JPH05150105A - 金属表面鏡およびその製造方法 - Google Patents

金属表面鏡およびその製造方法

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JPH05150105A
JPH05150105A JP31787091A JP31787091A JPH05150105A JP H05150105 A JPH05150105 A JP H05150105A JP 31787091 A JP31787091 A JP 31787091A JP 31787091 A JP31787091 A JP 31787091A JP H05150105 A JPH05150105 A JP H05150105A
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JP
Japan
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film
metal
substrate
metal surface
surface mirror
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Application number
JP31787091A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Ito
浩之 伊藤
Hideo Abo
日出男 阿保
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TOKYO TOKUSHU GLASS KK
Original Assignee
TOKYO TOKUSHU GLASS KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ガラスもしくはプラスチックもしくはセラミッ
クの基板を用いて耐環境性に優れた金属表面鏡を実現す
る。 【構成】ガラスもしくはプラスチックまたはセラミック
の基板B2の表面を平滑化し、平滑化された表面にSi
2による保護膜0を形成し、この保護膜0上に金属反
射膜1を形成し、この金属反射膜1上に透明保護層2を
形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、金属表面鏡およびそ
の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】各種光学装置に欠くことのできない光学
素子である金属表面鏡は、従来、表面を平滑化したガラ
ス等の基板に直接に金属膜を形成し、この金属膜表面に
透明保護層を形成して製造されている。このようにして
形成される金属表面鏡には、鏡面を構成する反射膜が環
境の影響で基板から剥がれやすいという問題がある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】この発明は上記の如き
問題を解決するべくなされたものであって、耐環境性に
強く、基板から金属膜が剥離しにくい新規な金属表面鏡
およびその製造方法の提供を目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】請求項1の製造方法は以
下の如く構成される。即ち、ガラスもしくはプラスチッ
クまたはセラミックの基板の表面を平滑化し、平滑化さ
れた表面にSiO2による保護膜を形成し、この保護膜
上に金属反射膜を形成し、この金属反射膜上に透明保護
層を形成する。上記保護膜、金属反射膜、透明保護層の
形成は、真空蒸着やスパッター等、公知の成膜技術を適
宜利用できる。
【0005】請求項2の金属表面鏡は上記請求項1の方
法で製造された金属表面鏡である。請求項2の金属表面
鏡における金属反射膜上に形成される「透明保護層」
は、「金属反射膜の側から順に、MgF2膜、TiO
2膜、Al23膜を積層した」構造でも良いし(請求項
3)、「金属反射膜の側から順に、MgF2膜、CeO2
膜、Al23膜を積層した」構造でも良い(請求項
4)。
【0006】このように、この発明の金属表面鏡は、基
板と金属反射膜との間に「SiO2の保護膜」が介設さ
れている点が従来の金属表面鏡と異なる。
【0007】
【作用】ガラスやプラスチック、セラミックの基板の表
面に直接に金属反射膜を形成した従来の金属表面鏡の場
合、これを長時間空気中で使用すると、空気中の水蒸気
成分等の影響で基板から可溶性成分が析出して金属反射
膜を基板から押し上げたり、あるいは腐食し、金属表面
鏡を損なう。この傾向は特に、基板としてガラスを用い
る場合に著しい。
【0008】しかるに、この発明においては、基板と金
属反射膜との間に介設される「SiO2の保護膜」が、
析出する可溶性成分と金属反射膜との接触を妨げる。
【0009】
【実施例】ガラス、プラスチック、セラミックの3種の
基板を用意し、各々の表面を平滑化した。これら基板を
各材質ごとに2組に分けた。
【0010】図1(a)に示すように、一方の組の基板
1には金属反射膜1としてAl薄膜を直接に蒸着形成
し、その上にMgF2膜、TiO2膜、Al23膜を順次
真空蒸着により積層して透明保護層2とした。このよう
に製造された金属表面鏡は従来の金属表面鏡と同種のも
のであり、比較例金属表面鏡である。
【0011】これに対し他方の組の基板B2には、図1
(b)に示すように、平滑化された表面にSiO2を蒸
着して保護膜0とし、この保護膜0の上にAl薄膜を金
属反射膜1として蒸着形成し、その上に、MgF2膜、
TiO2膜、Al23膜を真空蒸着により順次積層して
透明保護層2とした。これらは、実施例金属表面鏡であ
る。
【0012】保護膜0の幾何学的厚さは500Åであ
る。Al膜による金属反射膜1の幾何学的厚さは比較例
・実施例金属表面鏡とも1200Å以上である。また透
明保護層2を構成するMgF2膜、TiO2膜、Al23
膜の幾何学的厚さは、比較例・実施例金属表面鏡とも、
MgF2膜が900Å、TiO2膜が490Å、Al23
膜が85Åである。
【0013】これら比較例・実施例金属表面鏡を、5.
0wt%の食塩水に浸漬する「塩水浸漬耐環境性試験
法」で耐環境性をテストしたところ、比較例金属表面鏡
のほうは浸漬後4時間で金属反射膜の剥離が認められ
た。一方、実施例金属表面鏡の方はいずれも、浸漬後8
0時間以上経過しても金属反射膜の剥離等は認められ
ず、製造当初の性能を維持していた。上記実施例金属表
面鏡の透明保護層2におけるTiO2膜をCeO2膜に代
えても上記と同様の結果が得られた。
【0014】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば新規な
金属表面鏡とその製造方法を提供できる。この金属表面
鏡は、上述のように基板と金属反射膜との間に「SiO
2による保護膜」が形成されるので、基板から析出する
可溶性成分による金属反射膜の損傷が有効に防止され、
優れた耐環境性を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の金属表面鏡の構造を説明するための
図で、(a)は比較例金属表面鏡の構造を示す図、
(b)は実施例金属表面鏡の構造を示す図である。
【符号の説明】
1,B2 基板、0 保護膜、1 金属反
射膜、2 透明保護膜

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ガラスもしくはプラスチックまたはセラミ
    ックの基板の表面を平滑化し、平滑化された表面にSi
    2による保護膜を形成し、この保護膜上に金属反射膜
    を形成し、この金属反射膜上に透明保護層を形成するこ
    とを特徴とする金属表面鏡製造方法。
  2. 【請求項2】請求項1記載の方法で製造される金属表面
    鏡。
  3. 【請求項3】請求項2において、 透明保護層が、金属反射膜の側から順に、MgF2膜、
    TiO2膜、Al23膜を積層した構造であることを特
    徴とする金属表面鏡。
  4. 【請求項4】請求項2において、 透明保護層が、金属反射膜の側から順に、MgF2膜、
    CeO2膜、Al23膜を積層した構造であることを特
    徴とする金属表面鏡。
JP31787091A 1991-12-02 1991-12-02 金属表面鏡およびその製造方法 Pending JPH05150105A (ja)

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