JPS6357089U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１５図は本考案の実施例を示すもの
であつて、第１図はウエハカートリツジ移送装置
の構造を示す一部破砕斜視図、第２図は腕の運動
を説明するための模式的平面図、第３図は腕の運
動を説明するための模式的斜視図、第４図は軸の
運動原理を説明するための模式的平面図、第５図
は軸上に設定した座標軸の移動を示す模式図、第
６図は軸の運動を説明するための模式的斜視図、
第７図、第８図、第９図及び第１０図ａはコンベ
ヤとＣＶＤ装置間でウエハカートリツジを移送す
る手順を示す模式的平面図、第１０図ｂは同図ａ
の移送装置に使用するフオークの平面図、第１１
図は腕の長さと回動角度との関係を説明するため
の図、第１２図はＣＶＤ装置とその下方に位置す
るウエハカートリツジを示す正面図（一部断面）
、第１３図は他のウエハカートリツジ移送装置の
構造を示す一部破砕斜視図、第１４図は第１３図
の軸の運動を説明するための模式的斜視図、第１
５図は第１３図の腕の運動原理を説明するための
模式的平面図、である。第１６図〜第１８図は従
来例を示すものであつて、第１６図はウエハカー
トリツジ移送装置の使用状態の概略平面図、第１
７図はウエハカートリツジ移送装置の概略正面図
、第１８図はウエハカートリツジ挾着時の概略断
面図、である。 なお、図面に示す符号において、１，４５ａ，
４５ｂ…フオーク、２，９…軸、３，１９，５４
…腕、４，６，８，１０，１１，１２，５１，５
２…プーリー、５，１３，１４，５３…ベルト、
７，５４ａ…中空軸、１７…固定軸、２０，２１
…平歯車、２２，２５…モータ、２６…昇降台、
２４…カム、３０，３０Ａ，３０Ｂ，５０…移送
装置、３２…ＣＶＤ装置装入孔、３６…ＣＶＤ装
置への挿入部、３９…ウエハカートリツジ、４０
…ＣＶＤ装置、４１，４２，４３…コンベヤ、で
ある。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 回動可能な軸に対して第一の腕が回動可能に取
   り付けられ、前記軸に第二の腕が固定され、前記
   軸の軸線を中心にして前記第一及び第二の腕を互
   いに逆に回動させる回動方向変更手段を有し、か
   つ、前記第一の腕の回動角度と前記第二の腕の回
   動角度とを所定の関係に保持するように制御する
   制御手段が前記回動方向変更手段に設けられてい
   る関節機構。