JPH10199968A5 - - Google Patents
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- JPH10199968A5 JPH10199968A5 JP1997003216A JP321697A JPH10199968A5 JP H10199968 A5 JPH10199968 A5 JP H10199968A5 JP 1997003216 A JP1997003216 A JP 1997003216A JP 321697 A JP321697 A JP 321697A JP H10199968 A5 JPH10199968 A5 JP H10199968A5
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP321697A JPH10199968A (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | 半導体装置及び半導体装置の素子間分離溝の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP321697A JPH10199968A (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | 半導体装置及び半導体装置の素子間分離溝の形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10199968A JPH10199968A (ja) | 1998-07-31 |
| JPH10199968A5 true JPH10199968A5 (enExample) | 2004-09-02 |
Family
ID=11551253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP321697A Pending JPH10199968A (ja) | 1997-01-10 | 1997-01-10 | 半導体装置及び半導体装置の素子間分離溝の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10199968A (enExample) |
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1997
- 1997-01-10 JP JP321697A patent/JPH10199968A/ja active Pending
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