JPH0628273B2 - Ｉｃ支持フィルムとそれを塔載したキャリア - Google Patents

Ｉｃ支持フィルムとそれを塔載したキャリア

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JPH0628273B2
JPH0628273B2 JP62250997A JP25099787A JPH0628273B2 JP H0628273 B2 JPH0628273 B2 JP H0628273B2 JP 62250997 A JP62250997 A JP 62250997A JP 25099787 A JP25099787 A JP 25099787A JP H0628273 B2 JPH0628273 B2 JP H0628273B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔目 次〕 概要 産業上の利用分野 従来の技術 発明が解決しようとする問題点 問題点を解決するための手段 作用 実施例 第１の発明および第２の発明の一実施例 （第１〜３図） 発明の効果 〔概 要〕 チップ状態のままでＩＣを支持しているフィルムを、Ｉ
Ｃテストのためにパッドを位置決めして保持するＩＣ支
持フィルムとそれを搭載したキャリアに関し、 テストピンに対するフィルム上のパッドの位置決め精度
の高いテープキャリアを提供することを目的とし、 ＩＣ支持フィルムは、４つの辺を有するフィルムと、対
向する２つの辺に平行に並んで設けられ且つ該２つの辺
と近傍に設けられた複数のスプロケットホールと、該フ
ィルムの中央に設けられた窓部と、該窓部内に延び且つ
該フィルム表面上に形成された複数のリードパターン
と、該リードパターンの窓部内に延びる先端部に接続さ
れ、該窓部内に位置するＩＣチップと、該窓部の周辺で
あって且つ該スプロケットホールよりも内側のフィルム
上に設けられ、該リードパターンに導通する複数のパッ
ドと、該パッドの列上近傍に設けられ、少なくとも対角
線上に設けられた２つの位置決め孔とを有するように構
成し、 一方、ＩＣ支持フィルムを搭載したキャリアは、該フィ
ルムを搭載するくぼみ部と、該くぼみ部の中央に設けら
れた窓と、該くぼみ部の周辺に設けられ前記のスプロケ
ットホールに係合する複数の突起と、を有し、該キャリ
アの窓の大きさはフィルム上のパッドおよび位置決め孔
を含む部分よりも大であって且つ該フィルムの大きさよ
りも小さく構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣ支持フィルムとそれを搭載したキャリア
に係り、詳しくはチップ状態のままでＩＣを支持してい
るフィルムと、このフィルムを、ＩＣテストのためにパ
ッドを位置決めして保持するキャリアに関する。
一般に、ＬＳＩでは外周雰囲気からの汚染や破損からチ
ップを保護するためにセラミックや金属ふたを用いて封
止が行われるが、このような技術に限らずＬＳＩ実装技
術の多様化に伴い、フリップチップ、ビームリード、テ
ープキャリアなどのワイヤレスボンディング方式が実用
化されてきている。すなわち、ワイヤボンディング法と
は異なり、チップ上の全パッドに特定のバンプ(bump)を
形成しておきそのバンプに金属リードを接着させパッケ
ージ上の端子に一度に接続する方法が、ワイヤレスボン
ディング（wireless bonding ）である。
この方法は、ウェーハ形式の工程は複雑になるが、組立
時には電極の数に依存せず、一度にボンディングが可能
なことと、チップの実装が極めて小容積にでき、マルチ
チップ化に向くことから、今後のＬＳＩの高速度、高集
積化には最適な組立方法として期待されている。
〔従来の技術〕
ワイヤレスボンディング方式の一つにテープキャリア方
式があり、これはＴＡＢ（tape automated bonding）方
式、あるいはテープアセンブリ(tape assembly)方式と
も呼ばれる方式である。従来のこの種のＴＡＢ方式のテ
ープキャリアとしては、例えば米国特許第４０６９４９
６号明細書に記載のものが知られている。このテープキ
ャリアでは、フィルムの上にリードフレームを形成し、
そのリードの先端にチップの電極パッドが接合されてい
る。また、フィルムに６個のスプロケットホールを穿設
し、これらのホールのうち４個の部分をスライドキャリ
アに設けた４個の突起部で支持するとともに、スライド
キャリアにアクセスオープニングという２つの穴を設
け、これらの穴と前記スプロケットホールの２個の部分
を用いて両者の位置決めを行っている。このような方式
では、テープの段階で試験ができること、フェイスアッ
プボンディングではチップ裏面から放熱させることがで
きるなどの長所がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、このような従来のテープキャリアにあっ
ては、フィルムのスプロケットホールをフィルムの送り
手段及び、保持手段として使用するとともに、ＩＣチッ
プをフィルムに搭載した状態で、ＩＣチップに接続され
ると共にフィルムの表面に形成された導体層の各端子に
テストピンを圧接して試験をする時等の各端子（パッ
ド）の位置決めにも使用する構成となっていたため、テ
ストピンとフィルム上の各パッドとの間の位置決め精度
が低いという問題点があった。
すなわち、スプロケットホールはフィルムの送り機構に
おいて使用された結果、その内径の形状にバラツキが生
じることがある。またフィルムの外周部に設けられるス
プロケットホールとフィルム表面のパッドとの間に一定
の距離があり、その間のフィルムにたわみが存在して両
者の間の距離にバラツキが生じることもある。そして今
後多ピン化されたような場合、ＩＣを試験等する際にテ
ストピンをフィルム上のパッドに当接して試験するよう
なとき、ＩＣチップへのリードの数が多くなると必然的
にフィルム上のパッドの間隔が狭くなることから、位置
決め精度が悪いとチップをフィルムに装着したままの状
態でチップを試験する際のフィルム上のパッドとテスト
ピンの位置が狂い、試験が正確に行えないという結果に
至る。
そこで本発明は、テストピンに対するフィルム上のパッ
ドの位置決め精度の高いＩＣ支持フィルムとそれを搭載
したキャリアを提供することを目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
第１の発明によるＩＣ支持フィルムは上記目的達成のた
め、４つの辺を有するフィルムと、対向する２つの辺に
平行に並んで設けられ且つ該２つの辺と近傍に設けられ
た複数のスプロケットホールと、該フィルムの中央に設
けられた窓部と、該窓部内に延び且つ該フィルム表面上
に形成された複数のリードパターンと、該リードパター
ンの窓部内に延びる先端部に接続され、該窓部内に位置
するＩＣチップと、該窓部の周辺であって且つ該スプロ
ケットホールよりも内側のフィルム上に設けられ、該リ
ードパターンに導通する複数のパッドと、該パッドの列
上近傍に設けられ、少なくとも対角線上に設けられた２
つの位置決め孔とを有している。
また、第２の発明によるＩＣ支持フィルムを搭載したキ
ャリアは上記目的達成のため、４つの辺を有するフィル
ムと、対向する２つの辺に平行に並んで設けられ且つ該
２つの辺と近傍に設けられた複数のスプロケットホール
と、該フィルムの中央に設けられた窓部と、該窓部内に
延び且つ該フィルム表面上に形成された複数のリードパ
ターンと、該リードパターンの窓部内に延びる先端部に
接続され、該窓部内に位置するＩＣチップと、該窓部の
周辺であって且つ該スプロケットホールよりも内側のフ
ィルム上に設けられ、該リードパターンに導通する複数
のパッドと、該パッドの列上近傍に設けられ、少なくと
も対角線上に設けられた２つの位置決め孔とを有するＩ
Ｃ支持フィルムを搭載するキャリアであって、該キャリ
アは、該フィルムを搭載するくぼみ部と、該くぼみ部の
中央に設けられた窓と、該くぼみ部の周辺に設けられ前
記のスプロケットホールに係合する複数の突起と、を有
し、該キャリアの窓の大きさはフィルム上のパッドおよ
び位置決め孔を含む部分よりも大であって且つ該フィル
ムの大きさより小さくしている。
〔作 用〕
第１の発明および第２の発明では、キャリアの中央部に
窓が形成され、窓の側方には複数の突起が形成される。
また、キャリアに装着されるテープ（フィルム）の中央
部にはＩＣチップが配置され、ＩＣチップの周囲のリー
ドを介して接続され多数のパッドがフィルム表面上に配
置されるとともに、パッドの外側に前記キャリアの突起
に係合する複数の係合穴（スプロケットホール）が形成
され、パッドの近傍に外部の位置決めピンに係合する少
なくとも２個の位置決め穴が形成される。
したがって、保持手段として設けられた係合穴を位置決
めとしても使用することがなくなり、また、パッドから
遠くはなれたスプロケットホールではなくより近くの位
置決め穴を使用することができ、テストピンに対するフ
ィルム上のパッドの位置決め精度を格段と向上させるこ
とができるとともに、今後多ピン化された場合でも高精
度に位置決めを行うことが可能となる。
〔実施例〕
以下、第１の発明および第２の発明を図面に基づいて説
明する。
第１〜３図は第１の発明および第２の発明に係るＩＣ支
持フィルムとそれを搭載したキャリアの一実施例を示す
図であり、第３図は第１図に示したＩＣフィルムの平面
図である。まず、構成を説明する。第１図はキャリアお
よびフィルムを示す斜視図である。この図において、１
はキャリアである。キャリア１の外周部１ａには該外周
部１ａに対して所定の窪み２を有する凹部１ｂが形成さ
れており、凹部１ｂの中央部にはフィルムに支持された
ＩＣチップ７にアクセスできるようにするためや、位置
決めを行うための長方形の窓３が開口している。窓３の
上端部および下端部近傍にはそれぞれ３個のラグ４が設
けられており、これらのラグ４は後述するフィルム６の
スプロケットホール４（係合穴）11に係合する。また、
外周部１ａの所定の位置からはキャリア１の中央部に向
かってアーム５が延びており、アーム５はキャリア１に
フィルム６が位置決めされたときの保持を行う。なお、
キャリア１の外周部１ａにはキャリア１を他の部材に接
続するための凹部１ｃが設けられている。
一方、６はフィルム（テープ）であり、フィルム６の中
央部にはＩＣチップ７が配置されている。フィルム６
は、例えばポリイミド膜やポリエステル膜でつくられ
た、いわゆる映画の１コマ毎のフィルムと同様のもので
ある。そして最初は第１図に示したフィルム６を一単位
として連続した長いフィルム状のものになっていて、そ
の両端に設けられているスプロケットホール11によりフ
ィルムが送られることになる。ＩＣチップ上にはユーザ
の要求に沿って多数の各種論理演算回路が集積化されて
おり、ＩＣチップ７はフィルム６の中央部に設けられた
窓部12の内部に位置し、リード８を介してＩＣチップ７
の周囲のフィルム６上に設けられたパッド９に接続され
ている。リード８はＳｎやＡｕめっきを施したＣｕ膜で
つくられており、ＩＣチップ７の電極との接続はＡｕ−
Ｓｎ共晶法やＡｕ−Ａｕの熱圧着法による。なお、この
ようにしてフィルム６にボンディングしたＩＣチップ７
は、その後リード８部で切り離されプリント基板やセラ
ミック基板へ取り付けられ、基板とリード８はボンディ
ングされることになる。パッド９はＩＣチップ７を前後
左右に囲んでフィルム６上にパッド列を形成しており、
パッド列の延長線上の交点には図示しない外部の位置決
めピンに係合する４個の位置決め穴10が形成されてい
る。また、パッド９の更に外側にはスライドキャリア１
のラグ４に係合するスプロケットホール11が形成されて
いる。ここで、スライドキャリア１の窓３はフィルム６
のパッド９および位置決め穴10を含む部分より大きく、
フィルム６全体の大きさよりも小さく開口している。
次に、作用を説明する。
第２図はキャリア１にフィルム６を保持した状態を示す
第１図のＡ−Ａ′矢視図である。第２図において、スプ
ロケットホール11にラグ４が係合することによりフィル
ム６がスライドキャリア１の窓３に対して位置決めさ
れ、アーム５によりフィルム６が保持される。これによ
り、フィルム６のパッド９および位置決め穴10の部分は
すべてキャリア１の窓３の枠内に納まることとなり、逆
方向から位置決め穴10へのピンの貫通が可能となる。す
なわち、上記の後、キャリア１の窓３を通して図外のテ
スト装置から位置決めピン13をフィルム６の位置決め穴
10に貫通させると、位置決めピン13と同一線上に配置さ
れパッド９と同数のテストピン（図示略）と位置決め穴
10に対して所定の位置関係をもって配列されたパッド９
とがすべて高精度に位置決めされ、テストピンがパッド
９に当接してテスト信号の通路が形成される。なお、第
２図中、テストピンは位置決めピン13に対して紙面後方
側に列をなして配置されており、第２図では位置決めピ
ン13と重なり合うため描かれていない。このようにして
テスト装置側の多数のテストピンとパッド９とが相互に
確実に位置決めされて相互に接触した後、テスト装置に
よりＩＣチップ７について各種のテストが行われる。例
えば、ＩＣチップ７に試験パターンまたは信号を入力
し、ＩＣチップからの出力値を期待値と比較してＩＣチ
ップ７やリード８の機能の良否を判定することにより、
入出力信号、電源部分の電圧、電流などのアナログ値を
測定して製品試験を行う。
この場合、本実施例ではパッド９列の延長線上の交点に
外部の位置決めピン13に係合する４個の位置決め孔10を
形成しているので、従来と比較してテストピンとパッド
９との相互の位置決め精度を格段と向上させることがで
きる。因に、従来はパッド９から離れたスプロケットホ
ールにより位置決めされていたが、本実施例の場合、位
置決めがパッド９の両端の直ぐ近傍でかつスプロケット
ホールとして使用されてない位置決め孔10で行われるた
め、必然的に位置決め精度が高くなる。即ち、スプロケ
ットホール11の内径の形状のバラツキや、スプロケット
ホール11とパッド９との間のフィルム（第２図中ｌの部
分）のたわみに伴う両者の間の距離のバラツキ問題がな
くなる。そのため、今後多ピン化された際に仮にパッド
上の間隔が狭くなった場合であっても高精度に位置決め
することができる。
なお、パッドの数、リードの配置状況、キャリアの形状
等は上記実施例のタイプに限定されず、パッド、位置決
め穴、および窓について請求の範囲にいう所定の関係が
満たされるものについてはどのような形状であってもよ
い。また位置決め穴の数は最低２個対角線上に形成すれ
ば足りるが、望ましくは４個実施例の如く設ける方が良
い。
〔効 果〕
第１の発明および第２の発明によれば、チップの周囲に
リードを介して多数のパッドを配置し、パッドの近傍に
外部の位置決めピンに係合する少なくとも２個の位置決
め穴を形成しているので、保持手段として設けられた係
合穴を位置決めとしても使用することがなくなり、位置
決め穴の数および配置を有利なものとしてテストピンに
対するフィルム上のパッドの位置決め精度を飛躍的に向
上させることができるとともに、今後多ピン化された場
合でも高精度に位置決めを行うことができる。
【図面の簡単な説明】
第１〜３図は第１の発明および第２の発明に係るＩＣ支
持フィルムとそれを搭載したキャリアの一実施例を示す
図であり、 第１図はその斜視図、 第２図は第１図のＡ−Ａ′矢視図、 第３図はＩＣ支持フィルムの平面図である。 １……キャリア、 ３……くぼみ窓、 ４……ラグ、 ６……フィルム（テープ）、 ７……ＩＣチップ、 ８……リード、 ９……パッド、 10……位置決め穴、 11……スプロケットホール（係合穴）。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】４つの辺を有するフィルムと、 対向する２つの辺に平行に並んで設けられ且つ該２つの
    辺と近傍に設けられた複数のスプロケットホールと、 該フィルムの中央に設けられた窓部と、 該窓部内に延び且つ該フィルム表面上に形成された複数
    のリードパターンと、 該リードパターンの窓部内に延びる先端部に接続され、
    該窓部内に位置するＩＣチップと、 該窓部の周辺であって且つ該スプロケットホールよりも
    内側のフィルム上に設けられ、該リードパターンに導通
    する複数のパッドと、 該パッドの列上近傍に設けられ、少なくとも対角線上に
    設けられた２つの位置決め孔とを有することを特徴とす
    るＩＣ支持フィルム。
  2. 【請求項２】４つの辺を有するフィルムと、 対向する２つの辺に平行に並んで設けられ且つ該２つの
    辺と近傍に設けられた複数のスプロケットホールと、 該フィルムの中央に設けられた窓部と、 該窓部内に延び且つ該フィルム表面上に形成された複数
    のリードパターンと、 該リードパターンの窓部内に延びる先端部に接続され、
    該窓部内に位置するＩＣチップと、 該窓部の周辺であって且つ該スプロケットホールよりも
    内側のフィルム上に設けられ、該リードパターンに導通
    する複数のパッドと、 該パッドの列上近傍に設けられ、少なくとも対角線上に
    設けられた２つの位置決め孔とを有するＩＣ支持フィル
    ムを搭載するキャリアであって、 該キャリアは、該フィルムを搭載するくぼみ部と、 該くぼみ部の中央に設けられた窓と、 該くぼみ部の周辺に設けられ前記のスプロケットホール
    に係合する複数の突起と、を有し、 該キャリアの窓の大きさはフィルム上のパッドおよび位
    置決め孔を含む部分よりも大であって且つ該フィルムの
    大きさよりも小であることを特徴とするＩＣ支持フィル
    ムを搭載したキャリア。
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