JPH0639452Y2 - ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置 - Google Patents
ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置Info
- Publication number
- JPH0639452Y2 JPH0639452Y2 JP1987120943U JP12094387U JPH0639452Y2 JP H0639452 Y2 JPH0639452 Y2 JP H0639452Y2 JP 1987120943 U JP1987120943 U JP 1987120943U JP 12094387 U JP12094387 U JP 12094387U JP H0639452 Y2 JPH0639452 Y2 JP H0639452Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- handling arm
- wafer
- shaft
- wafer transfer
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、ウエハ搬送用のハンドリングアーム駆動装置
に関するものである。
に関するものである。
（従来の技術） 従来、この種の装置は、第６図に概略的に示すごとく、
ハンドリングアーム31を駆動するためのモータ32と、こ
のモータ32のシャフト33の回転駆動力をハンドリングア
ーム31のシャフト軸34に伝達する回転伝達機構とで構成
され、前記回転伝達機構には、主としてギヤ歯車35やタ
イミングベルト36等が用いられているのが通常である。
ハンドリングアーム31を駆動するためのモータ32と、こ
のモータ32のシャフト33の回転駆動力をハンドリングア
ーム31のシャフト軸34に伝達する回転伝達機構とで構成
され、前記回転伝達機構には、主としてギヤ歯車35やタ
イミングベルト36等が用いられているのが通常である。
（考案が解決しようとする問題点） しかしながら、このような回転伝達機構は、ステップモ
ータの共振現象等により、出力トルクの減少や回転むら
等が生じ、ハングアップが起きやすく、ハンドリングア
ームのウエハ載置部37に載置したウエハ38が偏心状態に
載置されたり、ハンドリングアーム31が所定位置に停止
しないなど、ウエハプローバ等の機能が著しく低下して
しまうという問題点を有していた。また、複雑な機構を
必要とするため、コストアップにもつながるばかりか、
ギヤ機構等から必然的に塵が発生しウエハが損傷するお
それがあった。
ータの共振現象等により、出力トルクの減少や回転むら
等が生じ、ハングアップが起きやすく、ハンドリングア
ームのウエハ載置部37に載置したウエハ38が偏心状態に
載置されたり、ハンドリングアーム31が所定位置に停止
しないなど、ウエハプローバ等の機能が著しく低下して
しまうという問題点を有していた。また、複雑な機構を
必要とするため、コストアップにもつながるばかりか、
ギヤ機構等から必然的に塵が発生しウエハが損傷するお
それがあった。
本考案は、上述のような問題点を解決するために鋭意検
討の結果案出されたもので、ハンドリングアームの高精
度な位置決め及び微小なステップ動作のできる簡易且つ
コストを低減した構造のハンドリングアーム駆動機構を
提供することを目的とする。
討の結果案出されたもので、ハンドリングアームの高精
度な位置決め及び微小なステップ動作のできる簡易且つ
コストを低減した構造のハンドリングアーム駆動機構を
提供することを目的とする。
（問題点を解決するための手段） 本考案は、上述の問題点を解決するため、ステップモー
タのシャフトに半導体ウエハを搬送するための搬送用の
薄板長尺状ハンドリングアームの一端部を直接取付け、
このハンドリングアームの他端部に設けた半導体ウエハ
の載置部表面に切欠部を形成し、更に、このハンドリン
グアームの長手方向の内部に設けた吸引孔の出口部を前
記切欠部に臨ませると共に、上記モータを駆動制御回路
で制御することによりハンドリングアームの微小ステッ
プを可能にするように構成した。また、上記した吸引孔
と該シャフトに設けた貫通孔とを連通させた構成を採用
した。
タのシャフトに半導体ウエハを搬送するための搬送用の
薄板長尺状ハンドリングアームの一端部を直接取付け、
このハンドリングアームの他端部に設けた半導体ウエハ
の載置部表面に切欠部を形成し、更に、このハンドリン
グアームの長手方向の内部に設けた吸引孔の出口部を前
記切欠部に臨ませると共に、上記モータを駆動制御回路
で制御することによりハンドリングアームの微小ステッ
プを可能にするように構成した。また、上記した吸引孔
と該シャフトに設けた貫通孔とを連通させた構成を採用
した。
（作用） 本考案は、上記のように構成したから、ハンドリングア
ームの高精度な制御が可能となり、ハンドリングアーム
の回転むら或はハングアップ等の心配が全くなく、ウエ
ハが偏心状態に載置されたり、ハドリングアームが所定
位置に停止しないということはない。
ームの高精度な制御が可能となり、ハンドリングアーム
の回転むら或はハングアップ等の心配が全くなく、ウエ
ハが偏心状態に載置されたり、ハドリングアームが所定
位置に停止しないということはない。
また、複雑な回転伝達機構は不要で、ギヤ機構等を用い
ていないので塵が発生するおそれもない。
ていないので塵が発生するおそれもない。
更に、該ハンドリングアームの内部に設けた吸引孔と該
モータシャフトに設けた貫通孔とを連通させたので、ハ
ンドリングアームにウエハを真空吸引して確実に固着す
ることができ、搬送時にウエハがズレて発塵するような
こともない。
モータシャフトに設けた貫通孔とを連通させたので、ハ
ンドリングアームにウエハを真空吸引して確実に固着す
ることができ、搬送時にウエハがズレて発塵するような
こともない。
（実施例） 本考案におけるウエハ搬送用のハンドリングアーム駆動
装置の一実施例を図面に基づいて詳述する。
装置の一実施例を図面に基づいて詳述する。
駆動制御回路の基本構成を第１図に基づいて説明する
と、直流電流Ａ、ステップモータ２の励磁切換のための
ドライバである駆動回路Ｂ、ステップモータ２に加減速
制御や位置決め制御を指示するコントローラである制御
回路Ｃより構成されている。上記ステップモータ２及び
その駆動回路Ｂは、第２図（ａ）に示すごとく、高精度
に制御可能ではあるが一般型の４相励磁回路を採用して
も良いし、第２図（ｂ）に示すごとく、高精度かつ0.22
5゜／ステップの微小なステップ動作を可能としたダブ
ル1-2相励磁回路を使用しても良い。なお、このダブル1
-2相励磁回路は、ステップモータ２を使用する場合の問
題点である共振現象をなくすことでステップモータ２の
出力トルクの減少、回転むら等の現象を解消する機能を
有するものである。
と、直流電流Ａ、ステップモータ２の励磁切換のための
ドライバである駆動回路Ｂ、ステップモータ２に加減速
制御や位置決め制御を指示するコントローラである制御
回路Ｃより構成されている。上記ステップモータ２及び
その駆動回路Ｂは、第２図（ａ）に示すごとく、高精度
に制御可能ではあるが一般型の４相励磁回路を採用して
も良いし、第２図（ｂ）に示すごとく、高精度かつ0.22
5゜／ステップの微小なステップ動作を可能としたダブ
ル1-2相励磁回路を使用しても良い。なお、このダブル1
-2相励磁回路は、ステップモータ２を使用する場合の問
題点である共振現象をなくすことでステップモータ２の
出力トルクの減少、回転むら等の現象を解消する機能を
有するものである。
上記駆動制御回路により駆動制御されるステップモータ
２の回転シャフト３の上端には、第３図乃至第５図に示
すように、ウエハ搬送用のハンドリングアーム１が直接
取付けられる。この直接取付構造は、溶接、接着など特
に限定されないが、円盤状の取付部材14とねじにより一
体的に取付けている。
２の回転シャフト３の上端には、第３図乃至第５図に示
すように、ウエハ搬送用のハンドリングアーム１が直接
取付けられる。この直接取付構造は、溶接、接着など特
に限定されないが、円盤状の取付部材14とねじにより一
体的に取付けている。
また、同図に示す如く、ステップモータ２のシャフト3,
3′を中空とし内部に貫通孔９を形成すると共に、ハン
ドリングアーム１の内部に吸引孔10を形成し、該貫通孔
９と該吸引孔10とを連通する。又、ステップモータ２の
下部側シャフト３′には、該シャフト３′が回転しても
継手は回転しないいわゆるフレキシブルパイプ継手11を
接続し、この継手11を介して図示しない真空ポンプ等の
バキューム吸引装置を接続している。図中12はウエハ載
置部７に設けた切欠孔、13は吸引孔10の出口部である。
3′を中空とし内部に貫通孔９を形成すると共に、ハン
ドリングアーム１の内部に吸引孔10を形成し、該貫通孔
９と該吸引孔10とを連通する。又、ステップモータ２の
下部側シャフト３′には、該シャフト３′が回転しても
継手は回転しないいわゆるフレキシブルパイプ継手11を
接続し、この継手11を介して図示しない真空ポンプ等の
バキューム吸引装置を接続している。図中12はウエハ載
置部７に設けた切欠孔、13は吸引孔10の出口部である。
このようにして、シャフト3,3′の貫通孔９及び吸引孔1
0を全て連通し、ウエハ載置部７上に載置されるウエハ
８を下側から真空吸引して固着するよう構成したもので
ある。
0を全て連通し、ウエハ載置部７上に載置されるウエハ
８を下側から真空吸引して固着するよう構成したもので
ある。
なお、本実施例では上記のように構成しウエハ８を真空
吸引するようにしているが、特に貫通孔及び吸引孔を設
けず、ウエハ載置部７に通常の如く載置したままでもよ
い。
吸引するようにしているが、特に貫通孔及び吸引孔を設
けず、ウエハ載置部７に通常の如く載置したままでもよ
い。
次に、上記実施例における作用について説明する。
ハンドリングアーム１をステップモータ２のシャフト３
に直接取付け、該ステップモータ２の駆動制御回路によ
りハンドリングアーム１を動作・停止するよう構成した
ので、ハンドリングアームの高精度な制御が可能とな
り、ハンドリングアーム１の回転むら或はハングアップ
等の心配が全くなく、ウエハ８が偏心状態に載置された
り、ハンドリングアーム１が所定位置に停止しないとい
うことはない。特に、該駆動制御回路にダブル1-2相励
磁回路を使用すれば、0.225゜／ステップの微小ステッ
プで作動・停止できるので、ステップモータ２の共振現
象が起きず、より一層高精度な制御が可能となる。
に直接取付け、該ステップモータ２の駆動制御回路によ
りハンドリングアーム１を動作・停止するよう構成した
ので、ハンドリングアームの高精度な制御が可能とな
り、ハンドリングアーム１の回転むら或はハングアップ
等の心配が全くなく、ウエハ８が偏心状態に載置された
り、ハンドリングアーム１が所定位置に停止しないとい
うことはない。特に、該駆動制御回路にダブル1-2相励
磁回路を使用すれば、0.225゜／ステップの微小ステッ
プで作動・停止できるので、ステップモータ２の共振現
象が起きず、より一層高精度な制御が可能となる。
また、複雑な回転伝達機構は不要で、ギヤ機構等を用い
ていないので塵が発生するおそれもない。
ていないので塵が発生するおそれもない。
更に、該ハンドリングアーム１の内部に設けた吸引孔10
と該モータシャフト２に設けた貫通孔９とを連通させた
ので、モータシャフト２に接続した継手11にバキューム
機構を接続することにより、ハンドリングアーム１にウ
エハ８を真空吸引して確実に固着することができ、搬送
時にウエハがズレて発塵したりすることもない。
と該モータシャフト２に設けた貫通孔９とを連通させた
ので、モータシャフト２に接続した継手11にバキューム
機構を接続することにより、ハンドリングアーム１にウ
エハ８を真空吸引して確実に固着することができ、搬送
時にウエハがズレて発塵したりすることもない。
なお、上記実施例ではハンドリングアームの微小ステッ
プ動作を実現するための駆動制御回路としてダブル1-2
相励磁回路を採用しているが、モーターマイクロステッ
プ励磁回路を採用してもよい。
プ動作を実現するための駆動制御回路としてダブル1-2
相励磁回路を採用しているが、モーターマイクロステッ
プ励磁回路を採用してもよい。
（考案の効果） 以上のことから明らかなように、本考案によると、次の
ような効果がある。
ような効果がある。
即ち、複雑なギヤ機構等を省略してハンドリングアーム
の高精度な制御及び微小なステップ作動が可能であるの
で、ウエハの搬送が確実に行われ、しかも、複雑な伝達
機構を要しないので、コンパクトでかつコストの低減を
図ることが可能なハンドリングアームの駆動装置を提供
することができる。
の高精度な制御及び微小なステップ作動が可能であるの
で、ウエハの搬送が確実に行われ、しかも、複雑な伝達
機構を要しないので、コンパクトでかつコストの低減を
図ることが可能なハンドリングアームの駆動装置を提供
することができる。
第１図は本考案のウエハ搬送用のハンドリングアーム駆
動機構の一実施例を説明するためのブロック図、第２図
は本考案で使用する駆動制御回路のステップモータ接続
例を示したもので、第２図（ａ）は４相励磁回路用ステ
ップモータ接続図、第２図（ｂ）はダブル1-2相励磁回
路用ステップモータ接続図、第３図は第１図に示す実施
例の部分斜視図、第４図は同上の実施例の拡大平面図、
第５図は同上の部分断面図であり、第６図は従来のハン
ドリングアーム駆動機構を示す部分斜視図である。 Ａ……直流電源、Ｂ……駆動回路 Ｃ……制御回路 １……ハンドリングアーム ２……ステップモータ 3,3′……シャフト、９……貫通孔 10……吸引孔、11……継手
動機構の一実施例を説明するためのブロック図、第２図
は本考案で使用する駆動制御回路のステップモータ接続
例を示したもので、第２図（ａ）は４相励磁回路用ステ
ップモータ接続図、第２図（ｂ）はダブル1-2相励磁回
路用ステップモータ接続図、第３図は第１図に示す実施
例の部分斜視図、第４図は同上の実施例の拡大平面図、
第５図は同上の部分断面図であり、第６図は従来のハン
ドリングアーム駆動機構を示す部分斜視図である。 Ａ……直流電源、Ｂ……駆動回路 Ｃ……制御回路 １……ハンドリングアーム ２……ステップモータ 3,3′……シャフト、９……貫通孔 10……吸引孔、11……継手
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−222906（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−19693（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−141487（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−240218（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−222906（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−37092（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−1099（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】ステップモータのシャフトに半導体ウエハ
を搬送するための搬送用の薄板長尺状ハンドリングアー
ムの一端部を直接取付け、このハンドリングアームの他
端部に設けた半導体ウエハの載置部表面に切欠部を形成
し、更に、このハンドリングアームの長手方向の内部に
設けた吸引孔の出口部を前記切欠部に臨ませると共に、
上記モータを駆動制御回路で制御することによりハンド
リングアームの微小ステップを可能にするように構成し
たことを特徴とするウエハ搬送用のハンドリングアーム
駆動装置。 - 【請求項２】上記した吸引孔と該シャフトに設けた貫通
孔とを連通させた実用新案登録請求の範囲第１項記載の
ウエハ搬送用のハンドリングアーム駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987120943U JPH0639452Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987120943U JPH0639452Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6426186U JPS6426186U (ja) | 1989-02-14 |
| JPH0639452Y2 true JPH0639452Y2 (ja) | 1994-10-12 |
Family
ID=31367505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987120943U Expired - Lifetime JPH0639452Y2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | ウェハ搬送用のハンドリングアーム装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639452Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0477724U (ja) * | 1990-11-19 | 1992-07-07 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5919693A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-02-01 | 三洋電機株式会社 | マニプレ−タの駆動装置 |
| JPS6039084A (ja) * | 1983-08-09 | 1985-02-28 | 株式会社東芝 | ロボット装置 |
| JPS60108589A (ja) * | 1983-11-15 | 1985-06-14 | Yuukou Shoji Kk | 移送，圧送，並びに吸引装置 |
| JPS60141487A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-26 | 株式会社日立製作所 | ロボツト用ア−ム |
| JPS60143199U (ja) * | 1984-03-06 | 1985-09-21 | 特殊電装株式会社 | 電動送風機における冷却機構 |
| JPS62222906A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-09-30 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | ウエ−ハ搬送機構 |
| JPS62240218A (ja) * | 1986-04-10 | 1987-10-21 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ搬送装置 |
-
1987
- 1987-08-06 JP JP1987120943U patent/JPH0639452Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6426186U (ja) | 1989-02-14 |
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