JPS59127232A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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Publication number
JPS59127232A
JPS59127232A JP58002454A JP245483A JPS59127232A JP S59127232 A JPS59127232 A JP S59127232A JP 58002454 A JP58002454 A JP 58002454A JP 245483 A JP245483 A JP 245483A JP S59127232 A JPS59127232 A JP S59127232A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin film
magnetic recording
recording medium
diamond structure
carbon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP58002454A
Other languages
English (en)
Inventor
Akihiko Kawachi
河内　明彦
Mamoru Sugimoto
守 杉本
Satoshi Nehashi
聡 根橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Suwa Seikosha KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp, Suwa Seikosha KK filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP58002454A priority Critical patent/JPS59127232A/ja
Publication of JPS59127232A publication Critical patent/JPS59127232A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
    • G11B5/727—Inorganic carbon protective coating, e.g. graphite, diamond like carbon or doped carbon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は表面にダイヤモンｌ、”　＄造を含んたＩｙの
薄膜を形成した磁気記録媒体に関する・情報処理様器の
発達に併りい勝気記録装置に対する要望が捷すます厳し
くなってきている。フレキシブルディスク、ハードディ
スク、干−ブと形態はさまざまであるがその要求される
ところは小面積もしくは小体積で高容量の信呆配＠を行
りうことである。磁気記録媒体材料として従来のｒ酸化
鉄に替わってＯｒ　ＯＢ　＊　ＣＯ変性酸化鉄、更には
蒸着ＣＯ等高密度記録に適応する材質が見出されている
。更に信頼性についてもフレキシブルディスクの場合ｔ
ｄ　３００万バス、ハードティスフの場合は２万回のａ
ＳＳ後もヘッド及び媒体に損傷が々（、かつ電磁変換特
性の劣化が認められないことが要求されている。これを
遠戚するために５１０２やＳｉ、Ｎａ々どの過膜′（ｉ
−表面に形成することが行りわれている。これらの薄膜
は絶縁体であるために表面が帯電し、やすく、周辺のほ
こりを吸着することがしばしばある、ｆｆｌわち表面硬
度は硬（かったほこりのために憂勿記録媒体もしくはヘ
ッドヲ損傷することが起きるようになった。
本発明はこのような欠点がな（、表面硬度が硬く、かつ
帯電し方（てほこりを吸着し７ガい磁気記録媒体を完成
したものである。
本発明の目的は信頼性の高い研偲ｄｅ録媒体を提供する
ことにある。
カーボンはその同素体としてグラファイトとダイヤモン
ドがあり、いずわも＃４．電性を示す。特にダイヤモン
ドは硬度が硬いことは周知のことである７グラフアイト
は潤滑性能にすぐれていることも周知である。
ダイヤモンド構造を含んだ薄膜げイオンビームスパッタ
やプラズマＣｙＤ％レーザー蒸着等により形成される。
本発明は磁気記録媒体のｔ面にこのダイヤモンド構造を
含むカーボンの薄膜を形成することにより信頼性を飛躍
的に向上させたものである＾ダイヤモンド構造を含むカ
ーボン薄膜ノ厚み−は１０００オングストローム以下で
も充分その効果を示した、又カーボン薄膜中にダイヤモ
ンド構造以外のグラファイト構造を含んでいても効果け
そこ１弥ることはｈかった。
以下に実施例について本発明を説明すふ、実施例１゜ １１＋＋＋＋＋厚で１２５−径のアルミニウム基板上に
反応性スパッタに工りγＦｅ５０ｍ　の薄膜を形成した
。
更にその上にグラファイトをターゲットとしてイオンビ
ーム照射を行ない１表面にダイヤモンド構造カーボン薄
膜１０００オングストロームを形成した。との磁気記録
媒体は表面に特に潤滑剤を徐布せずにヘッドとの接触、
即ちＯＥ３Ｓ？２万回以上行斤っても表面に何の損傷も
なく、はこりが付着することもなかった。
実施例２ アルミ基板上にパーマロ４０５ミクロン、ｃ。
−Ｃｉ　ｒ　Ｏ，５ミクロンをスパッタリングで形成し
た。
Ｏｏ　−Ｃｒ薄膜はＯｒを１Ｓａｔ係含有している。
このＣ〇−Ｃｒ薄膜の表面に、真空中でダイヤモンド微
粒子にレーザーを照射して昇華して（る成分を付着せし
めた、はとんどダイヤモンド構造のカーボン薄膜で厚み
は５００オングストロームあった、この媒体ｉｌ″１２
万回以上のｃｓｓに耐えた。
実施例６゜ 硬質ガラス基板上ＶＣＯ含有γＦｅ１ｏｎ　　の薄膜を
形ｂ７シ、更にその上にメタンガスを用いた高周波プラ
ズマにエリダイヤモンド構造とグラファイト構造を含む
カーボン薄膜を１０００オングストローム形成Ｌ１ｃ、
ｃｐｓけ２万個以上行りったが伺ら損傷に認められなか
った。
実施例４ アル、ミ基板上に無ＫＭメッキにエリＮ　ｉ　−Ｆ層を
２５μｍ形威し、更にタングステンを含有するＣ　Ｏ−
Ｎ　ｉ　−Ｐを５μｍ無電解メッキで形成した。
更にそｄ上に真空中でイオンガン中にメタンガスを導入
してイオン化上せてダイヤモンド−造含有カーボン膜を
１０００オングストローム形成し、た。
特に潤滑剤を塗布しｈ（てもＣ３ＥＩは２万回をクリア
ーした。　　− 以上実施例について詳述した如く表面にダイヤモンド゛
構造含有カーボン薄膜を形成した本発明勝気８ｅ＠媒体
は信頼性について抜群の性能を示し。
その工業的ダｌ来は非常に大きい、 以上 出願人　株式会社　卵訪精工舎

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 表面にダイヤモンド゛構造を含むカーボンのｋ　Ｈａケ
    形戚し／ζこと全特徴とする磁気記録媒体、
JP58002454A 1983-01-11 1983-01-11 磁気記録媒体 Pending JPS59127232A (ja)

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JP58002454A JPS59127232A (ja) 1983-01-11 1983-01-11 磁気記録媒体

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