JPS6332787U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6332787U JPS6332787U JP12668186U JP12668186U JPS6332787U JP S6332787 U JPS6332787 U JP S6332787U JP 12668186 U JP12668186 U JP 12668186U JP 12668186 U JP12668186 U JP 12668186U JP S6332787 U JPS6332787 U JP S6332787U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- view
- rotation direction
- joint mechanism
- wafer cartridge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Description
第１図〜第１２図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図はウエハカートリツジ移送装置
の構造を示す一部破砕斜視図、第２図は腕の運動
を説明するための模式的平面図、第３図及び第４
図は腕の運動を説明するための部分斜視図、第５
図、第６図、第７図及び第８図ａはコンベヤとＣ
ＶＤ装置間でウエハカートリツジを移送する手順
を示す模式的平面図、第８図ｂは同図ａの移送装
置に使用するフオークの平面図、第９図は腕の長
さと回動角度との関係を説明するための図、第１
０図及び第１１図は夫々第４図に替る他の機構の
正面図、第１２図はＣＶＤ装置とその下方に位置
するウエハカートリツジを示す正面図（一部断面
）である。第１３図〜第１５図は従来例を示すも
のであつて、第１３図はウエハカートリツジ移送
装置の使用状態の概略平面図、第１４図はウエハ
カートリツジ移送装置の概略正面図、第１５図は
ウエハカートリツジ挾着時の概略断面図、である
。 なお、図面に示された符号に於いて、１，５１
ａ，５１ｂ…フオーク、２，７…軸、３，１９…
腕、４，６，８，１０，１１，１３，１５，１８
…プーリー、５，１２，１６…ベルト、１７…固
定軸、２０，２１，６８，７３…平歯車、２２，
２５…モータ、２３…台、２４…カム、３０…Ｃ
ＶＤ装置、３２…ＣＶＤ装置の装入孔、３６…Ｃ
ＶＤ装置の挿入部、３９…ウエハカートリツジ、
４１，４２，４３…コンベヤ、５８，６３，６４
…傘歯車、７４…面歯車、である。
であつて、第１図はウエハカートリツジ移送装置
の構造を示す一部破砕斜視図、第２図は腕の運動
を説明するための模式的平面図、第３図及び第４
図は腕の運動を説明するための部分斜視図、第５
図、第６図、第７図及び第８図ａはコンベヤとＣ
ＶＤ装置間でウエハカートリツジを移送する手順
を示す模式的平面図、第８図ｂは同図ａの移送装
置に使用するフオークの平面図、第９図は腕の長
さと回動角度との関係を説明するための図、第１
０図及び第１１図は夫々第４図に替る他の機構の
正面図、第１２図はＣＶＤ装置とその下方に位置
するウエハカートリツジを示す正面図（一部断面
）である。第１３図〜第１５図は従来例を示すも
のであつて、第１３図はウエハカートリツジ移送
装置の使用状態の概略平面図、第１４図はウエハ
カートリツジ移送装置の概略正面図、第１５図は
ウエハカートリツジ挾着時の概略断面図、である
。 なお、図面に示された符号に於いて、１，５１
ａ，５１ｂ…フオーク、２，７…軸、３，１９…
腕、４，６，８，１０，１１，１３，１５，１８
…プーリー、５，１２，１６…ベルト、１７…固
定軸、２０，２１，６８，７３…平歯車、２２，
２５…モータ、２３…台、２４…カム、３０…Ｃ
ＶＤ装置、３２…ＣＶＤ装置の装入孔、３６…Ｃ
ＶＤ装置の挿入部、３９…ウエハカートリツジ、
４１，４２，４３…コンベヤ、５８，６３，６４
…傘歯車、７４…面歯車、である。
Claims (1)
- 第一の腕及び第二の腕を軸に対して夫々回動可
能に取付けた関節機構であつて、前記第一の腕の
回動方向と前記第二の腕の回動方向とを互いに逆
方向にする回動方向変更手段を有し、かつ、前記
第一の腕の回動角度と前記第二の腕の回動角度と
を所定の関係に保持するように制御する制御手段
が前記回動方向変更手段に設けられている関節機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12668186U JPS6332787U (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12668186U JPS6332787U (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332787U true JPS6332787U (ja) | 1988-03-02 |
Family
ID=31020717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12668186U Pending JPS6332787U (ja) | 1986-08-19 | 1986-08-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332787U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200813A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Kyoto Univ | 二足歩行ロボット |
-
1986
- 1986-08-19 JP JP12668186U patent/JPS6332787U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008200813A (ja) * | 2007-02-21 | 2008-09-04 | Kyoto Univ | 二足歩行ロボット |
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