JPS62240218A - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はウェハを搬送するウェハ搬送装置の回転アー
ムに関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のウェハ搬送用回転アームを示し、図にお
いて、■はウェハを受渡しするアーム、２はアーム１を
回転させるための回転軸、３はウェハ吸着のための真空
孔である。

次に動作について第３図を用いて説明する。第３図（ａ
）、　（ｅ）に示す様にウェハＡ６は、装置Ａ４にある
柱８に乗っており、ウェハＢ７は装置Ｂ５のウェハチャ
ック９上に乗っている。次に第３図（ｂｌ。

（ｆ）に示す様に、装置Ａ４の柱８が上昇し、ウェハＡ
６を持ち上げ、また装置１ＺＢ５のウェハチャック９付
属のピンチャツク１０が上昇しウェハＢ７を持ち上げる
。そして、アーム１が回転軸２を支点にして９０＠回転
し、その先端がウェハＡ６及びウェハＢ７の下へ入る。

つづいて装置１Ａ４の柱８と装置Ｂ５のピンチャツク１
０が下降すると共に従来型アーム１の真空孔３でウェハ
Ａ６及びウェハＢ７を吸着する。次に、第３図＜ｃ＋、
　（ｇｌに示す様にウェハＡ６及びウェハＢ７をアーム
１に吸着したまま、回転軸２を支点として１８０’回転
する。

装ＷＡ４の柱８及び装置Ｂ５のウェハチャック９のピン
チャツク１０が上昇し、ウェハＢ７を装置Ａ４の柱８で
受は取ると同時にウェハＡ６を装置Ｂ５のウェハチャッ
ク９のビンチャック１０で受は取る。最後に、第３図（
ｄ）、　（ＩＩ）に示す様に、アーム１が回転軸を支点
にして９０°回転し初期の位置に戻る。また装ｆｉＡ４
の柱８はウェハＢ７を吸着した状態で下降し初期の状態
にもどり、また装ＺＢ５のウェハチャック９のピンチャ
ツク１０は、ウェハＡ６を吸着した状態で下降しウェハ
チャック９の上にウェハＡ６が乗り初期の状態となる。

つまり、装置Ａ４から装置Ｂ５ヘウェハＡ６を、装ＷＢ
５から装置Ａ４ヘウエハＢ７を搬送したこととなる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来のウェハ搬送装置は以上のように構成されているの
で、従来型アーム１と回転軸２の接触面が小さく、従来
型アームｌの上下方向のぶれ、及び従来型アームｌのね
じれが生じやすく、このためウェハの受渡しの際に従来
型アーム１がウェハＡ６又はウェハＢ７の裏面をこすっ
てしまうなどの問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、搬送用アームの上下方向のぶれ及びねじれを
なくし、安定稼動できるウェハ搬送装置を得ることを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係るウェハ搬送装置は、回転アームの中央部
つまり回転軸近傍部分の厚さを厚く回転アームのウェハ
＠置部の厚さを従来のものと同等もしくはそれより薄く
したものである。

〔作用〕

この発明においては、回転アームの中央部を厚くしたた
め、該アームと回転軸との接触面が増し、これにより、
アームの上下方向のぶれやねじれが生じるにくくなる。

またウェハの載置部はうすくしたため、ウェハ下の必要
スペースを小さくできる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。

第１図は、本発明の一実施例によるウェハ搬送装置のア
ームを示し、図において、１）はウェハの受渡しをする
回転アーム（以下、新型アームと称す）、２は新型アー
ム１）を回転させるための回転軸、３はウェハを吸着す
るための真空孔である。上記新型アーム１）の中央部は
従来のアーム１より厚みが厚く、真空孔３のあろウェハ
吸着部の厚みは従来型アーム１と同等もしくはそれより
うずくなっている。

次に作用効果について説明する。

動作は第３図に示す従来装置と全く同一である。

ただし、第３図の従来型アーム１が新型アーム１）に変
わる。ここで新型アーム１）は、第１図の様に中央部（
回転軸近傍部分）の厚みを厚（し、回転軸２との接触面
を太き（したため、上下方向に対するぶれが生じにくく
なる。また、従来型アームｌの厚みと同じ厚さの部分は
ウェハを吸着する真空孔３の近傍部分のみと最小限にし
たためねじれも生じにくくなる。さらにウェハ搬送動作
においてうエバを受渡す時（第３図（ｂ）、　（ｆ）及
び（Ｃ）。

（ｇ））、従来型アームｌでは上下方向のぶれ、ねじれ
が生じやすいためウェハ裏面をこすりながら従来型アー
ムｌが回転する可能性があったが、新型アーム１）では
、ぶれ、ねじれを抑えているためウニ八裏面をこするな
どの問題゛を生しにくくなる。

また、アームの厚みをうすくする部分を最小限にしたた
め、従来型アーム１よりもさらにうずくしてもアームの
ぶれ、ねじれは生じにくい。さらにウェハ吸着部を従来
型アーム１よりうすくすれば、第３図に示す装置では、
ウェハと装置Ｂ５のウェハチャック９間に余裕ができる
利点がある。

なお、上記実施例では、新型アーム１）は一体のものを
示したが、これは厚みの異なる部分で分割可能なもので
もよい。

また、上記実施例では、２枚のウェハを同時に搬送する
アームを示したが、ウェハ１枚を搬送するものでもよく
、上記実施例と同様の効果を奏する。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、ウェハ搬送用回転ア
ームの中央部つまり回転軸近傍部分を厚くするとともに
、該回転アームのウェハを吸着する部分の厚さを従来の
ものと同等もしくはそれよりうずくしたので、上記搬送
用回転アームの上下方向のぶれ及びねじれをなくし、安
定稼動できるウェハ搬送装置が得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるウェハ搬送装置の搬
送用回転アームの構造図、第２図は従来’ｒＦｔＷのウ
ェハ搬送用回転アームの構造図、第３図はウェハ搬送装
置の動作を説明するための図である。 図において、１は従来型アーム、２は回転軸、３は真空
孔、４は装置Ａ、５は装置Ｂ、６はウェハＡ、７はウェ
ハＢ、８は柱、９はウェハチャック、１０はピンチャツ
ク、１）は新型アームである。 なお図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）その一端にウェハ載置部を有する平板状の回転ア
   ームを備え、該回転アームのウェハ載置部にウェハを載
   置して２つの装置間でウェハを搬送するウェハ搬送装置
   において、上記回転アームの回転軸近傍部分の厚さは厚
   く、上記アームのウェハ載置部の厚さは薄いことを特徴
   とするウェハ搬送装置。