JPS61284703A - 銀鏡 - Google Patents
銀鏡Info
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- JPS61284703A JPS61284703A JP12521085A JP12521085A JPS61284703A JP S61284703 A JPS61284703 A JP S61284703A JP 12521085 A JP12521085 A JP 12521085A JP 12521085 A JP12521085 A JP 12521085A JP S61284703 A JPS61284703 A JP S61284703A
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/3663—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties specially adapted for use as mirrors
-
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- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、耐久性の向上された銀鏡、特に銀の裏面鏡に
関するものである。
関するものである。
[従来の技術]
反射率の高い金属を、真空プロセスによってガラス、プ
ラスチック等の基体上に形成させ、鏡とするこbは、よ
く知られている。特に、反射率の高い鏡が必要な場合に
は銀又はアルミニウムが用いられるが、中でも、銀の反
射率が可視から赤外の波長域において最も高く、反射率
の点からは最も好ましい。しかし、銀膜には、(1)膜
が軟〈傷がつきやすい。
ラスチック等の基体上に形成させ、鏡とするこbは、よ
く知られている。特に、反射率の高い鏡が必要な場合に
は銀又はアルミニウムが用いられるが、中でも、銀の反
射率が可視から赤外の波長域において最も高く、反射率
の点からは最も好ましい。しかし、銀膜には、(1)膜
が軟〈傷がつきやすい。
(2)温度、湿度の変化に弱く、劣化しやすい。
(3)基体との付着力が弱く、はがれやすい。
等の欠点がある。このため、適当な保護層を銀膜の上に
形成して、 (1)、 (2)の欠点そ緩和してやるこ
とが望ましい。又、(3)の欠点をなくすために、基体
に適当な下地処理をしてやることが望ましい。
形成して、 (1)、 (2)の欠点そ緩和してやるこ
とが望ましい。又、(3)の欠点をなくすために、基体
に適当な下地処理をしてやることが望ましい。
[発明の解決しようとする問題点]
本発明はかかる点に着目したものであり、前述したよう
な欠点を解消し、耐久性の優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供することを目的とするものである。
な欠点を解消し、耐久性の優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供することを目的とするものである。
[問題点を解決するだめの手段]
本発明は前述の目的を達成すべく、なされたものであり
、基体上に反射膜として形成された銀膜の上に順次N1
−Cr合金膜とS ioz膜とが保護層として設けられ
ていることを特徴とする耐久性の優れた銀鏡、特に銀の
裏面鏡を提供するものである。
、基体上に反射膜として形成された銀膜の上に順次N1
−Cr合金膜とS ioz膜とが保護層として設けられ
ていることを特徴とする耐久性の優れた銀鏡、特に銀の
裏面鏡を提供するものである。
又、本発明の更に好ましい形態では、基体面と銀膜との
間に旧−Cr合金膜又はZ ro2II!又はIn2O
3膜を接着層として介在させ、更に上記銀膜上に順次X
1−Cr合金膜とS ioz膜とが保護層として設けら
れてなる付着力、耐久性に優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供するものである。
間に旧−Cr合金膜又はZ ro2II!又はIn2O
3膜を接着層として介在させ、更に上記銀膜上に順次X
1−Cr合金膜とS ioz膜とが保護層として設けら
れてなる付着力、耐久性に優れた銀鏡、特に銀の裏面鏡
を提供するものである。
以下、本発明を更に詳細に説明する。
第1.2図は、本発明の実施例に係る銀鏡の断面図を示
したものであり、図において、lは基体、2は銀膜、3
はNi−0r合金膜、4はS ioz膜、5は接着層を
示す、第1図は、ガラス、プラスチック、セラミック等
の透明性の高い材料からなる板状の基体1面上に反射膜
としての膜厚800人〜2000人程度の真空蒸着法、
スパッター法等の真空プロセスにより形成された銀膜2
と、その上に保護層としてJ4−j−Cr合金膜及びS
ioz P/Jとを順次形成してなる表面の耐久性の
向上された銀鏡を示したものであり、第2図は同上の基
体1面上に基体面のtR膜との付着力を高めるためにN
i−0r合金膜、又はZr02WM、又はIn2O3膜
のいずれか二層を接着層5として形成し、かかる接着層
5を介在させて形成した反射膜としての上記した様な銀
膜上に保護層としてNi−Cr合金膜及びSigh膜を
順次形成してなる表面の耐久性及び銀膜の付着性の改善
された銀鏡を示したものである。
したものであり、図において、lは基体、2は銀膜、3
はNi−0r合金膜、4はS ioz膜、5は接着層を
示す、第1図は、ガラス、プラスチック、セラミック等
の透明性の高い材料からなる板状の基体1面上に反射膜
としての膜厚800人〜2000人程度の真空蒸着法、
スパッター法等の真空プロセスにより形成された銀膜2
と、その上に保護層としてJ4−j−Cr合金膜及びS
ioz P/Jとを順次形成してなる表面の耐久性の
向上された銀鏡を示したものであり、第2図は同上の基
体1面上に基体面のtR膜との付着力を高めるためにN
i−0r合金膜、又はZr02WM、又はIn2O3膜
のいずれか二層を接着層5として形成し、かかる接着層
5を介在させて形成した反射膜としての上記した様な銀
膜上に保護層としてNi−Cr合金膜及びSigh膜を
順次形成してなる表面の耐久性及び銀膜の付着性の改善
された銀鏡を示したものである。
銅鏡の銀膜の表面の保護層に要求される第一の特性は硬
さである。銀膜の形成時の基体温度は、高反射率を得る
ために室温から通常100℃程度であることが望ましい
ため、保護層もこの程度の温度で高硬度の得られる膜材
料である必要がある。そのような膜材料として、最も広
く知られているのは5i02である。ところが、SiO
+膜は銀膜とのなじみが悪く、膜厚を大きくしてゆくと
、5i02膜固有の圧縮応力のため、銀膜との界面から
ハクリしてしまう、そこで本発明においては、銀膜と5
iOzlF2の間にこの両者との付着性のよいXl−C
r合金膜を介在させることにより、全体として耐久性の
高い銀鏡、特に銀の裏面鏡を実現したのである。銀鏡の
上のXl−Cr合金膜としては、旧とCrを主成分とし
て含む合金であれば特にNiを10〜80wt%、Cr
を10〜90wt%含む合金であればよく、特に、鉄を
含んでもかまわない(例えば、Inconel)。かか
るNi−0r合金膜は銀膜と5i02膜の付着力の向上
に効果的であり、又耐久性が高いので最適である。この
Ni−0r合金膜は銀膜と同じく真空プロセスによって
形成され、その厚みとしては、100人〜5000人、
好ましくは300人〜2000人の範囲にあることが耐
久性と、経済性の点から望ましい。
さである。銀膜の形成時の基体温度は、高反射率を得る
ために室温から通常100℃程度であることが望ましい
ため、保護層もこの程度の温度で高硬度の得られる膜材
料である必要がある。そのような膜材料として、最も広
く知られているのは5i02である。ところが、SiO
+膜は銀膜とのなじみが悪く、膜厚を大きくしてゆくと
、5i02膜固有の圧縮応力のため、銀膜との界面から
ハクリしてしまう、そこで本発明においては、銀膜と5
iOzlF2の間にこの両者との付着性のよいXl−C
r合金膜を介在させることにより、全体として耐久性の
高い銀鏡、特に銀の裏面鏡を実現したのである。銀鏡の
上のXl−Cr合金膜としては、旧とCrを主成分とし
て含む合金であれば特にNiを10〜80wt%、Cr
を10〜90wt%含む合金であればよく、特に、鉄を
含んでもかまわない(例えば、Inconel)。かか
るNi−0r合金膜は銀膜と5i02膜の付着力の向上
に効果的であり、又耐久性が高いので最適である。この
Ni−0r合金膜は銀膜と同じく真空プロセスによって
形成され、その厚みとしては、100人〜5000人、
好ましくは300人〜2000人の範囲にあることが耐
久性と、経済性の点から望ましい。
100人より薄い場合には銀鏡とS ioz膜の付着力
の向上に効果的でなくなり好ましくなく、又5000人
より厚い場合にはNlGr合金膜自体の内部応力により
付着力が低下することと経済性の点から好ましくない。
の向上に効果的でなくなり好ましくなく、又5000人
より厚い場合にはNlGr合金膜自体の内部応力により
付着力が低下することと経済性の点から好ましくない。
又 S i(h Il!2も、銀膜及びNi−0r合金
膜と同じ真空プロセスによって形成され、その厚みとし
ては1000〜10000人 、好ましくは2000〜
5000人の範囲にあることが、耐久性の点から望まし
い、 1000人より薄すぎると耐久性、特に耐擦傷性
が弱くなり、又10000人より厚すぎると、内部応力
により、ハクリが発生しやすくなる。
膜と同じ真空プロセスによって形成され、その厚みとし
ては1000〜10000人 、好ましくは2000〜
5000人の範囲にあることが、耐久性の点から望まし
い、 1000人より薄すぎると耐久性、特に耐擦傷性
が弱くなり、又10000人より厚すぎると、内部応力
により、ハクリが発生しやすくなる。
以上のように、銀膜の保護層としてNr−Cr合金膜と
SiO2膜を積層することにより、耐久性に優れた銀鏡
、特に銀の裏面鏡を得ることができる。
SiO2膜を積層することにより、耐久性に優れた銀鏡
、特に銀の裏面鏡を得ることができる。
更に、銀膜と基体との良好な付着力が要求される場合に
は、銀膜と基体との付着力を改善する必要がある。そこ
で、本発明者らは、種々の材料をこの界面における接着
層として探索した結果、Ni−0r合金、 Zr(h、
In2O3が目的に適う材料であることを見出した。
は、銀膜と基体との付着力を改善する必要がある。そこ
で、本発明者らは、種々の材料をこの界面における接着
層として探索した結果、Ni−0r合金、 Zr(h、
In2O3が目的に適う材料であることを見出した。
なお、接着層として用いられるNi−111:r合金も
、前述した保護層の一部として用いられるNニーCr合
金と同種のものが使用される。
、前述した保護層の一部として用いられるNニーCr合
金と同種のものが使用される。
基体面と銀膜との間に付着力向りのために介在させるN
i−0r合金膜、 ZrO2膜、又はIn2O3膜のい
ずれか1つから選ばれる接着層は銀膜及び前述の保護層
と同じ真空プロセスにより形成することができ、その膜
厚は100Å以下、好ましくは50Å以下で、又10Å
以上であることが望ましい、これ以上の膜厚とすると、
裏面鏡としての反射率が損なわれてしまい、又10人よ
り薄いと+J着着面向上効果的でなくなるからである。
i−0r合金膜、 ZrO2膜、又はIn2O3膜のい
ずれか1つから選ばれる接着層は銀膜及び前述の保護層
と同じ真空プロセスにより形成することができ、その膜
厚は100Å以下、好ましくは50Å以下で、又10Å
以上であることが望ましい、これ以上の膜厚とすると、
裏面鏡としての反射率が損なわれてしまい、又10人よ
り薄いと+J着着面向上効果的でなくなるからである。
この接着層の存在により、銀膜の基体への付着力が良好
となり、前述の保護層と組み合わせれば、全体として、
付着力が良好で、しかも耐久性に優れる銀鏡、特に銀の
裏面鏡を実現することができる。
となり、前述の保護層と組み合わせれば、全体として、
付着力が良好で、しかも耐久性に優れる銀鏡、特に銀の
裏面鏡を実現することができる。
[実施例]
実施例1
フロートガラス板からなる基体(寸法50+ueX 8
0m*X 2璽腸)を真空槽内に設置し、 2X 1O
−5Torr以下に排気し、電子ビーム加熱真空蒸着法
によりAg、 Ni−0r合金(旧: 80wt%、
Or : 20wt%) 、 5i02をこの順に真空
蒸着し、上記基体上に銀膜、 Ni−0r合金膜、S
i07膜の順に形成した。この時、基体温度は 100
℃とした。それぞれの厚みは銀膜が約1500人、旧−
C「合金膜が約1000人、Si0?膜が約3000人
となる様にした。こうして得られた第1図の様な構成の
銀の裏面鏡をサンプルlとした。
0m*X 2璽腸)を真空槽内に設置し、 2X 1O
−5Torr以下に排気し、電子ビーム加熱真空蒸着法
によりAg、 Ni−0r合金(旧: 80wt%、
Or : 20wt%) 、 5i02をこの順に真空
蒸着し、上記基体上に銀膜、 Ni−0r合金膜、S
i07膜の順に形成した。この時、基体温度は 100
℃とした。それぞれの厚みは銀膜が約1500人、旧−
C「合金膜が約1000人、Si0?膜が約3000人
となる様にした。こうして得られた第1図の様な構成の
銀の裏面鏡をサンプルlとした。
実施例2
実施例1と同様にして同Eのフロートガラス基体上に1
−Gr金合金Xi : 80wt%、Or : 20w
t%) Ag、 NiCr合金(旧: 80wt%、C
r : 20wt%)Si02をこの順に電子ビーム加
熱蒸着法により蒸着し、上記基体上にNi−0r合金膜
からなる接着層、銀膜、Ni−0r合金膜、S i02
膜の順に形成した。基体と銀膜との間の接着層のNi−
0r合金膜の厚みは約20人、他の層の膜厚は実施例1
と同じとした。こうして得られた第2図の様な構成の銀
の裏面鏡をサンプル2とした。
−Gr金合金Xi : 80wt%、Or : 20w
t%) Ag、 NiCr合金(旧: 80wt%、C
r : 20wt%)Si02をこの順に電子ビーム加
熱蒸着法により蒸着し、上記基体上にNi−0r合金膜
からなる接着層、銀膜、Ni−0r合金膜、S i02
膜の順に形成した。基体と銀膜との間の接着層のNi−
0r合金膜の厚みは約20人、他の層の膜厚は実施例1
と同じとした。こうして得られた第2図の様な構成の銀
の裏面鏡をサンプル2とした。
実施例3
基体と171膜との間の接着層を約30人のZrO2膜
とした以外は実施例2と同様にして銀の裏面鏡を作成し
、サンプル3とした。
とした以外は実施例2と同様にして銀の裏面鏡を作成し
、サンプル3とした。
実施例4
基体と銀膜との間の接着層を約30人のIn203膜と
した以外は実施例2と同様にして銀の裏面鏡を作成し、
サンプル4とした。
した以外は実施例2と同様にして銀の裏面鏡を作成し、
サンプル4とした。
比較例
実施例1と同様にして、同上のフロートガラス基体上に
Agを蒸着した。得られた銀膜の膜厚は約1500人で
あった。これをサンプル5とした。
Agを蒸着した。得られた銀膜の膜厚は約1500人で
あった。これをサンプル5とした。
上記の各サンプル1〜5を次の耐久性試験に供した。
(1)耐擦傷試験;事務用消しゴムに Ikg/cゴの
荷重をかけ20往復膜面をこすった後表面を目視した。
荷重をかけ20往復膜面をこすった後表面を目視した。
(2)#湿試験;50℃、95%R)l雰囲気中に3日
間放置した後表面を目視した。又、 550膜mにお
ける反射率を測定した。
間放置した後表面を目視した。又、 550膜mにお
ける反射率を測定した。
(3)テープ試験:セロハンテープを膜面に強く貼り付
け、勢よくはがした時の膜のへクリを調べた。
け、勢よくはがした時の膜のへクリを調べた。
上記した耐久性試験を行なった結果を表1に示す。
表 1
[発明の効果]
以上の結果から、本発明による保護層を備えた銀鏡が耐
擦傷性及び耐湿度性において優れた性能を有することが
明らかである。
擦傷性及び耐湿度性において優れた性能を有することが
明らかである。
又、更に、本発明による接着層を施した場合には、付着
力においても優れた性能を有することが明らかである。
力においても優れた性能を有することが明らかである。
本発明の銀鏡の製造は、全てのプロセスを同一の真空プ
ロセス(例えば真空蒸着法、スパッタリング法等)によ
り行なうことが可f戯であり、製造上大変好ましい。
ロセス(例えば真空蒸着法、スパッタリング法等)によ
り行なうことが可f戯であり、製造上大変好ましい。
第1図は、本発明の銅鏡の一実施例を示す概略断面図で
ある。 第2図は本発明の銀鏡の別の実施例を示す概略断面図で
ある。 図において、lは基体、2は銀膜、3はNi−Cr合金
膜、4はSiO2膜、5は接着層を示している。 め1 図
ある。 第2図は本発明の銀鏡の別の実施例を示す概略断面図で
ある。 図において、lは基体、2は銀膜、3はNi−Cr合金
膜、4はSiO2膜、5は接着層を示している。 め1 図
Claims (2)
- (1)基体上に反射膜として銀膜が形成されてなる銀鏡
において、上記銀膜上に順次、Ni−Cr合金膜とSi
O_2膜とが保護層として形成されてなることを特徴と
する銀鏡。 - (2)上記銀膜と基体との間にNi−Cr合金膜、Zr
O_2膜、又はIn_2O_3膜のいずれか一層からな
る接着層が介在されていることを特徴とする特許請求の
範囲第1項記載の銀鏡。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60125210A JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60125210A JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61284703A true JPS61284703A (ja) | 1986-12-15 |
JPH073483B2 JPH073483B2 (ja) | 1995-01-18 |
Family
ID=14904604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60125210A Expired - Fee Related JPH073483B2 (ja) | 1985-06-11 | 1985-06-11 | 銀 鏡 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH073483B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JPH01279201A (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-09 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 反射体 |
US5201926A (en) * | 1987-08-08 | 1993-04-13 | Leybold Aktiengesellschaft | Method for the production of coated glass with a high transmissivity in the visible spectral range and with a high reflectivity for thermal radiation |
EP0607939A1 (de) * | 1993-01-20 | 1994-07-27 | Optikzentrum NRW GmbH (OZ) | Verfahren zur Beschichtung von Spiegeln hoher Reflektivität und Spiegel mit einer Beschichtung |
JPH075309A (ja) * | 1993-04-28 | 1995-01-10 | Boc Group Inc:The | 耐久第1面ミラーおよび第2面ミラー |
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JP2007147667A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Optorun Co Ltd | 銀ミラー |
JP2015145936A (ja) * | 2014-02-03 | 2015-08-13 | ジオマテック株式会社 | 高反射膜、高反射膜付き基板及び高反射膜の製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011242648A (ja) | 2010-05-19 | 2011-12-01 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 反射部材 |
Citations (2)
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JPS5942284A (ja) * | 1982-09-03 | 1984-03-08 | 株式会社日立製作所 | マスタスレ−ブ形サ−ボマニプレ−タ |
-
1985
- 1985-06-11 JP JP60125210A patent/JPH073483B2/ja not_active Expired - Fee Related
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