JPH06138309A - 無位相反射鏡 - Google Patents
無位相反射鏡Info
- Publication number
- JPH06138309A JPH06138309A JP29132392A JP29132392A JPH06138309A JP H06138309 A JPH06138309 A JP H06138309A JP 29132392 A JP29132392 A JP 29132392A JP 29132392 A JP29132392 A JP 29132392A JP H06138309 A JPH06138309 A JP H06138309A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- reflecting mirror
- reflectance
- copper
- phase difference
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 優れた位相特性と高い反射特性を有する安価
な無位相反射鏡を提供することを目的とする。 【構成】 透明基板の片面上に反射層として銅層を有す
ることを特徴とする無位相反射鏡である。
な無位相反射鏡を提供することを目的とする。 【構成】 透明基板の片面上に反射層として銅層を有す
ることを特徴とする無位相反射鏡である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＯＡ機器、光通信装
置、光情報処理装置、光学用製造装置あるいはカメラ等
の光学機器等に使用される反射鏡に関する。
置、光情報処理装置、光学用製造装置あるいはカメラ等
の光学機器等に使用される反射鏡に関する。
【０００２】
【従来技術及びその問題点】従来から、光の反射を利用
して光の進行方向を変えたり、像を結ばせたりするた
め、反射鏡が一般的に使用されてきた。反射鏡として
は、従来、ガラスの表面を研磨して銀、アルミニウムな
どの金属薄膜を蒸着したものと、誘電体多層膜を蒸着し
たものが知られている。一方、最近では光学系が著しく
複雑になり、光路の変更が光量の減少をできるだけ伴わ
ずに自由に出来ることが要求されている。また、Ｓ偏光
とＰ偏光の位相の差が無い反射鏡が求められている。
して光の進行方向を変えたり、像を結ばせたりするた
め、反射鏡が一般的に使用されてきた。反射鏡として
は、従来、ガラスの表面を研磨して銀、アルミニウムな
どの金属薄膜を蒸着したものと、誘電体多層膜を蒸着し
たものが知られている。一方、最近では光学系が著しく
複雑になり、光路の変更が光量の減少をできるだけ伴わ
ずに自由に出来ることが要求されている。また、Ｓ偏光
とＰ偏光の位相の差が無い反射鏡が求められている。
【０００３】しかしながら、金属薄膜を蒸着した反射鏡
のうち、金や銀を用いたものは、反射率も高く、位相差
の小さい無位相反射鏡を作成できるが、著しく高価であ
ると同時に、耐摩耗性が低いため実用的でなく、アルミ
ニウムを用いた反射鏡は安価であるが、位相差が大き
い。他方、誘電体を用いる場合は、位相差が小さく、性
能の良いものが作成できるが、なかなか反射率が上がら
ないため、数層から十数層の誘電体薄膜を重ねてコート
しなければならず、コストの面でかなり負担がかかって
いた。
のうち、金や銀を用いたものは、反射率も高く、位相差
の小さい無位相反射鏡を作成できるが、著しく高価であ
ると同時に、耐摩耗性が低いため実用的でなく、アルミ
ニウムを用いた反射鏡は安価であるが、位相差が大き
い。他方、誘電体を用いる場合は、位相差が小さく、性
能の良いものが作成できるが、なかなか反射率が上がら
ないため、数層から十数層の誘電体薄膜を重ねてコート
しなければならず、コストの面でかなり負担がかかって
いた。
【０００４】
【発明の目的】本発明は、前記従来技術の問題点を解消
し、優れた位相特性と高い反射特性を有する安価な無位
相反射鏡を提供することを目的とする。
し、優れた位相特性と高い反射特性を有する安価な無位
相反射鏡を提供することを目的とする。
【０００５】
【発明の概要】本発明は、銅膜が光に対する吸収作用が
極めて少なく、高い反射率を示すとともにＳ偏光とＰ偏
光との位相差が少なく、成膜性も良いことを見出し、か
かる知見に基づいて上記目的を達成したものである。す
なわち、本発明による無位相反射鏡は、透明基板の片面
上に反射層として金属薄膜を有する反射鏡において、金
属薄膜として銅薄膜を有することを特徴とする。
極めて少なく、高い反射率を示すとともにＳ偏光とＰ偏
光との位相差が少なく、成膜性も良いことを見出し、か
かる知見に基づいて上記目的を達成したものである。す
なわち、本発明による無位相反射鏡は、透明基板の片面
上に反射層として金属薄膜を有する反射鏡において、金
属薄膜として銅薄膜を有することを特徴とする。
【０００６】本発明の反射鏡において透明基板として
は、通常、ガラス基板が用いられる。この基板上に施さ
れる銅薄膜は、一般に、６０ｎｍ〜１０００ｎｍ（１μ
ｍ）の膜厚で設けられる。この膜厚が６０ｎｍ未満では
不透明にならず、銅本来の反射率が得られない。また、
１０００ｎｍ（１μｍ）を超えるとクラックが生じるこ
とがある。銅薄膜は、真空蒸着、スパッタリング等の公
知手段で設けることができる。
は、通常、ガラス基板が用いられる。この基板上に施さ
れる銅薄膜は、一般に、６０ｎｍ〜１０００ｎｍ（１μ
ｍ）の膜厚で設けられる。この膜厚が６０ｎｍ未満では
不透明にならず、銅本来の反射率が得られない。また、
１０００ｎｍ（１μｍ）を超えるとクラックが生じるこ
とがある。銅薄膜は、真空蒸着、スパッタリング等の公
知手段で設けることができる。
【０００７】本発明の反射鏡において、反射率の調整や
位相特性の向上、あるいは銅薄膜の耐候性を向上させる
ため、銅薄膜上にさらに別の層を１層以上設けることが
できる。このような目的でＡｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、Ｍｇ
Ｆ2 、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 などを使用することができ
る。特に、銅薄膜の空気側にＡｌ2 Ｏ3 層を設けること
により耐候性が向上する。このアルミナ層は、５０〜１
０００ｎｍ、好ましくは５０〜３００ｎｍ、より好まし
くは７５〜２５０ｎｍの層厚で設けられる。層厚が５０
ｎｍ未満では、効果がなく、上限は特にないが、１００
０ｎｍを超えると、クラックが入る可能性がある。
位相特性の向上、あるいは銅薄膜の耐候性を向上させる
ため、銅薄膜上にさらに別の層を１層以上設けることが
できる。このような目的でＡｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、Ｍｇ
Ｆ2 、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 などを使用することができ
る。特に、銅薄膜の空気側にＡｌ2 Ｏ3 層を設けること
により耐候性が向上する。このアルミナ層は、５０〜１
０００ｎｍ、好ましくは５０〜３００ｎｍ、より好まし
くは７５〜２５０ｎｍの層厚で設けられる。層厚が５０
ｎｍ未満では、効果がなく、上限は特にないが、１００
０ｎｍを超えると、クラックが入る可能性がある。
【０００８】
【発明の実施例】次に、実施例に基づいて本発明を詳述
するが、本発明はこれによって制限されるものではな
い。
するが、本発明はこれによって制限されるものではな
い。
【０００９】実施例１〜３ 屈折率１．５１のガラス基板の片面に表１に示す層を下
記の方法で設けた。上記基板を精密洗浄した後、表１に
示した層を表１に示した順に真空蒸着法によってコート
した。
記の方法で設けた。上記基板を精密洗浄した後、表１に
示した層を表１に示した順に真空蒸着法によってコート
した。
【００１０】
【表１】
【００１１】得られた反射鏡について、７００〜９００
ｎｍの波長範囲における位相差及び反射率を測定した。
実施例１で作製した反射鏡の位相差を図１、反射率を図
２に示し、実施例２で作製した反射鏡の位相差を図３、
反射率を図４に示し、実施例３で作製した反射鏡の位相
差を図５、反射率を図６に示す。反射率を示すグラフに
おいて、実線はＳ偏光を示し、点線はＰ偏光を示す。こ
れらの結果から本発明の反射鏡は、位相差が小さく、反
射率が高いことが分かる。すなわち、上記のようにして
得られた本発明の反射鏡は、７８０ｎｍの波長の光に対
しては位相差がゼロであり、７００〜９００ｎｍの広い
波長範囲にわたって位相差が±１０程度と小さく、Ｐ偏
光でも７００ｎｍ以上のかなり広い波長範囲において９
８％以上の高い反射率を示す。
ｎｍの波長範囲における位相差及び反射率を測定した。
実施例１で作製した反射鏡の位相差を図１、反射率を図
２に示し、実施例２で作製した反射鏡の位相差を図３、
反射率を図４に示し、実施例３で作製した反射鏡の位相
差を図５、反射率を図６に示す。反射率を示すグラフに
おいて、実線はＳ偏光を示し、点線はＰ偏光を示す。こ
れらの結果から本発明の反射鏡は、位相差が小さく、反
射率が高いことが分かる。すなわち、上記のようにして
得られた本発明の反射鏡は、７８０ｎｍの波長の光に対
しては位相差がゼロであり、７００〜９００ｎｍの広い
波長範囲にわたって位相差が±１０程度と小さく、Ｐ偏
光でも７００ｎｍ以上のかなり広い波長範囲において９
８％以上の高い反射率を示す。
【００１２】なお、位相差の測定は、溝尻光学工業所製
のエリプソメーターによって行い、Ｓ及びＰ偏光の反射
率の測定は、日立製作所製の分光光度計Ｕ−４０００に
よって行った。
のエリプソメーターによって行い、Ｓ及びＰ偏光の反射
率の測定は、日立製作所製の分光光度計Ｕ−４０００に
よって行った。
【００１３】比較例１〜３ 屈折率１．５１のガラス基板の片面に表２に示す層を設
けた。層の形成方法は、実施例１〜３と同様であるが、
銅の代わりに銀、金、アルミニウムを使用した以外は、
実施例１と同様にコートした。
けた。層の形成方法は、実施例１〜３と同様であるが、
銅の代わりに銀、金、アルミニウムを使用した以外は、
実施例１と同様にコートした。
【００１４】
【表２】
【００１５】得られた反射鏡について、７００〜９００
ｎｍの波長範囲における位相差及び反射率を測定した。
比較例１で作製した反射鏡の位相差を図７、反射率を図
８に示し、比較例２で作製した反射鏡の位相差を図９、
反射率を図１０に示し、比較例３で作製した反射鏡の位
相差を図１１、反射率を図１２に示す。これらの結果か
ら、比較例１及び２で得られた反射鏡は、性能は良いが
コストがかかりすぎ、比較例３はＰ偏光に対する反射率
が低く、位相差が大きいことが分かる。
ｎｍの波長範囲における位相差及び反射率を測定した。
比較例１で作製した反射鏡の位相差を図７、反射率を図
８に示し、比較例２で作製した反射鏡の位相差を図９、
反射率を図１０に示し、比較例３で作製した反射鏡の位
相差を図１１、反射率を図１２に示す。これらの結果か
ら、比較例１及び２で得られた反射鏡は、性能は良いが
コストがかかりすぎ、比較例３はＰ偏光に対する反射率
が低く、位相差が大きいことが分かる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、安価な材料を用いて、
少ない層数で製造でき、優れた位相特性と高い反射特性
を示す無位相反射鏡が得られる。この反射鏡は、広い波
長範囲においてＰ偏光とＳ偏光の位相差が小さく、吸収
が小さく、高い反射率を示すため、各種の光学系などに
おいて光路の変更に有効である。
少ない層数で製造でき、優れた位相特性と高い反射特性
を示す無位相反射鏡が得られる。この反射鏡は、広い波
長範囲においてＰ偏光とＳ偏光の位相差が小さく、吸収
が小さく、高い反射率を示すため、各種の光学系などに
おいて光路の変更に有効である。
【図１】実施例１で作製した反射鏡の位相差を示すグラ
フである。
フである。
【図２】実施例１で作製した反射鏡の反射率を示すグラ
フである。
フである。
【図３】実施例２で作製した反射鏡の位相差を示すグラ
フである。
フである。
【図４】実施例２で作製した反射鏡の反射率を示すグラ
フである。
フである。
【図５】実施例３で作製した反射鏡の位相差を示すグラ
フである。
フである。
【図６】実施例３で作製した反射鏡の反射率を示すグラ
フである。
フである。
【図７】比較例１で作製した反射鏡の位相差を示すグラ
フである。
フである。
【図８】比較例１で作製した反射鏡の反射率を示すグラ
フである。
フである。
【図９】比較例２で作製した反射鏡の位相差を示すグラ
フである。
フである。
【図１０】比較例２で作製した反射鏡の反射率を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図１１】比較例３で作製した反射鏡の位相差を示すグ
ラフである。
ラフである。
【図１２】比較例３で作製した反射鏡の反射率を示すグ
ラフである。
ラフである。
実線 Ｓ偏光の反射率 点線 Ｐ偏光の反射率。
Claims (2)
- 【請求項１】 透明基板の片面上に反射層として金属薄
膜を有する反射鏡において、金属薄膜として銅薄膜を用
いたことを特徴とする無位相反射鏡。 - 【請求項２】 銅薄膜を６０〜１０００ｎｍの膜厚で有
する請求項１記載の無位相反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29132392A JPH06138309A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 無位相反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29132392A JPH06138309A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 無位相反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06138309A true JPH06138309A (ja) | 1994-05-20 |
Family
ID=17767425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29132392A Pending JPH06138309A (ja) | 1992-10-29 | 1992-10-29 | 無位相反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06138309A (ja) |
-
1992
- 1992-10-29 JP JP29132392A patent/JPH06138309A/ja active Pending
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