JPS6317655Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 半導体生産工場に於て、その作業性、生産性等
から、従来一般に使用のピンセツトでは満足し得
る操作を行ない得ない欠点がある。

本来半導体作業工場にて使用し得る条件は、各
種酸性液、エツチング液等の腐蝕の悪条件下で作
業が行なわれており、ステンレス以外の金属等は
腐蝕により短時間に使用不納の状態になる。上記
腐蝕素材としては、弗素系樹脂以外に、該環境に
耐え得る素材は、現在に於て不可能視されてい
る。従つて作業現場には硝酸、流酸、等の雰囲気
を吸入するため、本案は弗素樹脂製真空ピンセツ
ト（流体開閉装置）を開発し、これにより弗素系
樹脂本来の特徴をたくみに生かし、上記従来の欠
点の改善を計り、更に本案が耐酸腐蝕性、完全流
体遮断による真空発生装置の省エネルギー化、ピ
ンセツトの不完全流体遮断の水逆流による真空発
生装置の破損防止止、ワンタツチ開閉による作業
性の向上、ピンセツト本体汚洗の洗浄可能（有機
溶済にて可）等を容易にし、且つ半導体用ウエハ
ー等の検査又は移動の際の素手による汗の障害除
去を簡易に行ない得る弗素樹脂製真空ピンセツト
を得ることを目的とする。

次に本考案の構成につき説明する。

すなわち本案は弗素樹脂製筒状主体１内に弁室
２を設け、この内部に弗素系樹脂の素材を用いた
弁体４をルーズに嵌合し、該弁体と弁座８の間に
弗素系ゴムのＯリング５を介入して、弁室を囲む
筒状主体１の外部に押ボタン６を挿設した。７は
押ボタン６の下面に作つた止ピンにして、これを
主体１の外周から弁室２に通じて明けた挿込孔８
にルーズに挿入し、押ボタン６を弁体４に挿止め
しておく。１０は主体１の中心通気孔、１１は主
体１の後部中心に上記通気孔１０と連通して明け
た通気孔にして、この端末に真空ポンプ（図示せ
ず）につなぐノズル１２を突設した。１３は押ボ
タン６の下面に設けたＯリングにして、該押ボタ
ンを下圧したとき、Ｏリング１３は挿込孔８の周
囲に圧接され、該挿込孔と弁体２内を外気と遮断
する。１４は弁室２の前壁にして、この中心に通
気孔１５を設けてある。１６は吸気ノズルにして
先端に吸盤１７を設け、この下面の吸引側１８に
吸着面があつて、こゝを所要のウエハーに重ね吸
着すべくしてある。

尚押ボタン下面のＯリング１３は押ボタンの押
圧作動により押ボタン挿込孔８の周囲に圧接さ
れ、該押込孔周囲を外気と遮断し、弁室内を外気
圧と遮断する様になつている。更に挿込孔は弁の
作動時に弁の止ピン７が孔内で針になる様に止ピ
ンに対し充分の余裕があるように明けて置く。

次に本案の作用及び効果を説明する。

この真空ピンセツトは以上の様に構成され、通
常の場合は真空ポンプの吸引力により弁体４は、
第３図Ａ側の大気圧とＢ側の吸引力によりＯリン
グ５が弁室３に密着して外気の流入を遮断してい
る。

次に半導体ウエハー吸着の場合は、押ボタン６
を指先で軽く押えると、該押ボタンは下面の止ピ
ン７を介し弁体４を下方に押し付けるから、該弁
体下側が弁室２内に圧接され、弁座３とＯリング
５との間に第４図の如く空気の流れる空間ａが出
来、筒状主体１の後端ノズル１２よりこゝに接続
される真空ポンプの吸引力により、吸気ノズル１
６の先端の吸盤面１７に吸引力が働きこゝに所要
のウエハーを吸着することが出来る。このとき押
ボタン直下の止ピン７の周囲の間隙ａより流れ込
もうとする外気は、押ボタン６の下面の弗素系ゴ
ムのＯリング１３が筒状主体１に第４図に見る如
く圧接されるから、押ボタン下面と筒状主体１と
の間はＯリング１３により遮断される。

従つて押ボタン６の止ピン７が挿込孔８にルー
ズに挿込んであつても、吸引操作中外気を筒状主
体１内に侵入させることなくして、ウエハーに所
期の吸引操作を行なわせ得る。このとき押ボタン
直下の止ピンの挿込孔より本装置内に吸引空気が
流れ込もうとするが、押ボタン下面の弗素系ゴム
のＯリング１３により外気圧は遮断され、気密が
保たれるから、吸引操作中の外気は本筒状主体内
に侵入することはない。

かくして本案は、弗素系ゴムの耐酸腐蝕性を活
用し、本真空ピンセツトの主要部である弁室内に
挿入する弁体、空気の流れを遮断するＯリング、
押ボタン等を総て弗素系樹脂のゴムで成形すると
共に、弁体の操作押ボタンを充分に余裕のある挿
込孔を介して、弁体に取付けたので、該弁体は弁
室内で押ボタンの押圧を受け、第４図の様に斜状
となつて吸引空気の流動を行ない、これにより弁
体による真空発生装置の省エネルギー化を行ない
得るの特徴がある。

又本案は吸着ウエハーに直接手を触れずして、
吸盤により吸着移動操作が出来、全く手汗を付着
せずにウエハーの移動を行ない得るの利点があ
る。

又本案は押ボタンの復元力により、該押ボタン
直下のＯリングと筒状主体との間に空隙ができ、
これにより外気が流入し、弁体が弁座に密着して
真空ポンプのノズル先端とウエハー間の真空状態
が解け、ウエハーは吸盤から外れる。すると外気
圧と真空ポンプの吸引力により弁体は弁座に密着
し流動空気を遮断する。しかし止ピンの挿込孔は
ピン径よりはるかに大きく出来ているから、真空
状態は解放されたまゝでよく、従つて止ピンとそ
の挿込孔は製作上において精度を要求されないの
で製作手数が省け、製品のコスト低下に役立つこ
と多大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本案の弗素樹脂製真空ピンセツトの縦
断面図、第２図は第１図の平面図、第３図は本案
の上記真空ピンセツトの一部を除去した拡大縦断
面図、第４図は筒状主体の先端に吸盤のあるノズ
ルを嵌着し、その要部を遮断して押ボタンの操作
要領を示した拡大部分図である。 １……弗素樹脂製筒状主体、２……弁室、３…
…弁座、４……弁体、５……弗素系ゴムのＯリン
グ、６……押ボタン、７……止ピン、８……挿込
孔、９……ガイドピン、１０……筒状主体の中心
通気孔、１１……筒状主体の後部通気孔、１２…
…真空ポンプにつなぐノズル、１３……弗素系ゴ
ムのＯリング、１４……弁室２の前壁、１５……
弁室前壁の通気孔、１６……吸気ノズル、１７…
…吸盤、１８……吸盤の吸着面。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一方端部がノズル１２を介して真空ポンプに接
   続されると共に、他方端部が吸気ノズル１６を介
   して吸盤１８に接続される弗素樹脂製筒状主体１
   の軸心に沿つて通気孔１０，１１，１５が穿設さ
   れ、該通気孔の途中を開閉して前記吸盤１８で半
   導体ウエハー等を吸着又は離脱させるようにした
   真空ピンセツトであつて、前記筒状主体１内には
   前記通気孔より拡径された弁室２が設けられ、該
   弁室２の一方端部で且つ前記真空ポンプが接続さ
   れる吸引側の通気孔との隣接部には弁座３を形成
   すると共に、当該弁座３には弗素系ゴムの環状シ
   ール材５が収嵌され、前記弁室２内には当該弁室
   の外径より小径の弗素系樹脂材による弁体４が遊
   嵌され、該弁体２には前記弁座３に収嵌された環
   状シール材５に挿通されて当該環状シール材の内
   面に接離する円錐形の弁頭と、弁頭の先端から前
   記真空ポンプが接続される吸引側の通気孔内に突
   設されるガイドピン９が一体に形成され、前記弁
   室３を囲む筒状主体１には当該弁室と筒状主体の
   外側とを連通させる挿込孔８が軸心と直交状に穿
   設され、該挿込孔８には先端側を前記弁体４に取
   着させた止ピン７が遊嵌状に挿通されて筒状主体
   １の外部に突設され、該止ピン７の基端側には当
   該止ピンを介して前記弁体４の軸心に対して傾斜
   状に揺動せしめて弁座３に収嵌された環状シール
   材５から接離させる押ボタン６が取着され、該押
   ボタン６の下面には常時は弁室２を外部と連通さ
   れている前記挿込孔８を当該押ボタンが押圧され
   た際に密閉させる弗素系ゴムの環状シール材１８
   が装着されている弗素樹脂製真空ピンセツト。