JPH10199968A - 半導体装置及び半導体装置の素子間分離溝の形成方法 - Google Patents

半導体装置及び半導体装置の素子間分離溝の形成方法

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JPH10199968A JP321697A JP321697A JPH10199968A JP H10199968 A JPH10199968 A JP H10199968A JP 321697 A JP321697 A JP 321697A JP 321697 A JP321697 A JP 321697A JP H10199968 A JPH10199968 A JP H10199968A
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