JPH07195700A - インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置 - Google Patents
インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 152
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims abstract description 139
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims abstract description 139
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 91
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 52
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 24
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 21
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 53
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 33
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 27
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 12
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 7
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 3
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 claims description 3
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims 2
- 150000002118 epoxides Chemical class 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 23
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 abstract description 11
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 abstract description 3
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 272
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 74
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 64
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 55
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 26
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 18
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 17
- WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M Lithium hydroxide Chemical compound [Li+].[OH-] WMFOQBRAJBCJND-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 14
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 13
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 11
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 10
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 8
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 8
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical compound [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 5
- BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N ammonium sulfate Chemical compound N.N.OS(O)(=O)=O BFNBIHQBYMNNAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052921 ammonium sulfate Inorganic materials 0.000 description 5
- 235000011130 ammonium sulphate Nutrition 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical class OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 4
- 239000002075 main ingredient Substances 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 101100337028 Arabidopsis thaliana GLX2-1 gene Proteins 0.000 description 3
- 101150108526 GLY1 gene Proteins 0.000 description 3
- MFIBZDZRPYQXOM-UHFFFAOYSA-N [dimethyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silyl]oxy-dimethyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound C1OC1COCCC[Si](C)(C)O[Si](C)(C)CCCOCC1CO1 MFIBZDZRPYQXOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-dinitroanilino)-4-methylpentanoic acid Chemical compound CC(C)CC(C(O)=O)NC1=CC=C([N+]([O-])=O)C=C1[N+]([O-])=O STMDPCBYJCIZOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 3-glycidoxypropyl Chemical group 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192627 Naphthoquinone Natural products 0.000 description 1
- 229910008051 Si-OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006358 Si—OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001447 alkali salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N bisphenol AF Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C(C(F)(F)F)(C(F)(F)F)C1=CC=C(O)C=C1 ZFVMWEVVKGLCIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 229920006317 cationic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N ethenylcyclohexane Chemical compound C=CC1CCCCC1 LDLDYFCCDKENPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N lawrencium atom Chemical compound [Lr] CNQCVBJFEGMYDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002791 naphthoquinones Chemical class 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- ADXGNEYLLLSOAR-UHFFFAOYSA-N tasosartan Chemical compound C12=NC(C)=NC(C)=C2CCC(=O)N1CC(C=C1)=CC=C1C1=CC=CC=C1C=1N=NNN=1 ADXGNEYLLLSOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N trimethyl(methylsilyloxy)silane Chemical compound C[SiH2]O[Si](C)(C)C UHUUYVZLXJHWDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/135—Nozzles
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J2/135—Nozzles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
- C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
- C08G59/20—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the epoxy compounds used
- C08G59/22—Di-epoxy compounds
- C08G59/30—Di-epoxy compounds containing atoms other than carbon, hydrogen, oxygen and nitrogen
- C08G59/306—Di-epoxy compounds containing atoms other than carbon, hydrogen, oxygen and nitrogen containing silicon
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/03—Specific materials used
Abstract
(57)【要約】
【目的】 長時間安定した吐出が可能で、耐インク性に
優れ、基板との剥離のない精度の高いインクジェット及
び低コストのその製造方法及びインクジェット装置を提
供する。 【構成】 インク通路壁が主成分が常温で液状であるエ
ポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジエポキサイド構
造のエポキシ樹脂を含有させるエポキシ樹脂組成物から
なることを特徴とするインクジェットヘッド及びその製
造方法及びインクジェット装置。
優れ、基板との剥離のない精度の高いインクジェット及
び低コストのその製造方法及びインクジェット装置を提
供する。 【構成】 インク通路壁が主成分が常温で液状であるエ
ポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジエポキサイド構
造のエポキシ樹脂を含有させるエポキシ樹脂組成物から
なることを特徴とするインクジェットヘッド及びその製
造方法及びインクジェット装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はインクジェット方式に用
いるインク滴を吐出するためのインクジェットヘッド及
び該インクジェットヘッド及びインクジェット装置の製
造方法に関する。更に詳しくは、インク通路壁と基板と
の剥離の問題が改善されたインクジェットヘッド及びイ
ンクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置
に関する。
いるインク滴を吐出するためのインクジェットヘッド及
び該インクジェットヘッド及びインクジェット装置の製
造方法に関する。更に詳しくは、インク通路壁と基板と
の剥離の問題が改善されたインクジェットヘッド及びイ
ンクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット装置はインク滴をプリン
ト媒体に吐出することによりプリントを行うプリント装
置であるが、その静粛性や普通紙にも印刷可能であって
汎用性があることから、近年特に注目されている。この
インクジェット装置において作用されるインクを吐出す
るための機構であるインクジェットヘッドは、インクジ
ェット装置の最も重要な部分であり、当該、インクジェ
ットヘッドは、非常に精密な構造を有するものである。
こうしたインクジェットヘッドの一例を図３を用いて説
明する。
ト媒体に吐出することによりプリントを行うプリント装
置であるが、その静粛性や普通紙にも印刷可能であって
汎用性があることから、近年特に注目されている。この
インクジェット装置において作用されるインクを吐出す
るための機構であるインクジェットヘッドは、インクジ
ェット装置の最も重要な部分であり、当該、インクジェ
ットヘッドは、非常に精密な構造を有するものである。
こうしたインクジェットヘッドの一例を図３を用いて説
明する。
【０００３】図４はインクジェットヘッドの一構成例を
示す分解模式図である。
示す分解模式図である。
【０００４】図４において、シリコン基板１０１上には
吐出エネルギー発生素子である電気熱変換素子となる発
熱抵抗体１０３と発熱抵抗体用配線１０２とが薄膜形成
技術を用いて形成されている。この電気熱変換素子が形
成されたシリコン基板上には、さらに感光性樹脂等の樹
脂により形成されたインク流路壁１０４ａ及び共通イン
ク室壁１０４ｂをなすインク通路壁１０４がある。そし
て、このインク通路壁１０４によって形成された凹部を
覆うようにガラス基板よりなる天板１０５が該インク通
路壁１０４上に接着されてインク流路１０８ａや共通イ
ンク室１０８ｂが形成されている。該インク流路１０８
ａには前述の発熱素子１０３が設けられ、インク流路１
０８ａに連通するシリコン基板の端面には吐出口１０９
が形成されている。前記天板１０５には共通インク入口
部１０７となる開口が設けられており、この共通インク
入口部１０７は天板１０５に接着されたインク用フィル
ター１０６によって覆われている。
吐出エネルギー発生素子である電気熱変換素子となる発
熱抵抗体１０３と発熱抵抗体用配線１０２とが薄膜形成
技術を用いて形成されている。この電気熱変換素子が形
成されたシリコン基板上には、さらに感光性樹脂等の樹
脂により形成されたインク流路壁１０４ａ及び共通イン
ク室壁１０４ｂをなすインク通路壁１０４がある。そし
て、このインク通路壁１０４によって形成された凹部を
覆うようにガラス基板よりなる天板１０５が該インク通
路壁１０４上に接着されてインク流路１０８ａや共通イ
ンク室１０８ｂが形成されている。該インク流路１０８
ａには前述の発熱素子１０３が設けられ、インク流路１
０８ａに連通するシリコン基板の端面には吐出口１０９
が形成されている。前記天板１０５には共通インク入口
部１０７となる開口が設けられており、この共通インク
入口部１０７は天板１０５に接着されたインク用フィル
ター１０６によって覆われている。
【０００５】上述のようなインクジェットヘッドを製造
するための製造方法としては過去に多数提案されてきて
いる。そうしたインクジェットヘッドの製造方法の代表
的なものとして、特開昭６１−１５４９４７号（ＵＳＰ
４６５７６３１）に記載される製造方法をあげることが
できる。当該公報に記載のインクジェットヘッドの製造
方法を図６をもとに簡単に説明する。当該インクジェッ
トヘッドの製造方法は次の６つの工程からなる。すなわ
ち、（１）まず、インクを吐出するためのエネルギー発
生素子を設けた基板１上に感光性樹脂層（ポジ型フォト
レジスト）６２を形成する工程（図６ａ）、（２）次に
前記工程（１）で形成された該感光性樹脂層６２をパタ
ーニングマスクを介して露光する工程（図６ｂ）、
（３）前記工程（２）で露光された感光性樹脂層６２に
現像処理を施して感光性樹脂をパターニングし、前記基
板１上にインク通路となるべき部分に固体層６４を形成
する工程（図６ｃ）、（４）前記工程（３）でパターニ
ングされた固体層の上に硬化型樹脂のインク通路壁形成
材料６５を被覆する工程（図６ｄ）、（５）該インク通
路壁形成材料６５を硬化させる工程（図６ｅ）、そして
（６）その後、含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステ
ル、アルコール等の有機溶媒や水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて、パターニング
された固体層を溶解除去する工程（図６ｆ）を経てイン
ク通路６６が形成され、これによりインクジェットヘッ
ドが完成する。
するための製造方法としては過去に多数提案されてきて
いる。そうしたインクジェットヘッドの製造方法の代表
的なものとして、特開昭６１−１５４９４７号（ＵＳＰ
４６５７６３１）に記載される製造方法をあげることが
できる。当該公報に記載のインクジェットヘッドの製造
方法を図６をもとに簡単に説明する。当該インクジェッ
トヘッドの製造方法は次の６つの工程からなる。すなわ
ち、（１）まず、インクを吐出するためのエネルギー発
生素子を設けた基板１上に感光性樹脂層（ポジ型フォト
レジスト）６２を形成する工程（図６ａ）、（２）次に
前記工程（１）で形成された該感光性樹脂層６２をパタ
ーニングマスクを介して露光する工程（図６ｂ）、
（３）前記工程（２）で露光された感光性樹脂層６２に
現像処理を施して感光性樹脂をパターニングし、前記基
板１上にインク通路となるべき部分に固体層６４を形成
する工程（図６ｃ）、（４）前記工程（３）でパターニ
ングされた固体層の上に硬化型樹脂のインク通路壁形成
材料６５を被覆する工程（図６ｄ）、（５）該インク通
路壁形成材料６５を硬化させる工程（図６ｅ）、そして
（６）その後、含ハロゲン炭化水素、ケトン、エステ
ル、アルコール等の有機溶媒や水酸化ナトリウム、水酸
化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて、パターニング
された固体層を溶解除去する工程（図６ｆ）を経てイン
ク通路６６が形成され、これによりインクジェットヘッ
ドが完成する。
【０００６】上記インクジェットヘッドの製造方法にお
いては、インク通路壁形成材料６５として、上述したよ
うに硬化型の樹脂が通常用いられる。当該樹脂は硬化時
に硬化収縮を起こすため、収縮応力が不可避的に働く。
また、当該樹脂はインクに対して多少なりとも膨潤はイ
ンクジェットヘッド駆動時の温度変化によって応力をも
たらす。インクジェットヘッドは、インク通路壁形成材
料である硬化型樹脂に生じるこれら応力によって、イン
ク通路壁と基板との間に剥離が生じることがある。この
剥離は隣接するインク流路への吐出エネルギーの損失を
もたらす原因となり、最悪の場合には吐出エネルギーが
不足して吐出口からインクが吐出されないことになる。
従ってインクジェットヘツドにおいてはインク通路壁と
基板との剥離を生じないようにインク通路壁材料の材料
選択がなされる。上述の剥離を防止する方法としては、
インク通路壁形成材料の弾性率を低下させることによ
り、発生する応力を材料が吸収するようにする方法と、
インク通路壁形成材料のインクに対する膨潤を少なくす
ることにより、発生する応力自体を少なくする方法とが
ある。しかしながら、弾性率の低い材料は、一般的にイ
ンクに対する膨潤量が多いということが言える。そこ
で、インク通路形成材料となる樹脂を選択する場合に
は、材料のインクに対する膨潤及び応力吸収性能の双方
の要件を満たす観点で所望の弾性率を有する材料が選択
される。ここで前述のインク通路壁形成材料のインクに
対する膨潤度は耐インク性とも表現できるものであり、
インクに対する膨潤度の高い材料については耐インク性
が低い材料ということができ、また、インクに対する膨
潤度が低い材料については耐インク性が高い材料という
ことができる。更にインク通路壁形成材料は、前記パタ
ーン上でディスペンサー等で塗布されるものであるが、
インク通路が高密度に配列されるにつれ、パターンが微
細になり、そうした微細なパターン中に材料を入り込ま
せるために粘度を低くする必要がある。この場合、該粘
度を低くすることにより材料塗布時の泡の抱き込みをも
防止することができる。インク通路形成材料の粘度を低
くする手段としては有機溶媒を用いることが考えられ
る。ところが、インク通路を形成するパターンである固
体層は通常ポジ型のフォトレジストで形成されるため、
インク通路壁形成材料中に有機溶媒を含有していると、
この溶媒により固体層のパターン形状が崩れ、精密なイ
ンク通路形成を行うことができなくなってしまう。こう
したことから、インク通路壁形成材料についてその粘度
を適宜制御できるようにするためには、材料自身が無溶
媒系のもので粘度の低いもの、すなわち常温で液状であ
るものが好ましい。
いては、インク通路壁形成材料６５として、上述したよ
うに硬化型の樹脂が通常用いられる。当該樹脂は硬化時
に硬化収縮を起こすため、収縮応力が不可避的に働く。
また、当該樹脂はインクに対して多少なりとも膨潤はイ
ンクジェットヘッド駆動時の温度変化によって応力をも
たらす。インクジェットヘッドは、インク通路壁形成材
料である硬化型樹脂に生じるこれら応力によって、イン
ク通路壁と基板との間に剥離が生じることがある。この
剥離は隣接するインク流路への吐出エネルギーの損失を
もたらす原因となり、最悪の場合には吐出エネルギーが
不足して吐出口からインクが吐出されないことになる。
従ってインクジェットヘツドにおいてはインク通路壁と
基板との剥離を生じないようにインク通路壁材料の材料
選択がなされる。上述の剥離を防止する方法としては、
インク通路壁形成材料の弾性率を低下させることによ
り、発生する応力を材料が吸収するようにする方法と、
インク通路壁形成材料のインクに対する膨潤を少なくす
ることにより、発生する応力自体を少なくする方法とが
ある。しかしながら、弾性率の低い材料は、一般的にイ
ンクに対する膨潤量が多いということが言える。そこ
で、インク通路形成材料となる樹脂を選択する場合に
は、材料のインクに対する膨潤及び応力吸収性能の双方
の要件を満たす観点で所望の弾性率を有する材料が選択
される。ここで前述のインク通路壁形成材料のインクに
対する膨潤度は耐インク性とも表現できるものであり、
インクに対する膨潤度の高い材料については耐インク性
が低い材料ということができ、また、インクに対する膨
潤度が低い材料については耐インク性が高い材料という
ことができる。更にインク通路壁形成材料は、前記パタ
ーン上でディスペンサー等で塗布されるものであるが、
インク通路が高密度に配列されるにつれ、パターンが微
細になり、そうした微細なパターン中に材料を入り込ま
せるために粘度を低くする必要がある。この場合、該粘
度を低くすることにより材料塗布時の泡の抱き込みをも
防止することができる。インク通路形成材料の粘度を低
くする手段としては有機溶媒を用いることが考えられ
る。ところが、インク通路を形成するパターンである固
体層は通常ポジ型のフォトレジストで形成されるため、
インク通路壁形成材料中に有機溶媒を含有していると、
この溶媒により固体層のパターン形状が崩れ、精密なイ
ンク通路形成を行うことができなくなってしまう。こう
したことから、インク通路壁形成材料についてその粘度
を適宜制御できるようにするためには、材料自身が無溶
媒系のもので粘度の低いもの、すなわち常温で液状であ
るものが好ましい。
【０００７】従来インク通路壁形成材料としては耐イン
ク性が優れていることから常温で液状であるエポキシ樹
脂が用いられている。ところが該エポキシ樹脂は前述の
ように耐インク性が優れているために、弾性率が高い。
そのため、インク通路壁が基板から剥離する場合があっ
た。すなわち、特に高密度でエネルギー発生素子を配設
するような場合には、エネルギー発生素子間の距離を短
くすることからインク通路壁の幅がそれに応じて薄くさ
れる。このためインク通路壁の基板に対する接触面積が
減少し十分な接着強度を維持できないことに加え樹脂の
弾性率が高いことにより収縮応力を吸収できないため
に、インク通路壁と基板との間で剥離してしまうことが
しばしばある。
ク性が優れていることから常温で液状であるエポキシ樹
脂が用いられている。ところが該エポキシ樹脂は前述の
ように耐インク性が優れているために、弾性率が高い。
そのため、インク通路壁が基板から剥離する場合があっ
た。すなわち、特に高密度でエネルギー発生素子を配設
するような場合には、エネルギー発生素子間の距離を短
くすることからインク通路壁の幅がそれに応じて薄くさ
れる。このためインク通路壁の基板に対する接触面積が
減少し十分な接着強度を維持できないことに加え樹脂の
弾性率が高いことにより収縮応力を吸収できないため
に、インク通路壁と基板との間で剥離してしまうことが
しばしばある。
【０００８】そこで、前述のエポキシ樹脂が収縮応力を
吸収できるようにするためにエポキシ樹脂の弾性率を低
下させる必要がある。このエポキシ樹脂の弾性率を低下
させる手段としては該エポキシ樹脂をシリコーン変性さ
せることが考えられる。しかし、シリコーン変性された
エポキシ樹脂は、弾性率がかなり低くなることからイン
ク通路壁形成材料に必要とされる所望の接着強度を達成
することができなく、このため、機械的強度の不足によ
りインクジェットヘッドの構成部材としては使用されて
いない。こうしたことから、従来前記エポキシ樹脂の弾
性率を低くするについては、可撓性付与剤を混合するこ
とが通常行われる。
吸収できるようにするためにエポキシ樹脂の弾性率を低
下させる必要がある。このエポキシ樹脂の弾性率を低下
させる手段としては該エポキシ樹脂をシリコーン変性さ
せることが考えられる。しかし、シリコーン変性された
エポキシ樹脂は、弾性率がかなり低くなることからイン
ク通路壁形成材料に必要とされる所望の接着強度を達成
することができなく、このため、機械的強度の不足によ
りインクジェットヘッドの構成部材としては使用されて
いない。こうしたことから、従来前記エポキシ樹脂の弾
性率を低くするについては、可撓性付与剤を混合するこ
とが通常行われる。
【０００９】ところで、近年インクジェットの分野にお
いては、プリント媒体としてプラスチックシートや布と
いった紙以外のものも使われるようになってきている。
これに伴い、インクについてもその発色性や耐水性を今
まで以上高めることが要求されてきている。この要求を
かなえるについて、従来のインクに用いていた染料に代
わって水難溶性の染料や分散安定性の低い顔料を使う場
合がしばしばある。しかしながら、当該染料及び顔料は
従来の溶媒では安定して用いることができないため、溶
媒中に更にアルカリ塩を含有させ、インクのｐＨを高く
保たせる（高アルカリする）ことによって該染料及び顔
料を使いこなすことが提案されている。本発明者らは、
このような高アルカリインクを用いて前述した可撓性付
与剤を含有するエポキシ樹脂で形成されるインク通路壁
を有する従来のインクジェットヘッドを作動させたとこ
ろ、長時間駆動させた場合には印字のヨレといった印字
不良が発生する場合があることが分かった。この時にヘ
ッドを吐出口側より観察したところ、インク通路壁と基
板との界面に剥離が生じていた。
いては、プリント媒体としてプラスチックシートや布と
いった紙以外のものも使われるようになってきている。
これに伴い、インクについてもその発色性や耐水性を今
まで以上高めることが要求されてきている。この要求を
かなえるについて、従来のインクに用いていた染料に代
わって水難溶性の染料や分散安定性の低い顔料を使う場
合がしばしばある。しかしながら、当該染料及び顔料は
従来の溶媒では安定して用いることができないため、溶
媒中に更にアルカリ塩を含有させ、インクのｐＨを高く
保たせる（高アルカリする）ことによって該染料及び顔
料を使いこなすことが提案されている。本発明者らは、
このような高アルカリインクを用いて前述した可撓性付
与剤を含有するエポキシ樹脂で形成されるインク通路壁
を有する従来のインクジェットヘッドを作動させたとこ
ろ、長時間駆動させた場合には印字のヨレといった印字
不良が発生する場合があることが分かった。この時にヘ
ッドを吐出口側より観察したところ、インク通路壁と基
板との界面に剥離が生じていた。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前述した従来
技術における問題点を解決し、高アルカリインクを使用
した場合においても長時間安定した吐出が可能であるイ
ンクジェットヘッドを提供することを主たる目的とす
る。
技術における問題点を解決し、高アルカリインクを使用
した場合においても長時間安定した吐出が可能であるイ
ンクジェットヘッドを提供することを主たる目的とす
る。
【００１１】本発明の他の目的は、耐インク性に優れ基
板との剥離の問題の生じないインク通路壁を有するイン
クジェットヘッドを提供することにある。
板との剥離の問題の生じないインク通路壁を有するイン
クジェットヘッドを提供することにある。
【００１２】本発明の他の目的は、精度の高い複数のイ
ンク通路を有する長尺タイプのインクジェットヘッドを
提供することにある。
ンク通路を有する長尺タイプのインクジェットヘッドを
提供することにある。
【００１３】本発明の他の目的は、安価で信頼性の高い
インクジェットヘッドを提供することにある。
インクジェットヘッドを提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは前述した従
来技術における問題点を解決して上記課題を達成すべく
鋭意研究した結果、次のことが分かった。すなわち、従
来のインクジェットヘッドにおけるインク通路壁が前述
の剥離を起こす原因としては、インクを高アルカリイン
クに変えて初めて剥離が生じたことから材料の耐インク
性にあるものと思われる。一般に常温で液状であるエポ
キシ樹脂自体は耐インク性が高いため、前述の剥離の問
題はもっぱら使用する上述した可撓性付与剤に起因する
ものと考えられる。
来技術における問題点を解決して上記課題を達成すべく
鋭意研究した結果、次のことが分かった。すなわち、従
来のインクジェットヘッドにおけるインク通路壁が前述
の剥離を起こす原因としては、インクを高アルカリイン
クに変えて初めて剥離が生じたことから材料の耐インク
性にあるものと思われる。一般に常温で液状であるエポ
キシ樹脂自体は耐インク性が高いため、前述の剥離の問
題はもっぱら使用する上述した可撓性付与剤に起因する
ものと考えられる。
【００１５】そこで本願発明者らは従来のインクジェッ
トヘッドにおけるインク通路壁形成材料として用いられ
ている常温で液状であるエポキシ樹脂について、その弾
性率を低下させるについて、従来用いられている可撓性
付与剤以外のものであってインク通路壁形成材料の耐イ
ンク性に影響を及ぼさないものを鋭意研究したところ、
常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有す
るジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させた場
合、硬化性エポキシ樹脂の弾性率は所望状態に低下さ
れ、且つ、耐インク性に優れたインク通路壁形成材料が
もたらされる知見を得た。本発明はこの知見に基づいて
更に研究した結果、完成に至ったものである。
トヘッドにおけるインク通路壁形成材料として用いられ
ている常温で液状であるエポキシ樹脂について、その弾
性率を低下させるについて、従来用いられている可撓性
付与剤以外のものであってインク通路壁形成材料の耐イ
ンク性に影響を及ぼさないものを鋭意研究したところ、
常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有す
るジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させた場
合、硬化性エポキシ樹脂の弾性率は所望状態に低下さ
れ、且つ、耐インク性に優れたインク通路壁形成材料が
もたらされる知見を得た。本発明はこの知見に基づいて
更に研究した結果、完成に至ったものである。
【００１６】本発明は、複数のインク通路を有するイン
クジェットヘッドにおいて、それらインク通路の壁を常
温で液状であるエポキシ樹脂を主成分とし、これにシロ
キサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂
を含有させてなるエポキシ樹脂組成物（以下、当該エポ
キシ樹脂組成物を「インク通路壁形成材料」という）で
構成することを特徴とするものである。
クジェットヘッドにおいて、それらインク通路の壁を常
温で液状であるエポキシ樹脂を主成分とし、これにシロ
キサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂
を含有させてなるエポキシ樹脂組成物（以下、当該エポ
キシ樹脂組成物を「インク通路壁形成材料」という）で
構成することを特徴とするものである。
【００１７】以下本発明を更に詳細に説明する。
【００１８】本発明のインク通路壁形成材料で形成され
たインク通路壁は、耐インク性について従来に比べ格段
に向上することができる。さらには、インク通路の精度
についても従来よりも優れたものとすることができる。
これは従来のエポキシ樹脂に可撓性付与剤を含有させた
場合に比べて、シロキサン結合を有するジエポキサイド
構造のエポキシ樹脂を従来の可撓性付与剤と同じ含有量
とした時のインク通路形成材料の粘度を約１／１０に低
下させることが可能となり、当該材料塗布時における泡
に巻き込みがなく脱泡処理を行なわなくとも精度の高い
インク通路壁を形成することが可能となるためである。
たインク通路壁は、耐インク性について従来に比べ格段
に向上することができる。さらには、インク通路の精度
についても従来よりも優れたものとすることができる。
これは従来のエポキシ樹脂に可撓性付与剤を含有させた
場合に比べて、シロキサン結合を有するジエポキサイド
構造のエポキシ樹脂を従来の可撓性付与剤と同じ含有量
とした時のインク通路形成材料の粘度を約１／１０に低
下させることが可能となり、当該材料塗布時における泡
に巻き込みがなく脱泡処理を行なわなくとも精度の高い
インク通路壁を形成することが可能となるためである。
【００１９】本発明のインク通路壁形成材料は、常温で
液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジエ
ポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させた組成物を主
成分とする硬化型樹脂であるが、これら常温で液状であ
るエポキシ樹脂及びシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂からなる主剤の他に、主剤を硬
化させるための硬化剤もしくは重合開始剤、また、必要
に応じて密着力を向上させるためのシランカップリング
剤を含有する。
液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジエ
ポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させた組成物を主
成分とする硬化型樹脂であるが、これら常温で液状であ
るエポキシ樹脂及びシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂からなる主剤の他に、主剤を硬
化させるための硬化剤もしくは重合開始剤、また、必要
に応じて密着力を向上させるためのシランカップリング
剤を含有する。
【００２０】前記主剤のうち、エポキシ樹脂としては１
分子中に２個以上のエポキシ基を有し、常温で液状であ
るならばいかなるものでも良いが、耐インク性の観点か
ら芳香環を有する分子量３００以上のエポキシ樹脂であ
るものが望ましい。ここで、常温で液状であるとは、常
温（２５℃）で粘度が１０〜１０００００ｃｐｓのもの
を指し、半固体状のものも包含される。このようなエポ
キシ樹脂としては、たとえばビスフェノールＡ型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールＡＤ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＦ型エポキ
シ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂であることができ
る。これらのエポキシ樹脂は１種または２種以上混合し
て用いることができる。
分子中に２個以上のエポキシ基を有し、常温で液状であ
るならばいかなるものでも良いが、耐インク性の観点か
ら芳香環を有する分子量３００以上のエポキシ樹脂であ
るものが望ましい。ここで、常温で液状であるとは、常
温（２５℃）で粘度が１０〜１０００００ｃｐｓのもの
を指し、半固体状のものも包含される。このようなエポ
キシ樹脂としては、たとえばビスフェノールＡ型エポキ
シ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノ
ールＡＤ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＦ型エポキ
シ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂であることができ
る。これらのエポキシ樹脂は１種または２種以上混合し
て用いることができる。
【００２１】また、本発明において用いられるシロキサ
ン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂は、
たとえばＳｉ−ＯＨ結合を有する化合物にエピクロルヒ
ドリンをアルカリ水溶液中で反応させる方法や、Ｓｉ−
Ｈ基を有するジメチルポリシロキサンとアリルグリシジ
ルエーテル、ビニルシクロヘキサンオキサイドなどの不
飽和エポキシ化合物を白金触媒化で付加反応する方法に
より生成することができる。また、当該シロキサン結合
を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂は市販され
ているものもあり、そうしたものの例として、チッソ株
式会社より市販されているＢ２４０５（１，３−ビス
（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロキサ
ン）を挙げることができる。上述のシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂については、分
子量が高すぎるものは粘度が高く、耐インク性が低いこ
とから使用に値しない。一方分子量が低過ぎるものは沸
点が低いため常温で安定して液状の状態を維持できない
ことから使用に値しない。そこで本発明において好まし
く用いられるシロキサン結合を有するジエポキサイド構
造のエポキシ樹脂は下記式Ｉ、IIに示されるものであ
る。
ン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂は、
たとえばＳｉ−ＯＨ結合を有する化合物にエピクロルヒ
ドリンをアルカリ水溶液中で反応させる方法や、Ｓｉ−
Ｈ基を有するジメチルポリシロキサンとアリルグリシジ
ルエーテル、ビニルシクロヘキサンオキサイドなどの不
飽和エポキシ化合物を白金触媒化で付加反応する方法に
より生成することができる。また、当該シロキサン結合
を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂は市販され
ているものもあり、そうしたものの例として、チッソ株
式会社より市販されているＢ２４０５（１，３−ビス
（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロキサ
ン）を挙げることができる。上述のシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂については、分
子量が高すぎるものは粘度が高く、耐インク性が低いこ
とから使用に値しない。一方分子量が低過ぎるものは沸
点が低いため常温で安定して液状の状態を維持できない
ことから使用に値しない。そこで本発明において好まし
く用いられるシロキサン結合を有するジエポキサイド構
造のエポキシ樹脂は下記式Ｉ、IIに示されるものであ
る。
【００２２】
【化５】
【００２３】
【化６】 （ただし、Ｒ1 〜Ｒ4 は炭素数１〜４のアルキル基、炭
素数２〜６のアルケニル基、フェニル基、置換芳香族を
示し、互いに同一でも異なっていても良い。Ｒ5、Ｒ6
は炭素数１〜８のアルキレン、フェニレンを示し、互い
に同一でも異なっていても良い。ｎは１〜１０００の整
数を示す。）以下にシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂の作成方法の一例を挙げる。
素数２〜６のアルケニル基、フェニル基、置換芳香族を
示し、互いに同一でも異なっていても良い。Ｒ5、Ｒ6
は炭素数１〜８のアルキレン、フェニレンを示し、互い
に同一でも異なっていても良い。ｎは１〜１０００の整
数を示す。）以下にシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂の作成方法の一例を挙げる。
【００２４】攪拌装置、温度計、滴下漏斗、及びエピク
ロルヒドリンと水との共沸混合物を凝縮分離して可能の
エピクロルヒドリン層を反応器に戻すための装置をつけ
た反応器に、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−
ジエトキシジシセザンとエピクロルヒドリンを入れ、攪
拌しながらこの溶液を加熱還流させる。これにＮａＯＨ
水溶液を内容物が所望の温度を保つように調整しながら
滴下する。そして反応中に蒸留された水とエピクロルヒ
ドリンのうち、エピクロルヒドリンだけ反応器に戻すよ
うにする。ＮａＯＨ水溶液の滴下終了減圧下で回収した
後、トルエンを加え、これを水で水洗することにより生
成した食塩及び残存するアルカリを除去する。最終的に
加熱しながら減圧下でトルエン及び複生成物（エチルグ
リシジルエーテル）を除去することによりシロキサン結
合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂（１，
１，３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエー
テルジシロキサン）を得る。
ロルヒドリンと水との共沸混合物を凝縮分離して可能の
エピクロルヒドリン層を反応器に戻すための装置をつけ
た反応器に、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−
ジエトキシジシセザンとエピクロルヒドリンを入れ、攪
拌しながらこの溶液を加熱還流させる。これにＮａＯＨ
水溶液を内容物が所望の温度を保つように調整しながら
滴下する。そして反応中に蒸留された水とエピクロルヒ
ドリンのうち、エピクロルヒドリンだけ反応器に戻すよ
うにする。ＮａＯＨ水溶液の滴下終了減圧下で回収した
後、トルエンを加え、これを水で水洗することにより生
成した食塩及び残存するアルカリを除去する。最終的に
加熱しながら減圧下でトルエン及び複生成物（エチルグ
リシジルエーテル）を除去することによりシロキサン結
合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂（１，
１，３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエー
テルジシロキサン）を得る。
【００２５】本発明に於けるインクジェットヘッドのイ
ンク通路壁形成材料は、主剤中におけるシロキサン結合
を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂の割合は、
１０〜４０重量％であることが望ましい。すなわち主剤
中におけるシロキサン結合を有するジエポキサイド構造
のエポキシ樹脂の割合が１０重量％未満である場合には
インク通路壁形成材料の弾性率が高いため、硬化収縮に
よる応力を吸収しきれずに基板との界面において剥離を
生じてしまう。また、主剤中におけるシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂の割合が４０
％を越える場合は、硬化までに非常に時間を有するため
歩留が低下するだけでなく、インク通路壁形成材料自身
の強度が低下しインクジェットヘッドの構成部材として
は好ましくない。
ンク通路壁形成材料は、主剤中におけるシロキサン結合
を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂の割合は、
１０〜４０重量％であることが望ましい。すなわち主剤
中におけるシロキサン結合を有するジエポキサイド構造
のエポキシ樹脂の割合が１０重量％未満である場合には
インク通路壁形成材料の弾性率が高いため、硬化収縮に
よる応力を吸収しきれずに基板との界面において剥離を
生じてしまう。また、主剤中におけるシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂の割合が４０
％を越える場合は、硬化までに非常に時間を有するため
歩留が低下するだけでなく、インク通路壁形成材料自身
の強度が低下しインクジェットヘッドの構成部材として
は好ましくない。
【００２６】本発明に用いられる熱硬化剤としてはエポ
キシ樹脂に通常用いられる硬化剤の中でも常温で硬化可
能なアミン系硬化剤が用いられる。具体的には、変性芳
香族アミン系硬化剤である、フジキュアＦＸＫ−８３０
（商品名、富士化成工業社製）、変性脂肪族アミン系硬
化剤であるエポミックＱ６１４（商品名、三井石油社
製）等を挙げることができる。
キシ樹脂に通常用いられる硬化剤の中でも常温で硬化可
能なアミン系硬化剤が用いられる。具体的には、変性芳
香族アミン系硬化剤である、フジキュアＦＸＫ−８３０
（商品名、富士化成工業社製）、変性脂肪族アミン系硬
化剤であるエポミックＱ６１４（商品名、三井石油社
製）等を挙げることができる。
【００２７】本発明のインク通路壁形成材料は熱硬化型
のものでも光硬化型のものでも構わない。上述のインク
通路壁形成材料に光硬化触媒を添加することにより、光
硬化型のものとすることもできる。このような光硬化触
媒としては、（１）酸素により重合阻害がない、（２）
硬化収縮が少なく密着性、接着性に優れる。（３）耐熱
性、耐薬品性が優れる、といったことよりカチオン重合
化合物が好ましい。このようなものとして具体的には、
アデカオプトマー ＳＰ−１５０、１７０（商品名、旭
電化社製）等を挙げることができる。
のものでも光硬化型のものでも構わない。上述のインク
通路壁形成材料に光硬化触媒を添加することにより、光
硬化型のものとすることもできる。このような光硬化触
媒としては、（１）酸素により重合阻害がない、（２）
硬化収縮が少なく密着性、接着性に優れる。（３）耐熱
性、耐薬品性が優れる、といったことよりカチオン重合
化合物が好ましい。このようなものとして具体的には、
アデカオプトマー ＳＰ−１５０、１７０（商品名、旭
電化社製）等を挙げることができる。
【００２８】本発明のインク通路壁形成材料には、更に
シランカップリング剤を含有することが望ましい。シラ
ンカップリング剤を含有することにより接着性を向上す
ることができるとともに、材料のチクソ性を低下させ、
材料塗布時の泡の巻き込みを防止することができる。さ
らには材料の粘度も低下させる。しかしながら、シラン
カップリング剤は固体層となるポジ型フォトレジストに
対して相溶性があるため、主剤に余り多く含有させるこ
とはできない。またシランカップリング剤は主剤に対し
含有される量に応じてインク通路壁形成材料の耐インク
性が低下する。したがって、シランカップリング剤の主
剤に対する含有量は主剤１００重量部に対して１〜１０
重量部であることが好ましい。また、シランカップリン
グ剤の中でも本発明においては、主剤との相性よりエポ
キシ系のシランカップリング剤が好ましく用いられる。
この他に硬化剤としてアミン系の熱硬化剤を用いる場合
には、アミン系シランカップリング剤を用いることも可
能である。
シランカップリング剤を含有することが望ましい。シラ
ンカップリング剤を含有することにより接着性を向上す
ることができるとともに、材料のチクソ性を低下させ、
材料塗布時の泡の巻き込みを防止することができる。さ
らには材料の粘度も低下させる。しかしながら、シラン
カップリング剤は固体層となるポジ型フォトレジストに
対して相溶性があるため、主剤に余り多く含有させるこ
とはできない。またシランカップリング剤は主剤に対し
含有される量に応じてインク通路壁形成材料の耐インク
性が低下する。したがって、シランカップリング剤の主
剤に対する含有量は主剤１００重量部に対して１〜１０
重量部であることが好ましい。また、シランカップリン
グ剤の中でも本発明においては、主剤との相性よりエポ
キシ系のシランカップリング剤が好ましく用いられる。
この他に硬化剤としてアミン系の熱硬化剤を用いる場合
には、アミン系シランカップリング剤を用いることも可
能である。
【００２９】以下に、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法について説明する。
製造方法について説明する。
【００３０】図１（ａ）〜（ｊ）は本発明におけるイン
クジェットヘッドの製造方法を模式的に示した説明図で
あり、本発明にかかるインクジェットヘッドの構成の一
例の吐出方向正面より見た模式図が示されている。更に
図２（ａ）〜（ｊ）は図１（ａ）〜（ｊ）で示される構
成の模式的斜視図である。なお、本例では３つのオリフ
ィスを有するインクジェットヘッドが示されるが、これ
以上のオリフィスを有する高密度インクジェットヘッド
あるいは１〜２つのオリフィスを有するインクジェット
ヘッドの構成を本発明に包含されるものである。
クジェットヘッドの製造方法を模式的に示した説明図で
あり、本発明にかかるインクジェットヘッドの構成の一
例の吐出方向正面より見た模式図が示されている。更に
図２（ａ）〜（ｊ）は図１（ａ）〜（ｊ）で示される構
成の模式的斜視図である。なお、本例では３つのオリフ
ィスを有するインクジェットヘッドが示されるが、これ
以上のオリフィスを有する高密度インクジェットヘッド
あるいは１〜２つのオリフィスを有するインクジェット
ヘッドの構成を本発明に包含されるものである。
【００３１】本発明において、基板１として例えば、ガ
ラス、セラミック、プラスチック、金属等からなる材料
が用いられる。
ラス、セラミック、プラスチック、金属等からなる材料
が用いられる。
【００３２】上記基板１上には、電気熱変換素子あるい
は圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の個
数配置される。図１（ａ）、図２（ａ）では電気熱変換
素子１４を設けた構成が示されている。このような電気
熱変換素子１４の製造方法としては、半導体分野におけ
る薄膜形成技術によって形成することができる。一例を
挙げると、ＨｆＢ2 、ＴａＮ、Ｔａ2 Ｏ5 等の発熱抵抗
層１１を前記基板１上にスパッタリング、ＣＶＤ等で成
膜し、続いて発熱抵抗層１１上にＡｌ等の電極層１２を
スパッタリング、ＣＶＤ、蒸着等で成膜する。その後、
図２（ａ）に示されるような電極パターンに電極層１２
のみをフォトリソグラフィー技術によりパターニングし
た後、発熱抵抗層１１を図２（ａ）に示されるようなパ
ターンにフォトリソグラフィー技術によりパターニング
する事により電気熱変換素子１４が完成する。ここで発
熱抵抗層１１の電極層１２に被覆されていない部分（露
出部）が発熱部１３となる。
は圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の個
数配置される。図１（ａ）、図２（ａ）では電気熱変換
素子１４を設けた構成が示されている。このような電気
熱変換素子１４の製造方法としては、半導体分野におけ
る薄膜形成技術によって形成することができる。一例を
挙げると、ＨｆＢ2 、ＴａＮ、Ｔａ2 Ｏ5 等の発熱抵抗
層１１を前記基板１上にスパッタリング、ＣＶＤ等で成
膜し、続いて発熱抵抗層１１上にＡｌ等の電極層１２を
スパッタリング、ＣＶＤ、蒸着等で成膜する。その後、
図２（ａ）に示されるような電極パターンに電極層１２
のみをフォトリソグラフィー技術によりパターニングし
た後、発熱抵抗層１１を図２（ａ）に示されるようなパ
ターンにフォトリソグラフィー技術によりパターニング
する事により電気熱変換素子１４が完成する。ここで発
熱抵抗層１１の電極層１２に被覆されていない部分（露
出部）が発熱部１３となる。
【００３３】このような液体吐出エネルギー発生素子に
よってインク小滴を吐出させるための吐出エネルギーが
インクに与えられ、プリントが行われる。上記液体吐出
エネルギー発生素子として電気熱変換素子が用いられる
時には、この素子が近傍のインクを加熱することにより
インクの状態変化を生起させ、状態変化時の体積膨張に
より吐出エネルギーを発生する。また、上記液体吐出エ
ネルギー発生素子として圧電素子が用いられる時は、こ
の素子の機械的振動によって吐出エネルギーが発生され
る。
よってインク小滴を吐出させるための吐出エネルギーが
インクに与えられ、プリントが行われる。上記液体吐出
エネルギー発生素子として電気熱変換素子が用いられる
時には、この素子が近傍のインクを加熱することにより
インクの状態変化を生起させ、状態変化時の体積膨張に
より吐出エネルギーを発生する。また、上記液体吐出エ
ネルギー発生素子として圧電素子が用いられる時は、こ
の素子の機械的振動によって吐出エネルギーが発生され
る。
【００３４】なお、これらの素子には、これらの素子を
作動させるための制御入力用信号電極が接続されている
（不図示）。また、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層
が設けられるが、本発明においてもこのような機能層を
設けることはさしつかえない。
作動させるための制御入力用信号電極が接続されている
（不図示）。また、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層
が設けられるが、本発明においてもこのような機能層を
設けることはさしつかえない。
【００３５】次に、液体吐出エネルギー発生素子が配置
された基板１上にポジ型フォトレジストよりなる感光性
樹脂層２を被覆する（図１（ｂ）、図２（ｂ））。
された基板１上にポジ型フォトレジストよりなる感光性
樹脂層２を被覆する（図１（ｂ）、図２（ｂ））。
【００３６】感光性樹脂層２としては後処理により溶解
除去可能なポジ型フォトレジストを用いることが好まし
く、これにはナフトキノン系ポジ型フォトレジスト、化
学増幅型のポジ型フォトレジスト、主鎖分解型のポジ型
フォトレジスト等のいずれのタイプでも用いることがで
きる。また、被覆の方法としては液状のものをスピンコ
ートやロールコート等で塗布する方法や、ドライフィル
ムを接合する方法等が用いられる。
除去可能なポジ型フォトレジストを用いることが好まし
く、これにはナフトキノン系ポジ型フォトレジスト、化
学増幅型のポジ型フォトレジスト、主鎖分解型のポジ型
フォトレジスト等のいずれのタイプでも用いることがで
きる。また、被覆の方法としては液状のものをスピンコ
ートやロールコート等で塗布する方法や、ドライフィル
ムを接合する方法等が用いられる。
【００３７】そして、前工程で被覆した感光性樹脂層２
に上記液体吐出エネルギー発生素子を含む基板１上より
インク通路形成部位のパターンを有するマスク３を介し
て露光を施す（図１（ｃ）、図２（ｃ））。
に上記液体吐出エネルギー発生素子を含む基板１上より
インク通路形成部位のパターンを有するマスク３を介し
て露光を施す（図１（ｃ）、図２（ｃ））。
【００３８】この露光工程により前記感光性樹脂層２の
うち露光された箇所２′が可溶になる（図１（ｄ）、図
２（ｄ））。
うち露光された箇所２′が可溶になる（図１（ｄ）、図
２（ｄ））。
【００３９】前記感光性樹脂層２の露光箇所２′をアル
カリ溶液等の溶剤で現像することによりインク流路とな
る固体層（レジストパターン）４を形成する（図１
（ｅ）、図２（ｅ））。
カリ溶液等の溶剤で現像することによりインク流路とな
る固体層（レジストパターン）４を形成する（図１
（ｅ）、図２（ｅ））。
【００４０】インク通路の形状は前記マスク３の形状に
よって所望のものとすることが可能であり、固体層も該
インク通路形状に応じたものとすることができる。更に
本例では、３つの吐出エネルギー発生素子に対応して設
けられる３つの吐出口のそれぞれからインク滴を吐出さ
せることが可能なように、インク流路は３つに分散さ
れ、インク室は該インク流路のそれぞれにインクを供給
し得るようにこれらと連結したものとされている。
よって所望のものとすることが可能であり、固体層も該
インク通路形状に応じたものとすることができる。更に
本例では、３つの吐出エネルギー発生素子に対応して設
けられる３つの吐出口のそれぞれからインク滴を吐出さ
せることが可能なように、インク流路は３つに分散さ
れ、インク室は該インク流路のそれぞれにインクを供給
し得るようにこれらと連結したものとされている。
【００４１】次に固体層を可溶化するために固体層４の
全面露光を行う（図１（ｆ）、図２（ｆ））。
全面露光を行う（図１（ｆ）、図２（ｆ））。
【００４２】固体層４に用いられているポジ型レジスト
は、一般的に光と反応して窒素ガスを発生するため、こ
のままインク通路壁形成材料５を被覆してしまうとイン
ク通路壁形成材料中に気泡を取り込み流路形状が崩れて
しまう場合がある。そこで、全面露光後、固体層４の脱
気処理を施しておくことが好ましい。なお、インク通路
壁形成材料５として光硬化性の材料を用いる場合には、
インク通路壁形成材料５の露光時においても固体層４か
らのガスの発生する場合があるため、固体層４の全面露
光及び脱気処理を繰り返し行うことにより固体層４を十
分に反応させておくことが好ましい。
は、一般的に光と反応して窒素ガスを発生するため、こ
のままインク通路壁形成材料５を被覆してしまうとイン
ク通路壁形成材料中に気泡を取り込み流路形状が崩れて
しまう場合がある。そこで、全面露光後、固体層４の脱
気処理を施しておくことが好ましい。なお、インク通路
壁形成材料５として光硬化性の材料を用いる場合には、
インク通路壁形成材料５の露光時においても固体層４か
らのガスの発生する場合があるため、固体層４の全面露
光及び脱気処理を繰り返し行うことにより固体層４を十
分に反応させておくことが好ましい。
【００４３】次いで上記固体層４が形成された基板１上
に主成分が常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン
結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有
させた組成物からなる硬化型樹脂のインク通路壁形成材
料５をディスペンサー等で塗布する（図１（ｇ）、図２
（ｇ））。
に主成分が常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン
結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有
させた組成物からなる硬化型樹脂のインク通路壁形成材
料５をディスペンサー等で塗布する（図１（ｇ）、図２
（ｇ））。
【００４４】また、インク通路壁形成材料５の塗布後、
該インク通路壁形成材料５上に天板７を接合しても構わ
ない（図１（ｈ）、図２（ｈ））。
該インク通路壁形成材料５上に天板７を接合しても構わ
ない（図１（ｈ）、図２（ｈ））。
【００４５】次に前記インク通路壁形成材料５に加熱、
露光等の硬化処理を施し前記インク通路壁形成材料５の
硬化を行なった後、更に前記固体層４を含ハロゲン炭化
水素、ケトン、エステル、アルコール等の有機溶媒ある
いは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ水
溶液を用いて溶解除去することによりインク流路６及び
これに連通する共通インク室が形成されインクジェット
ヘッドが完成する（図（ｉ）、（ｊ）及び図２（ｉ）、
（Ｊ））。
露光等の硬化処理を施し前記インク通路壁形成材料５の
硬化を行なった後、更に前記固体層４を含ハロゲン炭化
水素、ケトン、エステル、アルコール等の有機溶媒ある
いは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ水
溶液を用いて溶解除去することによりインク流路６及び
これに連通する共通インク室が形成されインクジェット
ヘッドが完成する（図（ｉ）、（ｊ）及び図２（ｉ）、
（Ｊ））。
【００４６】以下に、本発明のインクジェットヘッドを
搭載可能なインクジェット装置の一例を示す。
搭載可能なインクジェット装置の一例を示す。
【００４７】図５はインクジェットヘッドをインクジェ
ットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装着したイン
クジェット装置（ＩＪＡ）の一例を示す模式的説明図で
ある。
ットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装着したイン
クジェット装置（ＩＪＡ）の一例を示す模式的説明図で
ある。
【００４８】図５において、２０はプラテン２４上に送
紙されてきた被プリント媒体であるプリント紙のプリン
ト面に対向してインク吐出を行なうノズル群を具えたイ
ンクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）である。１
６はＩＪＣ２０を保持するキャリッジＨＣであり、駆動
モータ１７の駆動力を伝達する駆動ベルト１８の一部と
連結し、互いに並行に排泄された２本のガスドシャフト
１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪ
Ｃ２０のプリント紙の全幅にわたる往復移動が可能とな
る。
紙されてきた被プリント媒体であるプリント紙のプリン
ト面に対向してインク吐出を行なうノズル群を具えたイ
ンクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）である。１
６はＩＪＣ２０を保持するキャリッジＨＣであり、駆動
モータ１７の駆動力を伝達する駆動ベルト１８の一部と
連結し、互いに並行に排泄された２本のガスドシャフト
１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能とすることにより、ＩＪ
Ｃ２０のプリント紙の全幅にわたる往復移動が可能とな
る。
【００４９】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ＩＪＣ２０のキャッピングを行なう。
また、プリント終了時等にキャッピングを施すことによ
りＩＪＣが保護される。
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ＩＪＣ２０のキャッピングを行なう。
また、プリント終了時等にキャッピングを施すことによ
りＩＪＣが保護される。
【００５０】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に吐出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に吐出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。
【００５１】本発明は、特にインクジェット方式の中で
も、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、プリン
トを行うインクジェット方式のインクジェットヘッド、
インクジェット装置に於いて、優れた効果をもたらすも
のである。
も、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、プリン
トを行うインクジェット方式のインクジェットヘッド、
インクジェット装置に於いて、優れた効果をもたらすも
のである。
【００５２】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。このインクジ
ェット方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型
のいずれにも適用可能である。
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。このインクジ
ェット方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型
のいずれにも適用可能である。
【００５３】このインクジェット方式を簡単に説明する
と、液体（インク）が保持されているシートや液路に対
応して配置されている電気熱変換素子に、プリント情報
に対応して液体（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰
現象を生じる様な急速な温度上昇を与えるための少なく
とも一つの駆動信号を印加することによって、熱エネル
ギーを発生せしめ、インクジェットヘッドの熱作用面に
膜沸騰を生じさせる。この様に液体（インク）から電気
熱変換素子に付与する駆動信号に一対一対応した気泡を
形成できるため、特にオンデマンド型のプリント法には
有効である。この気泡の成長、収縮により吐出孔を介し
て液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６
３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載
されているようなものが適している。尚、上記熱作用面
の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４
号明細書に記載されている条件を採用すると、更に優れ
た記録を行なうことができる。
と、液体（インク）が保持されているシートや液路に対
応して配置されている電気熱変換素子に、プリント情報
に対応して液体（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰
現象を生じる様な急速な温度上昇を与えるための少なく
とも一つの駆動信号を印加することによって、熱エネル
ギーを発生せしめ、インクジェットヘッドの熱作用面に
膜沸騰を生じさせる。この様に液体（インク）から電気
熱変換素子に付与する駆動信号に一対一対応した気泡を
形成できるため、特にオンデマンド型のプリント法には
有効である。この気泡の成長、収縮により吐出孔を介し
て液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６
３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載
されているようなものが適している。尚、上記熱作用面
の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４
号明細書に記載されている条件を採用すると、更に優れ
た記録を行なうことができる。
【００５４】インクジェットヘッドの構成としては、上
述の各明細書に開示されているような吐出口、液流路、
電気熱変換素子を組み合わせた構成（直線状液流路又は
直角液流路）の他に、米国特許第４５５８３３３号明細
書、米国特許第４４５９６００号明細書に開示されてい
る様に、熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持
つものも本発明に含まれる。
述の各明細書に開示されているような吐出口、液流路、
電気熱変換素子を組み合わせた構成（直線状液流路又は
直角液流路）の他に、米国特許第４５５８３３３号明細
書、米国特許第４４５９６００号明細書に開示されてい
る様に、熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持
つものも本発明に含まれる。
【００５５】加えて、複数の電気熱変換素子に対して、
共通するスリットを電気熱変換素子の吐出口とする構成
を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネ
ルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構
成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づ
いた構成においても本発明は有効である。
共通するスリットを電気熱変換素子の吐出口とする構成
を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネ
ルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構
成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づ
いた構成においても本発明は有効である。
【００５６】さらに、本発明が有効に利用されるインク
ジェットヘッドとしては、プリント装置がプリントでき
るプリント媒体の最大幅に対応した長さのフルラインタ
イプのインクジェットヘッドがある。このフルラインヘ
ッドは、上述した明細書に開示されているようなインク
ジェットヘッドを複数組み合わせることによってフルラ
イン構成にしたものや、一体的に形成された一個のフル
ラインヘッドであっても良い。
ジェットヘッドとしては、プリント装置がプリントでき
るプリント媒体の最大幅に対応した長さのフルラインタ
イプのインクジェットヘッドがある。このフルラインヘ
ッドは、上述した明細書に開示されているようなインク
ジェットヘッドを複数組み合わせることによってフルラ
イン構成にしたものや、一体的に形成された一個のフル
ラインヘッドであっても良い。
【００５７】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
【００５８】又、本発明のインクジェット装置に、予備
的な補助手段等を付加することは、本発明のインクジェ
ット装置を一層安定にすることができるので好ましいも
のである。これらを具体的に挙げれば、電気熱変換素子
或はこれとは別の加熱素子、或はこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出
モードを行なう手段を付加することも安定したプリント
を行なうために有効である。
的な補助手段等を付加することは、本発明のインクジェ
ット装置を一層安定にすることができるので好ましいも
のである。これらを具体的に挙げれば、電気熱変換素子
或はこれとは別の加熱素子、或はこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出
モードを行なう手段を付加することも安定したプリント
を行なうために有効である。
【００５９】更に、インクジェット装置のプリントモー
ドとしては黒色等の主流色のみをプリントするモードだ
けではなく、インクジェットヘッドを一体的に構成した
ものか、複数個の組み合わせて構成したものかのいずれ
でも良いが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
ドとしては黒色等の主流色のみをプリントするモードだ
けではなく、インクジェットヘッドを一体的に構成した
ものか、複数個の組み合わせて構成したものかのいずれ
でも良いが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。
【００６０】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。
【００６１】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。このよ
うなインクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは
特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多
孔質シートの凹部又は貫通孔に液状又は固形物として保
持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような
形態としても良い。
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。このよ
うなインクは、特開昭５４−５６８４７号公報あるいは
特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるような、多
孔質シートの凹部又は貫通孔に液状又は固形物として保
持された状態で、電気熱変換体に対して対向するような
形態としても良い。
【００６２】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。 ＜実験＞以下に本発明者らが行った実験について記載す
る。
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。 ＜実験＞以下に本発明者らが行った実験について記載す
る。
【００６３】本発明者らは、インクジェットヘッドのイ
ンク通路壁が従来有していた問題点、すなわち、高アル
カリインクを使用する場合におけるインクジェットヘッ
ドのインク通路壁の剥離の問題に鑑みて、所望の弾性率
度を有すると共に優れた耐インク性を有するインク通路
壁形成材料を見いだすべく実験を介して検討を行った。
すなわち、エポキシ樹脂の有する優れた耐インク性質に
着目し、この耐インク性を発揮させながら、所望の弾性
率を有するインク通路壁形成材料として本発明者らが見
いだしたものである常温で液状であるエポキシ樹脂にシ
ロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹
脂を含有させたエポキシ樹脂組成物が、インク通路壁形
成材料として従来のインクジェットヘッドにおける上述
した問題の解決に寄与できるか否かを以下の実験１ない
し２２に介して検討した。以下の実験１ないし２２にお
いては所望のインク通路壁形成材料を達成するについ
て、インク通路壁形成材料の耐インク性、弾性率につい
て総合的に検討した。 実験１ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３−
ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロ
キサンを２５重量部混合することで主剤を得た。この主
剤に変性芳香族アミン系硬化剤であるフジキュアＦＸＫ
−８３０（商品名、富士化成工業社製）を主剤１００重
量部に対して５０重量部混合した。更にエポキシ系シラ
ンカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社
製）を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得
た。 実験２ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，１，
３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエーテル
ジシロキサンを２５重量部混合することで主剤を得た。
この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるエポミック
Ｑ６１４（商品名、三井石油社製）を主剤１００重量部
に対して２８重量部混合した。更にエポキシ系シランカ
ップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社製）
を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得た。 実験３ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，
１，３−ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチ
ルジシロキサンを１０重量部混合することで主剤を得
た。この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるエポミ
ックＱ６１４（商品名、三井石油社製）を主剤１００重
量部に対して２８重量部混合した。更にエポキシ系シラ
ンカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社
製）を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得
た。 実験４ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，
１，３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエー
テルジシロキサンを１０重量部混合することで主剤を得
た。この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるフジキ
ュアＦＸ−８３０（商品名、富士化成工業社製）を主剤
１００重量部に対して５０重量部混合した。更にエポキ
シ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユ
ニカー社製）を５重量部混合して常温で液状である試験
材料を得た。 実験５ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を９５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を５重量部とした以外は実験１と同様にして常温で
液状である試験材料を得た。 実験６ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を８５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を１５重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験７ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を３５重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験８ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験９ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を５０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を５０重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験１０ エポキシ樹脂としてビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂
エポミックＲ７１０（商品名、三井石油社製）を９５重
量部用意し、これにシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂として１，１，３，３−テトラ
メチル−１，３−ジグリシジルエーテルジシロキサンを
５重量部混合することで主剤を得た。この主剤に変性脂
肪族アミン系硬化剤であるエポミックＱ６１４（商品
名、三井石油社製）を主剤１００重量部に対して２８重
量部混合した。更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ
−１８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量部混合
して常温で液状である試験材料を得た。 実験１１ 主剤中のエポキシ樹脂を９０重量部、シロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を１０重量部
とした以外は実験１０と同様にして常温で液状である試
験材料を得た。 実験１２ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１０と同様にして常
温で液状である試験材料を得た。 実験１３ 主剤を常温で液状であるビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂エピコート８２８（商品名、油化シェル社製）のみ１
００重量部とした以外は実験１と同様にして常温で液状
である試験材料を得た。 実験１４ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これに可撓性付与剤である
エポライト３００２（商品名、共栄社油脂社製）を２５
重量部混合することで主剤を得た。この主剤に変性芳香
族アミン系硬化剤であるフジキュアＦＸＫ−８３０（商
品名、富士化成工業社製）を主剤１００重量部に対して
５０重量部混合した。更にエポキシ系シランカップリン
グ剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量
部混合して常温で液状である試験材料を得た。 実験１５ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３−
ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロ
キサンを２５重量部混合することで主剤を得た。この主
剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプトマ
ーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得られた
主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。更に
エポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品名、
日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状であ
る試験材料を得た。 実験１６ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を８０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキ トラメチル−１，３−ジグリシジルエ
ーテルジシロキサンを２０重量部混合することで主剤を
得た。この主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるア
デカオプトマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社
製）を得られた主剤１００重量部に対して１．５重量部
混合した。更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１
８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して
常温で液状である試験材料を得た。 実験１７ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を９５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，１，
３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエーテル
ジシロキサンを５重量部混合することで主剤を得た。こ
の主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプ
トマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得ら
れた主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。
更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品
名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状
である試験材料を得た。 実験１８ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３
−ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシ
ロキサンを１０重量部混合することで主剤を得た。この
主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプト
マーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得られ
た主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。更
にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品
名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状
である試験材料を得た。 実験１９ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１５と同様にして常
温で液状である試験材料を得た。 実験２０ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を５０重量部、
シロキるジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を５０重量
部とした以外は実験１６と同様にして常温で液状である
試験材料を得た。 実験２１ 主剤を常温で液状であるビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂エピコート８２８（商品名、油化シェル社製）のみ１
００重量部とした以外は実験１５と同様にして常温で液
状である試験材料を得た。 実験２２ 熱硬化剤フジキュアＦＸＫ−８３０（商品名、富士化成
工業社製）の代わりにカチオン型紫外線硬化開始剤であ
るアデカオブトマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業
社製）を得られた主剤１００重量部に対して１．５重量
部混合した以外は実験１４と同様にして常温で液状であ
る試験材料を得た。
ンク通路壁が従来有していた問題点、すなわち、高アル
カリインクを使用する場合におけるインクジェットヘッ
ドのインク通路壁の剥離の問題に鑑みて、所望の弾性率
度を有すると共に優れた耐インク性を有するインク通路
壁形成材料を見いだすべく実験を介して検討を行った。
すなわち、エポキシ樹脂の有する優れた耐インク性質に
着目し、この耐インク性を発揮させながら、所望の弾性
率を有するインク通路壁形成材料として本発明者らが見
いだしたものである常温で液状であるエポキシ樹脂にシ
ロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹
脂を含有させたエポキシ樹脂組成物が、インク通路壁形
成材料として従来のインクジェットヘッドにおける上述
した問題の解決に寄与できるか否かを以下の実験１ない
し２２に介して検討した。以下の実験１ないし２２にお
いては所望のインク通路壁形成材料を達成するについ
て、インク通路壁形成材料の耐インク性、弾性率につい
て総合的に検討した。 実験１ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３−
ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロ
キサンを２５重量部混合することで主剤を得た。この主
剤に変性芳香族アミン系硬化剤であるフジキュアＦＸＫ
−８３０（商品名、富士化成工業社製）を主剤１００重
量部に対して５０重量部混合した。更にエポキシ系シラ
ンカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社
製）を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得
た。 実験２ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，１，
３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエーテル
ジシロキサンを２５重量部混合することで主剤を得た。
この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるエポミック
Ｑ６１４（商品名、三井石油社製）を主剤１００重量部
に対して２８重量部混合した。更にエポキシ系シランカ
ップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社製）
を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得た。 実験３ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，
１，３−ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチ
ルジシロキサンを１０重量部混合することで主剤を得
た。この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるエポミ
ックＱ６１４（商品名、三井石油社製）を主剤１００重
量部に対して２８重量部混合した。更にエポキシ系シラ
ンカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社
製）を５重量部混合して常温で液状である試験材料を得
た。 実験４ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，
１，３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエー
テルジシロキサンを１０重量部混合することで主剤を得
た。この主剤に変性脂肪族アミン系硬化剤であるフジキ
ュアＦＸ−８３０（商品名、富士化成工業社製）を主剤
１００重量部に対して５０重量部混合した。更にエポキ
シ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品名、日本ユ
ニカー社製）を５重量部混合して常温で液状である試験
材料を得た。 実験５ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を９５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を５重量部とした以外は実験１と同様にして常温で
液状である試験材料を得た。 実験６ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を８５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を１５重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験７ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６５重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を３５重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験８ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験９ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を５０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を５０重量部とした以外は実験１と同様にして常温
で液状である試験材料を得た。 実験１０ エポキシ樹脂としてビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂
エポミックＲ７１０（商品名、三井石油社製）を９５重
量部用意し、これにシロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂として１，１，３，３−テトラ
メチル−１，３−ジグリシジルエーテルジシロキサンを
５重量部混合することで主剤を得た。この主剤に変性脂
肪族アミン系硬化剤であるエポミックＱ６１４（商品
名、三井石油社製）を主剤１００重量部に対して２８重
量部混合した。更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ
−１８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量部混合
して常温で液状である試験材料を得た。 実験１１ 主剤中のエポキシ樹脂を９０重量部、シロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を１０重量部
とした以外は実験１０と同様にして常温で液状である試
験材料を得た。 実験１２ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１０と同様にして常
温で液状である試験材料を得た。 実験１３ 主剤を常温で液状であるビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂エピコート８２８（商品名、油化シェル社製）のみ１
００重量部とした以外は実験１と同様にして常温で液状
である試験材料を得た。 実験１４ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これに可撓性付与剤である
エポライト３００２（商品名、共栄社油脂社製）を２５
重量部混合することで主剤を得た。この主剤に変性芳香
族アミン系硬化剤であるフジキュアＦＸＫ−８３０（商
品名、富士化成工業社製）を主剤１００重量部に対して
５０重量部混合した。更にエポキシ系シランカップリン
グ剤Ａ−１８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量
部混合して常温で液状である試験材料を得た。 実験１５ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を７５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３−
ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシロ
キサンを２５重量部混合することで主剤を得た。この主
剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプトマ
ーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得られた
主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。更に
エポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品名、
日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状であ
る試験材料を得た。 実験１６ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を８０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキ トラメチル−１，３−ジグリシジルエ
ーテルジシロキサンを２０重量部混合することで主剤を
得た。この主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるア
デカオプトマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社
製）を得られた主剤１００重量部に対して１．５重量部
混合した。更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１
８７（商品名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して
常温で液状である試験材料を得た。 実験１７ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
型エポキシ樹脂エピコート８２８（商品名、油化シェル
社製）を９５重量部用意し、これにシロキサン結合を有
するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，１，
３，３−テトラメチル−１，３−ジグリシジルエーテル
ジシロキサンを５重量部混合することで主剤を得た。こ
の主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプ
トマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得ら
れた主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。
更にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品
名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状
である試験材料を得た。 実験１８ 常温で液状であるエポキシ樹脂としてビスフェノールＡ
Ｄ型エポキシ樹脂エポミックＲ７１０（商品名、三井石
油社製）を９０重量部用意し、これにシロキサン結合を
有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂として１，３
−ビス（３−グリシドキシプロピル）テトラメチルジシ
ロキサンを１０重量部混合することで主剤を得た。この
主剤にカチオン型紫外線硬化開始剤であるアデカオプト
マーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業社製）を得られ
た主剤１００重量部に対して１．５重量部混合した。更
にエポキシ系シランカップリング剤Ａ−１８７（商品
名、日本ユニカー社製）を５重量部混合して常温で液状
である試験材料を得た。 実験１９ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を６０重量部、
シロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ
樹脂を４０重量部とした以外は実験１５と同様にして常
温で液状である試験材料を得た。 実験２０ 主剤中の常温で液状であるエポキシ樹脂を５０重量部、
シロキるジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を５０重量
部とした以外は実験１６と同様にして常温で液状である
試験材料を得た。 実験２１ 主剤を常温で液状であるビスフェノールＡ型エポキシ樹
脂エピコート８２８（商品名、油化シェル社製）のみ１
００重量部とした以外は実験１５と同様にして常温で液
状である試験材料を得た。 実験２２ 熱硬化剤フジキュアＦＸＫ−８３０（商品名、富士化成
工業社製）の代わりにカチオン型紫外線硬化開始剤であ
るアデカオブトマーＳＰ−１７０（商品名、旭電化工業
社製）を得られた主剤１００重量部に対して１．５重量
部混合した以外は実験１４と同様にして常温で液状であ
る試験材料を得た。
【００６４】以上の実験１ないし２２のそれぞれにおい
て得られた試験材料のそれぞれについて、インク通路壁
形成材料として使用に価するものであるか否かを、該イ
ンク通路壁形成材料に要求される耐インク性、弾性率を
総合的に判断するため密着性及び形状保持性について以
下に述べる手法で評価して検討した。 ・密着性評価：それぞれの試験材料のインクに対する膨
潤試験を行なうことにより耐インク性、弾性率を総じて
調べた。すなわち、ガラス上に各試験材料で１００μｍ
の塗膜を作り、このガラスを実験１〜１４の試験材料に
関しては常温にて予備硬化後、１３０℃、２時間の熱硬
化を行ない、実験１５〜２２の試験材料に関しては８．
３Ｊの紫外線照射後１３０℃、１時間の熱硬化を行ない
試験材料を硬化させる。その後、ＰＣＴにより該ガラス
を従来インク（ＤＥＧ ３６ｗｔ％、水 ７４ｗｔ％）
及び高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％、ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％、ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％、水酸化リチウム０．４％、硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％、水７９．９ｗｔ％）のインクのそれぞれに浸
せきし、１２０℃、２気圧の条件下で１０ｈｒ放置し
た。その後ガラスをインク中から取り出し、水洗、乾燥
した後、各試験材料の剥離の有無を顕微鏡を用いて観察
した。観察結果は以下の評価基準で表１及び表２に示し
た。すなわち、○：ガラス基板上から塗膜がはがれ落ち
なかった場合、×：ガラス基板上から塗膜がはがれ落ち
た場合。
て得られた試験材料のそれぞれについて、インク通路壁
形成材料として使用に価するものであるか否かを、該イ
ンク通路壁形成材料に要求される耐インク性、弾性率を
総合的に判断するため密着性及び形状保持性について以
下に述べる手法で評価して検討した。 ・密着性評価：それぞれの試験材料のインクに対する膨
潤試験を行なうことにより耐インク性、弾性率を総じて
調べた。すなわち、ガラス上に各試験材料で１００μｍ
の塗膜を作り、このガラスを実験１〜１４の試験材料に
関しては常温にて予備硬化後、１３０℃、２時間の熱硬
化を行ない、実験１５〜２２の試験材料に関しては８．
３Ｊの紫外線照射後１３０℃、１時間の熱硬化を行ない
試験材料を硬化させる。その後、ＰＣＴにより該ガラス
を従来インク（ＤＥＧ ３６ｗｔ％、水 ７４ｗｔ％）
及び高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％、ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％、ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％、水酸化リチウム０．４％、硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％、水７９．９ｗｔ％）のインクのそれぞれに浸
せきし、１２０℃、２気圧の条件下で１０ｈｒ放置し
た。その後ガラスをインク中から取り出し、水洗、乾燥
した後、各試験材料の剥離の有無を顕微鏡を用いて観察
した。観察結果は以下の評価基準で表１及び表２に示し
た。すなわち、○：ガラス基板上から塗膜がはがれ落ち
なかった場合、×：ガラス基板上から塗膜がはがれ落ち
た場合。
【００６５】ここで、試験材料が耐インク性、弾性率の
うち１つでも所望の性能を有さない場合、塗膜がはがれ
落ちが生じる。したがって、塗膜のはがれ落ちが生じな
い材料は、後述の形状保持性を除けば上記２つの観点で
所望の性能を有しているといえる。 ・形状保持性評価：前述の密着性評価ではインク通路壁
の弾性率が高過ぎるものについて識別できるが、弾性率
が低過ぎるものを識別することはできない。このように
弾性率が低い材料は機械的強度が不足しているため外力
によりインク流路の形状が崩れてしまう場合がある。そ
こで密着性評価の他に各試験材料の形状保持性の評価を
行った。形状保持性の評価は曲げ弾性試験を介して行っ
た。すなわち、ＪＩＳ−Ｋ−６９１１の試験方法に基づ
き、実験１〜２２の各試験材料を型に流し込み、各試験
材料に対し硬化処理を次のようにして施す。すなわち、
実験１〜１４の試験材料（熱硬化型材料）に関しては、
常温にて予備硬化後、１３０℃、２時間の加熱処理を施
した。また、実験１５〜２２の試験材料（光硬化型材
料）に関しては、８．３Ｊの紫外線照射後１３０℃、１
時間の加熱処理を施した。かくして、硬化された各試験
材料を固形サンプルとし、それぞれの該サンプルを測定
装置ＲＴＭ−１００（東洋ボールドウィン株式会社製）
にセットして曲げ弾性率を調べた。得られた評価結果は
以下の評価基準で表１に示した。すなわち、○：曲げ弾
性率が６０ｋｇｆ／ｍｍ以上であった場合、×：曲げ弾
性率が６０ｋｇｆ／ｍｍに満たなかった場合。
うち１つでも所望の性能を有さない場合、塗膜がはがれ
落ちが生じる。したがって、塗膜のはがれ落ちが生じな
い材料は、後述の形状保持性を除けば上記２つの観点で
所望の性能を有しているといえる。 ・形状保持性評価：前述の密着性評価ではインク通路壁
の弾性率が高過ぎるものについて識別できるが、弾性率
が低過ぎるものを識別することはできない。このように
弾性率が低い材料は機械的強度が不足しているため外力
によりインク流路の形状が崩れてしまう場合がある。そ
こで密着性評価の他に各試験材料の形状保持性の評価を
行った。形状保持性の評価は曲げ弾性試験を介して行っ
た。すなわち、ＪＩＳ−Ｋ−６９１１の試験方法に基づ
き、実験１〜２２の各試験材料を型に流し込み、各試験
材料に対し硬化処理を次のようにして施す。すなわち、
実験１〜１４の試験材料（熱硬化型材料）に関しては、
常温にて予備硬化後、１３０℃、２時間の加熱処理を施
した。また、実験１５〜２２の試験材料（光硬化型材
料）に関しては、８．３Ｊの紫外線照射後１３０℃、１
時間の加熱処理を施した。かくして、硬化された各試験
材料を固形サンプルとし、それぞれの該サンプルを測定
装置ＲＴＭ−１００（東洋ボールドウィン株式会社製）
にセットして曲げ弾性率を調べた。得られた評価結果は
以下の評価基準で表１に示した。すなわち、○：曲げ弾
性率が６０ｋｇｆ／ｍｍ以上であった場合、×：曲げ弾
性率が６０ｋｇｆ／ｍｍに満たなかった場合。
【００６６】ここで、形状保持性とはインクジェットヘ
ッドの構成材料として使用した場合の機械的強度を示す
ものであり、曲げ弾性率が６０ｋｇｆ／ｍｍに満たない
ものは強度不足により形状の維持が困難であり、材料自
体の損傷の虞を有するものである。
ッドの構成材料として使用した場合の機械的強度を示す
ものであり、曲げ弾性率が６０ｋｇｆ／ｍｍに満たない
ものは強度不足により形状の維持が困難であり、材料自
体の損傷の虞を有するものである。
【００６７】更に、上記密着性評価及び形状保持性評価
の結果に基づいて各試験材料の総合評価を行い、その結
果を表１及び表２に示した。すなわち、○：密着性評価
及び形状保持性評価のいずれも○であった場合、×のい
ずれかが×であった場合。
の結果に基づいて各試験材料の総合評価を行い、その結
果を表１及び表２に示した。すなわち、○：密着性評価
及び形状保持性評価のいずれも○であった場合、×のい
ずれかが×であった場合。
【００６８】
【表１】
【００６９】
【表２】 密着性の評価結果から次のことがわかった。すなわち、
実験５，１０，１３，１７及び実験２１の試験材料の場
合、従来インク、高アルカリインクとも剥離が生じてし
まい、ガラス基板から塗膜がはがれ落ちてしまう。実験
１４及び実験２２の試験材料の場合、従来インクでは剥
離が見受けられないものの、高アルカリインクでは剥離
が生じてガラス基板から塗膜がはがれ落ちてしまう。実
験６の試験材料の場合、従来インク、高アルカリインク
ともガラス基板から塗膜がはがれ落ちることはないが、
高アルカリインクの場合は基板との界面に部分的な剥離
が見受けられる。その他の試験材料に関してはいずれの
インクにおいても剥離は見受けられない。
実験５，１０，１３，１７及び実験２１の試験材料の場
合、従来インク、高アルカリインクとも剥離が生じてし
まい、ガラス基板から塗膜がはがれ落ちてしまう。実験
１４及び実験２２の試験材料の場合、従来インクでは剥
離が見受けられないものの、高アルカリインクでは剥離
が生じてガラス基板から塗膜がはがれ落ちてしまう。実
験６の試験材料の場合、従来インク、高アルカリインク
ともガラス基板から塗膜がはがれ落ちることはないが、
高アルカリインクの場合は基板との界面に部分的な剥離
が見受けられる。その他の試験材料に関してはいずれの
インクにおいても剥離は見受けられない。
【００７０】形状保持性の評価結果から次のことがわか
った。すなわち、実験９及び実験２０の試験材料が曲げ
弾性率が６０ｋｇｆ／ｍｍ以下で強度不足である。
った。すなわち、実験９及び実験２０の試験材料が曲げ
弾性率が６０ｋｇｆ／ｍｍ以下で強度不足である。
【００７１】以上のことに鑑みて判断すると、実験５，
１０，１３，１７及び実験２１の試験材料においては、
主剤の弾性率が高いこと、すなわち主剤における常温で
液状であるエポキシ樹脂の含有率が高いことにより、樹
脂の収縮応力を吸収しきれず剥離が生じるものと思われ
る。このことは、実験６及び実験１８の試験材料におい
ては高アルカリインク中で剥離は生じるものの塗膜がは
がれ落ちることはないことからも推測される。実験１４
及び実験２２の試験材料においては、可撓性付与剤がア
ルカリインクにより一層膨潤されるために耐インク性が
低下し剥離が生じるものと思われる。また実験９及び実
験２０においては、主剤におけるエポキシ樹脂の含有率
が低いために試験材料の機械的強度が低下するものと思
われる。この実験９及び実験２０においては試験材料の
予備硬化に必要な時間も他の試験材料に比べ数段長いも
のであり、これらを使用してのインクジェットヘッドの
製造では所望の歩留は達成できないと思われる。
１０，１３，１７及び実験２１の試験材料においては、
主剤の弾性率が高いこと、すなわち主剤における常温で
液状であるエポキシ樹脂の含有率が高いことにより、樹
脂の収縮応力を吸収しきれず剥離が生じるものと思われ
る。このことは、実験６及び実験１８の試験材料におい
ては高アルカリインク中で剥離は生じるものの塗膜がは
がれ落ちることはないことからも推測される。実験１４
及び実験２２の試験材料においては、可撓性付与剤がア
ルカリインクにより一層膨潤されるために耐インク性が
低下し剥離が生じるものと思われる。また実験９及び実
験２０においては、主剤におけるエポキシ樹脂の含有率
が低いために試験材料の機械的強度が低下するものと思
われる。この実験９及び実験２０においては試験材料の
予備硬化に必要な時間も他の試験材料に比べ数段長いも
のであり、これらを使用してのインクジェットヘッドの
製造では所望の歩留は達成できないと思われる。
【００７２】更に、実験１５及び実験２２の試験材料の
粘度を測定したところ、実験１５の試験材料の粘度は３
４０ｃｐｓ、実験２２の試験材料の粘度は４５００ｃｐ
ｓであり、本発明のインク通路壁形成材料は、従来のイ
ンク通路壁形成材料であるエポキシ樹脂に可撓性付与剤
を含有させた材料に比べ、粘度を約１／１０に低下させ
ることが可能であることがわかる。これにより該材料塗
布時の泡の抱き込みも低減され、インクジェットヘッド
における精度の高いインク通路の形成も可能となる。
粘度を測定したところ、実験１５の試験材料の粘度は３
４０ｃｐｓ、実験２２の試験材料の粘度は４５００ｃｐ
ｓであり、本発明のインク通路壁形成材料は、従来のイ
ンク通路壁形成材料であるエポキシ樹脂に可撓性付与剤
を含有させた材料に比べ、粘度を約１／１０に低下させ
ることが可能であることがわかる。これにより該材料塗
布時の泡の抱き込みも低減され、インクジェットヘッド
における精度の高いインク通路の形成も可能となる。
【００７３】以上の結果から、上述した本願発明の常温
で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジ
エポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させたエポキシ
樹脂組成物を主成分とするインク通路壁形成材料によれ
ば、高アルカリ下にあっても剥離の問題が生じず、イン
クジェットヘッドの安定したインク吐出が維持されるこ
とが理解される。なお、上記実験のうち本発明に属する
ものは、実験１〜４、６〜８、１１〜１２、１５〜１
６、１８〜１９で得られたものであり、インクジェット
ヘッドのインク通路壁形成材料として総合的な性能の点
でより好ましいものは実験１，２，１５及び１６で得ら
れたものである。
で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジ
エポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させたエポキシ
樹脂組成物を主成分とするインク通路壁形成材料によれ
ば、高アルカリ下にあっても剥離の問題が生じず、イン
クジェットヘッドの安定したインク吐出が維持されるこ
とが理解される。なお、上記実験のうち本発明に属する
ものは、実験１〜４、６〜８、１１〜１２、１５〜１
６、１８〜１９で得られたものであり、インクジェット
ヘッドのインク通路壁形成材料として総合的な性能の点
でより好ましいものは実験１，２，１５及び１６で得ら
れたものである。
【００７４】次に、本発明の実施例として前述の実験１
及び実験１６で得られた試験材料をインク通路壁形成用
材料に用いてインクジェットヘッドを作成し、その性能
を検証した。また、比較例として、実験１３及び実験１
４で得られた試験材料をインク通路壁形成用材料に用い
てインクジェットヘッドを作成し、その性能を検証し
た。
及び実験１６で得られた試験材料をインク通路壁形成用
材料に用いてインクジェットヘッドを作成し、その性能
を検証した。また、比較例として、実験１３及び実験１
４で得られた試験材料をインク通路壁形成用材料に用い
てインクジェットヘッドを作成し、その性能を検証し
た。
【００７５】
実施例１ Ｓｉウエハ表面にスパッタリングによってＨｆＢ2 から
なる発熱抵抗層を２０００オングストロームの厚さに形
成し、引き続いてその上面を電気ビーム蒸着法によりア
ルミニウムを１μｍの熱さに堆積させて電極層を形成す
る。ついでフォトリソグラフィー法によって発熱抵抗層
及び電極層のパターンを形成し、Ｓｉ基板上に１２８ノ
ズルに対応する電気熱変換素子を２００ｄｐｉで形成す
る。
なる発熱抵抗層を２０００オングストロームの厚さに形
成し、引き続いてその上面を電気ビーム蒸着法によりア
ルミニウムを１μｍの熱さに堆積させて電極層を形成す
る。ついでフォトリソグラフィー法によって発熱抵抗層
及び電極層のパターンを形成し、Ｓｉ基板上に１２８ノ
ズルに対応する電気熱変換素子を２００ｄｐｉで形成す
る。
【００７６】次いで電気熱変換素子が形成されたＳｉ基
板上にポジ型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００
（商品名：東京応化社製）を３０μｍになるようにスピ
ンコートしオープン中９０℃、４０分のプリベークを行
ないレジスト層を形成した。次にノズルパターンのマス
クを介してパターン露光後、現像、リンスを行なって４
０μｍピッチのノズルパターンを形成した。ノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、実験１で作成した
試験材料をディスペンサーにより固体層を被覆するよう
に塗布し、常温硬化（２５℃２４時間）した後、１００
℃２時間の熱硬化を行ない３ｗｔ％の水酸化ナトリウム
溶液に浸漬し、ノズルパターンの固体層を除去すること
によりインクジェットヘッドを作成した。
板上にポジ型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００
（商品名：東京応化社製）を３０μｍになるようにスピ
ンコートしオープン中９０℃、４０分のプリベークを行
ないレジスト層を形成した。次にノズルパターンのマス
クを介してパターン露光後、現像、リンスを行なって４
０μｍピッチのノズルパターンを形成した。ノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、実験１で作成した
試験材料をディスペンサーにより固体層を被覆するよう
に塗布し、常温硬化（２５℃２４時間）した後、１００
℃２時間の熱硬化を行ない３ｗｔ％の水酸化ナトリウム
溶液に浸漬し、ノズルパターンの固体層を除去すること
によりインクジェットヘッドを作成した。
【００７７】このように作成したインクジェットヘッド
に高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間
の連続印字試験を行なったところ、印字不良や不吐出等
は発生せず、安定した印字を行なうことができた。ま
た、このインクジェットヘッドにおける吐出口付近を観
察したところ図３ａのように基板とインク通路壁とは良
好な密着状態を保っており、基板とインク通路壁との間
に剥離は見受けられなかった。 実施例２ Ｓｉウエハ表面にスパッタリングによってＨｆＢ2 から
なる発熱抵抗層を２０００オングストロームの厚さに形
成し、引き続いてその上面を電気ビーム蒸着法によりア
ルミニウムを１μｍの熱さに堆積させて電極層を形成す
る。ついでフォトリソグラフィー法によって発熱抵抗層
及び電極層のパターンを形成し、Ｓｉ基板上に電気熱変
換素子を形成する。
に高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間
の連続印字試験を行なったところ、印字不良や不吐出等
は発生せず、安定した印字を行なうことができた。ま
た、このインクジェットヘッドにおける吐出口付近を観
察したところ図３ａのように基板とインク通路壁とは良
好な密着状態を保っており、基板とインク通路壁との間
に剥離は見受けられなかった。 実施例２ Ｓｉウエハ表面にスパッタリングによってＨｆＢ2 から
なる発熱抵抗層を２０００オングストロームの厚さに形
成し、引き続いてその上面を電気ビーム蒸着法によりア
ルミニウムを１μｍの熱さに堆積させて電極層を形成す
る。ついでフォトリソグラフィー法によって発熱抵抗層
及び電極層のパターンを形成し、Ｓｉ基板上に電気熱変
換素子を形成する。
【００７８】次いで電気熱変換素子が形成されたＳｉ基
板上にポジ型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００
（商品名：東京応化社製）を３０μｍになるようにスピ
ンコートしオープン中９０℃、４０分のプリベークを行
ないレジスト層を形成した。次にノズルパターンのマス
クを介してパターン露光後、現像、リンスを行なって４
０μｍピッチのノズルパターンを形成した。ノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、実験１６で作成し
た試験材料で固体層を被覆し、８．３Ｊの紫外線照射後
１３０℃で１時間の熱硬化を行ない３ｗｔ％の水酸化ナ
トリウム溶液に浸漬し、ノズルパターンの固体層を除去
することによりインクジェットヘッドを作成した。
板上にポジ型フォトレジストＰＭＥＲ ＡＲ−９００
（商品名：東京応化社製）を３０μｍになるようにスピ
ンコートしオープン中９０℃、４０分のプリベークを行
ないレジスト層を形成した。次にノズルパターンのマス
クを介してパターン露光後、現像、リンスを行なって４
０μｍピッチのノズルパターンを形成した。ノズルパタ
ーンの固体層が設けられた基板上に、実験１６で作成し
た試験材料で固体層を被覆し、８．３Ｊの紫外線照射後
１３０℃で１時間の熱硬化を行ない３ｗｔ％の水酸化ナ
トリウム溶液に浸漬し、ノズルパターンの固体層を除去
することによりインクジェットヘッドを作成した。
【００７９】このように作成したインクジェットヘッド
に高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間
の連続印字試験を行なったところ、印字不良や不吐出等
は発生せず、安定した印字を行なうことができた。ま
た、このインクジェットヘッドにおける吐出口付近を観
察したところ図３ａのように基板とインク通路壁とは良
好な密着状態を保っており、基板とインク通路壁との間
に剥離は見受けられなかった。 比較例１ インクジェットヘッドのインク流路形成用材料として実
験１３で得られた試験材料を用いる以外は実施例１と同
様にしてインクジェットヘッドを作成した。
に高アルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１
０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗ
ｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．
５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間
の連続印字試験を行なったところ、印字不良や不吐出等
は発生せず、安定した印字を行なうことができた。ま
た、このインクジェットヘッドにおける吐出口付近を観
察したところ図３ａのように基板とインク通路壁とは良
好な密着状態を保っており、基板とインク通路壁との間
に剥離は見受けられなかった。 比較例１ インクジェットヘッドのインク流路形成用材料として実
験１３で得られた試験材料を用いる以外は実施例１と同
様にしてインクジェットヘッドを作成した。
【００８０】このように作成したインクジェットヘッド
を実施例１と同様にアルカリインク（ｐＨ１０．７、組
成：ＧＬＹ１０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，Ｉ
ＰＡ５．０ｗｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アン
モニウム０．５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して
１０００時間の連続印字試験を行なったところ、不吐出
や印字のかすれが見受けられた。また、このインクジェ
ットヘッドにおける吐出口付近を観察したところ、中央
部では図３ｂのように基板とインク通路壁との間に剥離
が生じていた。 比較例２ インクジェットヘッドのインク流路形成用材料として実
験１４で得られた試験材料を用いる以外は実施例１と同
様にしてインクジェットヘッドを作成した。
を実施例１と同様にアルカリインク（ｐＨ１０．７、組
成：ＧＬＹ１０．０ｗｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，Ｉ
ＰＡ５．０ｗｔ％，水酸化リチウム０．４％，硫酸アン
モニウム０．５ｗｔ％，水７９．９ｗｔ％）を使用して
１０００時間の連続印字試験を行なったところ、不吐出
や印字のかすれが見受けられた。また、このインクジェ
ットヘッドにおける吐出口付近を観察したところ、中央
部では図３ｂのように基板とインク通路壁との間に剥離
が生じていた。 比較例２ インクジェットヘッドのインク流路形成用材料として実
験１４で得られた試験材料を用いる以外は実施例１と同
様にしてインクジェットヘッドを作成した。
【００８１】このように作成したインクジェットヘッド
を実施例１と同様にインクジェットヘッドの液室に高ア
ルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１０．０ｗ
ｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗｔ％，水
酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．５ｗｔ
％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間の連続
印字試験を行なったところ、不吐出やインクジェットヘ
ッドのかすれが見受けられた。また、このインクジェッ
トヘッドにおける吐出口付近を観察したところ、中央部
では図３ｂのように基板とインク通路壁との間に剥離が
生じていた。
を実施例１と同様にインクジェットヘッドの液室に高ア
ルカリインク（ｐＨ１０．７、組成：ＧＬＹ１０．０ｗ
ｔ％，ＵＲＥＡ５．０ｗｔ％，ＩＰＡ５．０ｗｔ％，水
酸化リチウム０．４％，硫酸アンモニウム０．５ｗｔ
％，水７９．９ｗｔ％）を使用して１０００時間の連続
印字試験を行なったところ、不吐出やインクジェットヘ
ッドのかすれが見受けられた。また、このインクジェッ
トヘッドにおける吐出口付近を観察したところ、中央部
では図３ｂのように基板とインク通路壁との間に剥離が
生じていた。
【００８２】以上の結果から上述したように本願発明の
常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有す
るジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させたエポ
キシ樹脂組成物を主成分とする硬化型樹脂をインク通路
壁形成用材料として用いる場合、インク通路壁を剥離が
生じないものとすることができ、常時安定したインク吐
出がなされて高品質のプリントをもたらす所望のインク
ジェットヘッドが得られることが理解される。
常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合を有す
るジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させたエポ
キシ樹脂組成物を主成分とする硬化型樹脂をインク通路
壁形成用材料として用いる場合、インク通路壁を剥離が
生じないものとすることができ、常時安定したインク吐
出がなされて高品質のプリントをもたらす所望のインク
ジェットヘッドが得られることが理解される。
【００８３】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば高アル
カリを使用した場合においても長時間安定した吐出が可
能であり、耐インク性に優れ、基板との剥離の問題を生
じない精度の高いインクジェットヘッドが低コストで得
られるものである。
カリを使用した場合においても長時間安定した吐出が可
能であり、耐インク性に優れ、基板との剥離の問題を生
じない精度の高いインクジェットヘッドが低コストで得
られるものである。
【図１】図１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ），（ｆ），（ｇ），（ｈ），（ｉ），（ｊ）は本
発明のインクジェットヘッドの製造方法を示す工程図。
（ｅ），（ｆ），（ｇ），（ｈ），（ｉ），（ｊ）は本
発明のインクジェットヘッドの製造方法を示す工程図。
【図２】図２（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ），（ｆ），（ｇ），（ｈ），（ｉ），（ｊ）は図
１（ａ）〜（ｊ）の構成の模式的斜視図。
（ｅ），（ｆ），（ｇ），（ｈ），（ｉ），（ｊ）は図
１（ａ）〜（ｊ）の構成の模式的斜視図。
【図３】本実施例及び比較例で作成したインクジェット
ヘッドの吐出口付近の拡大模式図。
ヘッドの吐出口付近の拡大模式図。
【図４】インクジェットヘッドの一構成例を示す分解模
式図。
式図。
【図５】本発明のインクジェットヘッドを搭載可能なイ
ンクジェット装置の一例を示す模式図。
ンクジェット装置の一例を示す模式図。
【図６】図１（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ），
（ｅ），（ｆ）は従来のインクジェットヘッドの製造方
法を説明する工程図。
（ｅ），（ｆ）は従来のインクジェットヘッドの製造方
法を説明する工程図。
１ 基板 ２ 感光性樹脂層 ２′ 露光箇所 ３ マスク ４ 固体層 ５ インク通路壁形成材料 ６ インク流路 ７ 天板 １１ 発熱抵抗層 １２ 電極層 １３ 発熱部 １４ 電気熱変換素子 １６ キャリッジ １７ 駆動モータ １８ 駆動ベルト １９Ａ ガイドシャフト １９Ｂ ガイドシャフト ２０ インクジェットヘッドカートリッジ ２２ モータ ２３ 伝動機構 ２４ プラテン ２６ ヘッド回復装置 ３０ ブレード ３０Ａ ブレード保持部材 ３１ ブレード １０１ シリコン基板 １０２ 発熱素子用配線 １０３ 発熱素子 １０４ インク通路壁 １０４ａ インク流路壁 １０４ｂ 共通インク室壁 １０５ 天板 １０６ インク用フィルター １０７ 共通インク入口部 １０８ａ インク流路 １０８ｂ 共通インク室 １０９ 吐出口
Claims (34)
- 【請求項１】 インクを吐出するための吐出口と、イン
クを吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネ
ルギー発生素子と、該吐出エネルギー発生素子を備える
基板と、前記吐出口に連通しインクを供給する複数のイ
ンク通路と、を備えていて、該インク通路のそれぞれは
前記基板と接合しインク通路を形成するインク通路壁を
有しているインクジェットヘッドにおいて、 前記インク通路壁が、主成分が常温で液状であるエポキ
シ樹脂にシロキサン結合を有するジエポキサイド構造の
エポキシ樹脂を含有させたエポキシ樹脂組成物からなる
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】 前記シロキサン結合を有するジエポキサ
イド構造のエポキシ樹脂が下記式ＩもしくはIIの構造で
ある請求項１に記載のインクジェットヘッド。 【化１】 【化２】 （ただし、Ｒ1 〜Ｒ4 は炭素数１〜４のアルキル基、炭
素数２〜６のアルケニル基、フェニル基、置換芳香族を
示し、互いに同一でも異なっていても良い。Ｒ5、Ｒ6
は炭素数１〜８のアルキレン、フェニレンを示し、互い
に同一でも異なっていても良い。ｎは１〜１０００の整
数を示す。） - 【請求項３】 前記インク通路壁が熱硬化型樹脂からな
る請求項１に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 前記熱硬化型樹脂中にアミン系硬化剤を
含有する請求項３に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項５】 前記熱硬化型樹脂中にシランカップリン
グ剤を含有する請求項３に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項６】 前記シランカップリング剤の含有率が前
記エポキシ樹脂組成物１００重量部に対して１〜１０重
量部である請求項５に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項７】 前記インク通路壁が光硬化型樹脂からな
る請求項１に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項８】 前記光硬化型樹脂が光照射によりカチオ
ンを生成し得る化合物を含有してなる請求項７に記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項９】 前記光硬化型樹脂中にシランカップリン
グ剤を含有する請求項７に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項１０】 前記シランカップリング剤の含有率が
前記エポキシ樹脂組成物１００重量部に対して１〜１０
重量部である請求項９に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項１１】 前記エポキシ樹脂組成物中におけるシ
ロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹
脂の割合が１０〜４０重量％である請求項１記載のイン
クジェットヘッド。 - 【請求項１２】 前記常温で液状であるエポキシ樹脂の
分子量が３００以上である請求項１記載のインクジェッ
トヘッド。 - 【請求項１３】 前記常温で液状であるエポキシ樹脂の
粘度が１０〜１０００００ｃｐｓである請求項１記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項１４】 前記吐出エネルギー発生素子が熱エネ
ルギーを発生する電気熱変換素子である請求項１記載の
インクジェットヘッド。 - 【請求項１５】 前記吐出エネルギー発生素子が圧電素
子である請求項１記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項１６】 前記インクジェットヘッドが記録媒体
の記録領域の全幅にわたってインクを吐出するための吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのインクジ
ェットヘッドである請求項１記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項１７】 インクを記録媒体に吐出するための吐
出口と、インクを吐出するための吐出エネルギーを発生
する吐出エネルギー発生素子と、該吐出エネルギー発生
素子を備える基板と、前記吐出口に連通しインクを供給
するインク通路と、前記基板と接合しインク通路を形成
するインク通路壁と、を備え、前記インク通路壁が、主
成分が常温で液状であるエポキシ樹脂にシロキサン結合
を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹脂を含有させ
たエポキシ樹脂組成物からなるインクジェットヘッド
と、 前記記録媒体を搬送するための搬送装置と、を有するイ
ンクジェット装置。 - 【請求項１８】 インクを吐出するための吐出エネルギ
ーを発生するインク吐出エネルギー発生素子を備える基
板上にインク通路パターンの固体層を設け、該基板上に
硬化型のインク通路壁形成材料を被覆し、該インク通路
壁形成材料を硬化させた後、前記インク通路パターンの
固体層を除去することによりインク通路が形成されるイ
ンクジェットヘッドにおいて、 前記インク通路壁形成材料が、主成分が常温で液状であ
るエポキシ樹脂にシロキサン結合を有するジエポキサイ
ド構造のエポキシ樹脂を含有させたエポキシ樹脂組成物
からなることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項１９】 前記シロキサン結合を有するジエポキ
サイド構造のエポキシ樹脂が下記式ＩもしくはIIの構造
である請求項１に記載のインクジェットヘッド。 【化３】 【化４】 （ただし、Ｒ1 〜Ｒ4 は炭素数１〜４のアルキル基、炭
素数２〜６のアルケニル基、フェニル基、置換芳香族を
示し、互いに同一でも異なっていても良い。Ｒ5、Ｒ6
は炭素数１〜８のアルキレン、フェニレンを示し、互い
に同一でも異なっていても良い。ｎは１〜１０００の整
数を示す。） - 【請求項２０】 前記インク通路壁形成材料が熱硬化型
樹脂からなる請求項１８に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２１】 前記熱硬化型樹脂中にアミン系硬化剤
を含有する請求項２０に記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項２２】 前記熱硬化型樹脂中にシランカップリ
ング剤を含有する請求項２０に記載のインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項２３】 前記シランカップリング剤の含有率が
前記エポキシ樹脂組成物１００重量部に対して１〜１０
重量部である請求項２２に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２４】 前記インク通路壁形成材料が光硬化型
樹脂からなる請求項１８に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２５】 前記光硬化型樹脂が光照射によりカチ
オンを生成し得る化合物を含有してなる請求項２４に記
載のインクジェットヘッド。 - 【請求項２６】 前記光硬化型樹脂中にシランカップリ
ング剤を含有する請求項２４に記載のインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項２７】 前記シランカップリング剤の含有率が
前記エポキシ樹脂組成物１００重量部に対して１〜１０
重量部である請求項２６に記載のインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項２８】 前記エポキシ樹脂組成物中におけるシ
ロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポキシ樹
脂の割合が１０〜４０重量％である請求項１８記載のイ
ンクジェットヘッド。 - 【請求項２９】 前記常温で液状であるエポキシ樹脂の
分子量が３００以上である請求項１８記載のインクジェ
ットヘッド。 - 【請求項３０】 前記常温で液状であるエポキシ樹脂の
粘度が１０〜１０００００ｃｐｓである請求項１８記載
のインクジェットヘッド。 - 【請求項３１】 前記吐出エネルギー発生素子が熱エネ
ルギーを発生する電気熱変換素子である請求項１８記載
のインクジェットヘッド。 - 【請求項３２】 前記吐出エネルギー発生素子が圧電素
子である請求項１８記載のインクジェットヘッド。 - 【請求項３３】 前記インクジェットヘッドが記録媒体
の記録領域の全幅にわたってインクを吐出するための吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのインクジ
ェットヘッドである請求項１８記載のインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項３４】 インクを記録媒体に吐出するための吐
出エネルギーを発生するインク吐出エネルギー発生素子
を備える基板上にインク通路パターンの固体層を設け、
該基板上に硬化型のインク通路壁形成材料を被覆し、該
インク通路壁形成材料を硬化させた後、前記インク通路
パターンの固体層を除去することによりインク通路が形
成されるインクジェットヘッドであって、前記インク通
路壁形成材料が、主成分が常温で液状であるエポキシ樹
脂にシロキサン結合を有するジエポキサイド構造のエポ
キシ樹脂を含有させたエポキシ樹脂組成物からなるイン
クジェットヘッドと、 前記記録媒体を搬送するための搬送装置と、を有するイ
ンクジェット装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29131294A JP3397478B2 (ja) | 1993-11-26 | 1994-11-25 | インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置 |
| EP94118704A EP0658430B1 (en) | 1993-11-26 | 1994-11-28 | Ink jet head free of debonding between a substrate and ink flow path walls formed on said substrate |
| DE69430565T DE69430565T2 (de) | 1993-11-26 | 1994-11-28 | Tintenstrahlkopf mit guter Haftung zwischen einem Substrat und den auf diesem Substrat gebildeten Tintenflusskanälen |
| US08/348,255 US5663752A (en) | 1993-11-26 | 1994-11-28 | Ink jet head free of debonding between a substrate and ink flow path walls formed on said substrate |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29622093 | 1993-11-26 | ||
| JP5-296220 | 1993-11-26 | ||
| JP29131294A JP3397478B2 (ja) | 1993-11-26 | 1994-11-25 | インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07195700A true JPH07195700A (ja) | 1995-08-01 |
| JP3397478B2 JP3397478B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=26558489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29131294A Expired - Fee Related JP3397478B2 (ja) | 1993-11-26 | 1994-11-25 | インクジェットヘッド及び該インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェット装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5663752A (ja) |
| EP (1) | EP0658430B1 (ja) |
| JP (1) | JP3397478B2 (ja) |
| DE (1) | DE69430565T2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002210961A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体噴射装置及びその製造方法 |
| JP2006224664A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、該記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド用組成物 |
| JP2007137055A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-06-07 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2008248256A (ja) * | 2001-05-16 | 2008-10-16 | Momentive Performance Materials Inc | ポリエーテルシロキサンコポリマー網目構造組成物 |
| US8012364B2 (en) | 2005-01-21 | 2011-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, producing method therefor and composition for ink jet recording head |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1996041835A1 (fr) * | 1995-06-13 | 1996-12-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Composition de resine epoxyde a base de fluor tres soluble dans des solvants |
| US5980026A (en) * | 1995-06-14 | 1999-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for production of ink jet head |
| WO1998000296A1 (de) * | 1996-06-28 | 1998-01-08 | Pelikan Produktions Ag | Tintenstrahldruckkopf mit komponenten aus siliciumorganischen verbindungen |
| US6312085B1 (en) | 1997-06-26 | 2001-11-06 | Pelikan Produktions Ag | Ink jet printing head with elements made of organosilicic compounds |
| US6391140B1 (en) | 1998-07-10 | 2002-05-21 | Lexmark International, Inc. | Adhesive material with flexibility modifiers |
| JP3595743B2 (ja) * | 1998-10-27 | 2004-12-02 | キヤノン株式会社 | インクタンク、及び、そのインクタンクを含むカートリッジ、及び、そのカートリッジを用いる記録装置 |
| US6586495B1 (en) * | 1999-09-20 | 2003-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Alkylsiloxane-containing epoxy resin composition, surface modifying method using the same, ink-jet recording head and liquid-jet recording apparatus |
| US6444745B1 (en) | 2000-06-12 | 2002-09-03 | General Electric Company | Silicone polymer network compositions |
| US20030203978A1 (en) * | 2001-05-16 | 2003-10-30 | O'brien Michael Joseph | Cosmetic compositions comprising silicone gels comprising entrapped, occluded or encapsulated pigments |
| US6538061B2 (en) * | 2001-05-16 | 2003-03-25 | General Electric Company | Cosmetic compositions using polyether siloxane copolymer network compositions |
| US7241835B2 (en) * | 2001-05-16 | 2007-07-10 | General Electric Company | Cosmetic compositions comprising silicone gels |
| US20030095935A1 (en) * | 2001-11-16 | 2003-05-22 | General Electric Company | Transfer resistant cosmetic compositions comprising silicone gels |
| US6846520B2 (en) * | 2002-01-17 | 2005-01-25 | Canon Kabushiki Kaisha | Epoxy resin composition, surface treatment method, liquid-jet recording head and liquid-jet recording apparatus |
| US6992117B2 (en) * | 2002-01-17 | 2006-01-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Epoxy resin composition, surface treatment method, liquid-jet recording head and liquid-jet recording apparatus |
| US6869541B2 (en) * | 2002-02-21 | 2005-03-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Epoxy resin composition, surface treating method, ink-jet recording head, and ink-jet recording apparatus |
| US6773869B1 (en) * | 2003-04-24 | 2004-08-10 | Lexmark International, Inc. | Inkjet printhead nozzle plate |
| JP2005074747A (ja) * | 2003-08-29 | 2005-03-24 | Canon Inc | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
| US7637013B2 (en) * | 2005-08-23 | 2009-12-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing ink jet recording head |
| EP1801142B1 (en) * | 2005-12-16 | 2016-02-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Resin composition,resin cured product, and liquid discharge head |
| JP5173273B2 (ja) * | 2007-06-19 | 2013-04-03 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド用封止剤、インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置 |
| JP2010274627A (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Canon Inc | インクジェットプリンター用インク接液熱可塑性エラストマー組成物 |
| JP5501167B2 (ja) | 2010-09-08 | 2014-05-21 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
| JP5697406B2 (ja) | 2010-11-09 | 2015-04-08 | キヤノン株式会社 | 親水被膜の形成方法および親水被膜、ならびにインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッド |
| JP5539169B2 (ja) | 2010-11-22 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | インクジェット用弾性部材 |
| US8657413B2 (en) | 2011-01-18 | 2014-02-25 | Funai Electric Co., Ltd. | Die attach composition for silicon chip placement on a flat substrate having improved thixotropic properties |
| US8728715B2 (en) * | 2012-01-13 | 2014-05-20 | Funai Electric Co., Ltd. | Non-photosensitive siloxane coating for processing hydrophobic photoimageable nozzle plate |
| JP5858813B2 (ja) | 2012-02-06 | 2016-02-10 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及びその製造方法 |
| US9498409B2 (en) | 2014-12-16 | 2016-11-22 | Momentive Performance Materials Inc. | Cosmetic skin covering sheets and their method of preparation |
| US9839602B2 (en) | 2014-12-16 | 2017-12-12 | Momentive Performance Materials Inc. | Personal care compositions containing crosslinked silicone polymer networks and their method of preparation |
| US20160166494A1 (en) | 2014-12-16 | 2016-06-16 | Momentive Performance Materials Inc. | Cosmetic composition and method of preparation |
| US9744119B2 (en) | 2014-12-16 | 2017-08-29 | Momentive Performance Materials Inc. | Cosmetic composition and method of preparation |
| US9801805B2 (en) | 2014-12-16 | 2017-10-31 | Momentive Performance Materials Inc. | Personal care composition comprising silicone network |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1594311A1 (de) * | 1964-08-31 | 1970-07-16 | Ver Volkseigener Betr E Hausha | Verfahren zum Verkleben von Glas und keramischen Erzeugnissen |
| CA1127227A (en) * | 1977-10-03 | 1982-07-06 | Ichiro Endo | Liquid jet recording process and apparatus therefor |
| JPS5936879B2 (ja) * | 1977-10-14 | 1984-09-06 | キヤノン株式会社 | 熱転写記録用媒体 |
| US4330787A (en) * | 1978-10-31 | 1982-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording device |
| US4345262A (en) * | 1979-02-19 | 1982-08-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording method |
| US4463359A (en) * | 1979-04-02 | 1984-07-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Droplet generating method and apparatus thereof |
| US4313124A (en) * | 1979-05-18 | 1982-01-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording process and liquid jet recording head |
| US4558333A (en) * | 1981-07-09 | 1985-12-10 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head |
| JPS59123670A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-17 | Canon Inc | インクジエツトヘツド |
| JPS59138461A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-08 | Canon Inc | 液体噴射記録装置 |
| JPS6071260A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-23 | Erumu:Kk | 記録装置 |
| JPH0645242B2 (ja) * | 1984-12-28 | 1994-06-15 | キヤノン株式会社 | 液体噴射記録ヘツドの製造方法 |
| US4688053A (en) * | 1985-07-13 | 1987-08-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid jet recording head having a layer of a resin composition curable with an active energy ray |
| JPH0639166B2 (ja) * | 1985-09-12 | 1994-05-25 | キヤノン株式会社 | 記録器具 |
| JP2697937B2 (ja) * | 1989-12-15 | 1998-01-19 | キヤノン株式会社 | 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物 |
| ATE158754T1 (de) * | 1990-12-19 | 1997-10-15 | Canon Kk | Herstellungsverfahren für flüssigkeitsausströmenden aufzeichnungskopf |
| ATE141546T1 (de) * | 1991-10-31 | 1996-09-15 | Canon Kk | Polymerzusammensetzung für transfer-giessen zur herstellung eines farbstrahlaufzeichnungskopfes und unter deren verwendung hergestellter farbstrahlaufzeichnungskopf |
| US5218381A (en) * | 1992-04-28 | 1993-06-08 | Xerox Corporation | Hydrophobic coating for a front face of a printhead in an ink jet printer |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP29131294A patent/JP3397478B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1994-11-28 US US08/348,255 patent/US5663752A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-11-28 EP EP94118704A patent/EP0658430B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-11-28 DE DE69430565T patent/DE69430565T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002210961A (ja) * | 2001-01-12 | 2002-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 流体噴射装置及びその製造方法 |
| JP4622103B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2011-02-02 | パナソニック株式会社 | 流体噴射装置 |
| JP2008248256A (ja) * | 2001-05-16 | 2008-10-16 | Momentive Performance Materials Inc | ポリエーテルシロキサンコポリマー網目構造組成物 |
| JP2006224664A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド、該記録ヘッドの製造方法、及びインクジェット記録ヘッド用組成物 |
| US8012364B2 (en) | 2005-01-21 | 2011-09-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, producing method therefor and composition for ink jet recording head |
| US8087748B2 (en) | 2005-01-21 | 2012-01-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording head, producing method therefor and composition for ink jet recording head |
| JP2007137055A (ja) * | 2005-10-20 | 2007-06-07 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3397478B2 (ja) | 2003-04-14 |
| EP0658430A1 (en) | 1995-06-21 |
| EP0658430B1 (en) | 2002-05-08 |
| US5663752A (en) | 1997-09-02 |
| DE69430565T2 (de) | 2002-10-10 |
| DE69430565D1 (de) | 2002-06-13 |
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