JPS6192459A - 光学的記録媒体 - Google Patents
光学的記録媒体Info
- Publication number
- JPS6192459A JPS6192459A JP21144284A JP21144284A JPS6192459A JP S6192459 A JPS6192459 A JP S6192459A JP 21144284 A JP21144284 A JP 21144284A JP 21144284 A JP21144284 A JP 21144284A JP S6192459 A JPS6192459 A JP S6192459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- nitride
- film
- recording medium
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体に関する。
な光学的記録媒体に関する。
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元性酸化
物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモプラスチック記
録媒体等が知られている。例えば、希土類−遷移金属の
合金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては、ＭｎＢ
１． ＭｎＣｕＢ１などの多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、 Ｇ
ｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ。
ては、希土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質
への相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元性酸化
物薄膜、ヒートモード記録媒体、サーモプラスチック記
録媒体等が知られている。例えば、希土類−遷移金属の
合金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては、ＭｎＢ
１． ＭｎＣｕＢ１などの多結晶薄膜、ＧｄＣｏ、 Ｇ
ｄＦｅ、 ＴｂＦｅ、 ＤｙＦｅ。
ＧｄＴｂＦｅ、 ＴｂＤｙＦｅ などの非晶質薄膜、
ＴｂＦｅＯ３などの単結晶薄膜などが知られている。
ＴｂＦｅＯ３などの単結晶薄膜などが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の昌度で
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むだめの書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出すだめの読み出し効率等を勘案する
と、最近では前記非晶質薄膜が光熱記録媒体として優れ
ていると考えられている。ＧｄＴｂＦｅ はカー回転
角も大きく、１５０℃前後のキューリ一点を持つので光
熱磁気記録媒体として適している。更に発明者等はカー
回７、転角を向上させる目的で研究した結果、ＧｄＴｂ
ＦｅＣ。
製作する際の成膜性、信号を小さな光熱エネルギーで書
き込むだめの書き込み効率、および書き込まれた信号を
Ｓ／Ｎ比よく読み出すだめの読み出し効率等を勘案する
と、最近では前記非晶質薄膜が光熱記録媒体として優れ
ていると考えられている。ＧｄＴｂＦｅ はカー回転
角も大きく、１５０℃前後のキューリ一点を持つので光
熱磁気記録媒体として適している。更に発明者等はカー
回７、転角を向上させる目的で研究した結果、ＧｄＴｂ
ＦｅＣ。
がカー回転角が充分に大きく、Ｓ／Ｎ比の良い読み出し
が可能な光磁気記録媒体であることを見い出しだ。
が可能な光磁気記録媒体であることを見い出しだ。
しかしながら、一般に前記ＧｄＴｂＦｅ 等の光磁気記
録媒体をはじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質
磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。すな
わち、大気、水蒸気に触れると磁気特性が低下し、最終
的には完全に酸化されて透明化するに至る。
録媒体をはじめとする磁気記録媒体に用いられる非晶質
磁性体は、耐食性が悪いという欠点を持っている。すな
わち、大気、水蒸気に触れると磁気特性が低下し、最終
的には完全に酸化されて透明化するに至る。
このような欠点を除くために、従来から、記録媒体とな
る磁気記録層の両側に記録光、再生光をほぼ透過すル例
工ば、５ｉ０２． Ｓｉｎ、 ５ｉ３Ｎｓ、 ＡＩＮ
Ｆ）保護層を設けたり、更には、不活性ガスにより磁気
記録層を封じ込めたディスク状記録媒体が提案されてい
る。
る磁気記録層の両側に記録光、再生光をほぼ透過すル例
工ば、５ｉ０２． Ｓｉｎ、 ５ｉ３Ｎｓ、 ＡＩＮ
Ｆ）保護層を設けたり、更には、不活性ガスにより磁気
記録層を封じ込めたディスク状記録媒体が提案されてい
る。
このような従来の磁気記録媒体の一例として、例えば第
２図に示すように書き込み側基板ｌａ上に保護層２を形
成し、磁気記録層３、スペーサ層４、および反射層５を
順次設け、更に接着層６を介して外部プラスチック基板
１ｂと貼り合わせたものが知られている。しかし、プラ
スチック基板の吸水性が太きいためて磁気記録層３が奴
百久と薄い場合には、保護層２、スペーサ一層４が存在
するにもかかわらず湿度の高い状態に長時間置かれると
磁気特性が劣化するという欠点が生じやすかった。また
、保護層としての窒化物の膜は、プラスチックなどの基
板に対して密着力が弱く、はく離やクラックが生じやす
いという欠点があった。
２図に示すように書き込み側基板ｌａ上に保護層２を形
成し、磁気記録層３、スペーサ層４、および反射層５を
順次設け、更に接着層６を介して外部プラスチック基板
１ｂと貼り合わせたものが知られている。しかし、プラ
スチック基板の吸水性が太きいためて磁気記録層３が奴
百久と薄い場合には、保護層２、スペーサ一層４が存在
するにもかかわらず湿度の高い状態に長時間置かれると
磁気特性が劣化するという欠点が生じやすかった。また
、保護層としての窒化物の膜は、プラスチックなどの基
板に対して密着力が弱く、はく離やクラックが生じやす
いという欠点があった。
さらに窒化物としてＳｉ３Ｎ４． ＡＪＮ、 ＢＮ な
どの熱伝導のよい材料を用い記録媒体の耐久性を向上さ
せるだめに、その膜厚を厚くすると光ビームによる記録
層の温度上昇が十分でなく記録感度が低下するという欠
点もあった。
どの熱伝導のよい材料を用い記録媒体の耐久性を向上さ
せるだめに、その膜厚を厚くすると光ビームによる記録
層の温度上昇が十分でなく記録感度が低下するという欠
点もあった。
本発明は、以上の問題点に完本なされたものであり、磁
気記録層の磁気特性を損なうことな（、水分や酸素等に
対する耐食性に優れまた耐久性に優れた磁気記録媒体を
提供し、かつその記録感度を向上させることを目的とす
るものである。
気記録層の磁気特性を損なうことな（、水分や酸素等に
対する耐食性に優れまた耐久性に優れた磁気記録媒体を
提供し、かつその記録感度を向上させることを目的とす
るものである。
Ｃ問題点を解決するだめの手段〕
本発明は、基板に相接してＳｉＯまたは５ｉ０２からな
る下引き層が設けてあり、少なくとも該下引き層と光学
的記録層との間にはアルミニウム、タングステン、ジル
コニウム、チタン、ニオブ、バナジウム、ホウ素、クロ
ム若しくはタンタルの窒化物の膜、又ハＴｉ−Ｃ系、
ｚｒ−ｃ系、 Ｈｆ−Ｃ系、Ｖ−Ｃ系、 Ｔａ −Ｃ系
、 Ｍｏ−Ｃ系、 Ｗ −Ｃ系、 ５ｉ−Ｃ系。
る下引き層が設けてあり、少なくとも該下引き層と光学
的記録層との間にはアルミニウム、タングステン、ジル
コニウム、チタン、ニオブ、バナジウム、ホウ素、クロ
ム若しくはタンタルの窒化物の膜、又ハＴｉ−Ｃ系、
ｚｒ−ｃ系、 Ｈｆ−Ｃ系、Ｖ−Ｃ系、 Ｔａ −Ｃ系
、 Ｍｏ−Ｃ系、 Ｗ −Ｃ系、 ５ｉ−Ｃ系。
Ｂ−Ｃ系、Ｃｒ−Ｃ系、 ＡＡ−Ｃ系、Ｂａ−Ｃ系、
Ｂｅ−Ｃ系。
Ｂｅ−Ｃ系。
Ｖ−Ｎ系、Ｎｂ−Ｎ系、 Ｍｏ−Ｎ系、Ｗ−Ｎ系のなか
から選ばれた窒化物との混合物から成る膜を有すること
を特徴とする光学的記録媒体である。
から選ばれた窒化物との混合物から成る膜を有すること
を特徴とする光学的記録媒体である。
まず、本発明を光磁気記録媒体に適用した場合につき、
該記録媒体の各層の構成例を、その断面を示す略図を参
照しながら説明する。
該記録媒体の各層の構成例を、その断面を示す略図を参
照しながら説明する。
第１図の構成の記録媒体において、書き込み側基板ｌａ
、下引き層２及び磁気記録層３は第２図で示しだ従来の
磁気記録媒体に使用したと同じものによって形成するこ
とができる。例えば基板１ａとして、アクリル樹脂、ポ
リカーボネート等のプラスチック板またはガラス板、下
引き層２として、ＳｉＯまたは５ｉ０２からなる薄膜、
磁気記録層３として各種の非晶質薄膜を使用できる。こ
の非晶質磁性薄膜として、ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 Ｔ
ｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ。
、下引き層２及び磁気記録層３は第２図で示しだ従来の
磁気記録媒体に使用したと同じものによって形成するこ
とができる。例えば基板１ａとして、アクリル樹脂、ポ
リカーボネート等のプラスチック板またはガラス板、下
引き層２として、ＳｉＯまたは５ｉ０２からなる薄膜、
磁気記録層３として各種の非晶質薄膜を使用できる。こ
の非晶質磁性薄膜として、ＧｄＣｏ、 ＧｄＦｅ、 Ｔ
ｂＦｅ、 ＤｙＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅ。
ＴｂＤｙＦｅ等の非晶質磁性薄膜が好ましい。なかでも
、ＧｄＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅＣｏはカー回転角が大
きいので特に好ましい。
、ＧｄＴｂＦｅ、 ＧｄＴｂＦｅＣｏはカー回転角が大
きいので特に好ましい。
下引き層２０層厚は一般に５００’１〜３０００Åで、
磁気記録層３０層厚、窒化物又は炭化物と窒化物との混
合物から成る膜７の層厚に応じて異なるが、耐久性、記
録感度の面から１０００＾程度が好ましい。下引き層と
して設けるＳｉＯまたは５ｉ０２は、その上に設ける膜
の基板との融合性向上の目的で設けるものである。
磁気記録層３０層厚、窒化物又は炭化物と窒化物との混
合物から成る膜７の層厚に応じて異なるが、耐久性、記
録感度の面から１０００＾程度が好ましい。下引き層と
して設けるＳｉＯまたは５ｉ０２は、その上に設ける膜
の基板との融合性向上の目的で設けるものである。
磁気記録層３の層厚は記録層としての機能を果す範囲内
の所望の層厚に形成するが通常１６０〜１０００Å程度
である。しかし、録再中の性能向上の面から１６０＾程
度が好ましい。
の所望の層厚に形成するが通常１６０〜１０００Å程度
である。しかし、録再中の性能向上の面から１６０＾程
度が好ましい。
窒化物又は炭化物と窒化物との混合物から成る膜７，８
は記録層３０両側または片側に形成する。
は記録層３０両側または片側に形成する。
片側の場合は下引き層２と磁気記録３との間に形成する
。窒化物又は炭化物と窒化物との混合物から成る膜は膜
自体に酸素を含まないので下引き層２からの酸素や基板
を通しての水分により、磁気記録層３が腐食されるのを
防ぐ機能を果す。窒化物又は炭ｆヒ物と窒化物との混合
物から成る膜の膜厚は１００λ〜２０００′Ａの範囲が
好ましい。１００＾より薄いと耐湿効果が不充分であり
、一方２０００Ｘより厚いと磁気記録媒体の記録感度が
低下し好ましくない。
。窒化物又は炭化物と窒化物との混合物から成る膜は膜
自体に酸素を含まないので下引き層２からの酸素や基板
を通しての水分により、磁気記録層３が腐食されるのを
防ぐ機能を果す。窒化物又は炭ｆヒ物と窒化物との混合
物から成る膜の膜厚は１００λ〜２０００′Ａの範囲が
好ましい。１００＾より薄いと耐湿効果が不充分であり
、一方２０００Ｘより厚いと磁気記録媒体の記録感度が
低下し好ましくない。
ＳｉＯ、５ｉＯｚ などのスペーサ一層４ 、 Ｃｕ
、 Ａｌｌ。
、 Ａｌｌ。
Ａｕなとの反射層５．シリコン系接着剤などの接着層６
およびガラス、プラスチックまたはアルミニウムなどの
金属よりなる保護基板１ｂのそれぞれが果す機能は従来
の記録媒体の場合と同様である。
およびガラス、プラスチックまたはアルミニウムなどの
金属よりなる保護基板１ｂのそれぞれが果す機能は従来
の記録媒体の場合と同様である。
第１図の例では゛、窒化物又は炭化物と窒化物との混合
物から成る膜は記録層に相接して設けてあり、耐食性は
この場合がより効果的ではあるが相接して設けることは
本発明において必須ではな（、窒化物又は炭化物と窒化
物との混合物から成る膜と記録層との間に他の補助層が
介在していても発明の目的は達成出来る。まだ、第３図
に他の例を示すようにスペーサ一層４１反射層５などの
補助層を欠いている構成の記録媒体もまた本発明に属す
るものである。
物から成る膜は記録層に相接して設けてあり、耐食性は
この場合がより効果的ではあるが相接して設けることは
本発明において必須ではな（、窒化物又は炭化物と窒化
物との混合物から成る膜と記録層との間に他の補助層が
介在していても発明の目的は達成出来る。まだ、第３図
に他の例を示すようにスペーサ一層４１反射層５などの
補助層を欠いている構成の記録媒体もまた本発明に属す
るものである。
本発明の記録媒体の作製方法は、第１図の例について述
べれば、書き込み側基板ｌａ上に下引き層２を蒸着法な
どにより形成し、次いで窒化物又は炭化物と窒化物との
混合物から成る膜７．記録層３、再び窒化物又は炭化物
と窒化物との混合物から成る膜８を順次スパッタリング
などにより形成する。更にその上にスペーサ一層４９反
射層５を蒸着法などにより積層したのち、保護基板１ｂ
を接着層６を介して貼り合わせることにより第１図の構
成の記録媒体が完成する。尚、第１図には示していない
が、耐久性向上の目的で反射層５の上に更に窒化物膜な
どの保護層をスパッタリングなどにより介在させること
も出来る。
べれば、書き込み側基板ｌａ上に下引き層２を蒸着法な
どにより形成し、次いで窒化物又は炭化物と窒化物との
混合物から成る膜７．記録層３、再び窒化物又は炭化物
と窒化物との混合物から成る膜８を順次スパッタリング
などにより形成する。更にその上にスペーサ一層４９反
射層５を蒸着法などにより積層したのち、保護基板１ｂ
を接着層６を介して貼り合わせることにより第１図の構
成の記録媒体が完成する。尚、第１図には示していない
が、耐久性向上の目的で反射層５の上に更に窒化物膜な
どの保護層をスパッタリングなどにより介在させること
も出来る。
以下に本発明を光磁気記録媒体に適用した場合につき実
施例を示して更に具体的に説明する。
施例を示して更に具体的に説明する。
実施例１
プラスチック基板１ａとしてポリアクリレート樹脂板を
用い、下引き層２として約１０００ＸのＳｉＯ膜を蒸着
法により形成し、反応性スパッタリング法により約７０
ＯＡのＣｒＮ膜７を設け、更に磁気記録層３として、約
２００人のＦｅＣｏＧｄＴｂ ４元系非晶質薄膜を高周
波スパッタリングにより成膜し、保護膜８として約２０
０λのＣｒＮ膜８を再び反応性スパッタリングにより成
膜した。次にこの上にスペーサ一層４として１０００Ｘ
のＳｉＯ膜１膜対反射層５て約６００′ＡのＡＪ膜をそ
れぞれ蒸着で形成した。
用い、下引き層２として約１０００ＸのＳｉＯ膜を蒸着
法により形成し、反応性スパッタリング法により約７０
ＯＡのＣｒＮ膜７を設け、更に磁気記録層３として、約
２００人のＦｅＣｏＧｄＴｂ ４元系非晶質薄膜を高周
波スパッタリングにより成膜し、保護膜８として約２０
０λのＣｒＮ膜８を再び反応性スパッタリングにより成
膜した。次にこの上にスペーサ一層４として１０００Ｘ
のＳｉＯ膜１膜対反射層５て約６００′ＡのＡＪ膜をそ
れぞれ蒸着で形成した。
更に接着層６としてシリコン系接着剤を用いてポリアク
リレート樹脂からなる基板１ｂを貼り合わせて第１図の
構成の本発明の光磁気記録媒体を得た。
リレート樹脂からなる基板１ｂを貼り合わせて第１図の
構成の本発明の光磁気記録媒体を得た。
得られた記録媒体に関し、そのカー回転角θｋ。
保磁力ＨＣの測定とともに４５℃、相対湿度９５％の恒
温恒湿槽にて１０００時間のｌｉｔ湿テステストなった
。
温恒湿槽にて１０００時間のｌｉｔ湿テステストなった
。
比較のため、窒化物又は炭化物と窒化物との混合物から
成る膜７，８を設けない他は上記と同様の構成を有する
記録媒体についても試験を行った。
成る膜７，８を設けない他は上記と同様の構成を有する
記録媒体についても試験を行った。
結果は第１表に示すとおりで、本発明の光磁気記録媒体
は磁性特性の劣化も認められず、耐久性が向上した。ま
た記録感度の低下も認められなかった。尚、第１表の耐
湿テスト後の数値は、初期値を１．０とした場合の比率
で示しである。
は磁性特性の劣化も認められず、耐久性が向上した。ま
た記録感度の低下も認められなかった。尚、第１表の耐
湿テスト後の数値は、初期値を１．０とした場合の比率
で示しである。
実施例２
実施例１０ＣｒＮ膜の代りにＺｒＮ膜を保護層７および
８として反応性スパッタリングにより設けた外は実施例
１と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。
８として反応性スパッタリングにより設けた外は実施例
１と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。
実施例１と同様カー回転角保磁力の測定とともに、４５
℃相対湿度９５％の恒温恒湿槽における１０００時間の
耐湿テストを行なった。
℃相対湿度９５％の恒温恒湿槽における１０００時間の
耐湿テストを行なった。
結果は第１表に示した通りで耐久性を向上させろことか
できだ。また、実施例１と同、様、記録感度の低下も認
められなかった。
できだ。また、実施例１と同、様、記録感度の低下も認
められなかった。
実施例３
実施例１のＣｒＮ膜の代りにＢＮ膜を保護層７および８
として反応性スパッタリングにより設けた他は実施例１
と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。この記録
媒体についても実施例１と同様のテストを行なった。そ
の結果は第１表に示した通り、耐久性は向上し、磁気特
性、記録感度。
として反応性スパッタリングにより設けた他は実施例１
と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。この記録
媒体についても実施例１と同様のテストを行なった。そ
の結果は第１表に示した通り、耐久性は向上し、磁気特
性、記録感度。
読み出し効率の劣化は認められなかった。
実施例４
ポリアクリレート樹脂基板１ａの上に下引き層２として
約１０００入の５ｉ０２膜を蒸着により形成し、反応性
スパッタリングにより約７００Ｘの５１３Ｎ４とＳｉＣ
との混合膜７、スパッタリングにより約１００ＯＡのＧ
ｄＴｂＦｅＣｏ ４元系非晶質薄膜３、再び反応性ス
パッタリングにより約２０００Ｘの５１３Ｎ４とＳｉＣ
ととの混合膜８を次々にその上に成膜した。更にシリコ
ン接着剤からなる接着層６を介してポリアクリレート樹
脂基板１ｂを貼り合わせることにょう第３図に示す構成
の光磁気記録媒体を得た。窒化物と炭化物の混合膜７，
８はＳｉターゲットを用い、ＡｒとＣＨ４とＮ２のガス
導入比を９０：５：５とした混合ガス中での反応性スパ
ッタリングにより得たっこの記録媒体についても実施例
１と同様のテストを行なったが実施例１の場合と同様耐
久性は向上し、磁気特性、記録感度、読み出し効率の劣
化は認められなかった。
約１０００入の５ｉ０２膜を蒸着により形成し、反応性
スパッタリングにより約７００Ｘの５１３Ｎ４とＳｉＣ
との混合膜７、スパッタリングにより約１００ＯＡのＧ
ｄＴｂＦｅＣｏ ４元系非晶質薄膜３、再び反応性ス
パッタリングにより約２０００Ｘの５１３Ｎ４とＳｉＣ
ととの混合膜８を次々にその上に成膜した。更にシリコ
ン接着剤からなる接着層６を介してポリアクリレート樹
脂基板１ｂを貼り合わせることにょう第３図に示す構成
の光磁気記録媒体を得た。窒化物と炭化物の混合膜７，
８はＳｉターゲットを用い、ＡｒとＣＨ４とＮ２のガス
導入比を９０：５：５とした混合ガス中での反応性スパ
ッタリングにより得たっこの記録媒体についても実施例
１と同様のテストを行なったが実施例１の場合と同様耐
久性は向上し、磁気特性、記録感度、読み出し効率の劣
化は認められなかった。
実施例５
実施例４のＳｉＣとＳｉ３Ｎ４との混合膜の代りにＳｉ
ＣとＡｎＮとの混合膜を保護層として設けた外は実施例
１と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。ＳｉＣ
とＡＪＮの混合膜は５インチφのＳｉＣ化合物ターゲッ
トの上にほぼｌ Ｑ ｍｍ角のＡ１片を４つ均一に並べ
てＡｒとＮ２の比を１：１とした混合ガス中でスパッタ
リングにより成膜した。
ＣとＡｎＮとの混合膜を保護層として設けた外は実施例
１と同様の膜構成の光磁気記録媒体を作成した。ＳｉＣ
とＡＪＮの混合膜は５インチφのＳｉＣ化合物ターゲッ
トの上にほぼｌ Ｑ ｍｍ角のＡ１片を４つ均一に並べ
てＡｒとＮ２の比を１：１とした混合ガス中でスパッタ
リングにより成膜した。
この記録媒体についても実施例１と同様のテストを行っ
たが実施例１と同様耐久性は向上したつ以上の実施例１
の耐久結果を第１表に示す。
たが実施例１と同様耐久性は向上したつ以上の実施例１
の耐久結果を第１表に示す。
本発明の光学的記録媒体（（よれば、記録層が例えば約
数百Ａの厚さの磁性層であってもその書き込み側基板側
またはその両側に腹自体１ｃ酸素を含まない耐湿性のす
ぐれた窒化物又は炭化物と窒化物との混合物より成る膜
を設けることにより記録媒体の耐食性を顕著に改善出来
る。その効果は、上記窒化物又は炭化物と窒化物との混
合物より成る膜を記録層に相接して設けた場合特にすぐ
れている。またＳｉＯまたはＳ ｉ０２の膜を下引き層
として書き込み側基板上に設けることによりその上に設
ける膜の基板との融合性を向上することが出来る。
数百Ａの厚さの磁性層であってもその書き込み側基板側
またはその両側に腹自体１ｃ酸素を含まない耐湿性のす
ぐれた窒化物又は炭化物と窒化物との混合物より成る膜
を設けることにより記録媒体の耐食性を顕著に改善出来
る。その効果は、上記窒化物又は炭化物と窒化物との混
合物より成る膜を記録層に相接して設けた場合特にすぐ
れている。またＳｉＯまたはＳ ｉ０２の膜を下引き層
として書き込み側基板上に設けることによりその上に設
ける膜の基板との融合性を向上することが出来る。
尚、本発明は光磁気記録媒体に限定されるものでなく、
たとえばカルコゲン化合物の薄膜等、酸化され易い記録
層を有する他の光学的記録媒体の耐食性向上に関しても
同様に効果的である。
たとえばカルコゲン化合物の薄膜等、酸化され易い記録
層を有する他の光学的記録媒体の耐食性向上に関しても
同様に効果的である。
第１図および第３図は本発明の記録媒体、第２図は従来
の記録媒体の各層の構成例の断面略図である。 １ａ・・・書き込み側基板 ２・・・下引き層３・・
・記録層 ４・・・スペーサ一層５・・・
反射層 ６・・・接着層７．８・・・窒化
物又は炭化物と窒化物との混合物から成る膜 １ｂ・・・保護用基板
の記録媒体の各層の構成例の断面略図である。 １ａ・・・書き込み側基板 ２・・・下引き層３・・
・記録層 ４・・・スペーサ一層５・・・
反射層 ６・・・接着層７．８・・・窒化
物又は炭化物と窒化物との混合物から成る膜 １ｂ・・・保護用基板
Claims (3)
- （１）基板に相接してＳｉＯまたはＳｉＯ＿２からなる
下引き層が設けてあり、少なくとも該下引き層と光光的
記録層との間にはアルミニウム、タングステン、ジルコ
ニウム、チタン、ニオブ、バナジウム、ホウ素、クロム
若しくはタンタルの窒化物の膜又は炭化物と窒化物との
混合物からなる膜を有することを特徴とする光学的記録
媒体。 - （２）前記窒化物の膜又は炭化物と窒化物との混合物か
らなる膜の膜厚が１００Å〜２０００Åである特許請求
の範囲第１項記載の光学的記録媒体。 - （３）前記光学的記録層の基板と反対側に更に反射層を
設けた特許請求の範囲第１項記載の光学的記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21144284A JPS6192459A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 光学的記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21144284A JPS6192459A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 光学的記録媒体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3086023A Division JPH04219650A (ja) | 1991-03-27 | 1991-03-27 | 光学的記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6192459A true JPS6192459A (ja) | 1986-05-10 |
| JPH0352143B2 JPH0352143B2 (ja) | 1991-08-09 |
Family
ID=16606022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21144284A Granted JPS6192459A (ja) | 1984-10-11 | 1984-10-11 | 光学的記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6192459A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6242350A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Seiko Epson Corp | 光記録媒体 |
| US5646924A (en) * | 1993-06-07 | 1997-07-08 | Ricoh Company, Ltd. | Recording and simultaneous verifying method of phase-changing type of information recording medium |
| US5916730A (en) * | 1991-10-01 | 1999-06-29 | Ricoh Company, Ltd. | Optical information recording medium and recording method by use of the recording medium |
| US6797741B1 (en) | 1999-06-28 | 2004-09-28 | Maillefer S.A. | Method in connection with processing polymer or elastomer material |
-
1984
- 1984-10-11 JP JP21144284A patent/JPS6192459A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6242350A (ja) * | 1985-08-19 | 1987-02-24 | Seiko Epson Corp | 光記録媒体 |
| US5916730A (en) * | 1991-10-01 | 1999-06-29 | Ricoh Company, Ltd. | Optical information recording medium and recording method by use of the recording medium |
| US5646924A (en) * | 1993-06-07 | 1997-07-08 | Ricoh Company, Ltd. | Recording and simultaneous verifying method of phase-changing type of information recording medium |
| US6797741B1 (en) | 1999-06-28 | 2004-09-28 | Maillefer S.A. | Method in connection with processing polymer or elastomer material |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0352143B2 (ja) | 1991-08-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4920007A (en) | Magneto-optical recording medium with 9:1-1:9 aluminum or silicon oxide and aluminum or silicon nitride mixture | |
| JPH0481817B2 (ja) | ||
| JPS6129437A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2551403B2 (ja) | 光磁気記録素子 | |
| JPH0352142B2 (ja) | ||
| US4711821A (en) | Opto-magnetic recording medium | |
| JPS6192459A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPH04219650A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS60219655A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JP2593206B2 (ja) | 光記録媒体 | |
| JPS6192456A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS6132242A (ja) | 光熱磁気記録媒体 | |
| US4939023A (en) | Opto-magnetic recording medium | |
| JPS62121943A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS60191449A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS61278061A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6192455A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS60197965A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS60197967A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS60205845A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS61160853A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS62295232A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPH0777045B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6148151A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPS6192457A (ja) | 光学的記録媒体 |