JPH0911483A - 液体噴射記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造工程時に生じるインク通路形成用材料の
硬化収縮を低減し、ヘッドの湾曲を防止する。 【構成】 インクを吐出するために利用される吐出エネ
ルギ−を発生する液体吐出エネルギー発生素子を備えた
基板上に溶解可能な樹脂にてインク通路パターンを形成
し、該インク通路パターンを硬化型樹脂のインク通路壁
形成用材料にて被覆した後、該インク通路壁形成用材料
を硬化させ、次いで、前記インク通路パターンを除去す
ることによりインク通路が形成される液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法において、前記インク通路壁形成用材料
に、活性エネルギー線透過性でかつ前記硬化方樹脂の屈
折率と実質的に同じであるフィラーを含有させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は液体噴射記録方式に用い
る記録小滴を発生するための液体噴射記録ヘッドの製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】液体噴射記録方式に適用される液体噴射
記録ヘッドは、一般にインクを吐出するための微細な記
録液吐出口（以下、オリフィスと称す）と、該吐出口に
連通する液流路と、該液流路の一部に設けられる液体吐
出エネルギー発生部と、を備えている。

【０００３】液体噴射記録装置はインク滴を記録媒体に
吐出することにより記録を行う記録装置であるが、その
静粛性や普通紙にも印刷可能であって汎用性があること
から、近年特に注目されている。この液体噴射記録装置
において作用されるインクを吐出するための機構である
液体噴射記録ヘッドは、液体噴射記録装置の最も重要な
部分であり、当該、液体噴射記録ヘッドは、非常に精密
な構造を有するものである。こうした液体噴射記録ヘッ
ドの一例を図３を用いて説明する。

【０００４】図１０は液体噴射記録ヘッドの一構成例を
示す分解模式図である。

【０００５】図１０において、シリコン基板１０１上に
は電気熱変換素子である発熱素子１０３と発熱素子用配
線１０２とが薄膜形成技術を用いて形成されている。こ
の電気熱変換体が形成されたシリコン基板上には、さら
に感光性樹脂等の樹脂により形成されたインク流路壁１
０４ａ及び共通インク室壁１０４ｂをなすインク通路壁
１０４がある。そして、このインク通路壁１０４によっ
て形成された凹部を覆うようにガラス基板よりなる天板
１０５が該インク通路壁１０４上に接着されてインク流
路１０８ａや共通インク室１０８ｂが形成されている。
該インク流路１０８ａには前述の発熱素子１０３が設け
られ、インク流路１０８ａに連通するシリコン基板の端
面には吐出口１０９が形成されている。前記天板１０５
には共通インク入口部１０７となる開口が設けられてお
り、この共通インク入口部１０７は天板１０５に接着さ
れたインク用フィルター１０６によって覆われている。

【０００６】上述のような液体噴射記録へッドを製造す
るための製造方法としては過去に多数提案されてきてい
る。そうした液体噴射記録ヘッドの製造方法の代表的な
ものとして、特開昭61-154947 号（USP4657631) に記載
される製造方法をあげることができる。当該公報に記載
の液体噴射記録ヘッドの製造方法を図１をもとに簡単に
説明する。当該液体噴射記録ヘッドの製造方法は次の６
つの工程からなる。すなわち、（１）まず、インクを吐
出するためのエネルギー発生素子を設けた基板１上に感
光性樹脂層（ポジ型フォトレジスト）２を形成する工程
（図１ａ）、（２）次に前記工程（１）で形成された該
感光性樹脂層２をパターニングマスク３を介して露光す
る工程（図１ｂ）、（３）前記工程（２）で露光された
感光性樹脂層２に現像処理を施して感光性樹脂をパター
ニングし、前記基板１上にインク通路となるべき部分に
固体層４を形成する工程（図１ｃ）、（４）前記工程
（３）でパターニングされた固体層４の上に硬化型樹脂
のインク通路壁形成材料５を被覆する工程（図１ｄ）、
（５）該インク通路形成用材料５を硬化させる工程（図
１ｅ）、そして（６）その後、含ハロゲン炭化水素、ケ
トン、エステル、アルコール等の有機溶媒や水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム等のアルカリ水溶液を用いて、
パターニングされた固体層を溶解除去する工程（図１
ｆ）を経てインク通路６が形成され、これにより液体噴
射記録ヘッドが完成する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記液体噴射記録ヘッ
ドの製造方法においては、インク通路壁形成材料５とし
て、上述したように硬化型の樹脂が通常用いられる。と
ころが、当該樹脂を硬化させる際に収縮応力が不可避的
に働く。この収縮応力はインク通路形成用材料を厚く設
けた場合にはインク通路壁形成材料と基板との剥離をも
たらす場合がある。そして、このようにインク流路形成
部材が剥離を起こすと、インク漏れや、隣接インク流路
への圧力波伝播が見受けられるようになり、好ましくな
い。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は上述の問題を解
決するためになされた発明であって、前記インク流路形
成部材の硬化収縮を防止するために、インクを吐出する
ために利用される吐出エネルギ−を発生する液体吐出エ
ネルギー発生素子を備えた基板上に溶解可能な樹脂にて
インク通路パターンを形成し、該インク通路パターンを
硬化型樹脂のインク通路壁形成用材料にて被覆した後、
該インク通路壁形成用材料を硬化させ、次いで、前記イ
ンク通路パターンを除去することによりインク通路が形
成される液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記
インク通路壁形成用材料が、活性エネルギー線透過性で
かつ前記硬化方樹脂の屈折率と実質的に同じであるフィ
ラーを含有することを特徴とする液体噴射記録ヘッドの
製造方法である。

【０００９】

【作用】本発明によれば、製造工程中にヘッドの湾曲が
生じることなく、吐出性能の優れた液体噴射記録ヘッド
を提供できるものである。

【００１０】

【実施例】以下、本発明について詳細に説明する。

【００１１】本発明はインク通路壁形成用材料の硬化収
縮を低減するために、インク通路壁形成用材料にフィラ
ーを含有させるものであるが、このときフィラーによっ
てはインク通路壁形成用材料である感光性樹脂の硬化不
良が見られることがあった。

【００１２】即ち、フィラーが活性エネルギー線を不透
過である場合、フィラーの存在する分が影になり、感光
性樹脂に十分な活性エネルギー線が照射できない。ま
た、フィラーが活性エネルギー線を透過してもでフィラ
ーの屈折率が硬化した感光性樹脂と大幅に異なる場合、
やはり露光量が少なくなりがちであり、露光むらの原因
ともなる。このような観点から、本発明に用いられるフ
ィラーは活性エネルギー線透過性であって屈折率が硬化
した感光性樹脂と同程度のものであることが望ましい。

【００１３】上述のインク通路壁形成材料には、主剤と
なる感光性樹脂、前述のフィラーの他に光硬化触媒も添
加される。このような光硬化触媒としては、酸素によ
り重合阻害がない、硬化収縮が少なく密着性、接着性
に優れる、耐熱性、耐薬品性が優れる、といったこと
よりカチオン重合化合物が好ましい。このようなものと
して具体的には、アデカオプトマー ＳＰ−１５０、１
７０（商品名、旭電化社製）等を挙げることができる。

【００１４】（実施例１）以下、実施例により本発明を
具体的に説明する。

【００１５】以下に、本発明のインクジェットヘッドの
製造方法について説明する。

【００１６】図２（ａ）〜図９（ａ）は本発明における
インクジェットヘッドの製造方法を模式的に示した説明
図であり、本発明にかかるインクジェットヘッドの構成
の一例の吐出方向正面より見た模式図が示されている。
更に図２（ｂ）〜図９（ｂ）は図２（ａ）〜図９（ａ）
で示される構成の模式的斜視図である。なお、本例では
３つのオリフィスを有するインクジェットヘッドが示さ
れるが、これ以上のオリフィスを有する高密度インクジ
ェットヘッドあるいは１〜２つのオリフィスを有するイ
ンクジェットヘッドの構成を本発明に包含されるもので
ある。

【００１７】本発明において、基板１として例えば、ガ
ラス、セラミック、プラスチック、金属等からなる材料
が用いられる。

【００１８】上記基板１上には、電気熱変換素子あるい
は圧電素子等の液体吐出エネルギー発生素子が所望の個
数配置される。図２（ａ）、（ｂ）では電気熱変換素子
１４を設けた構成が示されている。このような電気熱変
換素子１４の製造方法としては、半導体体分野における
薄膜形成技術によって形成することができる。一例を挙
げると、ＨｆＢ_2、ＴａＮ、Ｔａ₂ Ｏ₅ 等の発熱抵抗層１
１を前記基板１上にスパッタリング、ＣＶＤ等で成膜
し、続いて発熱抵抗層１１上にＡｌ等の電極層１２をス
パッタリング、ＣＶＤ、蒸着等で成膜する。その後、図
２（ｂ）に示されるような電極パターンに電極層１２の
みをフォトリソグラフィー技術によりパターニングした
後、発熱抵抗層１１を図２（ｂ）に示されるようなパタ
ーンにフォトリソグラフィー技術によりパターニングす
る事により電気熱変換素子１４が完成する。ここで発熱
抵抗層１１の電極層１２に被覆されていない部分（露出
部）が発熱部１３となる。

【００１９】このような液体吐出エネルギー発生素子に
よってインク小滴を吐出させるための吐出エネルギーが
インクに与えられ、プリントが行われる。上記液体吐出
エネルギー発生素子として電気熱変換素子が用いられる
時には、この素子が近傍のインクを加熱することにより
インクの状態変化を生起させ、状態変化時の体積膨張に
より吐出エネルギーを発生する。また、上記液体吐出エ
ネルギー発生素子として圧電素子が用いられる時は、こ
の素子の機械的振動によって吐出エネルギーが発生され
る。

【００２０】なお、これらの素子には、これらの素子を
作動させるための制御入力用信号電極が接続されている
（不図示）。また、一般にこれら吐出エネルギー発生素
子の耐用性の向上を目的として、保護層等の各種機能層
が設けられるが、本発明においてもこのような機能層を
設けることはさしつかえない。

【００２１】次に、液体吐出エネルギー発生素子が配置
された基板１上にポジ型フォトレジストよりなる感光性
樹脂層２を被覆する。（図３（ａ）、（ｂ））

【００２２】感光性樹脂層２としては後処理により溶解
除去可能なポジ型フォトレジストを用いることが好まし
く、これにはナフトキノン系ポジ型フォトレジスト、化
学増幅型のポジ型フォトレジスト、主鎖分解型のポジ型
フォトレジスト等のいずれのタイプでも用いることがで
きる。また、被覆の方法としては液状のものをスピンコ
ートやロールコート等で塗布する方法や、ドライフィル
ムを接合する方法等が用いられる。

【００２３】そして、前工程で被覆した感光性樹脂層２
に上記液体吐出エネルギー発生素子を含む基板１上より
インク通路形成部位のパターンを有するマスク３を介し
て露光を施す。（図４（ａ）、（ｂ））

【００２４】この露光工程により前記感光性樹脂層２の
うち露光された箇所２’が可溶になる。（図５（ａ）、
（ｂ））

【００２５】前記感光性樹脂層２の露光箇所２’をアル
カリ溶液等の溶剤で現像することによりインク流路とな
る固体層（レジストパターン）４を形成する。（図６
（ａ）、（ｂ））

【００２６】インク通路の形状は前記マスク３の形状に
よって所望のものとすることが可能であり、固体層も該
インク通路形状に応じたものとすることができる。更に
本例では、３つの吐出エネルギー発生素子に対応して設
けられる３つの吐出口のそれぞれからインク滴を吐出さ
せることが可能なように、インク流路は３つに分散さ
れ、インク室は該インク流路のそれぞれにインクを供給
し得るようにこれらと連結したものとされている。

【００２７】次に固体層を可溶化するために固体層４の
全面露光を行う。（図７（ａ）、（ｂ））

【００２８】固体層４に用いられているポジ型レジスト
は、一般的に光と反応して窒素ガスを発生するため、こ
のままインク通路壁形成材料５を被覆してしまうとイン
ク通路壁形成材料中に気泡を取り込み流路形状が崩れて
しまう場合がある。そこで、全面露光後、固体層４の脱
気処理を施しておくことが好ましい。なお、インク通路
壁形成材料５として光硬化性の材料を用いる場合には、
インク通路壁形成材料５の露光時においても固体層４か
らのガスの発生する場合があるため、固体層４の全面露
光及び脱気処理を繰り返し行うことにより固体層４を十
分に反応させておくことが好ましい。

【００２９】次いで上記固体層４が形成された基板１上
に活性エネルギー線透過性であって屈折率が硬化した感
光性樹脂と同程度のフィラーを含有する感光性樹脂（表
１）のインク通路壁形成材料５をディスペンサー等で塗
布する。（図８（ａ）、（ｂ））

【００３０】次に前記インク通路壁形成材料５に露光に
よる硬化処理を施し前記インク通路壁形成材料５の硬化
を行なった。この時のインク通路壁形成材料の露光量は
８Ｊであった。その後、更に前記固体層４を含ハロゲン
炭化水素、ケトン、エステル、アルコール等の有機溶媒
あるいは水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカ
リ水溶液を用いて溶解除去することによりインク流路６
及びこれに連通する共通インク室が形成される。本実施
例ではこの後、硬化を増すために１３０℃１時間の熱キ
ュアを行った。このようにして本実施例の液体噴射記録
ヘッドが完成する。（図９（ａ）、（ｂ））

【００３１】比較例として、インク通路壁形成材料を表
１に示した材料に変えた以外は実施例１と同様にして液
体噴射記録ヘッドを作成した。

【００３２】作成した本実施例及び比較例の液体噴射記
録ヘッドを観察したところ、本実施例にかかる液体噴射
記録ヘッドに関してはヘッドの湾曲が見受けられなかっ
た。比較例１にかかる液体噴射記録ヘッドに関してはヘ
ッドの湾曲が見受けられた。更に比較例２にかかる液体
噴射記録ヘッドに関してはヘッドの湾曲は見受けられな
かったもののインク通路壁形成材料の硬化不良が見受け
られた。

【００３３】更に作成した本実施例及び比較例の液体噴
射記録ヘッドに、純水／グリセリン／ダイレクトブラッ
ク１５４（水溶性黒色染料）＝６５／３０／５（重量
部）からなるインクを用いて記録を行ったところ、実施
例にかかる液体噴射記録ヘッドでは印字の乱れが見受け
られなかったものの、比較例１、２にかかる液体噴射記
録ヘッドでは一部印字の乱れが見受けられた。

【００３４】

【表１】

【００３５】以下に、本発明のインクジェットを搭載可
能なインクジェット装置の一例を示す。

【００３６】図１１はインクジェットヘッドをインクジ
ェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装着したイ
ンクジェット装置（ＩＪＡ）の一例を示す模式的説明図
である。

【００３７】図１１において、２０はプラテン２４上に
送紙されてきた被プリント媒体であるプリント紙のプリ
ント面に対向してインク吐出を行なうノズル群を具えた
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）である。
１６はＩＪＣ２０を保持するキャリッジＨＣであり、駆
動モータ１７の駆動力を伝達する駆動ベルト１８の一部
と連結し、互いに平行に配設された２本のガイドシャフ
ト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能とすることにより、Ｉ
ＪＣ２０のプリント紙の全幅にわたる往復移動が可能と
なる。

【００３８】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ＩＪＣ２０のキャッピングを行なう。
また、プリント終了時等にキャッピングを施すことによ
りＩＪＣが保護される。

【００３９】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。

【００４０】本発明は、特にインクジェット方式の中で
も、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、プリン
トを行うインクジェット方式のインクジェットヘッド、
インクジェット装置に於いて、優れた効果をもたらすも
のである。

【００４１】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。このインクジ
ェット方式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型
のいずれにも適用可能である。

【００４２】このインクジェット方式を簡単に説明する
と、液体（インク）が保持されているシートや液路に対
応して配置されている電気熱変換素子に、プリント情報
に対応して液体（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰
現象を生じる様な急速な温度上昇を与えるための少なく
とも一つの駆動信号を印加することによって、熱エネル
ギーを発生せしめ、インクジェットヘッドの熱作用面に
膜沸騰を生じさせる。この様に液体（インク）から電気
熱変換素子に付与する駆動信号に一対一対応した気泡を
形成できるため、特にオンデマンド型のプリント法には
有効である。この気泡の成長、収縮により吐出孔を介し
て液体（インク）を吐出させて、少なくとも一つの滴を
形成する。この駆動信号をパルス形状とすると、即時適
切に気泡の成長収縮が行なわれるので、特に応答性に優
れた液体（インク）の吐出が達成でき、より好ましい。
このパルス形状の駆動信号としては、米国特許第４４６
３３５９号明細書、同第４３４５２６２号明細書に記載
されているようなものが適している。尚、上記熱作用面
の温度上昇率に関する発明の米国特許第４３１３１２４
号明細書に記載されている条件を採用すると、更に優れ
た記録を行なうことができる。

【００４３】インクジェットヘッドの構成としては、上
述の各明細書に開示されているような吐出口、液流路、
電気熱変換素子を組み合わせた構成（直線状液流路又は
直角液流路）の他に、米国特許第４５５８３３３号明細
書、米国特許第４４５９６００号明細書に開示されてい
る様に、熱作用部が屈曲する領域に配置された構成を持
つものも本発明に含まれる。

【００４４】加えて、複数の電気熱変換素子に対して、
共通するスリットを電気熱変換素子の吐出口とする構成
を開示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネ
ルギーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構
成を開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づ
いた構成においても本発明は有効である。

【００４５】さらに、本発明が有効に利用されるインク
ジェットヘッドとしては、プリント装置がプリントでき
るプリント媒体の最大幅に対応した長さのフルラインタ
イプのインクジェットヘッドがある。このフルラインヘ
ッドは、上述した明細書に開示されているようなインク
ジェットヘッドを複数組み合わせることによってフルラ
イン構成にしたものや、一体的に形成された一個のフル
ラインヘッドであっても良い。

【００４６】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００４７】又、本発明のインクジェット装置に、予備
的な補助手段等を付加することは、本発明のインクジェ
ット装置を一層安定にすることができるので好ましいも
のである。これらを具体的に挙げれば、電気熱変換素子
或はこれとは別の加熱素子、或はこれらの組み合わせに
よる予備加熱手段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出
モードを行なう手段を付加することも安定したプリント
を行なうために有効である。

【００４８】更に、インクジェット装置のプリントモー
ドとしては黒色等の主流色のみをプリントするモードだ
けではなく、インクジェットヘッドを一体的に構成した
ものか、複数個の組み合わせて構成したものかのいずれ
でも良いが、異なる色の複色カラー又は、混色によるフ
ルカラーの少なくとも一つを備えた装置にも本発明は極
めて有効である。

【００４９】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００５０】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００５１】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００５２】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００５３】

【発明の効果】上述のように本発明はインク通路壁形成
用材料の硬化収縮を低減するとともに、硬化不良の生じ
ない信頼性の高い液体噴射記録ヘッドをできるという効
果を有する。また、製造工程中に基板が湾曲することも
なく印字乱れも生じない液体噴射記録ヘッドを提供でき
るという効果をも有するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来のインクジェットヘッドの製造方法を説明
する説明図である。

【図２】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図３】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図４】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図５】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図６】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図７】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図８】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図９】本願発明のインクジェットヘッドの製造方法を
説明する説明図である。

【図１０】インクジェットヘッドの一構成例を示す分解
模式図である。

【図１１】本発明のインクジェットを搭載可能なインク
ジェット装置の一例を示す模式図である。

【符号の説明】 １ 基板 ２ 感光性樹脂層 ３ マスク ４ 固体層 ５ インク通路壁形成用材料 ６ インク通路

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクを吐出するために利用される吐出
   エネルギ−を発生する液体吐出エネルギー発生素子を備
   えた基板上に溶解可能な樹脂にてインク通路パターンを
   形成し、該インク通路パターンを硬化型樹脂のインク通
   路壁形成用材料にて被覆した後、該インク通路壁形成用
   材料を硬化させ、次いで、前記インク通路パターンを除
   去することによりインク通路が形成される液体噴射記録
   ヘッドの製造方法において、前記インク通路壁形成用材
   料が、活性エネルギー線透過性でかつ前記硬化方樹脂の
   屈折率と実質的に同じであるフィラーを含有することを
   特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
2. 【請求項２】 液体吐出エネルギー発生素子が、熱エネ
   ルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴とする
   請求項１に記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
3. 【請求項３】 前記液体噴射記録ヘッドは記録媒体の記
   録領域にわたって吐出口が複数設けられているフルライ
   ンタイプのものであることを特徴とする請求項１に記載
   の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 インクを吐出するために利用される吐出
   エネルギ−を発生する液体吐出エネルギー発生素子を備
   えた基板を用意する工程と、 該基板上に溶解可能な樹脂にてインク通路パターンを形
   成する工程と、 該インク通路パターンを活性エネルギー線透過性でかつ
   前記硬化方樹脂の屈折率と実質的に同じであるフィラー
   を含有する硬化型樹脂のインク通路壁形成用材料にて被
   覆する工程と、 該インク通路壁形成用材料を硬化させる工程と、を含有
   すること、を特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方
   法。