JP2648876B2 - ウエハキャリア搬送用チャック - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、ウエハキャリア搬送用チャックに関する。

（従来の技術） 多数枚の半導体ウエハ（以下、単にウエハと記す）を
収容するためにウエハキャリアが使用されている。ウエ
ハキャリアは、チャックによって把持された状態で、所
定の加工工程載置位置、収納位置に搬送される。従来の
ウエハキャリア搬送用チャックは、ウエハキャリアの前
面と後面を支持する方式のものが使用されている。すな
わち、このウエハキャリア搬送用チャックは、所定の加
工工程間に配設される１対のレールを有している。レー
ル間には、ウエハキャリアの前面に当接する支持部を有
するアームと、ウエハキャリアの後面に当接する支持部
を有するアームとが、所定間隔で架設されている。これ
らのアーム間で、ウエハキャリアを挾持して、アームが
レールに沿って走行するようになっている。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、このようなウエハキャリア搬送用チャ
ックは、その構造上大型のものになる。また、ウエハキ
ャリアの両側に位置付けられているレールに沿ってウエ
ハキャリアを搬送するため、搬送時の自由度が大幅に制
約されてしまう問題があった。

本発明の目的は、コンパクトで、しかも、ウエハキャ
リアの搬送時における自由度を高めたウエハキャリア搬
送用チャックを提供することにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段） 本発明は、対向間隔を可変にして対設され、ウエハキ
ャリアの一端部側に当接する１対のチャック片と、 夫々の該チャック片に接続したスライダの対と、 夫々のスライダの対をガイドレールに沿って往復動さ
せて、前記チャック片対の対向間隔を変化させる駆動手
段と、 前記チャック片対間に位置して、前記ウエハキャリア
の一側面に当接する支持部材と、 を具備するウエハキャリア搬送用チャックであって、 前記チャック片の対の一方側を移動させる駆動手段
と、前記チャック片の対の他方側を移動させる駆動手段
とが別個に設けられるとともに、 前記チャック片の対が複数組連設され、これら複数組
のチャック片のうち、一方側のチャック片が互いに連結
され、かつ、他方側のチャック片が互いに連結されて夫
々前記別個の駆動手段に接続されたことを特徴とするウ
エハキャリア搬送用チャックである。

また、請求項２の発明は、上記ウエハキャリア搬送用
チャックの夫々のチャック片の内側に、前記ウエハキャ
リアの片側縁部の端部が係合する溝が形成されているウ
エハキャリア搬送用チャックである。

（作用） このウエハキャリア搬送用チャックは、ウエハキャリ
アを片持式に保持し、かつ、支持部材でウエハキャリア
の側部を支承している。このため、装置全体を非常にコ
ンパクトにすることができる。また、ウエハキャリアの
搬送時における自由度を、大幅に高めると共に、安定し
た搬送によってウエハ等の損傷を防止することができる
ものである。

（実施例） 以下、本発明ウエハキャリア搬送用チャックの一実施
例について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明のウエハキャリア搬送用チャック
（30）をストッカ（20）のキャリアエレベータ（21）に
取付けた実施例を示す斜視図である。ストッカ（20）に
は、ウエハキャリア搬送用チャック（30）によってキャ
リアライナ（22）に移送させるウエハキャリア（図示せ
ず）が、多数個収容されている。キャリアライナ（22）
は、移し換え器（23）によって、ウエハキャリア中のウ
エハをボートライナ（24）に移し換えるようになってい
る。ボートライナ（24）を多数枚のウエハ（25）をボー
トに載せた状態で、図示しない反応炉等に搬出入するよ
うになっている。

ウエハキャリア搬送用チャック（30）は、第２図及び
第３図に示す構造を有している。図中（１）は、ウエハ
キャリア（２）を挾持する一対の搬送用チャックであ
る。第２図では、２組の搬送用チャック（１）（１′）
を図示している。一方の搬送用チャック（１）を構成す
る右チャック片（1a）は、右スライダ（4a）の一端部に
取付けられている。左チャック片（1b）は左スライダ
（4b）の一端部に取付けられている。右スライダ（4a）
及び左スライダ（4b）の他端部は、外枠（５）内に移動
自在に収容されている。これらの他端部には、右スライ
ダ（4a）及び左スライダ（4b）の外枠（５）の長手方向
に沿う移動をガイドするためのガイドレール（３）が、
ベアリング（11）を介して貫挿されている。

一方の搬送用チャック（１）と所定間隔を設けて他方
の搬送用チャック（１′）が隣設されている。他方の搬
送用チャック（１′）も一方の搬送用チャック（１）と
同様の構造を有している。すなわち、右チャック片
（１′ａ）は、右スライダ（４′ａ）に接続されてい
る。左チャック片（１′ｂ）は、左スライダ（４′ｂ）
に接続されている。右スライダ（４′ａ）及び左スライ
ダ（４′ｂ）は、ガイドレール（３）にベアリング（1
1）を介して移動自在に取付けられている。ガイドレー
ル（３）は、外枠（５）内に所定間隔で配置された補強
プレート（12）によって保持されている。右チャック片
（1a）（１′ａ）と左チャック片（1b）（１′ｂ）間の
外枠（５）の前面部には、支持部材（８）（８′）が夫
々設けられている。支持部材（８）（８′）の前面に
は、搬送用チャック（１）（１′）にて把持されるウエ
ハキャリア（２）（２′）の側面に当接するようになっ
ている。右チャック片（1a）（１′ａ）と左チャック片
（1b）（１′ｂ）の夫々の内側部には、ウエハキャリア
（２）（２′）の片側縁部（2a）（２′ａ）の両端部分
が係合する溝（31a）（31′ａ）（31b）（31′ｂ）を形
成している。

２個の右スライダ（4a）（４′ａ）は、連結バー
（６）によって連結されている。２個の左スライダ（4
b）（４′ｂ）は、連結バー（６）によって連結されて
いる。

２個の右スライダ（4a）（４′ａ）は、外枠（５）上
に設けられたエアシリンダ（７）に接続されている。ま
た、２個の左スライダ（4b）（４′ｂ）は、外枠（５）
上に設けられた図示しないエアシリンダに接続されてい
る。すなわち、右スライダ（4a）（４′ａ）は一方のエ
アシリンダ（７）の駆動により、ガイドレール（３）に
沿って往復動する。左スライダ（4b）（４′ｂ）は、他
方のエアシリンダの駆動により、ガイドレール（３）に
沿って往復動する。この結果、夫々の搬送用チャック
（１）（１′）は、エアシリンダ（７）の駆動により、
右チャック（1a）（１′ａ）と左チャック片（1b）
（１′ｂ）の間隔を、夫々同期しながら自在に調節でき
るようになっている。なお、支持部材（８）（８′）
は、ポリテトラフルオロエチレン（テフロン）等の強度
と耐久性に富んだ材質で形成するのが望ましい。

次に、このウエハキャリア搬送用チャックの動作につ
いて説明する。

まず、エアシリンダ（７）を開放位置に設定し、搬送
用チャック（１）（１′）を開放しておく。次に、ウエ
ハキャリア（２）（２′）の搬送作業をする場合には、
キャリアエレベータ（21）を駆動する。この操作によっ
てウエハキャリア搬送用チャック（30）をストッカ（2
0）の所定位置へ移動させる。このウエハキャリア搬送
用チャック（30）の位置決めの際に、夫々の右チャック
片（1a）（１′ａ）と左チャック片（1b）（１′ｂ）間
にウエハキャリア（２）（２′）が位置付けられる。

次に、エアシリンダ（７）を駆動する。エアシリンダ
（７）の駆動に伴って、連結バー（６）を介して夫々の
右チャック片（1a）（１′ａ）と左チャック片（1b）
（１′ｂ）が、第４図に示す如く、対向間隔を狭くする
ように移動する。なお、第４図は、片側の搬送用チャッ
ク（１）のみを示している。この結果、搬送用チャック
（１）（１′）が夫々のウエハキャリア（２）（２′）
を挟持する。このとき、ウエハキャリア（２）（２′）
の片側縁部（2a）（２′ａ）は、溝（31a）（31′ａ）
（31b）（31′ｂ）内に係合している。更に、ウエハキ
ャリア（２）（２′）の一側面部分には、支持部材
（８）（８′）が当接している。この状態でキャリアエ
レベータ（21）が、昇降あるいは横移動等の動作を行
う。そして、キャリアエレベータ（21）がウエハキャリ
ア搬送チャック（30）を例えばキャリアライナ（22）の
所定位置に位置付ける。この後、エアシリンダ（７）の
駆動を停止して搬送用チャック（１）（１′）によるウ
エハキャリア（２）（２′）の把持を解除する。その結
果、ウエハキャリア（２）（２′）は、所定のキャリア
ライナ（22）に移し替えられる。

このようにこのウエハキャリア搬送用チャック（１）
（１′）は、ウエハキャリア（２）（２′）をその片側
縁部（2a）（２′ａ）で片持ち状態に保持する（第４図
参照）。このため、ウエハキャリア（２）（２′）の搬
送時の自由度を大幅に高めることができる。しかも、搬
送時にウエハキャリア（２）（２′）は、その側面部分
に支持部材（８）（８′）を当接した状態で搬送用チャ
ック（１）（１′）にて把持されている。このため、ウ
エハキャリア（２）（２′）がぐらつくことなく搬送す
ることができる。その結果、ウエハ（25）等の搬送時に
おける損傷の発生を防止できる。また、ウエハキャリア
（２）（２′）を、片持ち状態で、かつ、支持部材
（８）（８′）でウエハキャリア（２）（２′）の把持
を補助しつつ把持する構造なので、ウエハキャリア搬送
用チャック（１）（１′）をコンパクトなものとするこ
とができる。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、装置全体を非常にコン
パクトにすることができ、またウエハキャリアの搬送時
における自由度を高めると共に、安定した搬送によって
ウエハ等の損傷を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウエハキャリア搬送用チャックをスト
ッカ（20）のキャリアエレベータ（21）に取付けた一実
施例を示す斜視図、第２図は第１図のウエハキャリア搬
送用チャックの概略構成を示す平面図、第３図は第２図
のウエハキャリア搬送用チャックのIII−III線に沿う断
面図、第４図は第２図のウエハキャリア搬送用チャック
の作用を示すための説明図である。 １……搬送用チャック、２……ウエハキャリア ３……ガイドレール、４……スライダ ８……支持部材、25……ウエハ

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】対向間隔を可変にして対設され、ウエハキ
   ャリアの一端部側に当接する１対のチャック片と、 夫々の該チャック片に接続したスライダの対と、 夫々のスライダの対をガイドレールに沿って往復動させ
   て、前記チャック片対の対向間隔を変化させる駆動手段
   と、 前記チャック片対間に位置して、前記ウエハキャリアの
   一側面に当接する支持部材と、 を具備するウエハキャリア搬送用チャックであって、 前記チャック片の対の一方側を移動させる駆動手段と、
   前記チャック片の対の他方側を移動させる駆動手段とが
   別個に設けられるとともに、 前記チャック片の対が複数組連設され、これら複数組の
   チャック片のうち、一方側のチャック片が互いに連結さ
   れ、かつ、他方側のチャック片が互いに連結されて夫々
   前記別個の駆動手段に接続されたことを特徴とするウエ
   ハキャリア搬送用チャック。
2. 【請求項２】夫々のチャック片の内側に、前記ウエハキ
   ャリアの片側縁部の端部が係合する溝が形成されている
   請求項１記載のウエハキャリア搬送用チャック。