JPH0558680A - 熱線遮蔽ガラス - Google Patents

熱線遮蔽ガラス

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JPH0558680A JP3218234A JP21823491A JPH0558680A JP H0558680 A JPH0558680 A JP H0558680A JP 3218234 A JP3218234 A JP 3218234A JP 21823491 A JP21823491 A JP 21823491A JP H0558680 A JPH0558680 A JP H0558680A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】自動車や建築物の窓ガラスとして単板で用いる
ことができる耐摩耗性と化学的耐久性が改善された熱線
遮蔽ガラスを提供する。 【構成】透明ガラス基板上に熱線遮蔽膜と第1の透明保
護膜と第2の透明保護膜が順次被覆された熱線遮蔽ガラ
スで、第1の透明保護膜は窒化珪素、二酸化珪素、酸化
第2錫、ホウ化ジルコニウムの酸化物、炭化珪素の酸窒
化物の群より選ばれた1種からなり、第2の透明保護膜
は酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、酸化ニオブの群
より選ばれた1種からなり、かつ、2〜15nmの厚み
である熱線遮蔽ガラス。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、自動車や建築物の窓ガ
ラスとして用いられる熱線遮蔽ガラスに関し、さらに詳
述すると、熱線遮蔽膜の上に2層構成の保護膜が被覆さ
れた耐摩耗性と化学的耐久性が改善された熱線遮蔽ガラ
スに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、TiN,ZrN,CrN等金属窒
化物の熱線遮蔽性能を利用した熱線遮蔽ガラスは、貴金
属(Ag等)を利用した熱線遮蔽ガラスに比べて、耐酸
性や耐アルカリ性などの化学的耐久性および耐摩耗性な
どの機械的耐久性が優れているので、単板で使用するこ
とが試みられてきている。しかし、熱線遮蔽ガラスを単
板で使用し得る実用的な化学的耐久性と耐摩耗性の特性
を併せもつものとするには、被覆する保護膜の材料、厚
み、膜構成を選ぶことが重要である。これまでガラス板
の上に被覆された熱線遮蔽膜のオーバーコートとして用
いられる保護膜としては、SiO2膜を用いたもの(特
開昭63−206333号)や、酸化タンタル膜を用い
たもの(特開平1−145351号や特開平2−164
744号)や、ホウ化ジルコニウムの酸化膜を用いたも
の(特開平2−901号や特開平1−314163号)
等が提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のSiO2膜を用
いるものは、SiO2膜が耐摩耗性と耐酸性に優れてい
ることを利用しているが、耐アルカリ性に劣るという性
質をカバーするために厚膜にしている。これにより、た
とえアルカリ性の物質により侵されても1μm程度の厚
い膜にすることによって、外観上変化が目立たないとい
う利点がある。しかし、SiO2の厚膜を用いるため、
保護膜の成膜に長時間を要し、熱線遮蔽ガラスの生産性
が悪くなるという問題点がある。また、上記の保護膜に
酸化タンタルを用いるものは、酸やアルカリに強い熱線
遮蔽ガラスとすることができるが、耐摩耗性が実用上必
ずしも十分でなく、また膜が摩耗されるとヘイズが大き
くなり外観が目立つという問題点があった。さらに、上
記のホウ化ジルコニウムの酸化膜を保護膜として用いる
ものでは、耐摩耗性と耐アルカリ性は十分な特性を有す
るが、耐酸性に劣り、加えて通常大きな面積のガラス板
に被膜を被覆するときに最も好ましい方法として用いら
れる直流スパッタ法で成膜する場合、ターゲットとして
用いるホウ化ジルコニウムの電気抵抗が十分に低くない
こと、ホウ化ジルコニウムは焼結体ターゲットであるの
で焼結体中にポアが存在することにより、スパッタリン
グ中にアーキングが発生しやすく、安定な成膜を高速で
行うことが困難であるという問題点があり、このアーキ
ングに伴って膜にピンホールの原因となる微粒子が付着
しやすい等の問題点があった。
【0004】本発明の目的は、上記従来の問題点を解決
する、すなわち単板で使用できる化学的耐久性と耐摩耗
性の両特性を兼ね備え、かつ、成膜を高速で短時間に行
うことにより生産性良く製造できる熱線遮蔽ガラスを提
供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明ガラス基
板上に熱線遮蔽膜と第1の透明保護膜と第2の透明保護
膜が順次被覆された熱線遮蔽ガラスであって、前記第1
の透明保護膜は窒化珪素、二酸化珪素、酸化第2錫、炭
化珪素の酸窒化物、炭化タンタルの酸窒化物の群より選
ばれた少なくとも1種からなり、前記第2の透明保護膜
は酸化ジルコニウム、五酸化タンタル、酸化ニオブの群
より選ばれた少なくとも1種からなり、かつ、2〜15
nmの厚みとしたことを特徴とする熱線遮蔽ガラスであ
る。
【0006】本発明の熱線遮蔽ガラスの熱線遮蔽膜の上
に被覆される第1の透明保護膜は、窒化珪素(Si
X)、二酸化珪素(SiO2)、酸化第2錫(Sn
2)、炭化珪素の酸窒化物(SiCXYZ)、炭化タ
ンタルの酸窒化物(TaCXYZ)の群より選ばれ
る。上記の化合物の膜はいずれも屈折率が低く耐摩耗性
が優れているという特徴がある。そして、これら第1の
透明保護膜は、第1の透明保護膜の上に被覆される第2
の透明保護膜の成膜時の結晶成長を抑制するために非晶
質であることが好ましく、膜の厚みは3〜35nmとす
ることが好ましい。3nmより薄いと島状構造になって
しまい連続した膜とならないため好ましくなく、35n
mを越えると第2の透明保護膜と積層されて可視光線反
射率が高い熱線遮蔽ガラスとなるので好ましくない。最
も好ましい膜の厚みは5〜15nmである。 第2の
透明保護膜が酸やアルカリなどの薬品や摩耗によるダメ
ージをたとえ受けても、その後に傷がつきにくく、その
ダメージを目立たないようにするという観点から、上記
の第1の透明保護膜が選ばれている。熱線遮蔽ガラスの
生産性を高くする観点から、二酸化珪素(SiO2)、
窒化珪素(SiNX)、酸化錫(SnO2)がとりわけ好
ましい。
【0007】本発明の第2の透明保護膜は、酸化ジルコ
ニウム(ZrO2)、五酸化タンタル(Ta25)、酸
化ニオブ(NbO)の群より選ばれ、その厚みは2〜1
5nmである。
【0008】第2の透明保護膜は、上記第1の透明保護
膜の上に被覆されたとき、その膜の厚みにより第1透明
保護膜と第2の透明保護膜の2層構成からなる保護膜全
体の耐久特性に対して、耐摩耗性と化学的耐久性に異な
る影響を与えることが見いだされた。すなわち、保護膜
の耐摩耗性については、第2の透明保護膜の厚みが15
nmまでは厚みの増加とともに保護膜全体の耐摩耗性は
大きくなるが、厚みが15nmより大きくなると、膜が
粒状や柱状の構造になり、また結晶性の膜になって膜表
面の平滑性が悪くなり、さらに内部応力が大きくなっ
て、保護膜全体としての耐摩耗性は、第2の保護膜を設
けない場合よりむしろ低下してしまうのである。したが
って、本発明の第2の保護膜の厚みを15nm以下とす
ることにより、第1の保護膜のみの場合よりも耐摩耗性
の改善効果がみられる。。
【0009】一方、第2の透明保護膜は、その厚みが2
nmより小さいと、膜面方向に連続膜構造をとりにくく
なり島状構造となるので、外部から侵入する酸性物質や
アルカリ性物質が第1の保護膜表面に到達し易くなり、
保護膜全体としての化学的耐久性とりわけ耐アルカリ性
が、第1の透明保護膜の単独膜を保護膜とするものと比
較して改善されない。したがって、第2の保護膜の厚み
は、化学的耐久性を改善させるためには2nm以上の厚
みが必要である。
【0010】すなわち、第2の透明保護膜を酸化ジルコ
ニウム膜、五酸化タンタル膜、酸化ニオブ膜のいずれか
とし、かつ、その厚みが膜の粒子成長や結晶構造が発達
しない2〜15nmの厚み範囲に限定することにより、
その下層の第1の透明保護膜と積層することにより、第
1もしくは第2の透明保護膜のみを保護膜とする熱線遮
蔽ガラスよりも優れた耐摩耗性と化学的耐久性を併せも
つ熱線遮蔽ガラスとすることができる。
【0011】第2の透明保護膜はその膜中に少量の窒素
が取り込まれた酸窒化ジルコニウム膜、酸窒化タンタル
膜あるいは酸窒化ニオブ膜であってもよい。上記のう
ち、とりわけ酸化ジルコニウム膜、酸化タンタル膜を用
いるのが最も好ましい。
【0012】第1の透明保護膜と第2の透明保護膜の厚
みの合計は、5〜50nmとするのが可視域の反射率が
低い熱線遮蔽ガラスを得る上で好ましく、さらに20〜
30nmとするのが好ましい。
【0013】本発明にかかる2層構成の保護膜に用いる
膜材料の組み合わせとしては、熱線遮蔽ガラスの生産性
を高くするという観点から酸化第2錫ー五酸化タンタ
ル、炭化珪素の酸窒化物(SiCXYZ)ー五酸化タ
ンタル、酸化第2錫ー酸化ジルコニウム、炭化珪素の酸
窒化物(SiCXYZ)ー酸化ジルコニウムが最も好
ましい。
【0014】透明ガラス基板上に形成される熱線遮蔽膜
は金属窒化膜もしくは金属酸窒化膜として可視光線をな
るべく多く透過し、赤外線をなるべく多く遮蔽する金属
であれば、特に限定されないが、チタン、ジルコニウ
ム、ハフニウム、タンタル、クロムの窒化膜もしくは酸
窒化膜が好んで用いられる。これらの金属の窒化物膜ま
たは酸窒化物の膜の厚みは、目標とする可視光線透過率
に応じて選ばれるが、特に自動車用の窓ガラスとして用
いる場合には、70%以上の高い可視光線透過率が要求
されるので2〜10nmの範囲であることが好ましい。
また透明ガラス基板と熱線遮蔽膜として用いられる金属
窒化膜または金属酸窒化膜との付着力を向上させる目的
で、あるいは熱線遮蔽ガラスの色調を調整する目的で、
透明ガラス基板と熱線遮蔽膜との間に透明誘電体の膜を
設けることができる。そのような透明誘電体としては、
酸化チタニウム(TiO2)、酸化錫(SnO2)、二酸
化珪素(SiO2)、酸窒化珪素(SiOYZ)、窒化
珪素(Si34)が例示できる。
【0015】また、酸化チタニウム(TiO2)のよう
な高屈折率の可視域で透明な膜と二酸化珪素(Si
2)のような低屈折率の可視域で透明な膜を多層に積
層した公知の波長選択性を有する多層膜を熱線遮蔽膜と
して用いることもできる。
【0016】本発明の熱線遮蔽ガラスを構成する膜の被
覆法としては、自動車用や建築用の熱線遮蔽ガラスのよ
うな大面積のガラスに対しては膜厚分布の均一性に優れ
る直流反応性スパッタリング法が好ましい。
【0017】
【作用】本発明の熱線遮蔽ガラスの保護膜は、耐摩耗性
が優れた第1の透明保護膜と化学的耐久性が優れた第2
の透明保護膜の2層構成からなる。第2の透明保護膜の
厚みは、膜の粒子成長や結晶構造が発達しない範囲に限
定されることにより、第1の保護膜のみが保護膜として
設けられたものよりも耐摩耗性を低下させることなく、
化学的耐久性を向上させる。
【0018】
【実施例】本発明を実施例に基づいて以下に詳しく説明
する。図1は本発明の熱線遮蔽ガラス1の一実施例の一
部断面図で、透明ガラス2の上に熱線遮蔽膜3が被覆さ
れ、熱線遮蔽膜3の上に第1の透明保護膜4が被覆さ
れ、透明保護膜4の上に第2の透明保護膜5が被覆され
ている。熱線遮蔽膜3は単層からなっていても、2以上
の層が積層された構造のものでもよい。 実施例 厚みが3.5mmのフロートガラス板(日本板硝子製商
品名ブロンズペーン)の表面の一方に積層する熱線遮蔽
膜、第1の透明保護膜及び第2の透明保護膜をインライ
ン型スパッタリング装置を用いて直流スパッタリング法
で連続的に被覆して、種々の膜構成の熱線遮蔽ガラスの
サンプルを製作した。製作したサンプルの膜構成を表1
に、光学特性および耐久特性を表2に示す。また膜の被
覆条件を表3に示す。
【0019】表2の耐摩耗性の欄の透過率変化の値が大
きいことは、保護膜の摩耗量が大きいことを意味し、ま
たヘイズの変化量の値が大きいことは保護膜の摩耗によ
り肉眼でみて摩耗している部分が目だちやすいという性
質をもっていると言える。本発明の実施例のサンプル1
〜11はいずれについても、耐摩耗テスト前後の透過率
変化は4.0%以下、ヘイズ率の変化は2.0%以下と
良好な特性を示した。すなわち摩耗量が少なく、かつ保
護膜に摩耗が生じても目だちにくい性質を有していた。
また、耐酸性テスト、耐アルカリ性とも反射率、透過率
の変化は1.0%以下の値を呈し、良好な耐摩耗性と耐
酸、耐アルカリ性とを兼ね備えていることが分かる。
【0020】
【表1】
【0021】
【表2】
【0022】
【表3】
【0023】比較例 本発明の熱線遮蔽ガラスの比較例として種々の膜構成の
比較サンプルを製作した。製作した比較サンプルの膜構
成を表4に、光学特性および耐久特性を表5に示す。用
いたガラス板は実施例と同じものとした。
【0024】
【表4】
【0025】
【表5】
【0026】第1の透明保護膜を設け、第2の透明保護
膜を設けない比較サンプル1では、耐アルカリテスト前
後の透過率変化が3.5%と大きく、耐アルカリ性が極
めて弱かった。比較サンプル5では、耐酸性の透過率変
化が4.3%、耐アルカリ性の透過率変化が2.8%と
大きな値を示し耐酸性、耐アルカリ性とも弱かった。ま
た、比較サンプル6では、耐酸性、耐アルカリ性は良好
であるが耐摩耗性が弱いことが表5より分かる。
【0027】第1の透明保護膜を設けず、第2の透明保
護膜のみを設けた比較サンプル3および比較サンプル8
は、耐摩耗性テスト前後の透過率変化がそれぞれ4.5
%、4.5%と大きく耐摩耗性がやや劣っていた。また
これらのサンプルの保護膜は、摩耗により目だち易いこ
とがヘイズ率の値が大きいことから示唆される。
【0028】比較サンプル2、4、7はいずれも第1の
保護膜と第2の保護膜が積層されたものであるが、第2
の保護膜の厚みが15nmを越えて設けられているもの
である。比較サンプル2、4、7のいずれも耐酸性、耐
アルカリ性は良好であるが、摩耗が生じるとヘイズ率の
値が大きくなり目だち易いという欠点を有する。
【0029】以上の通り本発明にかかかるサンプル1〜
11は、耐摩耗性、耐アルカリ性、耐酸性とも良好で、
さらに摩耗による保護膜の目減りがあっても目立ちにく
いという特徴ある性質を有していることが分かる。
【0030】
【発明の効果】本発明によれば、耐酸性、耐アルカリ性
と耐摩耗性が改善された単板使用に耐え得る熱線遮蔽ガ
ラスが得られる。また、本発明の熱線遮蔽ガラスの保護
膜はたとえ摩耗されて膜の厚みが目減りしても、外観上
目立ちにくいという性質を有する。さらに、本発明の熱
線遮蔽ガラスを製造するにあたっては、膜厚が厚い保護
膜を成膜することがないので生産性がよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の熱線遮蔽ガラスの一実施例の一部断面
図である。
【符号の説明】
1・・・熱線遮蔽ガラス、2・・・透明ガラス、3・・
・熱線遮蔽膜、4・・・第1の透明保護膜、5・・・第
2の透明保護膜

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】透明ガラス基板上に熱線遮蔽膜と第1の透
    明保護膜と第2の透明保護膜が順次被覆された熱線遮蔽
    ガラスにおいて、前記第1の透明保護膜は窒化珪素、二
    酸化珪素、酸化第2錫、炭化珪素の酸窒化物、炭化タン
    タルの酸窒化物の群より選ばれた少なくとも1種からな
    り、前記第2の透明保護膜は酸化ジルコニウム、五酸化
    タンタル、酸化ニオブの群より選ばれた少なくとも1種
    からなり、かつ、2〜15nmの厚みであることを特徴
    とする熱線遮蔽ガラス。
  2. 【請求項2】前記熱線遮蔽膜が金属窒化物または金属酸
    窒化物であることを特徴とする請求項1に記載の熱線遮
    蔽ガラス。
  3. 【請求項3】前記第1の透明保護膜の厚みと前記第2の
    透明保護膜の厚みの合計を5〜50nmとしたことを特
    徴とする請求項1または2に記載の熱線遮蔽ガラス。
  4. 【請求項4】可視光線透過率が70%以上としたことを
    特徴とする請求項1、2、3のいずれかの項に記載の熱
    線遮蔽ガラス。
JP3218234A 1991-08-29 1991-08-29 熱線遮蔽ガラス Expired - Lifetime JPH0818849B2 (ja)

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JP3218234A JPH0818849B2 (ja) 1991-08-29 1991-08-29 熱線遮蔽ガラス
US07/933,791 US5411794A (en) 1991-08-29 1992-08-24 Heat-screening glass
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