JPH05127003A - 反射鏡 - Google Patents
反射鏡Info
- Publication number
- JPH05127003A JPH05127003A JP28656091A JP28656091A JPH05127003A JP H05127003 A JPH05127003 A JP H05127003A JP 28656091 A JP28656091 A JP 28656091A JP 28656091 A JP28656091 A JP 28656091A JP H05127003 A JPH05127003 A JP H05127003A
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- Japan
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- metal film
- metal
- reflecting mirror
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 基板１上に成膜された第一金属膜２と、第一
金属膜２の表面上に成膜された干渉膜３と、干渉膜３の
表面上に成膜された第二金属膜４と、更に第二金属膜４
の表面上に成膜された膜厚が１５０Å以上のクロム保護
膜５とを備えたことを特徴とする反射鏡。 【効果】 第二金属膜の表面にＣｒ膜を形成しているた
め、第一金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣化
を防ぐことができ、耐熱性にも優れている。また、高温
条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率はほとんど
変化しないので、本発明による反射鏡は防眩効果を維持
できる。更に、本発明は、同チャンバー内で全ての薄膜
を成膜できるため、短時間，低コストで処理することが
できる。
金属膜２の表面上に成膜された干渉膜３と、干渉膜３の
表面上に成膜された第二金属膜４と、更に第二金属膜４
の表面上に成膜された膜厚が１５０Å以上のクロム保護
膜５とを備えたことを特徴とする反射鏡。 【効果】 第二金属膜の表面にＣｒ膜を形成しているた
め、第一金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣化
を防ぐことができ、耐熱性にも優れている。また、高温
条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率はほとんど
変化しないので、本発明による反射鏡は防眩効果を維持
できる。更に、本発明は、同チャンバー内で全ての薄膜
を成膜できるため、短時間，低コストで処理することが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、防眩ミラー，ファッシ
ョンミラー，建築用及び車両用の外装板等に利用される
反射鏡に関するものである。
ョンミラー，建築用及び車両用の外装板等に利用される
反射鏡に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明に関する従来技術としては、特開
平２−２３２２１０号公報に示されるものが知られてい
る。図３は、この公知の反射鏡の断面図を示しており、
同図に示すように、反射鏡５０は、ガラス基板１０の表
面上にスパツタリングにより第一金属膜２０を付着し、
次いで第一金属膜２０の表面上にスパツタリングにより
干渉膜３０を付着し、さらに干渉膜３０の表面上にスパ
ツタリングにより第二金属膜４０を付着したものであ
る。ここで、金属膜２０，４０には、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはこれらの合金が用い
られ、干渉膜３０には、Ｔａ2 Ｏ5 ，ＳｉＯ2 ，ＺｒＯ
2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａ
Ｏ3 ，ＺｎＯ，ＭｇＦ，ＰＬＺＴまたはこれらの混合物
が用いられる。
平２−２３２２１０号公報に示されるものが知られてい
る。図３は、この公知の反射鏡の断面図を示しており、
同図に示すように、反射鏡５０は、ガラス基板１０の表
面上にスパツタリングにより第一金属膜２０を付着し、
次いで第一金属膜２０の表面上にスパツタリングにより
干渉膜３０を付着し、さらに干渉膜３０の表面上にスパ
ツタリングにより第二金属膜４０を付着したものであ
る。ここで、金属膜２０，４０には、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃ
ｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはこれらの合金が用い
られ、干渉膜３０には、Ｔａ2 Ｏ5 ，ＳｉＯ2 ，ＺｒＯ
2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａ
Ｏ3 ，ＺｎＯ，ＭｇＦ，ＰＬＺＴまたはこれらの混合物
が用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の反射
鏡が高温条件下で長時間使用された場合、第一金属膜２
０及び第二金属膜４０が空気中の酸素により酸化されて
しまうため、薄膜の密着性を低下し、剥がれやすくな
る。また、干渉膜３０も酸化によつて、酸素含有量が変
化して結晶構造の変化を引き起こす恐れがある。したが
つて、上記の反射鏡５０は、酸化により各薄膜面が劣化
して、光反射率に変化を生じてしまうため、防眩効果が
維持されなくなる。
鏡が高温条件下で長時間使用された場合、第一金属膜２
０及び第二金属膜４０が空気中の酸素により酸化されて
しまうため、薄膜の密着性を低下し、剥がれやすくな
る。また、干渉膜３０も酸化によつて、酸素含有量が変
化して結晶構造の変化を引き起こす恐れがある。したが
つて、上記の反射鏡５０は、酸化により各薄膜面が劣化
して、光反射率に変化を生じてしまうため、防眩効果が
維持されなくなる。
【０００４】故に、本発明は、上記の問題点を解決する
ことをその技術的課題とするものである。
ことをその技術的課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の技術的課題を解決
するための技術的手段は、基板上に成膜された第一金属
膜と、第一金属膜の表面上に成膜された干渉膜と、干渉
膜の表面上に成膜された第二金属膜と、更に第二金属膜
の表面上に成膜された膜厚が１５０Å以上のクロム保護
膜とを備えたことである。
するための技術的手段は、基板上に成膜された第一金属
膜と、第一金属膜の表面上に成膜された干渉膜と、干渉
膜の表面上に成膜された第二金属膜と、更に第二金属膜
の表面上に成膜された膜厚が１５０Å以上のクロム保護
膜とを備えたことである。
【０００６】
【作用】第二金属膜の表面に形成されたＣｒ膜は、第一
金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣化を防ぎ、
高温条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率をほと
んど変化させない。
金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣化を防ぎ、
高温条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率をほと
んど変化させない。
【０００７】
【実施例】以下、本発明における実施例を図面を用いて
説明する。
説明する。
【０００８】図１は、本実施例による反射鏡の断面図を
示しており、同図に示すように、本実施例による反射鏡
６は、ガラス，金属，樹脂のいずれかからなる基板１
と、基板１の表面上に真空成膜された第一金属膜２と、
第一金属膜２の表面上に真空成膜された干渉膜３と、干
渉膜３の表面上に真空成膜された第二金属膜４と、第二
金属膜４の表面上に真空成膜されたクロム（Ｃｒ）保護
膜５を備えたものである。尚、入射光７は、基板１の露
出した表面上に照射されることにする。
示しており、同図に示すように、本実施例による反射鏡
６は、ガラス，金属，樹脂のいずれかからなる基板１
と、基板１の表面上に真空成膜された第一金属膜２と、
第一金属膜２の表面上に真空成膜された干渉膜３と、干
渉膜３の表面上に真空成膜された第二金属膜４と、第二
金属膜４の表面上に真空成膜されたクロム（Ｃｒ）保護
膜５を備えたものである。尚、入射光７は、基板１の露
出した表面上に照射されることにする。
【０００９】第一金属膜２は、Ａｌ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ａ
ｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはこれらの合金のいずれかか
らなり、入射光７を部分的に反射する半透過性な薄膜で
あり、その膜厚を変えることにより光の明るさを調節す
ることができる。また、第二金属膜４は、Ａｌ，Ｎｉ，
Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはそれらの合金から
なり、干渉膜３を通過した光を部分的に反射するもので
ある。
ｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはこれらの合金のいずれかか
らなり、入射光７を部分的に反射する半透過性な薄膜で
あり、その膜厚を変えることにより光の明るさを調節す
ることができる。また、第二金属膜４は、Ａｌ，Ｎｉ，
Ｃｕ，Ａｇ，Ａｕ，Ｐｔ，Ｃｏまたはそれらの合金から
なり、干渉膜３を通過した光を部分的に反射するもので
ある。
【００１０】干渉膜３は、Ｔａ2 Ｏ5 ，ＳｉＯ2 ，Ｚｒ
Ｏ2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ
3 ，ＺｎＯ等の金属酸化物やＭｇＦ，ＰＬＺＴやこれら
の混合物のいずれかからなり、第一金属膜２と第二金属
膜４との間における光の反射を干渉するものであり、そ
の膜厚を変えることにより色相を調整することができ
る。つまり、干渉膜３は、ある範囲の波長を有する入射
光７を第二金属膜４へ透過し、その他の範囲の波長を有
する入射光７を反射している。
Ｏ2 ，Ｙ2 Ｏ3 ，ＴｉＯ2 ，ＬｉＮｂＯ3 ，ＬｉＴａＯ
3 ，ＺｎＯ等の金属酸化物やＭｇＦ，ＰＬＺＴやこれら
の混合物のいずれかからなり、第一金属膜２と第二金属
膜４との間における光の反射を干渉するものであり、そ
の膜厚を変えることにより色相を調整することができ
る。つまり、干渉膜３は、ある範囲の波長を有する入射
光７を第二金属膜４へ透過し、その他の範囲の波長を有
する入射光７を反射している。
【００１１】Ｃｒは、酸素と反応しにくく、金属膜４と
の密着性も極めてよいため、膜構成内部の保護に最も適
したものである。したがつて、本発明は、金属膜２，４
及び干渉膜３の酸化を防止するために、第二金属膜４の
表面上にＣｒ保護膜５を備えている。また、Ｃｒ膜５の
表面は５０〜１５０Å酸化されるため、Ｃｒ膜５の膜厚
を１５０Å以上にする必要がある。
の密着性も極めてよいため、膜構成内部の保護に最も適
したものである。したがつて、本発明は、金属膜２，４
及び干渉膜３の酸化を防止するために、第二金属膜４の
表面上にＣｒ保護膜５を備えている。また、Ｃｒ膜５の
表面は５０〜１５０Å酸化されるため、Ｃｒ膜５の膜厚
を１５０Å以上にする必要がある。
【００１２】ところで、保護膜に樹脂を用いることも可
能であるが、樹脂を用いた場合、チャンバー（図示せ
ず）内で第二金属膜４を成膜した後、チャンバーから試
料を取り出し、別の装置を用いて樹脂を塗布及び乾燥さ
せなければならないので、非常に手間がかかり、コスト
アツプしてしまう。これに対して、本発明のように保護
膜にＣｒ膜５を用いれば、同一チャンバー内で全ての成
膜を行うことができるため、前者と比べて短時間で処理
でき、コストアツプも防ぐことができる。
能であるが、樹脂を用いた場合、チャンバー（図示せ
ず）内で第二金属膜４を成膜した後、チャンバーから試
料を取り出し、別の装置を用いて樹脂を塗布及び乾燥さ
せなければならないので、非常に手間がかかり、コスト
アツプしてしまう。これに対して、本発明のように保護
膜にＣｒ膜５を用いれば、同一チャンバー内で全ての成
膜を行うことができるため、前者と比べて短時間で処理
でき、コストアツプも防ぐことができる。
【００１３】本実施例では、第一金属膜２及び第二金属
膜４にＡｌを利用し、干渉膜３にＴａ2 Ｏ5 を利用し
て、以下に示すように、反射鏡６を形成した。
膜４にＡｌを利用し、干渉膜３にＴａ2 Ｏ5 を利用し
て、以下に示すように、反射鏡６を形成した。
【００１４】〔実施例〕表面積２００cm2 ，厚さ１．５
mmのガラス板１の表面上にスパツタリングにより、膜厚
３０Åの第一Ａｌ膜２を真空成膜した。次いで、第一Ａ
ｌ膜２の表面上にスパツタリングにより、膜厚５００Å
の透明なＴａ2 Ｏ5 膜３を真空成膜した。次いで、Ｔａ
2 Ｏ5 膜３の表面上にスパツタリングにより、膜厚１０
００Åの第二Ａｌ膜４を真空成膜した。最後に、。第二
Ａｌ膜４の表面上にスパツタリングにより、膜厚１００
０ÅのＣｒ膜５を真空成膜して、図１に示すような反射
鏡６を形成した。尚、スパツタリングは、ガラス板１の
温度を１５０℃以下、ガス圧を０．０００５〜０．０１
Torrに調整して行なわれ、全ての成膜は、同一チャンバ
ー内で行なわれた。
mmのガラス板１の表面上にスパツタリングにより、膜厚
３０Åの第一Ａｌ膜２を真空成膜した。次いで、第一Ａ
ｌ膜２の表面上にスパツタリングにより、膜厚５００Å
の透明なＴａ2 Ｏ5 膜３を真空成膜した。次いで、Ｔａ
2 Ｏ5 膜３の表面上にスパツタリングにより、膜厚１０
００Åの第二Ａｌ膜４を真空成膜した。最後に、。第二
Ａｌ膜４の表面上にスパツタリングにより、膜厚１００
０ÅのＣｒ膜５を真空成膜して、図１に示すような反射
鏡６を形成した。尚、スパツタリングは、ガラス板１の
温度を１５０℃以下、ガス圧を０．０００５〜０．０１
Torrに調整して行なわれ、全ての成膜は、同一チャンバ
ー内で行なわれた。
【００１５】以上のように形成された本実施例による反
射鏡６における反射率と入射光７の波長との関係は図２
の特性Ａの如くとなる。そして、この反射鏡６を８０℃
の恒温槽内で１７５０時間放置試験を行つた後の、反射
率と入射光７の波長との関係は図２の特性Ｂの如くとな
る。また、放置時間と可視光線の範囲（図２中の領域
Ｄ）の各波長における反射鏡６の反射率の平均値（以
下、単に平均反射率と略称する。）の変化との関係は図
４の特性ロの如くとなる。
射鏡６における反射率と入射光７の波長との関係は図２
の特性Ａの如くとなる。そして、この反射鏡６を８０℃
の恒温槽内で１７５０時間放置試験を行つた後の、反射
率と入射光７の波長との関係は図２の特性Ｂの如くとな
る。また、放置時間と可視光線の範囲（図２中の領域
Ｄ）の各波長における反射鏡６の反射率の平均値（以
下、単に平均反射率と略称する。）の変化との関係は図
４の特性ロの如くとなる。
【００１６】〔比較例〕表面積２００cm2 ，厚さ１．５
mmのガラス板１０の表面上にスパツタリングにより、膜
厚３０ÅのＡｌ膜２０を真空成膜した。次いで、Ａｌ膜
２０の表面上にスパツタリングにより、膜厚５００Åの
透明なＴａ2 Ｏ5 膜３０を真空成膜した。次いで、Ｔａ
2 Ｏ5 膜３０の表面上にスパツタリングにより、膜厚１
０００ÅのＡｌ膜４０を真空成膜して、図３に示すよう
な反射鏡５０を形成した。
mmのガラス板１０の表面上にスパツタリングにより、膜
厚３０ÅのＡｌ膜２０を真空成膜した。次いで、Ａｌ膜
２０の表面上にスパツタリングにより、膜厚５００Åの
透明なＴａ2 Ｏ5 膜３０を真空成膜した。次いで、Ｔａ
2 Ｏ5 膜３０の表面上にスパツタリングにより、膜厚１
０００ÅのＡｌ膜４０を真空成膜して、図３に示すよう
な反射鏡５０を形成した。
【００１７】以上のように形成された比較例による反射
鏡５０を８０℃の恒温槽内で１７５０時間放置試験を行
つた際の、放置時間と平均反射率の変化との関係は図４
の特性イの如くとなる。
鏡５０を８０℃の恒温槽内で１７５０時間放置試験を行
つた際の、放置時間と平均反射率の変化との関係は図４
の特性イの如くとなる。
【００１８】図２に示すように、本実施例では、防眩効
果が得られるように、放置試験前において、人間が最も
視感度の高いと感じる５００〜５５０nmの範囲の波長に
おける反射率が５０％前後に下げられているが、これは
比較例についても同様なことがいえる。図２に示す特性
Ａ，Ｂから明らかなように、本実施例による反射鏡６
は、高温条件下で長時間放置しても各波長に対する反射
率が放置試験前とほとんど変わつていないことが分か
る。
果が得られるように、放置試験前において、人間が最も
視感度の高いと感じる５００〜５５０nmの範囲の波長に
おける反射率が５０％前後に下げられているが、これは
比較例についても同様なことがいえる。図２に示す特性
Ａ，Ｂから明らかなように、本実施例による反射鏡６
は、高温条件下で長時間放置しても各波長に対する反射
率が放置試験前とほとんど変わつていないことが分か
る。
【００１９】図４を見ると、８０℃で５７０時間放置し
た際、比較例による反射鏡５０は、特性イに示す如く放
置前に対して反射率が１．９％も増加したが、本実施例
による反射鏡６は、特性ロに示す如く放置前に対して反
射率が０．９％しか増加していないことが分かる。さら
に、８０℃で１７５０時間放置した際、比較例による反
射鏡５０は、特性イに示す如く放置前に対して反射率が
３．２％も増加したが、本実施例による反射鏡６は、特
性ロに示す如く放置前に対して反射率が１．３％しか増
加していないことが分かる。したがつて、高温放置試験
をより長時間行うと、本実施例と比較例との反射率の変
化の差が歴然と現れることが予想される。
た際、比較例による反射鏡５０は、特性イに示す如く放
置前に対して反射率が１．９％も増加したが、本実施例
による反射鏡６は、特性ロに示す如く放置前に対して反
射率が０．９％しか増加していないことが分かる。さら
に、８０℃で１７５０時間放置した際、比較例による反
射鏡５０は、特性イに示す如く放置前に対して反射率が
３．２％も増加したが、本実施例による反射鏡６は、特
性ロに示す如く放置前に対して反射率が１．３％しか増
加していないことが分かる。したがつて、高温放置試験
をより長時間行うと、本実施例と比較例との反射率の変
化の差が歴然と現れることが予想される。
【００２０】以上から、Ｃｒ膜５を有する本実施例によ
る反射鏡６は、Ｃｒ膜５を備えていない比較例による反
射鏡５０に比べて耐熱性に優れており、薄膜の酸化によ
る劣化がしにくく、防眩効果が維持される。つまり、Ｃ
ｒ膜５が薄膜への酸化を防いでいることが証明されたわ
けである。
る反射鏡６は、Ｃｒ膜５を備えていない比較例による反
射鏡５０に比べて耐熱性に優れており、薄膜の酸化によ
る劣化がしにくく、防眩効果が維持される。つまり、Ｃ
ｒ膜５が薄膜への酸化を防いでいることが証明されたわ
けである。
【００２１】
【発明の効果】本発明は、以下の如く効果を有する。
【００２２】第二金属膜の表面にＣｒ膜を形成している
ため、第一金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣
化を防ぐことができ、耐熱性にも優れている。また、高
温条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率はほとん
ど変化しないので、本発明による反射鏡は防眩効果を維
持できる。
ため、第一金属膜及び第二金属膜及び干渉膜の酸化や劣
化を防ぐことができ、耐熱性にも優れている。また、高
温条件下で長時間放置しても反射鏡の光反射率はほとん
ど変化しないので、本発明による反射鏡は防眩効果を維
持できる。
【００２３】更に、本発明は、同チャンバー内で全ての
薄膜を成膜できるため、短時間，低コストで処理するこ
とができる。
薄膜を成膜できるため、短時間，低コストで処理するこ
とができる。
【図１】本実施例による反射鏡の断面図である。
【図２】８０℃の恒温槽内で１７５０時間放置試験を行
つた際の、本実施例による反射鏡の反射率と入射光の波
長との関係を示す説明図である。尚、Ａは放置試験前，
Ｂは放置試験後を示している。
つた際の、本実施例による反射鏡の反射率と入射光の波
長との関係を示す説明図である。尚、Ａは放置試験前，
Ｂは放置試験後を示している。
【図３】従来例による反射鏡の断面図である。
【図４】８０℃の恒温槽内で放置試験を行つた際の、放
置時間と本実施例及び従来例による反射鏡の平均反射率
の変化との関係を示す説明図である。尚、イは比較例に
よる反射鏡，ロは本実施例による反射鏡を示している。
置時間と本実施例及び従来例による反射鏡の平均反射率
の変化との関係を示す説明図である。尚、イは比較例に
よる反射鏡，ロは本実施例による反射鏡を示している。
１，１０ ガラス板（基板） ２，２０ 第一Ａｌ膜（第一金属膜） ３，３０ Ｔａ2 Ｏ5 膜（干渉膜） ４，４０ 第二Ａｌ膜（第二金属膜） ５ クロム保護膜 ６，５０ 反射鏡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石 井 正 巳 愛知県刈谷市朝日町２丁目１番地 アイシ ン精機株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に成膜された第一金属膜と、該第
一金属膜の表面上に成膜された干渉膜と、該干渉膜の表
面上に成膜された第二金属膜と、更に該第二金属膜の表
面上に成膜された膜厚が１５０Å以上のクロム保護膜と
を備えたことを特徴とする反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28656091A JPH05127003A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28656091A JPH05127003A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05127003A true JPH05127003A (ja) | 1993-05-25 |
Family
ID=17705994
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28656091A Pending JPH05127003A (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05127003A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699188A (en) * | 1995-06-26 | 1997-12-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Co. | Metal-coated multilayer mirror |
| CN102213781A (zh) * | 2010-04-07 | 2011-10-12 | 盛玉林 | 反射板 |
| WO2020194765A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 大東プレス工業株式会社 | 鏡、及び鏡の製造方法 |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP28656091A patent/JPH05127003A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5699188A (en) * | 1995-06-26 | 1997-12-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Co. | Metal-coated multilayer mirror |
| US6088163A (en) * | 1995-06-26 | 2000-07-11 | 3M Innovative Properties Company | Metal-coated multilayer mirror |
| CN102213781A (zh) * | 2010-04-07 | 2011-10-12 | 盛玉林 | 反射板 |
| WO2020194765A1 (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 大東プレス工業株式会社 | 鏡、及び鏡の製造方法 |
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