JPS5958936U - 弗素樹脂製真空ピンセツト - Google Patents

弗素樹脂製真空ピンセツト

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JPS5958936U
JPS5958936U JP15450282U JP15450282U JPS5958936U JP S5958936 U JPS5958936 U JP S5958936U JP 15450282 U JP15450282 U JP 15450282U JP 15450282 U JP15450282 U JP 15450282U JP S5958936 U JPS5958936 U JP S5958936U
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JP
Japan
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fluororesin
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cylindrical main
valve
valve chamber
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JP15450282U
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JPS6317655Y2 (ja
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清 高橋
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本案の弗素樹脂製真空ピンセットの縦断面図、
第２図は第１図の平面図、第３図は本案の上記真空ピン
セットの一部を除去した拡大縦断面図、第４図は筒状主
体の先端に吸盤のあるノズルを嵌着し、その要部を縦断
して押ボタンの操作要領を示した拡大部分図である。　
　　　　　　　−１・・・・・・弗素樹脂製筒状主体、
２・・・・・・弁室、３・・・・・・弁座、４・・・・
・・弁体、５・・・・・・弗素系ゴムのＯリンーグ、６
・・・・・・押ボタン、７・・・・・・止ピン、８・・
・・・・挿込孔、９・・・・・・ガイ７ドピン、１０・
・・・・・筒状主体の中心通気孔、１１・・・・・・筒
状主体の後部通気孔、１２・・・・・・真空ポンプにつ
なぐノズル、１３・・・・・・弗素系ゴムの０リング、
１４・・・・・・弁室２の前壁、１５・・・・・・弁室
前壁の通気孔、１６・・・・・・吸気ノズル、１７・・
・・・・吸盤、１８・・・・・・吸盤の吸着面。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 弗素樹脂製筒状主体１内に弁室２を設け、この内部に弗
    素系樹脂の弁体４をルーズに挿入し、該弁体と弁座３の
    間に弗素系ゴムの０リング５を介、　　　入し、弁室を
    叩む筒状主体の外部に押ボタン６の′　　　止ピン７を
    ルーズに挿入できる挿込孔−８を設け、この挿込孔を通
    して止ピン７の先端を弁体４に挿し止め、弁体の弁座側
    先端中心にガイドピン９を突出してこ＼を筒状主体１の
    中心通気孔１０に挿入し、筒状主体１の後部通気孔１１
    を真空ポンプにつなぐべくなし、更に前記押ボタン６の
    下面に、　　　　　弗素系ゴムのＯリング１３を嵌着し
    てなる弗素樹脂製真空ピンセット。
JP15450282U 1982-10-14 1982-10-14 弗素樹脂製真空ピンセツト Granted JPS5958936U (ja)

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JP15450282U JPS5958936U (ja) 1982-10-14 1982-10-14 弗素樹脂製真空ピンセツト

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JP15450282U JPS5958936U (ja) 1982-10-14 1982-10-14 弗素樹脂製真空ピンセツト

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JPS5958936U true JPS5958936U (ja) 1984-04-17
JPS6317655Y2 JPS6317655Y2 (ja) 1988-05-18

Family

ID=30341510

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6164965U (ja) * 1984-10-04 1986-05-02
JPS6241473A (ja) * 1985-08-17 1987-02-23 Kiyoshi Takahashi 真空ピンセット
JPH03129750A (ja) * 1987-10-12 1991-06-03 Tokyo Erekutoron Yamanashi Kk ウエハキャリア搬送用チャック

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4957498A (ja) * 1972-10-04 1974-06-04
JPS5146835U (ja) * 1974-10-05 1976-04-07

Patent Citations (2)

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JPS6317655Y2 (ja) 1988-05-18

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