JPS6157053A - 光学的記録媒体 - Google Patents

光学的記録媒体

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JPS6157053A
JPS6157053A JP17758784A JP17758784A JPS6157053A JP S6157053 A JPS6157053 A JP S6157053A JP 17758784 A JP17758784 A JP 17758784A JP 17758784 A JP17758784 A JP 17758784A JP S6157053 A JPS6157053 A JP S6157053A
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JP
Japan
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layer
optical recording
recording medium
corrosion
board
Prior art date
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Pending
Application number
JP17758784A
Other languages
English (en)
Inventor
Eizo Sasamori
笹森 栄造
Hiroshi Komata
小俣 宏志
Yoshiaki Suzuki
良明 鈴木
Katsuhide Tamura
田村 勝秀
Katsuhiko Takano
勝彦 高野
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/254Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B7/00Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/241Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
    • G11B7/252Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
    • G11B7/258Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of reflective layers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光ビームにより記録・再生を行うことが可能
な光学的記録媒体に関するものである。
〔従来の技術〕
従来より、光ディスクに用いられる光学的記録媒体とし
ては粍土類−遷移金属の合金薄膜、非晶質から結晶質へ
の相転移を利用したカルコゲン化合物等の還元性酸化物
薄膜、ヒートモード記録奴体、サーモプラスチック記録
媒体等が知られている0例えば、希土類−遷移金属の合
金薄膜で形成される光磁気記録媒体としては1MnB1
. l1nCuBiなどの多結晶薄膜、GdCo、 G
dFe、 TbFe、 DyFe。
GdTbFe、 TbDyFe、 GdFeCo、 T
bFeCo、 GdTbCoなどの非晶質薄膜、 Gd
1GなどのCD結晶が5膜なとが知られている。
これらの薄膜のうち、大面積の薄膜を室温近傍の温度で
製作する際の成nり性、信号を小さな光熱エネルギーで
書き込むための書き込み効率、および古さ込まれた信号
をS/N比よく読み出すための読み出し効率等を勘案し
て、最近では前記非晶質薄膜が光磁気記録媒体用として
優れていると考えられている。特に、GdTbFeはカ
ー回転角も大きく、 150°C前後のキューリ一点を
持つので、光磁気記録媒体用として最適である。
しかしながら、 GdTbFeあるいはGdTbFeC
oをはじめとして、一般に非晶質磁性体は#腐食性が劣
り、湿気を有する雰囲気中では腐食されて磁気特性の劣
化を生じるという欠点がある。特に、S/N比を向上さ
せる目的で磁気記録層の裏面に反射層を設けたり、ある
いは、干渉層と反射層を設けた構成においては、ファラ
デー効果をイ1効に利用する必要から、磁気記録層の厚
ごが500Å以下に制限されるため、耐腐食性がいっそ
う悪化する。また、このような酸化による記録特性の劣
化は、光磁気記録媒体に限らず、光学的記録媒体に共通
の欠点であった。
このような欠点を除くために、従来から光学的記録層の
しに各種の保護層を設けたり、あるいは不活性カスによ
って磁気記録層を封じ込めたエアーサントイクチ構造や
貼合わせ++Saのディスク状光学的記録媒体が提案さ
れているが、いずれも、記録層が酸化され易い材料から
成る場合1例えば厚さ 500八以下の磁性膜から成る
場合は保護効果が不十分であった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、従来の記録媒体に比べ更に耐腐食性に
優れた光学的記録媒体を提供することにある。
〔発明の開示〕 本発明の目的は、以下の光学的記録媒体によって達成さ
れる。
すなわち、基板」二に少なくとも光学的記録層と1反射
層とを共備する光′7的記録媒体において、前記反射層
が金属の41晶質11りであることを特徴とする光学的
記録媒体である。
反射層を形成する金属材料としては、耐食性のものか適
しており、特には、不働態皮膜を形成するものが好まし
い、このような金属は1例えば、Cr、 Ti、 Mo
、 W、 Taなどを単独で、アルイハ、これらと、A
I、 Cu、 Ni、 Co、 Si、 B、 C:な
どの合金などである。
」二足金属を、スパッタリング法、真空ノに着などの方
法により、非晶質となるような条件を選んで薄膜とする
0例えば、基板を十分冷却して低温に保った状態でその
上に速い堆積速度で成IQする、あるいは、非晶質合金
となりやすい合金組成を選んで反射層とするなどの条件
である。
反射層の膜厚は500人〜5000人が好ましい。
非晶質金属は、結晶金属の特性である結晶粒界、転移、
積層欠陥を含まないので、末完1!11の非晶質金属の
反射層は、従来の金属(Cu、 AI、 Niτ)の反
射層に比へ耐食性に優れる。
本発明においては、反射層以外の補助層も必要に応じ設
けることができる。また、エアーサントイクチ構造や貼
合わせ構造にすることもできる。
例えば光学的特性の変化を起こすための加熱を、赤外線
などによる輻射線加熱による場合には、各科の無機ある
いは有機材料例えばGd−Tb・Feの合金 カーボン
・ブラック等の一機顔料、ニグロシン等の有機染料、ア
ジ系の有機顔料などよりなる発Q層を、没けてもよい。
また、誘電体層や、インデックスマークやトラッキング
マークを;I:き込んだ層など種々の補助層を設けるこ
ともできる。
本発明の光学的記録媒体の構成例の略断面図を第1図に
示す、プラスチック又はガラス等からなる透光性基板l
−ヒに、光学的記録層2を設け、その1−に反射層3を
設け、接着層4を介して保護用ノ、(板5と貼り合わせ
る。
反射層3を非晶質金属で形成すると、その強い耐腐食性
によって、たとえ接着剤が吸湿しても、記録層の腐食を
防止することが可能である。
さらに1種々の補助層を設ける場合に複数のクーゲー7
トを持つスパッタ装置を用いて、各層を連続してr(空
を破ることなく形成することにより更に耐腐食性を向上
させることができる。
本発明を具体的に説明するために、以下に実施例を示す
実施例1 第2図に示した構造の光学的記録媒体を次のようにして
製作した。
直径200+am、厚さ1.1mmの青板ガラスを基板
lとし、その上に高周波スパッタ装置を用いてスパッタ
リングによりGdTbFeを膜厚150人に成膜し、磁
性膜より成る記録R2を形成した。その上にひきつづき
同じ装置の中でSiのターゲットを用いArとN2の混
合ガスを使って反応性スパッタリングにより厚さ360
0Aの窒化硅素膜を誘電体層6として形成した。その後
この基板を真空ノヘ着装置にセットして反射層3として
Cu −Cr非晶質合金層を3000人真空蒸若により
形成した。この際基板を20℃に水冷しておき、Cuと
Crをそれぞれ別のポートに入れてf(C積速度30人
/sec以」二で2元蒸着をし、非晶rj nlJとし
た。膜中のC「は8原子%であった。このようにしてで
きた記録層つき基板を接着層4としてシリコン接着剤(
商品名: CY51−019RTV、製造元:東しシリ
コーン)を用いて、保護用基板の青板ガラスと接着した
この記録媒体のIfFJ腐食性を調べるため、85℃、
相対湿度85%の恒温+5湿槽に1000時間放置し、
外観の肉眼的観察と保磁力の変化を調べた。
比較のために、反射層3をCuの結晶金属膜を基板温度
40〜60°C1堆積速度10八/secで蒸着により
3ooo A厚に形成した他は、実施例1と同様に形成
した記録媒体についても同時に耐腐食性を調べた。
外観の肉眼的a察を行なったところ、比較例では、ピン
ホール状の腐食が発生していたが、実施例1は、腐食は
認められず肉眼的変化はなかった。保磁力は、比較例で
は初期値の70%に低下したが、実施例1では低下は初
期値の10%以内であった。
実施例2 実施例1の反射層3をCu−Cr−14oの非晶質合金
にて形成した他は実施例1と同様にして記録媒体を作成
した。非晶質合金膜中のCrは10原子%、MOは3原
子%であった。
この記録媒体について、実施例1と同様に1IIFJf
if食性を調べたところ、肉眼的観察によっては腐食は
認められず、保磁力の低下も10%以下であった。
実施例3 実施例1と同様に基板の上に記録層をスパッタリングで
形成したのち、ひきつづき同じ装置の中でAIのターゲ
ットを用いArとN2の混合ガスを使って反応性スパッ
タリングにより厚さ4000AのAIN膜を誘電体層と
して形成した。ひきつづき同じ装置の中で、 AIとC
rのターゲットを同時にスパッタしてAl−Crの非晶
質合金膜を300OA厚に反射層として形成した。形成
条件は、基板温度20℃、堆積速度20人/secであ
る。 Crの含有Iヨは15原子%であった0次に実施
例1と同じシリコン接着剤を用いて、保護用基板の青板
ガラスと接着した。
この記録媒体について、実施例1と同様に耐腐食性を調
べたところ、肉眼的観察によっては腐食は認められず、
保磁力の低下は3%以下と非常にIIIPl腐食性に優
れていた。
実施例4 第3図のようにトラ−、キング用の案内溝を形成した。
 PMMA!!!ディスク基板7を用いて光磁気記録デ
ィスクを作成した。まずスパッタ装置で窒化硅素膜8を
100OA厚に形成し、その上にひきつづきGdTbF
eCoの非晶質磁性合金膜を200A厚に記録層2とし
て形成した。ひきつづき窒化硅素膜を誘電体層6として
3600 A形成した0次に真空蒸着装置を用い1反射
層3としてCu−Cr−5iの非晶質合金層を形成した
。この際基板を20℃に冷却しておき、堆積速度は20
 A /seeにて形成した。膜厚は3000人、 C
r含有峻は8原子%、Si含右贋は5原子%であった。
このようにして作成したディスク基板を2枚記録層を内
側にして実施例1と同じシリコン接着剤で貼合わせた。
この光磁気ディスクを記録再生装置で評価した0回転数
180Orpm 、記録レーザパワー7mW、再生レー
ザパワー2+aW、波長830nmで、で、 C/N比
は4MHzで45dBであった。このディスクを、45
℃、相対湿度85%恒温恒湿槽に1000時間放i!を
後再び評価したところC/N比は43dBであった。外
観を肉眼観察したところ、腐食は認められなかった。
比較のために、反射層3をCuの結晶金属膜を300O
A厚に形成した他は、実施例4と同様に形成した光磁気
ディスクについても同様に評価した。
初期のC/N比は46dBと実施例1と同等であったが
、45℃、相対湿度95%の恒温恒湿槽に1000時間
放置後のC/N比は34dBと低下し、外観を肉眼観察
したところ、腐食部分の変色が認められた。
実施例では、光学的記録層と反射層の間に誘電体層など
の補助層を設けたが、光学的記録層の上に1反射層を直
接形成しても良く、この場合には、更に耐食性を向上さ
せることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は、本発明の光学的記録媒体の略断面図
である。 1・・・フ、(板      2・・・光学的記録層3
・・・反射層     4・・・接71層5・・・保護
用)1(板   6・・・誘電体層7・・・案内構を右
するディスクツ、(板8・・・窒化硅素膜 第1図 第2図 第3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 基板上に少なくとも光学的記録層と、反射層とを具備す
    る光学的記録媒体において、前記反射層が、金属の非晶
    質膜であることを特徴とする光学的記録媒体。
JP17758784A 1984-08-28 1984-08-28 光学的記録媒体 Pending JPS6157053A (ja)

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JP17758784A JPS6157053A (ja) 1984-08-28 1984-08-28 光学的記録媒体

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS644938A (en) * 1987-06-26 1989-01-10 Mitsubishi Chem Ind Magneto-optical recording medium
JPH02302947A (ja) * 1989-05-16 1990-12-14 Fuji Photo Film Co Ltd 光磁気記録媒体
US5093174A (en) * 1989-07-04 1992-03-03 Teijin Limited Optical recording medium

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