JPS6311726Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の技術分野〕 この考案は、半導体ウエーハを収納したカセツ
トを挾持し、持上げ回動しておくことにより、カ
セツトと他の処理ボートなどの間で、半導体ウエ
ーハが１枚宛移替えられるようにするための、カ
セツトチヤツク装置に関する。

〔従来技術〕

従来のカセツトチヤツク装置は、第１図に概要
斜視図で示すようになつていた。１は１対の支持
体で、台枠２上に矢印Ｃ及びＤ方向に可動に支持
されれている。３は駆動電動機（図示は略す）に
より回転される送り軸で、外周にボール用ねじ溝
が設けられてあり、各支持体１をボールねじ装置
４を介しＣ及びＤ方向に送り移動する。５は双方
の支持体１の回動自在に支持された回動軸、６及
び７はこの回動軸５に円周方向には固定されて支
持された１対のチヤツク腕で、チヤツク腕６は軸
方向にも固定され、チヤツク腕７は軸方向には可
動になつている。８は各チヤツク腕６，７の対向
面の内側に設けられた爪部で、カセツト２２を両
側から引掛け支持するためのものである。９は双
方のチヤツク腕６，７間に装着されたエアシリン
ダで、チヤツク腕７を矢印Ｅ方向の移動及びＦ方
向の復帰移動する。１０は双方の支持体１を貫通
し、両端側を軸受を介し軸受台（いづれも図示は
略す）に支持されたスプライン軸、１１は台枠３
に取付けられた駆動電動機で、可逆回転し回動荷
重を保持するためのブレーキ（図示は略す）を内
蔵している。１２は電動機１１からの駆動軸で、
先端に駆動歯車１３を固着している。１４はスプ
ライン軸１０に固定され駆動歯車１３にかみ合い
回転される従動歯車、１５はスプライン軸１０に
はめ合わされ、支持体１に軸方向には保持された
ベルト車、１６は回動軸５端に固定された従動ベ
ルト車で、ベルト車１５との間にタイミングベル
ト１７が掛けられており、回動回転を回動軸５に
伝える。１８は駆動軸１２に固定されたスリツト
板で、チヤツク腕６，７を原点位置Ａ及び回動角
度θの終点位置Ｂに規制するための２か所の検出
用スリツト１８ａ及び１８ｂが設けられている。
１９はスリツト板１８ａ，１８ｂを検出し信号を
出すセンサで、例えば光電スイツチからなり、ス
リツト１８ａ，１８ｂを検出しこの信号により駆
動電動機１１の回転を停止させるようにしてい
る。

上記従来の装置の動作は、次のようになる。

多数枚の半導体ウエーハ２１を収納したカセツ
ト２２が鎖線のように、装置の前方位置に搬送さ
れてくる。駆動電動機１１を矢印B₁方向に回転
すると、駆動歯車１３、従動歯車１４を経てスプ
ライン軸１０が回転され、ベルト車１５，ベルト
１７及び従動ベルト車１６を介し回動軸５が回動
される。これにより、原点位置Ａにあつたチヤツ
ク腕６，７は矢印B₃方向に回動される。このと
き、スリツト板１８も回動されており、スリツト
１８ｂがセンサ１９の位置に至ると、検出信号が
出され、駆動電動機１１を停止させる。これによ
り、チヤツク腕６，７は終点位置Ｂで止められ
る。

こうして、終点位置に鎖線で示すように回動さ
れたチヤツク腕６，７はエアシリンダ９により双
方の間隔が狭められ、双方の爪部８でカセツト２
２を両側から挾持する。そこで、駆動電動機１１
を矢印A₁方向に回転し、チヤツク腕６，７をA₃
方向に回動する。スリツト１８ａがセンサ１９の
位置に至ると、検出信号が出され駆動電動機１１
が停止され、チヤツク腕６，７は原点位置Ａで止
められ、カセツト２２はこの位置に傾斜姿勢で維
持される。ここで、移替え装置の押出し手段（図
示は略す）によりカセツト２２の底の開口部から
半導体ウエーハ２１が１枚宛押出され、案内レー
ルに案内されボート（いづれも図示は略す）に移
されることになる。

上記従来装置では、チヤツク腕６，７が原点位
置Ａと終点位置Ｂでの停止のとき、駆動歯車１３
と従動歯車１４間のバツククラツシにより、従動
側のスプライン軸１０の回動にがたつきが生じ
る。このわずかなバツククラツシによる回動のが
たつきは、、チヤツク腕６，７の先端部では拡大
されるため、停止位置が所定位置から外れること
があり、カセツト２２の挾持ができなくなること
があつた。また、上方に持上げられたカセツト２
２２が原点位置Ａからずれ、半導体ウエーハ２１
が下方から押出す押上手段の押出し腕の先端に対
し位置が合わなく、押出しが不能となることがあ
つた。

〔考案の概要〕

この考案は、上記従来装置の欠点をなくするた
めになされたもので、駆動歯車の側面に突起部を
説け、チヤツク腕が原点位置及び終点位置に至つ
たとき、それぞれ対応する上記突起部を受止め、
駆動歯車を確実に停止させる１対のストツパを固
定部側に取付け、回動の原点及び終点において流
体圧シリンダで従動歯車を回動方向に駆動歯車に
押付けておき、双方の歯車間のバツククラツシを
なくし、駆動歯車を原点位置及び終点位置で、が
たつきがなく正確に停止させることにより、チヤ
ツク腕でカセツトが確実に挾持できるとともに、
原点位置に持上げられたカセツトから、半導体ウ
エーハが支障なく移替えがされるようにするカセ
ツトチヤツク装置を提供することを目的としてい
る。

〔考案の実施例〕

第２図はこの考案の一実施例によるカセツトチ
ヤツク装置の概要斜視図であり、１〜１２，１５
−１９，１８ａ，１８ｂ，２１，２２は上記従来
装置と同一のものである。３１は駆動軸１２の先
端に固着された駆動歯車で、側面に１対の突起部
３２，３３が所定の角度位置に設けられている。
これらの突起部３２，３３は、例えば、駆動歯車
３１に固着されたピンからなる。３４及び３５は
上記突起部３２及び３３に対応して配設され、受
止める１対のストツパで、台枠２に取付けられた
支持体３６に固着されている。突起部３２は、チ
ヤツク腕６，７が原点位置Ａに至つたとき、駆動
歯車３１の回動を確実に受止めておく位置に設け
られ、突起部３３は、チヤツク腕６，７が終点位
置Ｂに至つたとき、駆動歯車３１の回動を確実に
受止めておく位置に設けられてある。３７はスプ
ライン軸１０に固定され、駆動歯車３１にかみ合
い回動される従動歯車、３８は台枠２側に回動可
能に支持された流体圧シリンダで、例えば空気圧
シリンダからなり、ピストン棒３９の先端部が従
動歯車３７の側部に連結ピン４０を介し回動可能
に連結されている。

上記一実施例の装置の動作は、次のようにな
る。チヤツク腕６，７が原点位置Ａにある状態で
は、第３図に示すように、流体圧シリンダ３８に
よる矢印E₄方向の引付けで、従動歯車３７はA₂
方向の力が与えられ、突起部３２によりストツパ
３４に受止められている駆動歯車３１に圧接し、
バツクラツシが生じることなく受止められ、チヤ
ツク腕６，７を正確に原点位置Ａに維持してい
る。

この状態からチヤツク腕６，７を終点位置Ｂに
回動するには、第３図に点線で示すように、ま
ず、流体圧シリンダ３８を押出し（B₄方向）作
用に切換えるとともに、駆動電動機１１を始動し
B₁方向に回転する。すると、第２図に示すよう
に、駆動歯車３１、従動歯車３７、スプライン軸
１０及びベルト１７伝導手段を介し、チヤツク腕
６，７はB₃方向に下降回動をする。チヤツク腕
６，７が終点位置Ｂに至ると、スリツト１８ｂが
センサ１９の位置になり、検出信号が出され、駆
動電動機１１を停止させる。このとき、同時に突
起部３３がストツパ３５に受止められ、第４図に
示すように、従動歯車３７は流体圧シリンダ３８
によりB₂方向に駆動歯車３１に押付けられ、バ
ツクラツシを起こすことなく圧接して受止められ
る。こうして、スリツト腕６，７はがたつき誤差
を受けることなく、正確に終点位置Ｂに維持され
る。

チヤツク腕６，７を終点位置Ｂから原点位置Ａ
に上昇回動するには、駆動電動機１１をA₁方向
に駆動回転するとともに、流体圧シリンダ３８を
切換えA₄方向の引付け作動をさせる。これによ
り、チヤツク腕６，７はA₃方向に上昇回動され、
第２図のように、正確に原点位置に保持される。

なお、上記実施例では、スプライン軸１０から
回動軸５への回転伝導手段は、タイミングベルト
１７による伝導手段を用いたが、がたつきがなく
正確に回動を伝えるものであれば、他の手段、例
えばチエーン伝導手段によつてもよい。

また、上記実施例では突起部は２箇所設けた
が、１箇所に設け、１対のストツパにより回動の
原点及び終点位置に至るとそれそれ受止め、駆動
歯車の回動を停止するようにしてもよい。

〔考案の効果〕

以上のように、この考案によれば、駆動歯車の
側面に突起部を設け、これに対応し１対のストツ
パを固定部側に取付け、チヤツク腕が回動の原点
位置及び終点位置に至つたとき、それぞれストツ
パで対応する突起部を受止めるようにし、さら
に、流体圧シリンダにより従動歯車を駆動歯車に
対し回動方向に押圧を加えておくようにし、従動
歯車がチヤツク腕に対する原点及び終点位置でバ
ツクラツシを起こすことなく停止され、チヤツク
腕が正確に原点及び終点位置に維持され、カセツ
トが確実に挾持でき、また、半導体ウエーハの移
替えが支障なくされる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のカセツトチヤツク装置の斜視
図、第２図はこの考案の一実施例によるカセツト
チヤツク装置の斜視図、第３図は第２図のチヤツ
ク腕が原点位置にあるときの駆動及び従動歯車の
拘束状態を示す正面図、第４図は第２図のチヤツ
ク腕が終点位置にあるときの駆動及び従動歯車の
拘束状態を示す正面図である。 １……支持体、７，８……チヤツク腕、１０…
…スプライン軸、１１……駆動電動機、１７……
回転伝導手段のタイミングベルト、１８……スリ
ツト板、１８ａ，１８ｂ……検出用スリツト、１
９……センサ、２１……半導体ウエーハ、２２…
…カセツト、３１……駆動歯車、３２，３３……
突起部、３４，３５……ストツパ、３７……従動
歯車、３８……流体圧シリンダ。なお、図中同一
符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 駆動電動機により駆動歯車を回転し、従動歯車
   に回転を伝え、この従動歯車の回転を回転伝導手
   段を介し１対のチヤツク腕を上下回動し、下方へ
   の回動で終点位置にし、双方のチヤツク腕により
   カセツトを挾持及び解放するようにし、上方への
   回動で原点位置にし、持上げたカセツトから半導
   体ウエーハが移替えされるようにし、上記チヤツ
   ク腕が終点及び原点位置に至ると、センサにより
   それぞれ検出して上記駆動電動機を停止させるよ
   うにしたカセツトチヤツク装置において、上記駆
   動歯車の所定位置に設けられた突起部と、固定部
   側に取付けられ、上記チヤツク腕が原点及び終点
   位置に至ると、上記突起部をそれぞれ受止め上記
   駆動歯車の回動を停めておく１対のストツパと、
   上記従動歯車と固定部との間に装着され、回動の
   原点及び終点位置において、従動歯車を回動方向
   に上記駆動歯車に押付けておき、双方の歯車相互
   間のバツククラツシをなくする流体圧シリンダと
   を備えたことを特徴とするカセツトチヤツク装
   置。