JP2021079526A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A1=−θ1×wr1/sr2
θ2=A1+θ1
A2=−A1×wr2/sr3
θ3=A2+θ2=(−A1×wr2/sr3)+(A1+θ1)
=A1×(1−wr2/sr3)+θ1
=(−θ1×wr1/sr2)×(1−wr2/sr3)+θ1
=θ1×(1−wr1/sr2+wr1wr2/sr2sr3)
11 モーター
111 出力軸
12 ベルト
13 ベース
2 主動アーム
21 第1の回転軸
22 第1のアーム本体
3 受動アーム
31 第2の回転軸
32 第2のアーム本体
4 搬送モジュール
41 第3の回転軸
42 支持盤
421 支持盤本体
422 係止ブロック
5 連動手段
51 第1の連動モジュール
511 第1のプーリー
512 第1の伝動部材
512a 第1の伝動ベルト
52 第2の連動モジュール
521 第2のプーリー
522 第2の伝動部材
522a 第2の伝動ベルト
L1 第1の軸線
L2 第2の軸線
L3 第3の軸線
LB 参照軸線
X1 第1の回転軸の軸心
X2 第2の回転軸の軸心
X3 第3の回転軸の軸心
P ルート
D1 高さ方向
A1 第2の軸線の第1の軸線に対する相対回転角度
A2 第3の軸線の第2の軸線に対する相対回転角度
θ1 主動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ2 受動アームの参照軸線に対する相対回転角度
θ3 支持盤の参照軸線に対する相対回転角度
Claims (4)
- 駆動手段と、主動アームと、受動アームと、搬送モジュールと、連動手段と、を備える搬送装置であって、
前記駆動手段は、ベースと、前記ベースに対して回転可能になっていると共に、駆動力を出力する出力軸と、を有し、
前記主動アームは、所定の高さ方向に沿って延伸し、前記駆動手段の前記出力軸に駆動されて該延伸方向を回転軸として回転する第1の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第1の回転軸に固定されて接続される第1のアーム本体と、を有し、
前記受動アームは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第1のアーム本体に相対回転可能に接続される第2の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第2の回転軸に固定されて接続される第2のアーム本体と、を有し、
前記搬送モジュールは、前記高さ方向に沿って延伸し、前記第2のアーム本体に相対回転可能に接続される第3の回転軸と、前記高さ方向と直交する方向に沿って延伸し、前記第2の回転軸に固定されて接続される支持盤と、を有し、
前記支持盤には、搬送物体が直線に沿って出入りできるルートを有し、
前記連動手段は、前記第1のアーム本体に配置される第1の連動モジュールと、前記第2のアーム本体に配置される第2の連動モジュールと、を有し、
前記第1の連動モジュールは、前記第1の回転軸と同軸するように配置される第1のプーリーと、前記第1の回転軸と相対回転する前記第1のプーリーに連動して前記第2の回転軸を回転駆動するように前記第2の回転軸及び前記第1のプーリーに取り付けられる第1の伝動部材と、を有し、
前記第2の連動モジュールは、前記第2の回転軸と同軸するように配置される第2のプーリーと、前記第2の回転軸と相対回転する前記第2のプーリーに連動して前記第3の回転軸を回転駆動するように前記第3の回転軸及び前記第2のプーリーに取り付けられる第2の伝動部材と、を有し、
前記第2の回転軸は、前記第1の回転軸の回転方向の逆方向へ回転し、
前記第3の回転軸は、前記第2の回転軸の回転方向の逆方向へ回転する
ことを特徴とする搬送装置。 - 前記主動アームは、前記ベースに相対回転可能に配置されており、
前記第1のプーリーは、前記ベースに固定接続されており、
前記第2のプーリーは、前記第1のアーム本体に固定されて接続されており、
前記第1のプーリーの外周面の半径をwr1とし、
前記第2のプーリーの外周面の半径をwr2とし、
前記第2の回転軸の前記第1の伝動部材に接続されている部位の半径をsr2とし、
前記第3の回転軸の前記第2の伝動部材に接続されている部位の半径をsr3とし、
前記主動アームの所定の参照軸線に対する相対回転角度をθ1とし、
前記支持盤の前記参照軸線に対する相対回転角度をθ3とした場合、
θ3が、下記式1となるように構成される
式1: θ3=θ1×(1−wr1/sr2+wr1wr2/sr2sr3)
ことを特徴とする請求項1に搬送装置。 - 前記第1の回転軸の軸心から前記第2の回転軸の軸心までの距離は、前記第2の回転軸の軸心から前記第3の回転軸の軸心までの距離と同じである
ことを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記第1のプーリーの外周面の半径wr1と前記第2の回転軸の前記第1の伝動部材に接続されている部位の半径sr2との比率が、下記式2により示される通りに、且つ、
前記第2のプーリーの外周面の半径wr2と前記第3の回転軸の前記第2の伝動部材に接続されている部位の半径sr3との比率が、下記式3により示される通りになるよう構成されている
式2: wr1:sr2=2:1
式3: wr2:sr3=3:4
ことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の搬送装置。
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Family Applications (1)
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357089U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-16 | ||
JPH0492446A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-25 | Plasma Syst:Kk | 基板搬送ロボット |
JP2002093881A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-29 | Rorze Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2004288720A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
WO2013146763A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 株式会社iZA | 多関節ロボット、搬送装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000176876A (ja) * | 1998-12-10 | 2000-06-27 | Komatsu Ltd | ワーク搬送装置およびワーク搬送装置の姿勢保持方法 |
KR100350239B1 (ko) | 2000-12-28 | 2002-08-27 | 한국과학기술원 | 집적 시스템을 위한 기판 구조 및 그 제조방법 |
KR20130096072A (ko) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 삼성전자주식회사 | 기판 반송 장치 |
JP5545337B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2014-07-09 | 株式会社安川電機 | ロボットアームおよびロボット |
JP5990359B2 (ja) * | 2012-10-04 | 2016-09-14 | 平田機工株式会社 | 搬入出ロボット |
CN204935651U (zh) * | 2015-09-07 | 2016-01-06 | 深圳市科精诚印刷机械制造有限公司 | 多关节机械手 |
-
2019
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- 2019-12-26 JP JP2019236363A patent/JP6924815B2/ja active Active
- 2019-12-27 KR KR1020190176016A patent/KR102335275B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6357089U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-16 | ||
JPH0492446A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-25 | Plasma Syst:Kk | 基板搬送ロボット |
JP2002093881A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-29 | Rorze Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2002166376A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
JP2004288720A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
WO2013146763A1 (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-03 | 株式会社iZA | 多関節ロボット、搬送装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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