JPS6248286B2 - - Google Patents
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- JPS6248286B2 JPS6248286B2 JP53163482A JP16348278A JPS6248286B2 JP S6248286 B2 JPS6248286 B2 JP S6248286B2 JP 53163482 A JP53163482 A JP 53163482A JP 16348278 A JP16348278 A JP 16348278A JP S6248286 B2 JPS6248286 B2 JP S6248286B2
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- Japan
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- wear
- magnetic head
- resistant
- resistant material
- layer
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 19
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 claims description 2
- -1 alumina Chemical class 0.000 claims 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052580 B4C Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/255—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features comprising means for protection against wear
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気ヘツドに関するもので、耐摩耗性
の向上を目的としたものである。
の向上を目的としたものである。
従来、この種の磁気ヘツドは第１図に示す如
く、中央上端部にスペーサー１を介在した、コア
材２から構成されヘツド面３が凸面状に成形され
て磁気記録媒体が摺動するようになつている。そ
の際、磁気ヘツドのヘツド面３が摩耗し、この摩
耗が磁気ヘツドの寿命を決めていた。従つて磁気
ヘツドの使用に際してその摩耗特性の向上は重要
な問題となつていた。
く、中央上端部にスペーサー１を介在した、コア
材２から構成されヘツド面３が凸面状に成形され
て磁気記録媒体が摺動するようになつている。そ
の際、磁気ヘツドのヘツド面３が摩耗し、この摩
耗が磁気ヘツドの寿命を決めていた。従つて磁気
ヘツドの使用に際してその摩耗特性の向上は重要
な問題となつていた。
本発明は上記の問題を解決し摩耗特性の優れた
磁気ヘツドを提供するものである。
磁気ヘツドを提供するものである。
以下本発明の構成及び効果を実施例に従い図面
を用いて説明する。第２図においてコア材４のギ
ヤツプ５部分にスペーサー６を介在させ、磁気記
録媒体が摺動するヘツド面７に耐摩耗性材料層８
が設けられている。この耐摩耗性材料層８はギヤ
ツプ５の部分を除いたヘツド面７に例えばスパツ
タ蒸着法により形成されている。以下耐摩耗性材
料層８の材料としてアルミナ（Al2O3）、シリコ
ンカーバイド（SiC）を用いてスパツタ蒸着した
場合につき説明する。まず例えばアルミナ被膜を
形成する場合、スパツタターゲートとしてアルミ
ナ板を用いアルゴン（Ar）雰囲気中でスパツタ
蒸着する。コア材４を室温から500℃までスパツ
タ蒸着中に加熱する。アルミナの場合、スパツタ
蒸着中にコア材４を加熱することによる接着強度
の差異は実用上問題はない。またシリコンカーバ
イド被膜を形成する場合はシリコンカーバイド板
をターゲツトとしてアルゴン雰囲気中でスパツタ
蒸着すると機械的強度の大きい膜、例えばビツカ
ーズ硬度4000Kg／mm2の膜が得られることを出願人
等は発見した。この場合コア材４の温度を室温か
ら150℃前後の加熱において蒸着後に剥離するこ
とがある。もつとも150℃以上に加熱した場合剥
離することは少ないがコア材４の特性が劣化する
ので150℃以下の温度での蒸着が望まれる。しか
るに、室温から150℃前後の加熱においてもシリ
コンカーバイドをスパツタ蒸着する前に、150℃
以下の温度にてアルミナ或はチタニア、シリコン
オキサイド等を100〜500Å程度スパツタ蒸着し、
これに続いてシリコンカーバイドを蒸着した場合
は接着層の非結晶性が強いためにシリコンカーバ
イドに対する接着性が向上し、接着強度は実用上
問題がない事を本出願人等は発見した。また耐摩
耗性材料層８の厚さはギヤツプ５の部分からコア
材４の両側面４ａ，４ｂ方向に向つて順次厚さが
増加するテーパ状に形成すると、磁気テープの走
行による目づまりも少なくなり磁気ヘツドの寿命
が伸長すると共に磁気テープの寿命も伸長する事
を本出願人等は発見した。
を用いて説明する。第２図においてコア材４のギ
ヤツプ５部分にスペーサー６を介在させ、磁気記
録媒体が摺動するヘツド面７に耐摩耗性材料層８
が設けられている。この耐摩耗性材料層８はギヤ
ツプ５の部分を除いたヘツド面７に例えばスパツ
タ蒸着法により形成されている。以下耐摩耗性材
料層８の材料としてアルミナ（Al2O3）、シリコ
ンカーバイド（SiC）を用いてスパツタ蒸着した
場合につき説明する。まず例えばアルミナ被膜を
形成する場合、スパツタターゲートとしてアルミ
ナ板を用いアルゴン（Ar）雰囲気中でスパツタ
蒸着する。コア材４を室温から500℃までスパツ
タ蒸着中に加熱する。アルミナの場合、スパツタ
蒸着中にコア材４を加熱することによる接着強度
の差異は実用上問題はない。またシリコンカーバ
イド被膜を形成する場合はシリコンカーバイド板
をターゲツトとしてアルゴン雰囲気中でスパツタ
蒸着すると機械的強度の大きい膜、例えばビツカ
ーズ硬度4000Kg／mm2の膜が得られることを出願人
等は発見した。この場合コア材４の温度を室温か
ら150℃前後の加熱において蒸着後に剥離するこ
とがある。もつとも150℃以上に加熱した場合剥
離することは少ないがコア材４の特性が劣化する
ので150℃以下の温度での蒸着が望まれる。しか
るに、室温から150℃前後の加熱においてもシリ
コンカーバイドをスパツタ蒸着する前に、150℃
以下の温度にてアルミナ或はチタニア、シリコン
オキサイド等を100〜500Å程度スパツタ蒸着し、
これに続いてシリコンカーバイドを蒸着した場合
は接着層の非結晶性が強いためにシリコンカーバ
イドに対する接着性が向上し、接着強度は実用上
問題がない事を本出願人等は発見した。また耐摩
耗性材料層８の厚さはギヤツプ５の部分からコア
材４の両側面４ａ，４ｂ方向に向つて順次厚さが
増加するテーパ状に形成すると、磁気テープの走
行による目づまりも少なくなり磁気ヘツドの寿命
が伸長すると共に磁気テープの寿命も伸長する事
を本出願人等は発見した。
次に本発明の効果について説明する。第３図は
摩耗試験の結果である。摩耗試験は温度30゜±１
℃、湿度76±６％の環境において、磁気テープを
実際に走行せしめて行なつた。横軸は走行時間
（Hr）縦軸はギヤツプ５部分の摩耗量（μｍ）を
示す。実線ａは耐摩耗性材料層８の無い従来の磁
気ヘツドの結果、ｂは２μｍ厚のアルミナによる
耐摩耗性材料層８を有する磁気ヘツドの結果、実
線ｃは界面に接着層を有する２μｍ厚のシリコン
カーバイドによる耐摩耗性材料層８を有する磁気
ヘツドの結果である。各々の摩耗量は200時間走
行後、磁気ヘツド各10個についての平均値はａの
場合24μｍ、ｂの場合18μｍ、ｃの場合14μｍで
あつた。わずか２μｍ厚のアルミナ又はシリコン
カーバイドの耐摩耗性材料層８を形成せしめるこ
とにより、1.3〜1.6倍の耐摩耗特性の向上が得ら
れた。また耐摩耗性材料層８の形成により摩耗量
のバラツキが著しく減少し、特性も安定するとい
う期待外の効果も得られた。更に扱い中における
磁気ヘツドの欠けも大幅に減少した。またチタン
カーバイド又はタングステンカーバイドを耐摩耗
性材料として用いた場合、1.5〜1.6倍の効果が得
られる事をも本願出願人等は発見した。なおこの
場合接着層として各々チタニア層、アルミナ層或
はシリコンオキサイド層を設けた。また耐摩耗性
材料としてボロンカーバイド、チタニア、ジルコ
ニアを用いた場合、1.2〜1.5倍の効果があり、ま
た窒化チタン、窒化ボロンの場合も同様の効果が
あり、実用上有効である事を本出願人等は発見し
た。
摩耗試験の結果である。摩耗試験は温度30゜±１
℃、湿度76±６％の環境において、磁気テープを
実際に走行せしめて行なつた。横軸は走行時間
（Hr）縦軸はギヤツプ５部分の摩耗量（μｍ）を
示す。実線ａは耐摩耗性材料層８の無い従来の磁
気ヘツドの結果、ｂは２μｍ厚のアルミナによる
耐摩耗性材料層８を有する磁気ヘツドの結果、実
線ｃは界面に接着層を有する２μｍ厚のシリコン
カーバイドによる耐摩耗性材料層８を有する磁気
ヘツドの結果である。各々の摩耗量は200時間走
行後、磁気ヘツド各10個についての平均値はａの
場合24μｍ、ｂの場合18μｍ、ｃの場合14μｍで
あつた。わずか２μｍ厚のアルミナ又はシリコン
カーバイドの耐摩耗性材料層８を形成せしめるこ
とにより、1.3〜1.6倍の耐摩耗特性の向上が得ら
れた。また耐摩耗性材料層８の形成により摩耗量
のバラツキが著しく減少し、特性も安定するとい
う期待外の効果も得られた。更に扱い中における
磁気ヘツドの欠けも大幅に減少した。またチタン
カーバイド又はタングステンカーバイドを耐摩耗
性材料として用いた場合、1.5〜1.6倍の効果が得
られる事をも本願出願人等は発見した。なおこの
場合接着層として各々チタニア層、アルミナ層或
はシリコンオキサイド層を設けた。また耐摩耗性
材料としてボロンカーバイド、チタニア、ジルコ
ニアを用いた場合、1.2〜1.5倍の効果があり、ま
た窒化チタン、窒化ボロンの場合も同様の効果が
あり、実用上有効である事を本出願人等は発見し
た。
更に本発明の実施例に用いた磁気ヘツドは、比
較的耐摩耗特性の良いとされているフエライトを
用いたにもかゝわらず大きな効果が得られた。ま
して、耐摩耗特性の悪いパーマロイ、センダスト
などを用いれば絶大な効果が得られる。
較的耐摩耗特性の良いとされているフエライトを
用いたにもかゝわらず大きな効果が得られた。ま
して、耐摩耗特性の悪いパーマロイ、センダスト
などを用いれば絶大な効果が得られる。
本発明は以上の説明から明らかのように、磁気
記録媒体が摺動走行する磁気ヘツドのヘツド面に
接着層を介して耐摩耗性材料層を設けたことによ
り、接着強度および耐摩耗性を向上させて磁気ヘ
ツドの寿命を大幅に延長させることが出来ると共
に安定した特性を得ることが出来産業上の価値は
大なるものである。
記録媒体が摺動走行する磁気ヘツドのヘツド面に
接着層を介して耐摩耗性材料層を設けたことによ
り、接着強度および耐摩耗性を向上させて磁気ヘ
ツドの寿命を大幅に延長させることが出来ると共
に安定した特性を得ることが出来産業上の価値は
大なるものである。
第１図は従来の磁気ヘツドの平面図、第２図は
本発明実施例の磁気ヘツドの平面図、第３図は摩
耗試験の結果を示すグラフである。 ４…コア材、５…ギヤツプ、６…スペーサー、
７…ヘツド面、８…耐摩耗性材料層。
本発明実施例の磁気ヘツドの平面図、第３図は摩
耗試験の結果を示すグラフである。 ４…コア材、５…ギヤツプ、６…スペーサー、
７…ヘツド面、８…耐摩耗性材料層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ フエライトからなるコア材の磁気記録媒体が
接触するヘツド面にギヤツプ部分を除いて、シリ
コンカーバイド、チタンカーバイド、タングステ
ンカーバイド等の炭化物のうち少なくとも１つの
材料を含有する耐摩耗性材料層を設け、前記ヘツ
ド面と前記耐摩耗性材料層との界面に、アルミ
ナ、チタニア、シリコンオキサイドなどの金属酸
化物のうち少なくとも１つの材料を含有する接着
層をスパツタ蒸着で形成したことを特徴とする耐
摩耗性磁気ヘツド。 ２ 耐摩耗性材料層は層厚がギヤツプ部分からコ
ア材の両側面方向に向つて、順次厚さが増加する
テーパー状に形成されていることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の耐摩耗性磁気ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16348278A JPS5589915A (en) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | Magnetic head of wear resistant performance |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16348278A JPS5589915A (en) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | Magnetic head of wear resistant performance |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5589915A JPS5589915A (en) | 1980-07-08 |
| JPS6248286B2 true JPS6248286B2 (ja) | 1987-10-13 |
Family
ID=15774704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16348278A Granted JPS5589915A (en) | 1978-12-28 | 1978-12-28 | Magnetic head of wear resistant performance |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5589915A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4649448A (en) * | 1983-06-03 | 1987-03-10 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic head having a sliding surface |
| JPS60226455A (ja) * | 1984-04-19 | 1985-11-11 | 日立金属株式会社 | 磁気ヘツド用非磁性セラミツクス |
| CN1008844B (zh) * | 1984-10-02 | 1990-07-18 | 株式会社日立制作所 | 薄膜磁头滑块和制备薄膜磁头滑块材料的方法 |
| FR2597247B1 (fr) * | 1986-04-11 | 1995-01-27 | Thomson Csf | Procede de realisation d'une couche de protection mecanique pour tete magnetique d'enregistrement/lecture et tete magnetique d'enregistrement/lecture mettant en oeuvre ce procede |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034814A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-03 | ||
| JPS51128514A (en) * | 1975-05-01 | 1976-11-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Wear-resistant magnetic head core |
| JPS52143809A (en) * | 1976-05-25 | 1977-11-30 | Seiko Epson Corp | Magnetic head |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5632978Y2 (ja) * | 1972-07-07 | 1981-08-05 | ||
| JPS50109613U (ja) * | 1974-02-15 | 1975-09-08 |
-
1978
- 1978-12-28 JP JP16348278A patent/JPS5589915A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5034814A (ja) * | 1973-07-30 | 1975-04-03 | ||
| JPS51128514A (en) * | 1975-05-01 | 1976-11-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Wear-resistant magnetic head core |
| JPS52143809A (en) * | 1976-05-25 | 1977-11-30 | Seiko Epson Corp | Magnetic head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5589915A (en) | 1980-07-08 |
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