JPH10189743A - 半導体集積回路及び半導体集積回路の配線レイアウト方法 - Google Patents

半導体集積回路及び半導体集積回路の配線レイアウト方法

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JPH10189743A
JPH10189743A JP8344350A JP34435096A JPH10189743A JP H10189743 A JPH10189743 A JP H10189743A JP 8344350 A JP8344350 A JP 8344350A JP 34435096 A JP34435096 A JP 34435096A JP H10189743 A JPH10189743 A JP H10189743A
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昇 横田
Takashi Iida
隆司 飯田
Masashi Takase
正史 高瀬
Shigenori Ichinose
茂則 一ノ瀬
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Abstract

(57)【要約】 【課題】内部セル領域の周辺部に入出力セル領域を配列
すると共に、入出力セル領域列とチップの辺との間にパ
ッドを配列する半導体集積回路に関し、チップ面を有効
に使用し、内部セルの増大化又はチップの小型化を図
る。 【解決手段】内部セル領域9の周辺部に、入出力セルが
必要とする面積に応じて、幅Wを同一とし、奥行Dを異
にしてなる種々の面積を有する入出力セル領域8を配列
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、内部セル領域の周
辺部に入出力セル領域を配列すると共に、入出力セル領
域列とチップの辺との間にパッドを配列する半導体集積
回路、及び、半導体集積回路の配線レイアウト方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】図17は従来の半導体集積回路の一例を
示す概略的平面図である。図17中、1は半導体チッ
プ、2はパッド、3は入出力セルが形成されている入出
力セル領域、4は内部セルが形成されている内部セル領
域である。
【0003】即ち、この半導体集積回路は、内部セル領
域4の周辺部に同一の大きさの入出力セル領域3を配列
し、これら入出力セル領域3の1個あるいは複数個を単
位として個々の入出力セルを形成しているものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、入出力セルに
は、機能上、多種多様のものがあり、個々の入出力セル
が実際に必要とする面積が入出力セル領域3の1個又は
複数個の面積と一致しない場合があり、このため、図1
7に示す従来の半導体集積回路においては、チップ面を
有効に使用していない場合があるという問題点があっ
た。
【0005】また、図17に示すような半導体集積回路
においては、従来、自己には必要でないが、他の入出力
セルには必要である配線パターンを備えてなる入出力セ
ルを用意することにより配線レイアウトが行われてい
た。
【0006】このような従来の半導体集積回路の配線レ
イアウト方法においては、配線レイアウトに自由度が少
なく、配線レイアウトを容易に行うことができないとい
う問題点があった。
【0007】本発明は、かかる点に鑑み、チップ面を有
効に使用し、内部セルの増大化又はチップの小型化を図
ることができるようにした半導体集積回路を提供するこ
とを第1の目的とし、配線レイアウトを容易に行うこと
ができるようにした半導体集積回路の配線レイアウト方
法を提供することを第2の目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明中、第1の発明
(請求項1記載の半導体集積回路)は、内部セル領域の
周辺部に入出力セル領域を配列すると共に、入出力セル
領域列とチップの辺との間にパッドを配列する半導体集
積回路において、入出力セル領域は、入出力セルが必要
とする面積に応じた面積とされているというものであ
る。
【0009】この第1の発明によれば、入出力セル領域
は、入出力セルが必要とする面積に応じた面積とされて
いるので、入出力セルを形成するについて、チップ面を
無駄に使用することがない。
【0010】したがって、第1の発明によれば、チップ
面積を従来例と同一にする場合には、内部セル領域の面
積を拡大し、内部セルの増大化を図ることができ、内部
セル領域の面積を従来例と同一とする場合には、チップ
面を縮小し、チップの小型化を図ることができる。
【0011】本発明中、第2の発明(請求項2記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セル領
域のうち、チップ面のコーナ部に配置されている入出力
セル領域に部分的に囲まれている領域に入出力セル領域
が設けられているというものである。
【0012】本発明中、第3の発明(請求項3記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セル領
域は、配列方向と直交する方向の辺の長さを配列方向と
同一方向の辺の長さの整数倍とされているというもので
ある。
【0013】本発明中、第4の発明(請求項4記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、チップ面のコ
ーナ部側に、配列方向と直交する方向の辺の長さを短く
する入出力セル領域が配置されているというものであ
る。
【0014】本発明中、第5の発明(請求項5記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セル領
域は、配列方向と同一方向の辺の長さを同一とされてい
るというものである。
【0015】本発明中、第6の発明(請求項6記載の半
導体集積回路)は、第5の発明において、パッドの配列
ピッチ及び入出力セル領域の配列方向と直交する方向の
辺の長さは、所定の長さの整数倍であるというものであ
る。
【0016】本発明中、第7の発明(請求項7記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セル領
域は、配列方向と同一方向の辺の長さを異にするものを
含んでいるというものである。
【0017】本発明中、第8の発明(請求項8記載の半
導体集積回路)は、第7の発明において、パッドの配列
ピッチ及び入出力セル領域の配列方向と同一方向の辺の
長さは、所定の長さの整数倍であるというものである。
【0018】本発明中、第9の発明(請求項9記載の半
導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セル領
域は、パッド側に凹凸ができず、内部セル領域側に凹凸
ができるように配列されているというものである。
【0019】本発明中、第10の発明(請求項10記載
の半導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セ
ル領域は、パッド側に凹凸ができ、内部セル領域側に凹
凸ができないように配列されているというものである。
【0020】本発明中、第11の発明(請求項11記載
の半導体集積回路)は、第1の発明において、入出力セ
ル領域は、パッド側及び内部セル領域側に凹凸ができる
ように配列されているというものである。
【0021】本発明中、第12の発明(請求項12記載
の半導体集積回路の配線レイアウト方法)は、半導体集
積回路の配線レイアウト方法において、自己に必要な配
線パターンのみを有し、必要に応じて他の入出力セルの
配線パターン間を接続できる配線パターンをレイアウト
することができる構造を有する入出力セルを含めて配線
レイアウトを行うというものである。
【0022】この第12の発明によれば、自己に必要な
配線パターンのみを有し、必要に応じて他の入出力セル
の配線パターン間を接続できる配線パターンをレイアウ
トすることができる構造を有する入出力セルを含めて配
線レイアウトを行うとしているので、配線レイアウトに
自由度が増す。
【0023】本発明中、第13の発明(請求項13記載
の半導体集積回路の配線レイアウト方法)は、第12の
発明において、入出力セルとして、配線パターンを有し
ていないセルを使用するというものである。
【0024】この第13の発明によれば、自己に必要な
配線パターンのみを有し、必要に応じて他の入出力セル
の配線パターン間を接続できる配線パターンをレイアウ
トすることができる構造を有する入出力セルを含めると
共に、入出力セルとして、配線パターンを有していない
セルを使用するとしているので、第12の発明以上に配
線レイアウトに自由度が増す。
【0025】
【発明の実施の形態】以下、図1〜図16を参照して、
本発明による半導体集積回路の実施の第1形態〜第6形
態及び本発明による半導体集積回路の配線レイアウト方
法の実施の一形態について説明する。
【0026】(1)本発明による半導体集積回路の実施
の第1形態 図1は本発明による半導体集積回路の実施の第1形態を
示す概略的平面図である。図1中、6は半導体チップ、
7はパッド、8は入出力セル領域、9は内部セル領域で
ある。
【0027】即ち、本発明による半導体集積回路の実施
の第1形態は、内部セル領域9の周辺部に、入出力セル
が必要とする面積に応じて、幅Wを同一とし、奥行Dを
異にしてなる種々の面積を有する入出力セル領域8を、
パッド7側には凹凸ができず、内部セル領域9側に凹凸
ができるように配列したものである。
【0028】このように、本発明による半導体集積回路
の実施の第1形態においては、入出力セル領域8は、入
出力セルが必要とする面積に応じた種々の面積とされて
いるので、入出力セルを形成するについて、チップ面を
無駄に使用することがない。
【0029】そこで、また、内部セル領域9を、その外
周部がほぼ入出力セル領域8に沿うように形成する場合
には、内部セルを形成するについて、チップ面を無駄に
使用することがない。
【0030】したがって、本発明による半導体集積回路
の実施の第1形態によれば、チップ面積を従来例と同一
にする場合には、内部セル領域9の面積を拡大し、内部
セルの増大化を図ることができ、内部セル領域9の面積
を従来例と同一とする場合には、チップ面を縮小し、チ
ップの小型化を図ることができる。
【0031】(2)本発明による半導体集積回路の実施
の第2形態 図2は本発明による半導体集積回路の実施の第2形態を
示す概略的平面図である。図2中、11は半導体チッ
プ、12はパッド、13は入出力セル領域、14は内部
セル領域である。
【0032】即ち、本発明による半導体集積回路の実施
の第2形態は、内部セル領域14の周辺部に、入出力セ
ルが必要とする面積に応じて、幅Wを同一とし、奥行D
を異にしてなる種々の面積を有する入出力セル領域13
を、パッド12側に凹凸ができ、内部セル領域14側に
は凹凸ができないように配列したものである。
【0033】このように、本発明による半導体集積回路
の実施の第2形態においては、入出力セル領域13は、
入出力セルが必要とする面積に応じた種々の面積とされ
ているので、入出力セルを形成するについて、チップ面
を無駄に使用することがない。
【0034】そこで、また、内部セル領域14を、その
外周部がほぼ入出力セル領域13に沿うように形成する
場合には、内部セルを形成するについて、チップ面を無
駄に使用することがない。
【0035】したがって、本発明による半導体集積回路
の実施の第2形態によれば、チップ面積を従来例と同一
にする場合には、内部セル領域14の面積を拡大し、内
部セルの増大化を図ることができ、内部セル領域14の
面積を従来例と同一とする場合には、チップ面を縮小
し、チップの小型化を図ることができる。
【0036】(3)本発明による半導体集積回路の実施
の第3形態 図3は本発明による半導体集積回路の実施の第3形態を
示す概略的平面図である。図3中、16は半導体チッ
プ、17はパッド、18は入出力セル領域、19は内部
セル領域である。
【0037】即ち、本発明による半導体集積回路の実施
の第3形態は、内部セル領域19の周辺部に、入出力セ
ルが必要とする面積に応じて、幅Wを同一とし、奥行D
を異にしてなる種々の面積を有する入出力セル領域18
を、入出力セル領域列21、22については、パッド1
7側には凹凸ができず、内部セル領域19側に凹凸がで
きるように配列し、入出力セル領域列23については、
パッド17側に凹凸ができ、内部セル領域19側には凹
凸ができないように配列し、入出力セル領域列24につ
いては、パッド17側及び内部セル領域19側に凹凸が
できるように配列したものである。
【0038】このように、本発明による半導体集積回路
の実施の第3形態においては、入出力セル領域18は、
入出力セルが必要とする面積に応じた種々の面積とされ
ているので、入出力セルを形成するについて、チップ面
を無駄に使用することがない。
【0039】そこで、また、内部セル領域19を、その
外周部がほぼ入出力セル領域18に沿うように形成する
場合には、内部セルを形成するについて、チップ面を無
駄に使用することがない。
【0040】したがって、本発明による半導体集積回路
の実施の第3形態によれば、チップ面積を従来例と同一
にする場合には、内部セル領域19の面積を拡大し、内
部セルの増大化を図ることができ、内部セル領域19の
面積を従来例と同一とする場合には、チップ面を縮小
し、チップの小型化を図ることができる。
【0041】(4)本発明による半導体集積回路の実施
の第4形態 図4は本発明による半導体集積回路の実施の第4形態を
示す概略的平面図であり、本発明による半導体集積回路
の実施の第4形態は、入出力セル領域8のうち、チップ
面のコーナ部26に設けられている2個の入出力セル領
域8A、8Bに部分的に囲まれている領域に入出力セル
領域27、28、29、30を設け、その他について
は、図1に示す本発明による半導体集積回路の実施の第
1形態と同様に構成したものである。
【0042】本発明による半導体集積回路の実施の第4
形態によれば、本発明による半導体集積回路の実施の第
1形態と同様に、チップ面積を従来例と同一にする場合
には、内部セル領域9の面積を拡大し、内部セルの増大
化を図ることができ、内部セル領域9の面積を従来例と
同一とする場合には、チップ面を縮小し、チップの小型
化を図ることができると共に、入出力セルを増やすこと
ができる。
【0043】(5)本発明による半導体集積回路の実施
の第5形態 図5は本発明による半導体集積回路の実施の第5形態を
示す概略的平面図である。図5中、32は半導体チッ
プ、33はパッド、34は入出力セル領域、35は内部
セル領域である。
【0044】即ち、本発明による半導体集積回路の実施
の第5形態は、内部セル領域35の周辺部に、入出力セ
ルが必要とする面積に応じて、幅Wを同一とし、奥行D
を異にしてなる種々の面積を有する入出力セル領域34
を、パッド33側には凹凸ができず、内部セル領域35
側に凹凸ができるように、かつ、チップ面のコーナ部3
6、37、38、39側には、奥行Dの浅い入出力セル
が位置するように配列したものである。
【0045】このように、本発明による半導体集積回路
の実施の第5形態においては、入出力セル領域34は、
入出力セルが必要とする面積に応じた種々の面積とされ
ており、しかも、チップ面のコーナ部36、37、3
8、39側には、奥行Dの浅い入出力セルが位置するよ
うに配列されているので、入出力セルを形成するについ
て、チップ面を無駄に使用することがない。
【0046】そこで、また、内部セル領域35を、その
外周部がほぼ入出力セル領域34に沿うように形成する
場合には、内部セルを形成するについて、チップ面を無
駄に使用することがない。
【0047】したがって、本発明による半導体集積回路
の実施の第5形態によれば、チップ面積を従来例と同一
にする場合には、内部セル領域35の面積を拡大し、内
部セルの増大化を図ることができ、内部セル領域35の
面積を従来例と同一とする場合には、チップ面を縮小
し、チップの小型化を図ることができると共に、入出力
セルの数を増大することができる。
【0048】ここに、図6〜図9はチップ面のコーナ部
の利用方法を説明するための概略的平面図である。図6
〜図9において、41は半導体チップ、42はパッド、
43〜54は入出力セル領域、55はチップ面のコーナ
部である。
【0049】ここに、図6はチップ面のコーナ部55に
入出力セル領域を設けていない場合を示しており、図7
はチップ面のコーナ部55に幅WをL、奥行Dを4Lと
する入出力セル領域45、46を設けた場合を示してい
る。
【0050】また、図8はチップ面のコーナ部55に幅
WをL、奥行Dを3Lとする入出力セル領域47、4
8、49、50を設けた場合を示しており、図9はチッ
プ面のコーナ部55に幅WをL、奥行Dを3Lとする入
出力セル領域47、48と、幅WをL、奥行Dを2Lと
する入出力セル領域51、52、53、54とを設けた
場合を示している。
【0051】このように、チップ面のコーナ部には、奥
行Dの浅い入出力セル領域を設けるほど、全体として、
より多くの入出力セル領域を設けることができる。
【0052】また、図10は本発明による半導体集積回
路の実施の第5形態に設けるに適した入出力セル領域を
示す概略的平面図である。
【0053】図10(A)において、56は幅WをL、
奥行DをLとする入出力セル領域、57は幅WをL、奥
行Dを2Lとする入出力セル領域、58は幅WをL、奥
行Dを3Lとする入出力セル領域である。
【0054】また、図10(B)において、59は幅W
を2L、奥行Dを2Lとする入出力セル領域、60は幅
WをL、奥行Dを3Lとする入出力セル領域である。
【0055】このように、奥行Dが幅Wの整数倍になる
ような入出力セル領域を設けるようにする場合には、入
出力セル領域の幅Wを同一とする場合であっても、幅W
を異にするものを含む場合であっても、チップ面のコー
ナ部を効率的に使用することができ、CADを使用して
入出力セルを自動配置する場合においても配置し易くな
る。
【0056】また、図11は本発明による半導体集積回
路の実施の第5形態に適用して好適なパッドの配列ピッ
チPと入出力セル領域の奥行Dとの関係を説明するため
の概略的平面図である。
【0057】図11(A)において、62は配列ピッチ
Pをa×3とするパッド、63は奥行Dをa×3とする
入出力セル領域、64、65は奥行Dをa×4とする入
出力セル領域である。
【0058】また、図11(B)において、66は配列
ピッチPをa×4とするパッド、67は奥行Dをa×3
とする入出力セル領域、68、69、70は奥行Dをa
×4とする入出力セル領域である。
【0059】このように、パッドの配列ピッチPと、入
出力セル領域の奥行Dとの間に、最大公約数aが存在す
るように構成する場合、即ち、パッドの配列ピッチP及
び入出力セル領域の奥行Dは、所定の長さaの整数倍で
あるように構成する場合には、パッドの配列ピッチPを
変更することなく、入出力セル領域の微細化を図る場合
において、パッドと入出力セルとの接続を容易にするこ
とができる。
【0060】(6)本発明による半導体集積回路の実施
の第6形態 図12は本発明による半導体集積回路の実施の第6形態
を示す概略的平面図である。図12中、72は半導体チ
ップ、73はパッド、74は入出力セル領域、75は内
部セル領域である。
【0061】即ち、本発明による半導体集積回路の実施
の第6形態は、内部セル領域75の周辺部に、入出力セ
ルが必要とする面積に応じて、幅W及び奥行Dを異にし
てなる種々の面積を有する入出力セル領域74を、パッ
ド73側には凹凸ができず、内部セル領域75側に凹凸
ができるように配列したものである。
【0062】このように、本発明による半導体集積回路
の実施の第6形態においては、入出力セル領域74は、
入出力セルが必要とする面積に応じた種々の面積とされ
ているので、入出力セルを形成するについて、チップ面
を無駄に使用することがない。
【0063】そこで、また、内部セル領域75を、その
外周部がほぼ入出力セル領域74に沿うように形成する
場合には、内部セルを形成するについて、チップ面を無
駄に使用することがない。
【0064】したがって、本発明による半導体集積回路
の実施の第6形態によれば、チップ面積を従来例と同一
にする場合には、内部セル領域75の面積を拡大し、内
部セルの増大化を図ることができ、内部セル領域75の
面積を従来例と同一とする場合には、チップ面を縮小
し、チップの小型化を図ることができる。
【0065】なお、図13は本発明による半導体集積回
路の実施の第6形態に適用して好適なパッドの配列ピッ
チPと入出力セル領域の幅Wとの関係を説明するための
概略的平面図である。
【0066】図13(A)において、77は配列ピッチ
Pをb×3とするパッド、78は幅Wをb×3とする入
出力セル領域、79は幅Wをb×6とする入出力セル領
域である。
【0067】また、図13(B)において、80は配列
ピッチPをb×4とするパッド、81は幅Wをb×3と
する入出力セル領域、82は幅Wをb×6とする入出力
セル領域、83は幅Wをb×3とする入出力セル領域で
ある。
【0068】このように、パッドの配列ピッチPと、入
出力セル領域の幅Wとの間に、最大公約数bが存在する
ように構成する場合、即ち、パッドの配列ピッチP及び
入出力セル領域の幅Wが所定の長さbの整数倍となるよ
うに構成する場合には、パッドの配列ピッチを変更する
ことなく、入出力セル領域の微細化を図る場合におい
て、入出力セルとの接続を容易にすることができる。
【0069】(7)本発明による半導体集積回路の配線
レイアウト方法の実施の一形態 図14は本発明による半導体集積回路の配線レイアウト
方法の実施の一形態を説明するための概略的平面図であ
り、本発明による半導体集積回路の配線レイアウト方法
の実施の一形態で使用する入出力セル85、86、8
7、88、89、90、91を示している。
【0070】即ち、本発明による半導体集積回路の配線
レイアウト方法の実施の一形態は、図14に示す入出力
セル85、86、87、88、89、90、91を使用
して配線レイアウトを行うとするものである。
【0071】入出力セル85は、VDD電源配線パター
ン92と、VSS電源配線パターン93と、S1信号配
線パターン94と、S2信号配線パターン95とを有す
るものであり、入出力セル86は、VDD電源配線パタ
ーン92と、VSS電源配線パターン93と、S1信号
配線パターン94とを有するものである。
【0072】また、入出力セル87は、配線パターンを
有していないものであり、入出力セル88は、VDD電
源配線パターン92と、VSS電源配線パターン93と
を有するものである。
【0073】また、入出力セル89は、VDD電源配線
パターン92、96と、VSS電源配線パターン93
と、S1信号配線パターン94と、S2信号配線パター
ン95とを有するものである。
【0074】また、入出力セル90は、VDD電源配線
パターン92と、VSS電源配線パターン93とを有す
るものであり、入出力セル91は、VDD電源配線パタ
ーン92、96と、VSS電源配線パターン93とを有
するものである。
【0075】図15は、図14に示す入出力セル85〜
91のうち4種類の入出力セル85、86、87、88
を6個一列に配列して配線レイアウトを行った場合を示
している。
【0076】この例では、左から順に入出力セル85−
1(=入出力セル85)、入出力セル87−1(=入出
力セル87)、入出力セル86、入出力セル85−2
(=入出力セル85)、入出力セル87−2(=入出力
セル87)、入出力セル88を配置している。
【0077】そして、入出力セル85、86、88に設
けられている配線パターンの他に、配線パターン97、
98、99、100、101、102がレイアウトされ
ている。
【0078】ここに、入出力セル85−1のVDD電源
配線パターン92と、入出力セル86のVDD電源配線
パターン92と、入出力セル85−2のVDD配線パタ
ーン92と、入出力セル88のVDD電源配線パターン
92とは、配線パターン97、101を介して接続され
ている。
【0079】また、入出力セル85−1のVSS電源配
線パターン93と、入出力セル86のVSS電源配線パ
ターン93と、入出力セル85−2のVSS配線パター
ン93と、入出力セル88のVSS電源配線パターン9
3とは、配線パターン98、102を介して接続されて
いる。
【0080】また、入出力セル85−1のS1信号配線
パターン94と、入出力セル86のS1信号配線パター
ン94と、入出力セル85−2のS1信号配線パターン
94とは、配線パターン99を介して接続されている。
【0081】また、入出力セル85−1のS2信号配線
パターン95と、入出力セル85−2のS2信号配線パ
ターン95とは、配線パターン100を介して接続され
ている。
【0082】また、図16は、図14に示す入出力セル
85〜91のうち5種類の入出力セル86、87、8
9、90、91を7個1列に配列して配線レイアウトを
行った場合を示している。
【0083】この例では、左から順に入出力セル89−
1(=入出力セル89)、入出力セル87−1(=入出
力セル87)、入出力セル86、入出力セル89−2
(=入出力セル89)、入出力セル87−2(=入出力
セル87)、入出力セル90、入出力セル91を配置し
ている。
【0084】そして、入出力セル86、89、90、9
1に設けられている配線パターンの他に、配線パターン
103、104、105、106、107、108、1
09、110がレイアウトされている。
【0085】ここに、入出力セル89−1のVDD電源
配線パターン92と、入出力セル86のVDD電源配線
パターン92と、入出力セル89−2のVDD電源配線
パターン92と、入出力セル90のVDD電源配線パタ
ーン92と、入出力セル91のVDD電源配線パターン
とは、配線パターン103、107を介して接続されて
いる。
【0086】また、入出力セル89−1のVSS電源配
線パターン93と、入出力セル86のVSS電源配線パ
ターン93と、入出力セル89−2のVSS電源配線パ
ターン93と、入出力セル90のVSS電源配線パター
ン93と、入出力セル91のVSS電源配線パターン9
3とは、配線パターン104、108を介して接続され
ている。
【0087】また、入出力セル89−1のS1信号配線
パターン94と、入出力セル86のS1信号配線パター
ン94と、入出力セル89−2のS1信号配線パターン
94とは、配線パターン105を介して接続されてい
る。
【0088】また、入出力セル89−1のS2信号配線
パターン95と、入出力セル89−2のS2信号配線パ
ターン95とは、配線パターン106を介して接続され
ている。
【0089】また、入出力セル89−1のVDD電源配
線パターン96と、入出力セル89−2のVDD電源配
線パターン96と、入出力セル91のVDD電源配線パ
ターン96とは、配線パターン109、110を介して
接続されている。
【0090】このように本発明による半導体集積回路の
配線レイアウトの実施の一形態によれば、自己に必要な
配線パターンのみを有し、必要に応じて他の入出力セル
の配線パターン間を接続できる配線パターンをレイアウ
トすることができる構造を有する入出力セル86、8
8、90、91を使用すると共に、入出力セルとして、
配線パターンを有しないセル87を使用するとしている
ので、配線レイアウトに自由度が増し、配線レイアウト
を容易に行うことができると共に、入出力セルの回路構
成と物理パターンとの一致の確認を容易に行うことがで
きる。
【0091】
【発明の効果】以上のように、本発明中、第1〜第11
の発明(請求項1〜11記載の半導体集積回路)のいず
れによっても、入出力セル領域は、入出力セルが必要と
する面積に応じた面積とされているので、入出力セルを
形成するについて、チップ面を無駄に使用することがな
く、チップ面積を従来例と同一にする場合には、内部セ
ル領域の面積を拡大し、内部セルの増大化を図ることが
でき、内部セル領域の面積を従来例と同一とする場合に
は、チップ面を縮小し、チップの小型化を図ることがで
きる。
【0092】特に、第2、第3又は第4の発明によれ
ば、チップ面のコーナ部を有効に使用し、入出力セル領
域の数を増加することができ、第6又は第8の発明によ
れば、パッドの配列ピッチを変更することなく、入出力
セル領域の微細化を図る場合において、入出力セルとの
接続を容易にすることができる。
【0093】本発明中、第12の発明(請求項12記載
の半導体集積回路の配線レイアウト方法)によれば、自
己に必要な配線パターンのみを有し、必要に応じて他の
入出力セルの配線パターン間を接続できる配線パターン
をレイアウトすることができる構造を有する入出力セル
を含めて配線レイアウトを行うとしているので、配線レ
イアウトに自由度が増し、配線レイアウトを容易に行う
ことができると共に、入出力セルの回路構成と物理パタ
ーンとの一致の確認を容易に行うことができる。
【0094】本発明中、第13の発明(請求項13記載
の半導体集積回路の配線レイアウト方法)によれば、自
己に必要な配線パターンのみを有し、必要に応じて他の
入出力セルの配線パターン間を接続できる配線パターン
をレイアウトすることができる入出力セルを使用すると
共に、入出力セルとして、配線パターンを有していない
セルを使用するとしているので、第12の発明以上に配
線レイアウトに自由度が増し、配線レイアウトを容易に
行うことができると共に、入出力セルの回路構成と物理
パターンとの一致の確認を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による半導体集積回路の実施の第1形態
を示す概略的平面図である。
【図2】本発明による半導体集積回路の実施の第2形態
を示す概略的平面図である。
【図3】本発明による半導体集積回路の実施の第3形態
を示す概略的平面図である。
【図4】本発明による半導体集積回路の実施の第4形態
を示す概略的平面図である。
【図5】本発明による半導体集積回路の実施の第5形態
を示す概略的平面図である。
【図6】チップ面のコーナ部の利用方法を説明するため
の概略的平面図である。
【図7】チップ面のコーナ部の利用方法を説明するため
の概略的平面図である。
【図8】チップ面のコーナ部の利用方法を説明するため
の概略的平面図である。
【図9】チップ面のコーナ部の利用方法を説明するため
の概略的平面図である。
【図10】本発明による半導体集積回路の実施の第5形
態に設けるに適した入出力セル領域を示す概略的平面図
である。
【図11】本発明による半導体集積回路の実施の第5形
態に適用して好適なパッドの配列ピッチと入出力セル領
域の奥行との関係を説明するための概略的平面図であ
る。
【図12】本発明による半導体集積回路の実施の第6形
態を示す概略的平面図である。
【図13】本発明による半導体集積回路の実施の第6形
態に適用して好適なパッドの配列ピッチと入出力セル領
域の幅との関係を説明するための概略的平面図である。
【図14】本発明による半導体集積回路の配線レイアウ
ト方法の実施の一形態を説明するための概略的平面図で
ある。
【図15】本発明による半導体集積回路の配線レイアウ
ト方法の実施の一形態を説明するための概略的平面図で
ある。
【図16】本発明による半導体集積回路の配線レイアウ
ト方法の実施の一形態を説明するための概略的平面図で
ある。
【図17】従来の半導体集積回路の一例を示す概略的平
面図である。
【符号の説明】
6 半導体チップ 7 パッド 8 入出力セル領域 9 内部セル領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 飯田 隆司 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 高瀬 正史 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 一ノ瀬 茂則 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部セル領域の周辺部に入出力セル領域を
    配列すると共に、入出力セル領域列とチップの辺との間
    にパッドを配列する半導体集積回路において、 前記入出力セル領域は、入出力セルが必要とする面積に
    応じた面積とされていることを特徴とする半導体集積回
    路。
  2. 【請求項2】前記入出力セル領域のうち、チップ面のコ
    ーナ部に配置されている入出力セル領域に部分的に囲ま
    れている領域に入出力セル領域が設けられていることを
    特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 【請求項3】チップ面のコーナ部側に、配列方向と直交
    する方向の辺の長さを短くする入出力セル領域が配置さ
    れていることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回
    路。
  4. 【請求項4】前記入出力セル領域は、配列方向と直交す
    る方向の辺の長さを配列方向と同一方向の辺の長さの整
    数倍とされていることを特徴とする請求項1記載の半導
    体集積回路。
  5. 【請求項5】前記入出力セル領域は、配列方向と同一方
    向の辺の長さを同一とされていることを特徴とする請求
    項1記載の半導体集積回路。
  6. 【請求項6】前記パッドの配列ピッチ及び前記入出力セ
    ル領域の配列方向と直交する方向の辺の長さは、所定の
    長さの整数倍であることを特徴とする請求項5記載の半
    導体集積回路。
  7. 【請求項7】前記入出力セル領域は、配列方向と同一方
    向の辺の長さを異にするものを含んでいることを特徴と
    する請求項1記載の半導体集積回路。
  8. 【請求項8】前記パッドの配列ピッチ及び前記入出力セ
    ル領域の配列方向と同一方向の辺の長さは、所定の長さ
    の整数倍であることを特徴とする請求項7記載の半導体
    集積回路。
  9. 【請求項9】前記入出力セル領域は、前記パッド側に凹
    凸ができず、前記内部セル領域側に凹凸ができるように
    配列されていることを特徴とする請求項1記載の半導体
    集積回路。
  10. 【請求項10】前記入出力セル領域は、前記パッド側に
    凹凸ができ、前記内部セル領域側に凹凸ができないよう
    に配列されていることを特徴とする請求項1記載の半導
    体集積回路。
  11. 【請求項11】前記入出力セル領域は、前記パッド側及
    び前記内部セル領域側に凹凸ができるように配列されて
    いることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  12. 【請求項12】自己に必要な配線パターンのみを有し、
    必要に応じて他の入出力セルの配線パターン間を接続で
    きる配線パターンをレイアウトすることができる構造を
    有する入出力セルを含めて配線レイアウトを行うことを
    特徴とする半導体集積回路の配線レイアウト方法。
  13. 【請求項13】入出力セルとして、配線パターンを有し
    ていないセルを使用することを特徴とする請求項12記
    載の半導体集積回路の配線レイアウト方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020065905A1 (ja) * 2018-09-28 2020-04-02 株式会社ソシオネクスト 半導体集積回路装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3914649B2 (ja) * 1999-02-10 2007-05-16 株式会社東芝 半導体装置
US6550047B1 (en) * 2000-10-02 2003-04-15 Artisan Components, Inc. Semiconductor chip input/output cell design and automated generation methods
JP2005294406A (ja) * 2004-03-31 2005-10-20 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置および半導体集積回路装置の配線方法
JP2006049782A (ja) * 2004-08-09 2006-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路装置のレイアウト方法
US9633959B2 (en) * 2015-02-11 2017-04-25 Freescale Semiconductor, Inc. Integrated circuit die with corner IO pads
CN114895412B (zh) * 2022-05-10 2023-05-09 深圳市埃尔法光电科技有限公司 一种Tbps级高集成度的硅基板光互连引擎布局方式

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60101951A (ja) * 1983-11-08 1985-06-06 Sanyo Electric Co Ltd ゲ−トアレイ
JPS62179744A (ja) * 1986-02-04 1987-08-06 Nec Corp 半導体集積回路
JPH0225054A (ja) * 1988-07-13 1990-01-26 Mitsubishi Electric Corp マスタースライスlsi
US4975758A (en) * 1989-06-02 1990-12-04 Ncr Corporation Gate isolated I.O cell architecture for diverse pad and drive configurations
JPH0415954A (ja) * 1990-05-09 1992-01-21 Mitsubishi Electric Corp 半導体集積回路装置
JPH04174537A (ja) * 1990-11-07 1992-06-22 Sharp Corp 半導体集積回路
JPH0760855A (ja) * 1993-08-30 1995-03-07 Toray Ind Inc 反射防止物品
US5552333A (en) * 1994-09-16 1996-09-03 Lsi Logic Corporation Method for designing low profile variable width input/output cells
US5768146A (en) * 1995-03-28 1998-06-16 Intel Corporation Method of cell contouring to increase device density
US5760428A (en) * 1996-01-25 1998-06-02 Lsi Logic Corporation Variable width low profile gate array input/output architecture

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020065905A1 (ja) * 2018-09-28 2020-04-02 株式会社ソシオネクスト 半導体集積回路装置
US20210202468A1 (en) * 2018-09-28 2021-07-01 Socionext Inc. Semiconductor integrated circuit device
JPWO2020065905A1 (ja) * 2018-09-28 2021-08-30 株式会社ソシオネクスト 半導体集積回路装置

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