JPH05124202A - 液体噴射記録ヘツド、同ヘツドの製造方法、及び同ヘツドを備えた記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 記録特性の揃った高密度のヘッドを製造す
る。 【構成】 基板１にインク路パターンに対応した固体層
３をポジ型レジストで形成する図１（ｂ）。次いで、光
硬化性材料６を積層して光硬化させる（ｄ）。その後、
固体層３を溶出しインク路８を形成する（ｅ）が、この
場合固体層を形成するポジ型レジストと光硬化性材料と
に含有する光硬化開始剤の感応波長領域が異なるものを
用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は高密度で、特性の揃った
インク路を持つ液体噴射記録ヘッド、同製造方法、及び
同ヘッドを備えた記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録方式（液体噴射記録
方式）に適用される液体噴射記録ヘッドは一般に微細な
インク吐出口（オリフィス）、インク路及びインク路の
一部に設けられる液体吐出エネルギー発生素子を備えて
いる。

【０００３】図３は上述した液体噴射記録ヘッドの概略
構成の一例を示す。この記録ヘッドは、リソグラフィー
に基づくエッチング・蒸着・スパッタリング等の半導体
製造プロセス工程を経て、基板１０２上に成膜された電
気熱変換体１０３、電極１０４、インク路壁１０５、天
板１０６から構成されている。

【０００４】記録用液体（インク）１１２は図示してい
ない液体貯蔵室から液体供給管１０７を通して記録ヘッ
ド１０１の共通液室１０８内に供給される。図中１０９
は液体供給管用コネクタである。共通液室１０８内に供
給された液体１１２は毛管現象によりインク路１１０内
に供給され、液路先端の吐出口面でメニスカスを形成す
ることにより安定に保持される。ここで電気熱変換体１
０３に通電することにより、電気熱変換体面上の液体が
加熱され、発泡現象が発生し、その発泡のエネルギーに
より吐出口面１１１から液滴が吐出される。

【０００５】上述したような構成により、吐出口密度４
００dpi といった高密度の吐出口配置でマルチ吐出口の
液体噴射記録ヘッドを形成する。従来このような液体噴
射記録ヘッドを作成する方法としては、例えば特開昭６
１−１５４９４７記載の次に示すような工程が知られて
いる。 （Ａ）基板上にポジ型の感光性樹脂フィルム（「ドライ
フィルム」とも称す）をラミネート、あるいは液体レジ
ストを塗布、乾燥し、リソグラフィーの手法により、マ
スク下で露光を行い、その後活性エネルギー線照射部を
現像液によって溶解現像してインク路を形成するための
パターンを有する固体層を形成する工程、（Ｂ）固体層
上に外壁構成部材層として活性エネルギー線硬化性材料
を被覆し、活性エネルギー線を上部より照射することに
よって上記活性エネルギー線硬化性材料を硬化させる工
程、（Ｃ）上記固体層を例えば含ハロゲン化炭化水素、
ケトン、エステル、芳香族炭化水素、エーテル、アルコ
ール、Ｎ−メチルピロリドン、フェノール、ジメチルス
ルホキシド、強アルカリを含む水等の溶剤を用いて溶解
除去し、インク路を形成する工程。

【０００６】しかし、前記従来例においてポジ型の感光
性樹脂を固体層に用いると、多くの場合活性エネルギー
線照射時にガスを発生する。例えば、一般的に用いられ
ているポジ型光硬化開始剤であるＯ−ナフトキノンアジ
ドは活性エネルギー線照射時に以下のような反応により
Ｎ₂ ガスを発生することが知られている。

【０００７】

【化１】 Ｏ−ナフトキノンジアジド化合物の主な感光波長域は３
２５〜４７５mmで、この時活性エネルギー線として水銀
灯のｇ線（４３６nm）が一般的に用いられている。ここ
で活性エネルギー線硬化性材料を用いて外壁構成部材と
する場合には、同材料を硬化させるために活性エネルギ
ー線硬化性材料中に含まれる光硬化開始剤の感光波長域
に相応する波長の活性エネルギー線を照射しなければな
らない。この場合この活性エネルギー線は固体層である
ポジ型の感光性樹脂上にも同時に照射される。

【０００８】この時、ポジ型感光性樹脂中の感光剤の感
光波長域が、活性エネルギー線硬化性材料中の光開始剤
の感光波長域と特に大きな重なりを持つ場合には、図２
に示すように活性エネルギー線硬化性材料が硬化する前
に、ポジ型の感光性樹脂から前記のような反応により気
体（Ｎ₂ ガス）が発生し、それが活性エネルギー線硬化
性材料よりなる外壁構成部材中に気泡４として残り、そ
のまま硬化してしまい、このためヘッドの特性が不均一
なものになる。なお、同図中１は基板で、２は基板上に
配設された吐出エネルギー発生素子、３は固体層であ
る。

【０００９】このような弊害を押える方法としてポジ型
感光性樹脂中の光硬化開始剤を他のものと変えて、ガス
が発生しないものを用いることが考えられるが、現在市
販されているポジ型感光性樹脂の光硬化開始剤はＯ−ナ
フトキノンジアジド系のものであり、前記のように活性
エネルギー線照射時、あるいは、加熱することにより、
気体を発生するものである。他のタイプのポジ型感光性
樹脂としては、例えば光酸発生剤と酸分解性物質を用い
た化学増幅型のものが非常に多く報告されているが、ま
だコスト面での問題や、あるいは耐溶剤性、耐エッチン
グ性等物性面での問題が残っている。従って、液体噴射
記録ヘッドを製造する上で、活性エネルギー線の照射時
にガスを発生するＯ−ナフトキノンジアジド化合物を光
硬化開始剤として用いたポジ型感光性樹脂を固体層とし
て用いざるを得ないのが現状である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題を解
決するためになされたもので、その目的とするところ
は、外壁構成部材中に気泡が入る問題を解決し、安価、
精密で信頼性の高い液体噴射記録ヘッドを提供すること
にある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は活性エネルギー線を照射することにより可溶
化するＯ−ナフトキノンジアジド系ポジ型感光性樹脂層
を基板に形成する工程と、前記感光性樹脂層を用いてリ
ソフラフィーにより基板上にインク路パターンを少なく
とも有する固体層を形成する工程と、前記固体層を覆っ
て基板上に活性エネルギー線硬化性材料を積層後これを
光硬化させて外壁構成部材層を形成する工程と、前記固
体層を溶解除去して少なくともインク路を形成する工程
とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、活
性エネルギー線硬化性材料中の光硬化開始剤がＯ−ナフ
トキノンジアジド化合物の感光波長領域と異なる感光波
長領域を有するよう構成するもので、上記方法で製造し
た液体噴射記録ヘッド及びエネルギー発生素子が前記エ
ネルギーとして熱エネルギーを発生する電気熱変換体で
あること、記録媒体の記録領域の全幅にわたってインク
吐出口が複数設けられているフルラインタイプのもので
あること、記録媒体の被記録面に対向してインク吐出口
が設けられている請求項２記載の液体噴射記録ヘッド
と、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも具備
する液体噴射記録装置であることを含む。以下、本発明
につき図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明に
係る液体噴射記録ヘッドの製造工程の一例を示すもので
ある。図１（ａ）中１は基板で、この基板１上には所定
数（本例においては５個）の液体（インク）を吐出する
エネルギーを発生するための液体吐出エネルギー発生素
子２を配設すると共に、エネルギー発生素子２を覆って
基板１上面にポジ型感光性樹脂層５を形成してある。

【００１２】基板１としてはガラス、セラミックス、プ
ラスチック、金属等のようにある程度の硬度を持つもの
ならば何れも用いることができる。

【００１３】吐出エネルギー発生素子２としては、例え
ば電気熱変換体、圧電素子等を用いることができる。

【００１４】ポジ型感光性樹脂層５はポジ型感光性樹脂
を基板１に積層することにより形成できるが、このよう
なポジ型の感光性樹脂としては、例えば東京応化製ＰＭ
ＥＲＰ−Ｇ７０００シリーズ、ヘキスト社製ＡＺシリー
ズ、シプレイ社製ＴＦ−２０、東レ−マクダミド製ＵＬ
ＴＲＡＭＡＣ ＥＬ２０２５シリーズ等を用いることが
でき、これらの中に配合してある光硬化開始剤は全てＯ
−ナフトキノンジアジド化合物（感光波長域はほぼ３２
５〜４７５nm）である。

【００１５】これらの感光性樹脂を基板上へ塗布する方
法としては、ロール・コート、スピン・コート、スプレ
ー・コート等のいずれの方法でも良い。

【００１６】次いで、上記のようにして基板１上に形成
した樹脂層５にインク路に相当するパターンを有するマ
スク（図示せず）を介して露光を行ない、樹脂層５の可
溶部を溶媒等で溶解除去（現像）することにより、図１
（ｂ）に示すインク路に相当する固体層３を基板１上に
形成するが、この手法は通常のリソグラフィーの応用で
ある。照射光源としては紫外線等の活性エネルギー線を
放射する光源を用いることができ、例えば水銀灯（４３
６nm）等が好ましい。

【００１７】次に、図１（ｃ）に示すように固体層３を
形成した基板１上に活性エネルギー線硬化性材料６を積
層後、これに活性エネルギー線を照射して硬化させ、こ
れにより外壁構成部材層７を形成する（図１（ｄ））。

【００１８】用いる活性エネルギー線の硬化性材料の樹
脂成分としては固体層３を被覆し得るものであればいず
れのものでも好適に使用することができるが、基板との
接着性、機械的強度、寸法安定性、耐触性等の面で優れ
たものを選択して用いることが望ましい。具体的にはエ
ポキシ樹脂、アクリル樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等
が好ましく使用される。

【００１９】またここで用いる活性エネルギー線硬化性
材料の光硬化開始剤としては前述した理由によりＯ−ナ
フトキノンジアジド化合物の吸収波長領域である、ｍｉ
ｄ−ＵＶ（紫外）領域以外に強い吸収を持たないものは
使用することができない。ｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）領
域、あるいは逆に可視光域に吸収を持つものが光開始剤
として考えられるが、エネルギー効率や硬化速度の点か
ら短波長側であるｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）領域に吸収
を持つものがより好ましく用いられる。ｄｅｅｐ−ＵＶ
（遠紫外）領域に吸収を持つ光硬化開始剤としては、ト
リアリールスルホニウム塩、ジアリールヨードニウム
塩、トリアリールセレノニウム塩、Ｏ−ニトロベンジル
スルホネート、ｐ−ニトロベンジルスルホネート等が好
ましく用いられる。

【００２０】上記の光硬化開始剤を含有する液状の硬化
性材料はカーテン・コート、ロール・コート、スプレー
・コート等の公知の手段によって、所望の膜厚で基板
上、固体層上に塗布される。このとき硬化性材料の脱気
を行なった後、気泡の混入を避けながら行なうことが好
ましい。

【００２１】上記のように照射波長領域を選択すること
により、固体層２上にｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）光照射
されても前述した理由により外壁構成部材層７中に気泡
は混入しない。

【００２２】次いで固体層３及び外壁構成部材層７が積
層された上記基板１から固体層３を除去してインク路８
（ノズル）を形成する。固体層３の除去手段としては特
に限定されないが、例えば固体層３を溶解、または膨
潤、または剥離する液体中に基板を浸漬して除去する等
の方法が好ましいものとして挙げられる。この時必要に
応じて加熱、超音波処理、撹拌等その他の補助手段を用
いることも可能である。以上説明した方法により液体噴
射記録ヘッドを形成するものである。

【００２３】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して飛翔液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。

【００２４】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行うものが好ましい。この記録方式
は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれに
も適用可能である。

【００２５】この記録方式を簡単に説明すると、液体
（インク）が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
（インク）に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体（インク）から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出孔を介して液体（インク）を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体（インク）の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５
２６２号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。

【００２６】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液流路、電気熱変換
体を組み合わせた構成（直線状液流路又は直角液流路）
の他に、米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許
第４４５９６００号明細書に開示されている様に、熱作
用部が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発
明に含まれる。

【００２７】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭５９年第１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９年第１３８４６１号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。

【００２８】さらに、本発明が有効に利用される記録ヘ
ッドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅
に対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがあ
る。このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示さ
れているような記録ヘッドを複数組み合わせることによ
ってフルライン構成にしたものや、一体的に形成された
一個のフルライン記録ヘッドであっても良い。

【００２９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。

【００３０】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャッピング手段、クリーニング
手段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別
の加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。

【００３１】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。

【００３２】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲
内で温度調整を行ってインクの粘性を安定吐出範囲にあ
るように温度制御するものが一般的であるから、使用記
録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良い。

【００３３】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることも出来る。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。

【００３４】このようなインクは、特開昭５４−５６８
４７号公報あるいは特開昭６０−７１２６０号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対向するような形態としても良い。

【００３５】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。

【００３６】図４は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ（ＩＪＣ）として装
着したインクジェット記録装置（ＩＪＲＡ）の一例を示
す外観斜視図である。

【００３７】図４において、２０はプラテン２４上に送
紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を行
なうノズル群を具えたインクジェットヘッドカートリッ
ジ（ＩＪＣ）である。１６はＩＪＣ２０を保持するキャ
リッジＨＣであり、駆動モータ１７の駆動力を伝達する
駆動ベルト１８の一部と連結し、互いに平行に配設され
た２本のガイドシャフト１９Ａおよび１９Ｂと摺動可能
とすることにより、ＩＪＣ２０の記録紙の全幅にわたる
往復移動が可能となる。

【００３８】２６はヘッド回復装置であり、ＩＪＣ２０
の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向する
位置に配設される。伝動機構２３を介したモータ２２の
駆動力によって、ヘッド回復装置２６を動作せしめ、Ｉ
ＪＣ２０のキャッピングを行なう。このヘッド回復装置
２６のキャップ部２６ＡによるＩＪＣ２０へのキャッピ
ングに関連させて、ヘッド回復装置２６内に設けた適宜
の吸引手段によるインク吸引もしくはＩＪＣ２０へのイ
ンク供給経路に設けた適宜の加圧手段によるインク圧送
を行い、インクを吐出口より強制的に排出させることに
よりノズル内の増粘インクを除去する等の吐出回復処理
を行なう。また、記録終了時等にキャッピングを施すこ
とによりＩＪＣが保護される。

【００３９】３０はヘッド回復装置２６の側面に配設さ
れ、シリコンゴムで形成されるワイピング部材としての
ブレードである。ブレード３１はブレード保持部材３１
Ａにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復装置２６
と同様、モータ２２および伝動機構２３によって動作
し、ＩＪＣ２０の吐出面との係合が可能となる。これに
より、ＩＪＣ２０の記録動作における適切なタイミング
で、あるいはヘッド回復装置２６を用いた吐出回復処理
後に、ブレード３１をＩＪＣ２０の移動経路中に突出さ
せ、ＩＪＣ２０の移動動作に伴なってＩＪＣ２０の吐出
面における結露、濡れあるいは塵埃等をふきとるもので
ある。

【００４０】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 実施例１ 図１に示した製作手順に準じて液体噴射記録ヘッドを作
成した。まず液体吐出エネルギー発生素子２としての電
気熱変換体（材質：HfB₂）を形成したガラス基板上にＯ
−ナフトキノンジアジドを光硬化開始剤として含有する
ヘキスト社製ポジ型液体レジストＡＺ４９０３をロール
・コート法により塗布し、ベーキングを行なった。ベー
キング後の膜厚は約２０μm であった。この感光性樹脂
層に微細インク路に相当するパターンのマスクを重ね、
インク路形成予定部位を除く部分にｍｉｄ−ＵＶ（紫
外）光照射を行なった。次に１％のＮａＯＨ水溶液でス
プレー現像を行ない、ガラス基板上のインク路形成予定
部位に固体層３を形成した。次いで上記固体層３を形成
した基板１上に以下に示す組成からなる活性エネルギー
線硬化性材料を混合し、真空ポンプにより脱泡したもの
をアプリケータを用いて約５０μm の厚さに塗布した。 旭電化工業製 ＫＲＭ２４１０ ７０重量部 共栄社油脂化学工業製 エポライト３００２ ３０重量
部 日本ユニカー製 Ａ−１８７ ５重量部 光硬化開始剤 ２重量部 （トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネ
ート） この活性エネルギー線硬化性材料の上部よりＨｇランプ
でｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）光照射により該材料を硬化
させ外壁構成部材層７を形成した。この時フィルタによ
り３００nm以上の波長の光はカットした。この時該材料
中に固体層の反応による気泡の混入はなかった。

【００４１】次に基板を５％ＮａＯＨ水溶液中に浸漬
し、超音波洗浄層中にて約１０分間固体層の溶解除去操
作を行った。溶解除去が終了した後、純水で５分間洗浄
を行ない乾燥させた。

【００４２】このようにして作成された微細インク路中
には固体層の残渣はまったく存在しなかった。また、イ
ンク路の精度も非常に高く、信頼性の高いものが作成で
きた。更にこのようにして作成したヘッドを用いて液体
噴射記録を行なった所、非常に安定な印字が可能であっ
た。 実施例２ 実施例１とほぼ同様にして液体噴射記録ヘッドを作成し
た。ただし、固体層としては東京応化製ポジ型液体レジ
ストＰＭＥＲ Ｐ−Ｇ７９００を用いてスピン・コート
法により塗布し、ベーキング後２０μm 厚の感光性樹脂
層を形成させた。この感光性樹脂層に微細インク路に相
当するパターンのマスクを重ね、インク路形成予定部位
を除く部分にｍｉｄ−ＵＶ光照射を行なった。

【００４３】次に、東京応化製アルカリ現像剤Ｐ−５Ｇ
中で浸漬揺動法により３分間の現像を行ない、ガラス基
板上のインク路形成予定部位に固体層を形成した。

【００４４】次いで、実施例１と同じ硬化性材料を外壁
構成のために塗布した。ここで光硬化開始剤としてはジ
フェニルヨードニウムヘキサフルオロホスフェートを樹
脂１００部に対して３部用いた。この活性エネルギー線
硬化性材料の上部よりＨｇランプでｄｅｅｐ−ＵＶ（遠
紫外）光照射をし、該材料を硬化させた。この時、フィ
ルタにより３００nm以上の長波長の光はカットした。こ
の時、該材料中に固体層の反応による気泡の混入はなか
った。

【００４５】次いで実施例１と同様にして固体層の溶解
除去操作を行なった。

【００４６】このようにして作成された液体噴射記録ヘ
ッドは非常に安定な印字が可能であった。 実施例３ 実施例１と同様構成の液体噴射記録ヘッドを作成した。
まず液体吐出エネルギー発生素子としての圧電体ＰｂＴ
ｉＯ₃ を接着したガラス基板上に固体層を形成した。た
だし、固体層としてシプレイ社製ポジ型液体レジストＴ
Ｆ−２０を用いた。

【００４７】次いで上記固体層を形成した基板上に以下
の組成よりなる外壁構成材料となる活性エネルギー線硬
化性材料を脱泡してアプリケータにより塗布した。 日本ユニオンカーバイド社製 エポキシ樹脂 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６１１０ ４０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６２００ ２０重量部 Ｃｙｒａｃｕｒｅ ＵＶＲ−６３５１ ４０重量部 光重合開始剤 トリフェニルセレノニウムヘキサフルオ
ロアンチモネート ２重量部 この活性エネルギー線硬化性材料の上部よりＨｇランプ
によってｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）光照射を行ない該材
料を硬化させた。この時フィルタにより３００nm以上の
長波長の光はカットした。この時該材料中に固体層中の
反応による気泡の混入はなかった。

【００４８】次で実施例１と同様にして固体層の溶解除
去操作を行なった。このようにして作成された液体噴射
記録ヘッドは非常に安定な印字が可能であった。 実施例４ 実施例３と全く同様にして液体噴射記録ヘッドを作成し
た。ただし、固体層としては東レ−マクダミド製ＵＬＴ
ＲＡＭＡＣ ＥＬ２０２５−４８、また活性エネルギー
線硬化性材料中の光硬化開始剤としては、２，６−ジニ
トロベンジルトシレートを用いた。活性エネルギー線硬
化性材料の硬化のためのｄｅｅｐ−ＵＶ（遠紫外）光照
射時に該材料中に固体層の反応による気泡の混入はなか
った。このようにして作成された液体噴射記録ヘッドは
非常に安定な印字が可能であった。

【００４９】

【発明の効果】以上説明した本発明によりもたらされる
効果としては、次のようなものが挙げられる。 （１）高密度で特性の揃った微細インク路を形成でき
る。 （２）耐薬品性等のすぐれたＯ−ナフトキノンジアジド
系の化合物を光硬化開始剤とする一般の市販品であるポ
ジ型の感光性樹脂を用いることができる。 （３）簡単でかつ安価な工程により信頼性の高い微細イ
ンク路を形成することができる。 （４）生産性が良好であり、工程での安全性が高い。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体噴射記録ヘッドの製造工程の
一例を示す説明図である。

【図２】従来の記録ヘッドの製造状態を示す説明図であ
る。

【図３】従来の記録ヘッドの構成を示す説明図である。

【図４】本発明に係る記録ヘッドを備えた記録装置の一
例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基板 ２ 吐出エネルギー発生素子 ３ 固体層 ４ 気泡 ５ ポジ型感光性樹脂層 ６ 活性エネルギー線硬化性材料 ７ 外部構成部材層 ８ インク路

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 活性エネルギー線を照射することにより
   可溶化するＯ−ナフトキノンジアジド系ポジ型感光性樹
   脂層を基板に形成する工程と、前記感光性樹脂層を用い
   てリソグラフィーにより基板上にインク路パターンを少
   なくとも有する固体層を形成する工程と、前記固体層を
   覆って基板上に活性エネルギー線硬化性材料を積層後こ
   れを光硬化させて外壁構成部材層を形成する工程と、前
   記固体層を溶解除去して少なくともインク路を形成する
   工程とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
   て、活性エネルギー線硬化性材料中の光硬化開始剤がＯ
   −ナフトキノンジアジド化合物の感光波長領域と異なる
   感光波長領域を有することを特徴とする液体噴射記録ヘ
   ッドの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の製造方法で製造した液体
   噴射記録ヘッド。
3. 【請求項３】 インク路内にエネルギー発生素子を配設
   してなり前記エネルギー発生素子がエネルギーとして熱
   エネルギーを発生する電気熱変換体であることを特徴と
   する請求項２記載の液体噴射記録ヘッド。
4. 【請求項４】 記録媒体の記録領域の全幅にわたってイ
   ンク吐出口が複数設けられているフルラインタイプのも
   のであることを特徴とする請求項２記載の液体噴射記録
   ヘッド。
5. 【請求項５】 記録媒体の被記録面に対向してインク吐
   出口が設けられている請求項２記載の液体噴射記録ヘッ
   ドと、該ヘッドを載置するための部材とを少なくとも具
   備することを特徴とする液体噴射記録装置。