JPS6045498U - カセツトチヤツク装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のカセットチャック装置の斜視図、第２図
はこの考案の一実施例によるカセットチャック装置の斜
視図、第３図は第２図のチャフ　、り腕が原点位置にあ
るときの駆動及び従動歯車の拘束状態を示す正面図、第
４図は第２図のチャック腕が終点位置にあるときの駆動
及び従動歯車の拘束状態を示す正面図である。 １・・・支持体、７，８・・・チャック腕、１０・・・
スプライン軸、１１・・・駆動電動機、１７・・・回転
伝導手段のタイミングベルト、１８・・・スリット板、
１８ａ、１８ｂ・・・検出用スリット、１９・・・セン
サ、２１・・・半導体ウェーハ、２２・・・カセット、
３１・・・駆動歯車、３２．３３・・・突起部、３４．
３５・・・ストッパ、３７・・・従動歯車、３８・・・
流体圧シリンダ。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 駆動電動機により駆動歯車を回転し、従動歯車に回転を
   伝え、この従動歯車の回転を回転伝導手段を介し１対の
   チャック腕を上下回動し、下方への回動で終点位置にし
   、双方のチャック腕によりカセットを挾持及び解放する
   ようにし、上方への回動で原点位置にし、持上げたカセ
   ットから半導体ウェーハが移替えされるようにし、上記
   チャック腕が終点及び原点位置に至ると、センサにより
   それぞれ検出して上記駆動電動機を停止させるようにし
   たカセットチャック装置において、上記駆動歯車の所定
   位置に設けられた突起部と、固定部側に取付けられ、上
   記チャック腕が原点及び終点位置に至ると、上記突起部
   をそれぞれ受止め上記駆動歯車の回動を停めておく１対
   のストッパと、上記従動歯車と固定部との間に装着され
   、回動の原点及び終点位置において、従動歯車を回動力
   向に上記駆動歯車に押付けておき、双方の歯車相互□　
   間のバツクラッシをなくする流体圧シリンダとを備えた
   ことを特徴とするカセットチャック装置。