JPH03129750A - ウエハキャリア搬送用チャック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （１１業上の利用分野） 本発明は、ウェハキャリア搬送用チャックに関する。

（従来の技術） 多数枚の半導体ウェハ（以下、単に・ウェハと記す）を
収容するためにウェハキャリアが使用されている、ウェ
ハキャリアは、チャックによって１持された状態で、所
定の加エエ８ａ置位置、収Ａ位置に搬送される。従来の
ウニへキャリア搬送Ｉチャックは、ウェハキャリアの前
面と後面を女手する方式のものが使用されている。すな
わち、２のウェハキャリア搬送用チャックは、所定の加
：工程間に配設される工対のレールを有している。

レール間には、ウェハキャリアの前面に当接すセ支持部
を有するアームと、ウェハキャリアの後打に当接する支
持部を有するアームとが、所定間−で架股されている。

これらのアーム間で、ウェハキャリアを挟持して、アー
ムがレールに沿って４行するようになっている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このようなウェハキャリア搬送用チャッ
クは、その構造上大型のものになる。また、ウニハキセ
リアの両側に位置付けられているレールに沿ってウェハ
キャリアを搬送するため。

搬送時の自由度が大幅に制約されてしまう問題があった
。

本発明の目的は、コンパクトで、しが＋１、ウェハキャ
リアの搬送時における自由度を高めたウェハキャリア搬
送用チャックを提供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は対向間隔を可変にして対設され、被チャック体
の一端部側に当接するｌ対のチャック片と、夫々の該チ
ャック片に接続したスライダの対と、夫々の該スライダ
の対をガイドレールに沿って往復動させて、前記チャッ
ク片対の対向間隔を変化させる駆動手段と、前記チャッ
ク片対向間に位置して、前記被チャック体の一側面に当
接する支持部材とを具備するウェハキャリア搬送用チャ
ックである。

〈作用） このウェハキャリア搬送用チャックは、ウェハキャリア
を片持式に保持し、がっ、支持部材でウェハキャリアの
側部を支承している。このため、装置全体を非常にコン
パクトにすることができる。

また、ウェハキャリアの搬送時における自由度を、大幅
に高めると共に、安定した搬送によってウェハ等の損傷
を防止することができるものである。

（実施例） 以下１本発明ウェハキャリア搬送用チャックの一実施例
について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明のウェハキャリア搬送用チャック（３
０）をストッカ（２０）のキャリアエレベータ（２１）
に取付けた実施例を示す斜視図である。ストッカ（２０
）には、ウェハキャリア搬送用チャック（３０）によっ
てキャリアライナ（２２）に移送されるウェハキャリア
（図示せず）が、多数個収容されている。キャリアライ
ナ（２２）は、移し換え器（２３）によって、ウェハキ
ャリア中のウェハをボートライナ（２４）に移し換える
ようになっている。ボートライナ（２４）を多数枚のウ
ェハ（２５）をボートに載せた状態で１図示しない反応
炉等に搬出入するようになっている。

ウェハキャリア搬送用チャック（３０）は、第２図及び
第３図に示す構造を有している０図中のは、ウェハキャ
リア■を挾持する一対の搬送用チャックである。第２図
では、２組の搬送用チャック（１）（ｌ′）を図示して
いる。一方の搬送用チャックのを構成する右チャック片
（１ａ）は、右スライダ（４ａ）の一端部に取付けられ
ている。左チャック片（ｌｂ）は左スライダ（４ｂ）の
一端部に取付けられている。イＴスライダ（４ａ）及び
左スライダ（４ｂ）の他端部は、外枠■内に移動自在に
収容されている。これらの他端部には、右スライダ（４
ａ）及び左スライダ（４ｂ）の外枠０の長手方向に沿う
移動をガイドするためのガイドレール■が、ベアリング
（１１）を介して貫押されている。

一方の搬送用チャック（υと所定間隔を設けて他方の搬
送用チャック（１′）が隣設されている。他方の搬送用
チャック（１′）も一方の搬送用チャック（１）と同様
の構造を有している。すなわち、右チャック片（１’ａ
）は、右スライダ（４’ａ）に接続されている。

左チャック片（１’ｂ）は、左スライダ（４’　ｂ）に
接続されている。右スライダ（４’ａ）及び左スライダ
（４’ｂ）は、ガイドレール■にベアリング（１１）を
介して移動自在に取Ｈけられている。ガイドレール■は
、外枠■内に所定間隔で配置された補強プレート（１２
）によって保持されている。右チャック片（１ａ）（１
’ａ）と左チャック片（ｌｂ）　（１’　ｂ）間の外枠
■の前面部には、支持部材■（８′）が夫々設けられて
いる。

支持部材■（８′）の前面には、搬送用チャック（１）
（１′）にて把持されるウェハキャリア■（２′）の側
面に当接するようになっている。右チャック片（１ａ）
（１’ａ）と左チャック片（ｌｂ）　（１’　ｂ）の夫
々の内側部には、ウェハキャリア■（２′）の片側縁部
（２ａ）　（２’　Ｂ）の両端部分が係合する溝（３１
ａ）　（３１’　ａ）　（３１ｂ）　（３１’　ｂ）を
形成している。

２個の右スライダ（４ａ）　（４’　ａ）は、連結バー
０によって連結されている。２個の左スライダ（４ｂ）
（４’ｂ）は、連結バー０によって連結されている。

２個の右スライダ（４ａ）　（４’　ａ）は、外枠■上
に設けられたエアシリンダ０に接続されている。また、
２個の左スライダ（４ｂ）　（４’　ｂ）は外枠■上に
設けられた図示しないエアシリンダに接続されている。

すなわち、右スライダ（４ａ）（４’ａ）は一方のエア
シリンダ０の駆動により、ガイドレール（３）に沿って
往復動する。左スライダ（４ｂ）　（４’　ｂ）は、他
方のエアシリンダの駆動により、ガイドレール■に泊っ
て往復動する。この結果、夫々の搬送用チャックω（１
′）は、エアシリンダ０の駆動により、右チャック（ｌ
ａ）　（１’　ａ）と左チャック片（ｌｂ）　（１’　
ｂ）の間隔を。

夫々同期しながら自在に調節できるようになっている。

なお、支持部材■（８′）は、ポリテトラフルオロエチ
レン（テフロン）等の強度と耐久性に富んだ材質で形成
するのが望ましい。

次に、このウェハキャリア搬送用チャックの動作につい
て説明する。

まず、エアシリンダ０を開放位置に設定し、Ｗｉ送用チ
ャック■（１′）を開放しておく１次に、ウェハキャリ
ア■（２′）の搬送作業をする場合には、キャリアエレ
ベータ（２１）を駆動する。この操作によってウェハキ
ャリア搬送用チャック（３０）をストッカ（２０）の所
定位置へ移動させる。このウェハキャリア搬送用チャッ
ク（３０）の位置決めの際に、夫々の右チャック片（ｌ
ａ）　（１’　ａ）と左チャック片（１ｂ）（１’ｂ）
間にウェハキャリア■（２′）が位置付けられる。

次に、エアシリンダ０を駆動する。エアシリンダ０の駆
動に伴って、連結バー０を介して夫々の右チャック片’
ｒ’（ｌａ）（１’ａ）と左チャック片（ｔｂ）（ｉ’
ｂ）が、第４図に示す如く、対向間隔を狭くするように
移動する。なお、第４図は、片側の搬送用チャック（１
）のみを示している。この結果、搬送用チャック（１）
（１’）が夫々のウェハキャリア■（２′）を挟持する
。このとき、ウェハキャリア■（２′）の片側縁部（２
ａ）（２’ａ）は、溝（３１ａ）　（３１’　ａ）　（
３１ｂ）　（３１’　ｂ）内に係合している。更に、ウ
ェハキャリア■（２′）の−側面部分には、支持部材（
８）（８’）が当接している。

この状態でキャリアエレベータ（２１）が、昇降あるい
は横移動等の動作を行う。そして、キャリアエレベータ
（２１）がウェハキャリア搬送用チャック（３０）を例
えばキャリアライナ（２２）の所定位置に位置付ける。

この後、エアシリンダ０の駆動を停止して搬送用チャッ
ク（１）（１’）によるウェハキャリア■（２′）の把
持を解除する。その結果、ウェハキャリア（２）（２′
）は、所定のキャリアライナ（２２）に移し替えられる
。

このようにこのウェハキャリア搬送用チャック■（１′
）は、ウェハキャリア■（２′）をその片側縁部（２ａ
）　（２’　ａ）で片持ち状態に保持する（第４図参照
）。

このため、ウェハキャリア■（２′）の搬送時の自由度
を大幅に高めることができる。しかも、搬送時にウェハ
キャリア■゛（２′）は、その側面部分に支持部材■（
８′）を当接した状態で搬送用チャック（１）（１′）
にて把持されている。このため、ウェハキャリア■（２
′）がぐらつくことなく搬送することができる。その結
果、ウェハ（２５）等の搬送時における損傷の発生を防
止できる。また、ウェハキャリア（２１（２’）を、片
持ち状態で、かつ、支持部材■（８′）でウェハキャリ
ア■（２′）の把持を補助しつつ把持する構造なので、
ウェハキャリア搬送用チャック■（１′）をコンパクト
なものとすることができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、装置全体を非常にコンパ
クトにすることができ、またウェハキャリアの搬送時に
おける自由度を高めると共に、安定した搬送によってウ
ェハ等の損傷を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェハキャリア搬送用チャックをスト
ッカ（２０）のキャリアエレベータ（２１）に取付けた
一実施例を示す斜視図、第２図は第１図のウェハキャリ
ア搬送用チャックの概略構成を示す平面図、第３図は第
２図のウェハキャリア搬送用チャックの■−■線に沿う
断面図、第４図は第２図のウェハキャリア搬送用チャッ
クの作用を示すための説明図である。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. （１）対向間隔を可変にして対設され、被ウェハキャリ
   ア体の一端部側に当接する１対のチャック片と、 夫々の該チャック片に接続したスライダの対と、夫々の
   該スライダの対をガイドレールに沿って往復動させて、
   前記チャック片対の対向間隔を変化させる駆動手段と、 前記チャック片対間に位置して、前記被チャック体の一
   側面に当接する支持部材と、 を具備するウェハキャリア搬送用チャック。
2. （２）チャック片の対が複数組設けられている請求項１
   記載のウェハキャリア搬送用チャック。
3. （３）チャック片対の一方側を移動させる駆動手段と、
   チャック片対の他方側を移動させる駆動手段とが、別個
   に設けられている請求項２記載のウェハキャリア搬送用
   チャック。
4. （４）夫々のチャック片の内側に、被チャック体の片側
   縁部の端部が係合する溝が形成されている請求項１記載
   のウェハキャリア搬送用チャック。
5. （５）駆動手段が、シリンダである請求項１または請求
   項３記載のウェハキャリア搬送用チャック。
6. （６）支持部材が、フッ素樹脂で形成されている請求項
   １記載のウェハキャリア搬送用チャック。
7. （７）被チャック体が、ウェハキャリアである請求項１
   記載のウェハキャリア搬送用チャック。
8. （８）ウェハキャリアに複数枚の半導体ウェハが収容さ
   れている請求項７記載のウェハキャリア搬送用チャック
   。