用いる場合は前記の
積層構造体の数は２ないし３単位が適当である。しかし
、磁気光学効果を有する薄膜として透光性のよいものを
用いれば磁性層を透過する時の光量損失が減少するので
この限りではない。
気記録媒体により再生時に大きなカー回転角を得ること
が可能となり、再生信号レベルが向上した。また、非晶
質磁性薄膜と透明膜との積層構造体を３単位或いは４単
位有するような光熱磁気記録媒体のカー回転角はそれを
２単位有する記録媒体と同等又はそれ以上の値を示した
。このため、磁気光学効果を有する薄膜として希土類−
遷移金属からなる非晶質磁性薄膜を用いる場合は前記の
積層構造体の数は２ないし３単位が適当である。しかし
、磁気光学効果を有する薄膜として透光性のよいものを
用いれば磁性層を透過する時の光量損失が減少するので
この限りではない。
第１図は本発明に係る光熱磁気記録媒体の一実施例を示
す模式断面図である。 ｌ・・・基板 ２．４・・・透明膜 ３．５・・・非晶質磁性薄膜 ６・・・干渉膜 ７・・・反射膜 ８・・・保護膜
す模式断面図である。 ｌ・・・基板 ２．４・・・透明膜 ３．５・・・非晶質磁性薄膜 ６・・・干渉膜 ７・・・反射膜 ８・・・保護膜
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）透明膜と、該透明膜上に形成された磁気光学効果を
有する薄膜とからなる一単位の積層構造体が基板上に少
なくとも二単位以上積層され、更に反射膜が設けられて
なる光熱磁気記録媒体。 ２）前記磁気光学効果を有する薄膜が、希土類金属から
選ばれた一種以上の金属元素と遷移金属から選ばれた一
種以上の金属元素とからなる膜面に垂直な磁化容易軸を
有する非晶質磁性薄膜である特許請求の範囲第１項記載
の光熱磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15216484A JPS6132242A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15216484A JPS6132242A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6132242A true JPS6132242A (ja) | 1986-02-14 |
| JPH0555941B2 JPH0555941B2 (ja) | 1993-08-18 |
Family
ID=15534421
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15216484A Granted JPS6132242A (ja) | 1984-07-24 | 1984-07-24 | 光熱磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6132242A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62281139A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 光磁気デイスク |
| JPS63167450A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-11 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| EP0398255A2 (en) * | 1989-05-17 | 1990-11-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Optical recording medium and recording method therefor |
| JPH04114667A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-15 | Suishiyou:Kk | 有機ハロゲン化合物分解処理装置 |
| EP0754777A3 (en) * | 1995-07-20 | 1997-05-07 | Olympus Optical Co | Process for producing a thin film, and optical instrument equipped therewith |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552535A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-17 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Magnetic recording medium |
| JPS58153244A (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59148161A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気デイスク |
-
1984
- 1984-07-24 JP JP15216484A patent/JPS6132242A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5552535A (en) * | 1978-10-12 | 1980-04-17 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | Magnetic recording medium |
| JPS58153244A (ja) * | 1982-03-05 | 1983-09-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
| JPS59148161A (ja) * | 1983-02-14 | 1984-08-24 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 光磁気デイスク |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62281139A (ja) * | 1986-05-30 | 1987-12-07 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 光磁気デイスク |
| JPS63167450A (ja) * | 1986-12-29 | 1988-07-11 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気記録媒体の製造方法 |
| EP0398255A2 (en) * | 1989-05-17 | 1990-11-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Optical recording medium and recording method therefor |
| JPH04114667A (ja) * | 1990-09-03 | 1992-04-15 | Suishiyou:Kk | 有機ハロゲン化合物分解処理装置 |
| EP0754777A3 (en) * | 1995-07-20 | 1997-05-07 | Olympus Optical Co | Process for producing a thin film, and optical instrument equipped therewith |
| US5958155A (en) * | 1995-07-20 | 1999-09-28 | Olympus Optical Co., Ltd. | Process for producing thin film |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0555941B2 (ja) | 1993-08-18 |
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