JPH05313013A - 多層膜光学フイルタ - Google Patents
多層膜光学フイルタInfo
- Publication number
- JPH05313013A JPH05313013A JP14323192A JP14323192A JPH05313013A JP H05313013 A JPH05313013 A JP H05313013A JP 14323192 A JP14323192 A JP 14323192A JP 14323192 A JP14323192 A JP 14323192A JP H05313013 A JPH05313013 A JP H05313013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- precoat
- sio
- multilayer
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板に対する蒸着多層膜の付着強度を高くし
て、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイル
タをうる。 【構成】 Ｓｉからなる基板１の表面に、ＳｉＯプリコ
ート膜２を真空蒸着で形成して、このＳｉＯプリコート
膜２の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせ
て積層し構成する多層膜のＺｎＳ膜を真空蒸着で形成す
る。
て、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイル
タをうる。 【構成】 Ｓｉからなる基板１の表面に、ＳｉＯプリコ
ート膜２を真空蒸着で形成して、このＳｉＯプリコート
膜２の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせ
て積層し構成する多層膜のＺｎＳ膜を真空蒸着で形成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、所定の波長域を透過
し、他の波長域を反射してカットする多層膜光学フイル
タに関し、例えば、人体検出器や放射温度計または分析
計その他に使用されるものである。
し、他の波長域を反射してカットする多層膜光学フイル
タに関し、例えば、人体検出器や放射温度計または分析
計その他に使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】前記のような多層膜光学フイルタとし
て、例えば、図３と図４と示したものが知られている。
図３〜４において、11は赤外線透過光学材であるＳｉか
らなる基板、12は基板11の表面に設けられた多層膜で、
これは低屈折率材料であるＺｎＳと高屈折率材料である
Ｇｅのそれぞれを真空蒸着してなるＺｎＳ膜13とＧｅ膜
14とを組合わせて積層したものである。
て、例えば、図３と図４と示したものが知られている。
図３〜４において、11は赤外線透過光学材であるＳｉか
らなる基板、12は基板11の表面に設けられた多層膜で、
これは低屈折率材料であるＺｎＳと高屈折率材料である
Ｇｅのそれぞれを真空蒸着してなるＺｎＳ膜13とＧｅ膜
14とを組合わせて積層したものである。
【０００３】前記多層膜12が、図３に示した多層膜光学
フイルタは、前記ＺｎＳ膜13を基板11の表面に直接に第
１層膜として設けて、その表面にＧｅ膜14を設け、さら
に所要数のＺｎＳ膜13とＧｅ膜14とを組合わせて積層し
形成されている。また、図４に示した多層膜光学フイル
タの多層膜12は、前記Ｇｅ膜14を基板11の表面に直接に
第１層膜として設けて、その表面にＺｎＳ膜13を設け、
さらに所要数のＧｅ膜14とＺｎＳ膜13とを組合わせて積
層し形成されたものである。
フイルタは、前記ＺｎＳ膜13を基板11の表面に直接に第
１層膜として設けて、その表面にＧｅ膜14を設け、さら
に所要数のＺｎＳ膜13とＧｅ膜14とを組合わせて積層し
形成されている。また、図４に示した多層膜光学フイル
タの多層膜12は、前記Ｇｅ膜14を基板11の表面に直接に
第１層膜として設けて、その表面にＺｎＳ膜13を設け、
さらに所要数のＧｅ膜14とＺｎＳ膜13とを組合わせて積
層し形成されたものである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の各多層膜光
学フイルタにおいて、図３に示したように、ＺｎＳ膜13
を第１層膜として基板11の表面に直接真空蒸着で形成し
たものは、基板11に対するＺｎＳ膜13の付着強度がかな
り低い課題があることが知られている。また、図４に示
した多層膜光学フイルタにおける、第１層膜であるＧｅ
膜14の基板11に対する付着強度は、前記図３における、
基板11に対するＺｎＳ膜13の付着強度に比してはやや高
いが、その付着強度はいまだ不十分であることが知られ
ている。
学フイルタにおいて、図３に示したように、ＺｎＳ膜13
を第１層膜として基板11の表面に直接真空蒸着で形成し
たものは、基板11に対するＺｎＳ膜13の付着強度がかな
り低い課題があることが知られている。また、図４に示
した多層膜光学フイルタにおける、第１層膜であるＧｅ
膜14の基板11に対する付着強度は、前記図３における、
基板11に対するＺｎＳ膜13の付着強度に比してはやや高
いが、その付着強度はいまだ不十分であることが知られ
ている。
【０００５】したがって、図３〜４に示した構成の多層
膜光学フイルタは、例えば、人体検出器や放射温度計な
どに組込んで使用している間に、基板11から多層膜12が
部分的などに剥離するおそれが大きい難点がある。そし
て、前記のように、基板11から多層膜12が剥離すると、
その多層膜光学フイルタの分光特性に変化が生じ、人体
検出器や放射温度計または分析計などの赤外線検出精度
に影響を与えて、その信用性が低下するなどの課題及び
耐久性が低い課題がある。
膜光学フイルタは、例えば、人体検出器や放射温度計な
どに組込んで使用している間に、基板11から多層膜12が
部分的などに剥離するおそれが大きい難点がある。そし
て、前記のように、基板11から多層膜12が剥離すると、
その多層膜光学フイルタの分光特性に変化が生じ、人体
検出器や放射温度計または分析計などの赤外線検出精度
に影響を与えて、その信用性が低下するなどの課題及び
耐久性が低い課題がある。
【０００６】本発明は、上記のような課題を解決するも
のであって、基板に対する蒸着多層膜の付着強度を高く
して、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイ
ルタをうることを目的とする。
のであって、基板に対する蒸着多層膜の付着強度を高く
して、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイ
ルタをうることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の多層膜光学フイ
ルタにおける第１発明は、赤外線透過光学材からなる基
板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて
積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の
第１層膜がＧｅ膜である多層膜光学フイルタにおいて、
前記基板の表面にＳｉＯからなるプリコート膜が真空蒸
着で形成され、このＳｉＯのプリコート膜の表面に、前
記第１層膜であるＧｅ膜が真空蒸着で形成されたことを
特徴とする。
ルタにおける第１発明は、赤外線透過光学材からなる基
板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて
積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の
第１層膜がＧｅ膜である多層膜光学フイルタにおいて、
前記基板の表面にＳｉＯからなるプリコート膜が真空蒸
着で形成され、このＳｉＯのプリコート膜の表面に、前
記第１層膜であるＧｅ膜が真空蒸着で形成されたことを
特徴とする。
【０００８】第２発明は、赤外線透過光学材からなる基
板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて
積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の
第１層膜がＺｎＳ膜である多層膜光学フイルタにおい
て、前記基板の表面にＳｉＯのプリコート膜が真空蒸着
で形成されて、このＳｉＯのプリコート膜の表面にＧｅ
のプリコート膜が真空蒸着で形成され、前記Ｇｅのプリ
コート膜の表面に、前記第１層膜であるＺｎＳ膜が真空
蒸着で形成されたことを特徴とする。
板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて
積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の
第１層膜がＺｎＳ膜である多層膜光学フイルタにおい
て、前記基板の表面にＳｉＯのプリコート膜が真空蒸着
で形成されて、このＳｉＯのプリコート膜の表面にＧｅ
のプリコート膜が真空蒸着で形成され、前記Ｇｅのプリ
コート膜の表面に、前記第１層膜であるＺｎＳ膜が真空
蒸着で形成されたことを特徴とする。
【０００９】前記各基板は任意の赤外線透過光学材で構
成することが可能であり、例えば、ＳｉまたはＧｅを挙
げることができる。そして、前記各プリコート膜は、多
層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えない厚さに形
成するが、例えば、ＳｉＯのプリコート膜の物理膜厚は
約１１００オングストローム程度、Ｇｅのプリコート膜
の物理膜厚は約１８０オングストローム程度を挙げるこ
とができる。
成することが可能であり、例えば、ＳｉまたはＧｅを挙
げることができる。そして、前記各プリコート膜は、多
層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えない厚さに形
成するが、例えば、ＳｉＯのプリコート膜の物理膜厚は
約１１００オングストローム程度、Ｇｅのプリコート膜
の物理膜厚は約１８０オングストローム程度を挙げるこ
とができる。
【００１０】
【作用】前記第１発明の多層膜光学フイルタは、その基
板と多層膜の前記基板側の第１層膜であるＧｅ膜との間
に、真空蒸着で形成したＳｉＯからなるプリコート膜を
介在させている。そして、前記ＳｉＯからなるプリコー
ト膜は、ＳｉやＧｅなどからなる基板との付着強度が高
いとともに、Ｇｅ膜に対しても付着強度が高いから、こ
のＳｉＯのプリコート膜が、前記第１層膜であるＧｅ膜
を基板に対して強固に付着させて、基板から多層膜が剥
離することを防止する。このため、多層膜光学フイルタ
の分光特性に変化が生じるようなことを防ぐことがで
き、その耐久性を向上させる。また、プリコート膜を構
成するＳｉＯは赤外蒸発材料であるから、多層膜光学フ
イルタの分光特性に影響を与えることなく、多層膜の剥
離を防止することが可能である。
板と多層膜の前記基板側の第１層膜であるＧｅ膜との間
に、真空蒸着で形成したＳｉＯからなるプリコート膜を
介在させている。そして、前記ＳｉＯからなるプリコー
ト膜は、ＳｉやＧｅなどからなる基板との付着強度が高
いとともに、Ｇｅ膜に対しても付着強度が高いから、こ
のＳｉＯのプリコート膜が、前記第１層膜であるＧｅ膜
を基板に対して強固に付着させて、基板から多層膜が剥
離することを防止する。このため、多層膜光学フイルタ
の分光特性に変化が生じるようなことを防ぐことがで
き、その耐久性を向上させる。また、プリコート膜を構
成するＳｉＯは赤外蒸発材料であるから、多層膜光学フ
イルタの分光特性に影響を与えることなく、多層膜の剥
離を防止することが可能である。
【００１１】第２発明の多層膜光学フイルタは、その基
板と多層膜の前記基板側の第１層膜であるＺｎＳ膜との
間に、ＳｉＯとＧｅのそれぞれからなるプリコート膜
を、そのＳｉＯのプリコート膜を基板側にして介在させ
ている。そして、ＳｉＯのプリコート膜は、基板とＧｅ
プリコート膜のいずれに対しても付着強度が高く、かつ
Ｇｅのプリコート膜は、多層膜の基板側の第１層膜を構
成するＺｎＳ膜との付着強度が高いから、このＳｉＯと
Ｇｅの各プリコート膜が、前記第１層膜であるＺｎＳ膜
を基板に強固に付着させて、基板から多層膜が剥離する
ことを防止する。そして、プリコート膜を構成したＳｉ
ＯとＧｅとは、いずれも赤外蒸発材料であるから、多層
膜光学フイルタの分光特性に影響を与えることなく、多
層膜の剥離を防止することが可能である。
板と多層膜の前記基板側の第１層膜であるＺｎＳ膜との
間に、ＳｉＯとＧｅのそれぞれからなるプリコート膜
を、そのＳｉＯのプリコート膜を基板側にして介在させ
ている。そして、ＳｉＯのプリコート膜は、基板とＧｅ
プリコート膜のいずれに対しても付着強度が高く、かつ
Ｇｅのプリコート膜は、多層膜の基板側の第１層膜を構
成するＺｎＳ膜との付着強度が高いから、このＳｉＯと
Ｇｅの各プリコート膜が、前記第１層膜であるＺｎＳ膜
を基板に強固に付着させて、基板から多層膜が剥離する
ことを防止する。そして、プリコート膜を構成したＳｉ
ＯとＧｅとは、いずれも赤外蒸発材料であるから、多層
膜光学フイルタの分光特性に影響を与えることなく、多
層膜の剥離を防止することが可能である。
【００１２】
【実施例】本発明の多層膜光学フイルタの第１実施例を
図１について説明する。この第１実施例は、前記第１発
明に対応するものである。図１において、１はＳｉから
なる基板で、その表面にＳｉＯプリコート膜２が真空蒸
着で形成されている。３はＳｉＯプリコート膜２の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層し構
成された多層膜である。この多層膜３は、前記ＳｉＯプ
リコート膜２の表面に、まずＧｅ膜４を第１層膜として
真空蒸着で形成してから、その表面にＺｎＳ膜５を真空
蒸着で形成し、さらに所要数のＧｅ膜４とＺｎＳ膜５と
を組合わせて真空蒸着で積層し形成している。前記Ｓｉ
Ｏプリコート膜２の物理膜厚は、約１１００オングスト
ロームである。
図１について説明する。この第１実施例は、前記第１発
明に対応するものである。図１において、１はＳｉから
なる基板で、その表面にＳｉＯプリコート膜２が真空蒸
着で形成されている。３はＳｉＯプリコート膜２の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層し構
成された多層膜である。この多層膜３は、前記ＳｉＯプ
リコート膜２の表面に、まずＧｅ膜４を第１層膜として
真空蒸着で形成してから、その表面にＺｎＳ膜５を真空
蒸着で形成し、さらに所要数のＧｅ膜４とＺｎＳ膜５と
を組合わせて真空蒸着で積層し形成している。前記Ｓｉ
Ｏプリコート膜２の物理膜厚は、約１１００オングスト
ロームである。
【００１３】この第１実施例の多層膜光学フイルタは、
基板１の表面にまずＳｉＯプリコート膜２を真空蒸着で
形成しているが、このＳｉＯプリコート膜２はＳｉから
なる基板１に対する付着強度が高いとともに、多層膜３
を構成したＧｅ膜４との付着強度も高いから、多層膜３
を基板１の表面にＳｉＯプリコート膜２が強固に付着さ
せる。そして、前記ＳｉＯプリコート膜２は赤外蒸発材
であるから、多層膜光学フイルタの分光特性に影響を与
えることもない。したがって、この多層膜光学フイルタ
を、人体検出器や放射温度計または分析計などに組込ん
で使用している間に、前記多層膜３が基板１から部分的
などに剥離することをＳｉＯプリコート膜２で防止する
ことができ、その耐久性を向上させることが可能であ
る。このため、この多層膜光学フイルタは、分光特性が
変化するようなおそれがなく、前記人体検出器や放射温
度計または分析計などに強い赤外線の検出精度を維持さ
せるせることができ、その信用性を向上させることが可
能である。
基板１の表面にまずＳｉＯプリコート膜２を真空蒸着で
形成しているが、このＳｉＯプリコート膜２はＳｉから
なる基板１に対する付着強度が高いとともに、多層膜３
を構成したＧｅ膜４との付着強度も高いから、多層膜３
を基板１の表面にＳｉＯプリコート膜２が強固に付着さ
せる。そして、前記ＳｉＯプリコート膜２は赤外蒸発材
であるから、多層膜光学フイルタの分光特性に影響を与
えることもない。したがって、この多層膜光学フイルタ
を、人体検出器や放射温度計または分析計などに組込ん
で使用している間に、前記多層膜３が基板１から部分的
などに剥離することをＳｉＯプリコート膜２で防止する
ことができ、その耐久性を向上させることが可能であ
る。このため、この多層膜光学フイルタは、分光特性が
変化するようなおそれがなく、前記人体検出器や放射温
度計または分析計などに強い赤外線の検出精度を維持さ
せるせることができ、その信用性を向上させることが可
能である。
【００１４】図２は、本発明の多層膜光学フイルタの第
２実施例を示すものであり、これは前記第２発明に対応
するものである。図２において、１はＧｅからなる基板
で、その表面にＳｉＯプリコート膜2aが真空蒸着で形成
され、かつこのＳｉＯプリコート膜2aの表面にＧｅプリ
コート膜2bが真空蒸着で形成されている。３はＧｅプリ
コート膜2bの表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組
合わせて積層し構成された多層膜である。この多層膜３
は、前記Ｇｅプリコート膜2bの表面に、第１層膜として
のＺｎＳ膜５を真空蒸着で形成してから、その表面にＧ
ｅ膜４を真空蒸着で形成し、さらに所要数のＺｎＳ膜５
とＧｅ膜４とを組合わせて真空蒸着で積層し形成してい
る。前記ＳｉＯプリコート膜2aの物理膜厚は約１１００
オングストローム、Ｇｅプリコート膜2bの物理膜厚は約
１８０オングストロームにそれぞれ設定している。
２実施例を示すものであり、これは前記第２発明に対応
するものである。図２において、１はＧｅからなる基板
で、その表面にＳｉＯプリコート膜2aが真空蒸着で形成
され、かつこのＳｉＯプリコート膜2aの表面にＧｅプリ
コート膜2bが真空蒸着で形成されている。３はＧｅプリ
コート膜2bの表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組
合わせて積層し構成された多層膜である。この多層膜３
は、前記Ｇｅプリコート膜2bの表面に、第１層膜として
のＺｎＳ膜５を真空蒸着で形成してから、その表面にＧ
ｅ膜４を真空蒸着で形成し、さらに所要数のＺｎＳ膜５
とＧｅ膜４とを組合わせて真空蒸着で積層し形成してい
る。前記ＳｉＯプリコート膜2aの物理膜厚は約１１００
オングストローム、Ｇｅプリコート膜2bの物理膜厚は約
１８０オングストロームにそれぞれ設定している。
【００１５】この第２実施例の多層膜光学フイルタは、
Ｇｅからなる基板１の表面に、それに対する付着強度が
高いＳｉＯプリコート膜2aを真空蒸着で形成し、かつこ
のＳｉＯプリコート膜2aの表面にＧｅプリコート2bを真
空蒸着で形成する。次に、前記Ｇｅプリコート2bの表面
に、多層膜３の第１層膜としてのＺｎＳ膜５をまず形成
している。そして、前記Ｇｅプリコート2bは、前記Ｓｉ
Ｏプリコート膜2a及び前記ＺｎＳ膜５に対する付着強度
が高い。したがって、ＳｉＯプリコート膜2aとＧｅプリ
コート2bとが、多層膜３を基板１に強固に付着させて、
その多層膜３が基板１から剥離することを防止する。ま
た、前記ＳｉＯプリコート膜2aとＧｅプリコート2bと
は、共に赤外蒸発材であるから、多層膜光学フイルタの
分光特性に影響を与えることもない。このため、この多
層膜光学フイルタは、人体検出器その他に組込んで使用
している間に、その多層膜３が基板１から部分的などに
剥離する課題を解決することができるから、人体検出器
などの信用性を向上させることが可能である。
Ｇｅからなる基板１の表面に、それに対する付着強度が
高いＳｉＯプリコート膜2aを真空蒸着で形成し、かつこ
のＳｉＯプリコート膜2aの表面にＧｅプリコート2bを真
空蒸着で形成する。次に、前記Ｇｅプリコート2bの表面
に、多層膜３の第１層膜としてのＺｎＳ膜５をまず形成
している。そして、前記Ｇｅプリコート2bは、前記Ｓｉ
Ｏプリコート膜2a及び前記ＺｎＳ膜５に対する付着強度
が高い。したがって、ＳｉＯプリコート膜2aとＧｅプリ
コート2bとが、多層膜３を基板１に強固に付着させて、
その多層膜３が基板１から剥離することを防止する。ま
た、前記ＳｉＯプリコート膜2aとＧｅプリコート2bと
は、共に赤外蒸発材であるから、多層膜光学フイルタの
分光特性に影響を与えることもない。このため、この多
層膜光学フイルタは、人体検出器その他に組込んで使用
している間に、その多層膜３が基板１から部分的などに
剥離する課題を解決することができるから、人体検出器
などの信用性を向上させることが可能である。
【００１６】
【発明の効果】本発明における請求項１の多層膜光学フ
イルタは、上記のように、基板の表面に、それに対する
付着強度が高いＳｉＯのプリコート膜を設けてから、こ
のＳｉＯのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真
空蒸着膜からなる多層膜の第１層膜であるＧｅ膜を真空
蒸着で形成している。そして、前記Ｇｅ膜は、前記Ｓｉ
Ｏのプリコート膜に対する付着強度が高いから、このＳ
ｉＯのプリコート膜が第１層膜であるＧｅ膜を基板に強
固に付着させて、それが基板から剥離することを防止す
る。また、ＳｉＯのプリコート膜は赤外蒸発材であっ
て、多層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えること
もない。したがって、前記ＳｉＯのプリコート膜が、前
記第１層膜としてのＧｅ膜を基板に強固に付着させて、
多層膜が基板から剥離することを防ぐから、安定した分
光特性を備えた多層膜光学フイルタをうることができ
る。このため、この多層膜光学フイルタを使用した人体
検出器や放射温度計または分析計その他の信用性を向上
させることが可能である。
イルタは、上記のように、基板の表面に、それに対する
付着強度が高いＳｉＯのプリコート膜を設けてから、こ
のＳｉＯのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真
空蒸着膜からなる多層膜の第１層膜であるＧｅ膜を真空
蒸着で形成している。そして、前記Ｇｅ膜は、前記Ｓｉ
Ｏのプリコート膜に対する付着強度が高いから、このＳ
ｉＯのプリコート膜が第１層膜であるＧｅ膜を基板に強
固に付着させて、それが基板から剥離することを防止す
る。また、ＳｉＯのプリコート膜は赤外蒸発材であっ
て、多層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えること
もない。したがって、前記ＳｉＯのプリコート膜が、前
記第１層膜としてのＧｅ膜を基板に強固に付着させて、
多層膜が基板から剥離することを防ぐから、安定した分
光特性を備えた多層膜光学フイルタをうることができ
る。このため、この多層膜光学フイルタを使用した人体
検出器や放射温度計または分析計その他の信用性を向上
させることが可能である。
【００１７】請求項２の多層膜光学フイルタは、上記の
ように、基板の表面にＳｉＯのプリコート膜を設け、そ
の表面にＧｅのプリコート膜を設けてから、このＧｅの
プリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜か
らなる多層膜の第１層膜としてのＺｎＳ膜を真空蒸着で
形成している。そして、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコー
ト膜は、互いに付着強度が高いとともに、これらと基板
及び第１層膜としてのＺｎＳ膜との各付着強度も高いか
ら、このＳｉＯとＧｅの各プリコート膜が第１層膜であ
るＺｎＳ膜を基板に強固に付着させて、それが基板から
剥離することを防止する。また、ＳｉＯとＧｅの各プリ
コート膜は、共に赤外蒸発材であって、多層膜光学フイ
ルタの分光特性に影響を与えることもない。したがっ
て、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコート膜が、前記第１層
膜ＺｎＳ膜を介して多層膜を基板に強固に付着させて、
その多層膜が基板から剥離することを防ぐから、安定し
た分光特性を備えた多層膜光学フイルタをうることがで
きる。このため、この多層膜光学フイルタを使用した人
体検出器や放射温度計または分析計その他の信用性を向
上させることが可能である。
ように、基板の表面にＳｉＯのプリコート膜を設け、そ
の表面にＧｅのプリコート膜を設けてから、このＧｅの
プリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜か
らなる多層膜の第１層膜としてのＺｎＳ膜を真空蒸着で
形成している。そして、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコー
ト膜は、互いに付着強度が高いとともに、これらと基板
及び第１層膜としてのＺｎＳ膜との各付着強度も高いか
ら、このＳｉＯとＧｅの各プリコート膜が第１層膜であ
るＺｎＳ膜を基板に強固に付着させて、それが基板から
剥離することを防止する。また、ＳｉＯとＧｅの各プリ
コート膜は、共に赤外蒸発材であって、多層膜光学フイ
ルタの分光特性に影響を与えることもない。したがっ
て、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコート膜が、前記第１層
膜ＺｎＳ膜を介して多層膜を基板に強固に付着させて、
その多層膜が基板から剥離することを防ぐから、安定し
た分光特性を備えた多層膜光学フイルタをうることがで
きる。このため、この多層膜光学フイルタを使用した人
体検出器や放射温度計または分析計その他の信用性を向
上させることが可能である。
【図１】本発明第１実施例の拡大構成図である。
【図２】本発明第２実施例の拡大構成図である。
【図３】従来例の拡大構成図である。
【図４】従来例の拡大構成図である。
１…基板、２・2a…ＳｉＯプリコート膜、2b…Ｇｅプリ
コート膜、３…多層膜、４…Ｇｅ膜、５…ＺｎＳ膜。
コート膜、３…多層膜、４…Ｇｅ膜、５…ＺｎＳ膜。
Claims (2)
- 【請求項１】 赤外線透過光学材からなる基板の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した
多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の第１層膜
がＧｅ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基板
の表面にＳｉＯからなるプリコート膜が真空蒸着で形成
され、このＳｉＯのプリコート膜の表面に、前記第１層
膜であるＧｅ膜が真空蒸着で形成されたことを特徴とす
る多層膜光学フイルタ。 - 【請求項２】 赤外線透過光学材からなる基板の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した
多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の第１層膜
がＺｎＳ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基
板の表面にＳｉＯのプリコート膜が真空蒸着で形成され
て、このＳｉＯのプリコート膜の表面にＧｅのプリコー
ト膜が真空蒸着で形成され、前記Ｇｅのプリコート膜の
表面に、前記第１層膜であるＺｎＳ膜が真空蒸着で形成
されたことを特徴とする多層膜光学フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143231A JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143231A JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05313013A true JPH05313013A (ja) | 1993-11-26 |
| JP3005971B2 JP3005971B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=15333955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4143231A Expired - Fee Related JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3005971B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651832B2 (en) * | 2004-03-18 | 2010-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, recording/reproducing method, and recording/reproducing device |
| CN103698830A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-02 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 起始通过波长5700nm的测温滤光片 |
| CN103713349A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-09 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片 |
| US20180149781A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-05-31 | Viavi Solutions Inc. | Silicon-germanium based optical filter |
| CN111323862A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-23 | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 | 抗阳光干扰火焰探测用红外滤光片及其制备方法 |
| CN114047571A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-02-15 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种红外短波截止滤光片 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60198504A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-08 | Horiba Ltd | 帯域透過フィルタ |
| JPS60225803A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | Horiba Ltd | ガス分析計用多層膜干渉フイルタ |
| JPS60262101A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Horiba Ltd | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
| JPS638605A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Canon Inc | 合成樹脂部材の反射鏡 |
| JPH02287301A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-27 | Copal Co Ltd | 入射角非依存性高反射率誘電体多層膜反射鏡 |
| JPH02297501A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Copal Co Ltd | 反射鏡 |
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH03215803A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Minolta Camera Co Ltd | 帯域フィルター |
| JPH0469603A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Copal Co Ltd | 多層膜反射鏡 |
-
1992
- 1992-05-09 JP JP4143231A patent/JP3005971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60198504A (ja) * | 1984-03-21 | 1985-10-08 | Horiba Ltd | 帯域透過フィルタ |
| JPS60225803A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | Horiba Ltd | ガス分析計用多層膜干渉フイルタ |
| JPS60262101A (ja) * | 1984-06-09 | 1985-12-25 | Horiba Ltd | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
| JPS638605A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-14 | Canon Inc | 合成樹脂部材の反射鏡 |
| JPH02287301A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-27 | Copal Co Ltd | 入射角非依存性高反射率誘電体多層膜反射鏡 |
| JPH02297501A (ja) * | 1989-05-12 | 1990-12-10 | Copal Co Ltd | 反射鏡 |
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH03215803A (ja) * | 1990-01-19 | 1991-09-20 | Minolta Camera Co Ltd | 帯域フィルター |
| JPH0469603A (ja) * | 1990-07-10 | 1992-03-04 | Copal Co Ltd | 多層膜反射鏡 |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7651832B2 (en) * | 2004-03-18 | 2010-01-26 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, recording/reproducing method, and recording/reproducing device |
| CN103698830A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-02 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 起始通过波长5700nm的测温滤光片 |
| CN103713349A (zh) * | 2013-11-29 | 2014-04-09 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 中心波长6557nm的医用红外气体检测分析滤光片 |
| CN103698830B (zh) * | 2013-11-29 | 2016-02-10 | 杭州麦乐克电子科技有限公司 | 起始通过波长5700nm的测温滤光片 |
| US20180149781A1 (en) * | 2016-11-30 | 2018-05-31 | Viavi Solutions Inc. | Silicon-germanium based optical filter |
| US10168459B2 (en) * | 2016-11-30 | 2019-01-01 | Viavi Solutions Inc. | Silicon-germanium based optical filter |
| US11041982B2 (en) | 2016-11-30 | 2021-06-22 | Viavi Solutions Inc. | Silicon-germanium based optical filter |
| CN111323862A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-06-23 | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 | 抗阳光干扰火焰探测用红外滤光片及其制备方法 |
| CN114047571A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-02-15 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种红外短波截止滤光片 |
| CN114047571B (zh) * | 2021-11-23 | 2023-09-19 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种红外短波截止滤光片 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3005971B2 (ja) | 2000-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4367921A (en) | Low polarization beam splitter | |
| US5000528A (en) | Scratch resistant optical interference film | |
| KR970001250A (ko) | 투명재료로 이루어진 판유리 및 그 제조방법 | |
| CA2132254A1 (fr) | Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces agissant sur le rayonnement solaire et/ou infra-rouge | |
| JPH05313013A (ja) | 多層膜光学フイルタ | |
| JPS56106202A (en) | Infrared reflection preventing film | |
| JPS61284703A (ja) | 銀鏡 | |
| JP2001074922A (ja) | 反射鏡 | |
| JPH08286007A (ja) | プラスチック基板ミラー | |
| CA2015308C (en) | Transparent barrier film and method | |
| JPS60110445A (ja) | 高輝度反射フィルム | |
| JPH0528361B2 (ja) | ||
| JPH07168008A (ja) | Ａｇ表面鏡 | |
| JPH0242201B2 (ja) | ||
| JPH07270601A (ja) | 光学薄膜 | |
| JP2936103B2 (ja) | 酸化アルミニウム薄膜 | |
| JP3002059B2 (ja) | 光学フィルタ | |
| JPH11149005A (ja) | 内面反射ミラーおよびその製造方法 | |
| JPH0716016B2 (ja) | 赤外線検知素子 | |
| JP3052400B2 (ja) | 反射防止膜被覆イットリア光学部品 | |
| JP3136845B2 (ja) | 赤外反射防止膜とその形成方法 | |
| JPH06130210A (ja) | 表面反射鏡 | |
| JPH0549170B2 (ja) | ||
| JP2814595B2 (ja) | 多層膜反射鏡 | |
| JP3111243B2 (ja) | 積層反射防止膜を有する光学部品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111126 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |