DE10126364B9

DE10126364B9 - Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung

Info

Publication number: DE10126364B9
Application number: DE10126364A
Authority: DE
Inventors: Kunio Kurobe; Susumu Aihara
Original assignee: Fujinon Corp
Current assignee: Fujinon Corp
Priority date: 2000-06-05
Filing date: 2001-05-30
Publication date: 2006-07-13
Anticipated expiration: 2021-05-31
Also published as: US6558741B2; GB0112672D0; GB2363130B; GB2363130A; JP4453886B2; DE10126364B4; DE10126364A1; US20020008924A1; US20030152782A1; CN1144069C; CN1327162A; JP2001350007A; US6643078B2; HK1041315A1

Abstract

Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels mit fünf übereinander auf einem Glassubstrat (1) aufgebrachten Schichten (2-6) mit folgenden Schritten:
– Evakuieren einer Kammer, die das Glassubstrat (1) und die Materialien zur Bildung der fünf Schichten (2-6) aufnimmt,
– Abscheiden einer Schutzschicht (2) aus SiO auf das Glassubstrat (1),
– Abscheiden einer Aluminium-Reflexionsschicht (3) auf der SiO-Schicht (2),
– Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (4) aus MgF₂ auf der Aluminiumschicht (3),
– Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (5) aus CeO₂ auf der MgF₂-Schicht (4) und
– Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (6) aus SiO₂ auf der CeO₂-Schicht unter Einleiten von O₂-Gas in die Kammer,
dadurch gekennzeichnet, dass
– das Abscheiden der MgF₂-Schicht (4) derart erfolgt, dass eine untere Teilschicht durch Abschneiden bei niedriger Temperatur und eine obere Teilschicht durch Abscheiden bei höherer Temperatur hergestellt wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels, bei dem ein Schutzfilm, ein Aluminium-Reflexionsfilm und ein mehrschichtiger transparenter Schutzfilm auf ein Glassubstrat aufgebracht werden; sowie einen solchen Aluminium-Reflexionsspiegel.
Herkömmlich sind verschiedene Arten von Aluminium-Reflexionsspiegeln zur Verwendung in optischen Vorrichtungen entwickelt worden.
Beispielsweise offenbart die japanische Patentoffenlegungsschrift Nr. 5-150105 einen Aluminium-Reflexionsspiegel, bei dem die Oberfläche eines Substrats aus Glas, Kunststoff oder Keramik geglättet ist, ein aus SiO₂ hergestellter Schutzfilm auf der Oberfläche des Substrats gebildet ist, ein aus Al hergestellter Reflexionsfilm auf dem Schutzfilm gebildet ist und ein transparenter Schutzfilm auf dem Reflexionsfilm gebildet ist, wobei der transparente Schutzfilm einen MgF₂-Film, einen TiO₂- oder CeO₂-Film und einen Al₂O₃-Film umfasst.
Wenn das Al direkt auf ein Glassubstrat abgeschieden wird, kann der Al-Reflexionsfilm durch aus dem Glassubstrat präzipitierte Bestandteile korrodieren. Daher wird im in der obigen Schrift offenbarten Aluminium-Reflexionsfilm z.B. der SiO₂-Film zwischen dem Glassubstrat und dem Aluminium-Reflexionsfilm gebildet, um eine Korrosion des Aluminium-Reflexionsfilms zu verhindern.
Ferner ist der transparente Schutzfilm, bei dem ein MgF₂-Film, ein TiO₂- oder CeO₂-Film und ein Al₂O₃-Film auf den Aluminium-Reflexionsfilm aufgebracht sind, ausgebildet, um den Aluminium-Reflexionsfilm zu schützen und dessen Beständigkeit gegen Umwelteinwirkungen zu verbessern.
Während bei dem obigen herkömmlichen Aluminium-Refexionsspiegel das Al₂O₃ als der äußerste transparente Schutzfilm abgeschieden wird, kann das Al₂O₃ nicht durch das Widerstandsheizabscheidungsverfahren abgeschieden werden, sondern durch ein Elektronenbeschussverfahren unter Verwendung einer teuren Elektronenkanone, was die Herstellungskosten erhöht.
Da die Abscheidung jeder Schicht in eine Vakuumatmosphäre durchgeführt werden muss, wenn ein Aluminium-Reflexionsspiegel hergestellt wird, erfordert es eine gewisse Zeit, um innerhalb einer Kammer die Vakuumatmosphäre einzustellen. Daher ist es, um die Herstellungseffizienz zu verbessern, notwendig, dass alle Materialien zur Bildung des Substrats, des Schutzfilms, des Aluminium-Reflexionsfilms und des transparenten Schutzfilms in der Kammer untergebracht werden und dann die Kammer evakuiert wird, um die Abscheidung der einzelnen Schichten kontinuierlich durchführen zu können.
Da unterschiedliche Materialien für den Schutzfilm, den Aluminium-Reflexionsfilm und die einzelnen Schichten des transparenten Schutzfilms verwendet werden, ist jedoch bei dem herkömmlichen Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels ein gesonderter Raum zur Unterbringung aller dieser Materialien erforderlich. Ferner müssen Instrumente für das Widerstandsheizabscheidungsverfahren und eine Elektronenkanone vorgesehen werden, was die Abmessung der Kammer vergrößert.
Aus der JP 02-287 301 A ist ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels bekannt, bei dem nacheinander auf ein Substrat

– eine SiO-Schicht,
– eine Aluminium-Schicht als Reflexionsschicht,
– eine die Reflektion erhöhende Schichtanordnung aus dielektrischen Schichten mit niedrigem Brechungsindex und hohem Brechungsindex und
– eine transparente Schutzschicht aus SiO₂

Die DD 299 774 A7 offenbart die Temperaturanhebung des Substrats auf eine Temperatur von 550°K, und dann das Auflagern einer MgF₂-Schicht darauf. In dieser Schrift wird darauf hingewiesen, dass die Schichtfolge MgF₂/CeO₂/SiO₂ bei dielektrischem Schichtsystem üblich ist. Dort ist auch die US 2,647,441 genannt, worin nach dem Abscheidungsprozeß eine MgF₂-Schicht bei 520°K-700°K getempert wird, um deren Stabilität zu verbessern.
Die JP 04-340 905 A offenbart die Temperaturanhebung des den Metallfilm tragenden Substrats auf 300°C, und dann das Auflagern einer MgF₂-Schicht.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels anzugeben, durch das alle Schichten durch das Widerstandsheizabscheidungsverfahren gebildet werden können, während die Abmessung der Produktionsausstattung reduziert werden kann, sowie einen solchen Aluminium-Reflexionsspiegel.
Zur Lösung der Aufgabe wird erfindungsgemäß ein Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1 vorgeschlagen. Hier werden fünf Schichten nacheinander auf ein Glassubstrat von der Glassubstratseite her aufgebracht, wobei das Verfahren umfasst:
einen Schritt der Evakuierung einer Kammer, die das Glassubstrat und die jeweiligen Materialien zur Bildung der fünf Schichten aufnimmt;
einen Schritt der Bildung der ersten Schicht als Schutzfilm durch Abscheiden von SiO auf dem Glassubstrat;
einen Schritt der Bildung der zweiten Schicht als Aluminium-Reflexionsschicht durch Abscheiden von Al auf der ersten Schicht;
einen Schritt der Bildung der dritten Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von MgF₂ auf der zweiten Schicht;
einen Schritt der Bildung der vierten Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von CeO₂ auf der dritten Schicht; und
einen Schritt der Bildung der fünften Schicht als transparente Schutzschicht durch Abscheiden von SiO₂ auf der vierten Schicht, während O₂-Gas in die Kammer eingeführt wird.
Der Schritt der Bildung der dritten Schicht wird derart durchgeführt, dass deren untere Schicht durch Abscheidung mit niederer Temperatur ausgebildet wird und dann deren obere Schicht durch Abscheidung mit höherer Temperatur ausgebildet wird.
Der Schritt des Formens der dritten bzw. vierten Schicht kann umfassen:
einen ersten Schritt der Abscheidung von MgF₂ mit einer Abscheidungstemperatur unter 80°C; und
einen zweiten Schritt der Abscheidung von MgF₂ mit einer Abscheidungstemperatur über 300°C.
Jede der fünf Schichten kann durch das Widerstandsheiz-Abscheidungsverfahren gebildet werden.
Die Erfindung schlägt ferner einen Aluminium-Reflexionsspiegel vor, in dem fünf Schichten nacheinander auf einem Glassubstrat von der Glassubstratseite ausgehend aufgebracht sind, wobei die erste Schicht ein durch SiO-Abscheidung gebildeter Schutzfilm ist, die zweite Schicht ein durch Al-Abscheidung gebildeter Aluminium-Reflexionsfilm ist, die dritte Schicht ein durch MgF₂-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist, die vierte Schicht ein durch CeO₂-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist und die fünfte Schicht ein durch SiO₂-Abscheidung gebildeter transparenter Schutzfilm ist. Die dritte Schicht weist eine zweilagige Struktur auf, die aus einer durch Niedertemperaturabscheidung gebildeten unteren Schicht und einer durch Hochtemperaturabscheidung gebildeten oberen Schicht zusammengesetzt ist.
Die Erfindung wird nun in Ausführungsbeispielen anhand der beigefügten Zeichnungen erläutert. Es zeigen:
1 schematisch die Schichtstruktur des Aluminium-Reflexionsspiegels nach einer Ausführung;
2 ein Flussdiagramm des Prozesses zur Herstellung des Aluminium-Reflexionsspiegels nach der Ausführung;
3 eine Graphik von Reflexionscharakteristiken im sichtbaren Lichtbereich des Aluminium-Reflexionsspiegels nach der Ausführung;
4 eine Graphik von Reflexionscharakteristiken im sichtbaren Lichtbereich eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach einem Vergleichsbeispiel für einen Umwelteinfluss-Beständigkeitstest; und
5 schematisch die Schichtstruktur des Aluminium-Reflexionsspiegels des Vergleichsbeispiels für den Umwelteinfluss-Beständigkeitstest.
1 zeigt schematisch die Schichtstruktur des Aluminium-Reflexionsspiegels nach der erfindungsgemäßen Ausführung.
Wie in 1 gezeigt, umfasst der Aluminium-Reflexionsspiegel nach der erfindungsgemäßen Ausführung ein Glassubstrat 1; eine erste Schicht als Schutzfilm 2, der durch Abscheiden von SiO gebildet ist, eine zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3, der durch Abscheiden von Al gebildet ist, eine dritte Schicht als transparenter Schutzfilm, der durch Abscheiden von MgF₂ gebildet ist, eine vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5, der durch Abscheiden von CeO₂ gebildet ist, sowie eine fünfte Schicht als transparente Schutzschicht 6, die durch Abscheiden von SiO₂ gebildet ist, während O₂-Gas in eine Kammer eingeführt wird, wobei diese Schichten nacheinander in dieser Reihenfolge auf das Glassubstrat 1 aufgebracht sind.
Die einzelnen Schichten haben derartige Dickenwerte, dass dann, wenn die verwendete Lichtwellenlänge λ = 633 nm ist, die erste Schicht als der Schutzfilm 2 eine optische Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ besitzt, die zweite Schicht als der Aluminium-Reflexionsfilm 3 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist, die dritten und vierten Schichten als transparente Schutzfilme 5, 6 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen und die fünfte Schicht als der transparente Schutzfilm 6 eine optische Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ aufweist.
Nun wird in Bezug auf 2 ein Verfahren zur Herstellung des oben erläuterten Aluminium-Reflexionsspiegels erläutert.
2 ist ein Flussdiagramm, das den Herstellungsprozess des Aluminium-Reflexionsspiegels nach dieser Ausführung zeigt.
Zuerst wird bei der Herstellung des Aluminium-Reflexionsspiegels nach dieser Ausführung das Glassubstrat 1 in einer Kammer aufgenommen, und Materialien für die erste Schicht als Schutzfilm 2, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 und die dritten bis fünften Schichten als transparente Schutzschichten 4, 5 und 6 auch darin aufgenommen werden.
Anschließend wird, wie in 2 gezeigt, die Kammer evakuiert (S1), sodass der Druck darin 3 × 10^–5 hPa oder weniger wird (S2). In diesem Zustand werden die erste Schicht als Schutzfilm 2, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 und die dritten bis fünften Schichten als transparente Schutzfilme 4, 5 und 6 nacheinander auf dem Glassubstrat 1 von der Glassubstratseite her unter Verwendung des Widerstandsheizabscheidungsverfahrens ausgebildet.
Zuerst wird SiO mit einer optischen Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ abgeschieden, um die erste Schicht als Schutzfilm 2 auszubilden (S3). Anschließend wird Al mit einer mechanischen Dicke von 100 bis 500 nm auf der ersten Schicht als Schutzfilm 2 abgeschieden, um die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 auszubilden (S4).
Dann wird MgF₂ abgeschieden, sodass es die dritte Schicht als transparente Schutzfilm 4 wird. Hier wird MgF₂ zu Anfang auf der zweiten Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 2 bei einer Abscheidungstemperatur unter 80°C abgeschieden (S5) und dann mit einer Abscheidungsstemperatur höher als 300°C (S6), sodass die optische Filmdicke (1/4) λ wird. Diese Schritte (S5, S6) führen zu im Wesentlichen der gleichen Filmdicke.
Somit wird der transparente Schutzfilm der dritten Schicht der Reihe nach durch eine zweistufige Abscheidung ausgebildet, und zwar für die Abscheidung mit niederer Temperatur in Schritt 5 (S5), um zu verhindern, dass die Reflektivität der zweiten Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 sinkt, und für die Abscheidung höherer Temperatur in Schritt 6 (S6), um den Film zu verfestigen. Ferner wird CeO₂ mit einer optischen Filmdicke von (1/4) λ abgeschieden, um die vierte Schicht als transparenten Schutzfilm 5 zu bilden (S7).
Nachdem die vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5 vollständig ausgebildet ist, wird der Druck in der Kammer auf 3 × 10^–4 hPa gesetzt, wird O₂-Gas eingeführt und wird SiO₂ mit einer optischen Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ abgeschieden, um die fünfte Schicht als den transparenten Schutzfilm 6 auszubilden (S8).
Nun wird die Umwelteinflussbeständigkeit des Aluminium-Reflexionsspiegels dieser Ausführung erläutert.
Es wurde ein Umwelteinflussbeständigkeitstest für den Aluminium-Reflexionsspiegel nach dieser Ausführung und einen herkömmlichen Aluminium-Reflexionsspiegel durchgeführt.
5 ist eine vertikale Schnittansicht des Aluminium-Reflexionsspiegels des Vergleichsbeispiels für den Umwelteinflussbeständigkeitstest.
Wie in 5 gezeigt, umfasst der Aluminium-Reflexionsspiegel des Vergleichsbeispiels ein Glassubstrat 11; eine erste Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 12, der durch Abscheiden von Al gebildet ist; eine zweite Schicht als transparenter Schutzfilm 13, der durch Abscheiden von MgF₂ gebildet ist, sowie eine dritte Schicht als transparenter Schutzfilm 14, der durch Abscheiden von CeO₂ gebildet ist, die in dieser Reihenfolge nacheinander auf das Glassubstrat 11 laminiert werden.
Die einzelnen Schichten haben derartige Dickenwerte, dass dann, wenn die verwendete Wellenlänge λ = 633 nm ist, die erste Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 12 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist und die zweiten und dritten Schichten als transparente Schutzfilme 13, 14 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen.
Hier ist, wie oben erwähnt, die Filmdicke des Aluminium-Reflexionsspiegels dieser Ausführung, der in dem Umwelteinflussbeständigkeitstest verwendet wurde, derart, dass die erste Schicht als Schutzfilm 2 eine optische Filmdicke von (1/4) λ bis (1/2) λ aufweist, die zweite Schicht als Aluminium-Reflexionsfilm 3 eine mechanische Filmdicke von 100 bis 500 nm aufweist, die dritten und vierten Schichten als transparente Schutzfilme 5, 6 jeweils eine optische Filmdicke von (1/4) λ aufweisen und die fünfte Schicht als transparenter Schutzfilm 6 ein optische Filmdicke von (1/8) λ bis (1/16) λ aufweist.
Testpunkte in dem Umwelteinflussbeständigkeitstest sind "Adhäsion" (MIL-C-675C), ein Test auf Abschälbeständigkeit, "Mäßige Abrasion" (MIL-C-675C), ein Test auf Abnutzungsbeständigkeit, "Feuchtigkeit" (MIL-C-675C), ein Test auf Feuchtebeständigkeit, und "Salzsprühnebel" (MIL-C-675C), ein Test auf Salzbeständigkeit.
Die Inhalte der einzelnen Testpunkte sind wie folgt:
In dem Test auf Abschälbeständigkeit wurde ein Cellophanband definierter Breite fest auf der Oberfläche des Reflexionsspiegels angebracht und dann schnell abgezogen, wodurch die Abschälbeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Abnutzungsbeständigkeit wurde die Oberfläche des Reflexionsspiegels 50 Hübe mit einer definierten Größe von Gaze mit einer einwirkenden Last von 1 Pfund abgerieben, wobei die Abnutzungsbeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Feuchtebeständigkeit wurde der Reflexionsspiegel für 24 Stunden in einer Umgebung von 50°C und 95% relativer Feuchte belassen, wobei die Feuchtebeständigkeit untersucht wurde.
In dem Test auf Salzbeständigkeit wurde der Reflexionsspiegel für 24 Stunden in einer Umgebung belassen, in der 5%iges NaCl in eine Atmosphäre von 35°C versprüht wurde, wobei die Salzbeständigkeit untersucht wurde.
Die Ergebnisse der Tests sind in der folgenden Tabelle 1 gezeigt.
Wie aus der oben erwähnten Tabelle 1 ersichtlich, zeigten sowohl der Aluminium-Reflexionsspiegel nach dieser Ausführung als auch jener des Vergleichsbeispiels günstige Ergebnisse in den Tests auf Abschälbeständigkeit, Abnutzungsbeständigkeit und Salzbeständigkeit.
Im Test auf Feuchtebeständigkeit entfärbte sich und alterte jedoch die Spiegelfläche in dem Aluminium-Reflexionsspiegel des Vergleichsbeispiels. Im Gegensatz hierzu zeigte der Aluminium-Reflexionsspiegel dieser Ausführung weder eine Entfärbung noch Alterung auch nach Ablauf von 96 Stunden oder mehr.
Wie oben erwähnt, wird in dem Aluminium-Reflexionsspiegel dieser Ausführung der Schutzfilm 2 aus SiO ausgebildet, um Präzipitate aus dem Glassubstrat 1 zu blockieren und den Aluminium-Reflexionsfilm 3 zu schützen. Dieser SiO-Film ist dichter als der SiO₂-Film, wodurch er noch sicherer Präzipitate aus dem Glassubstrat 1 blockieren und eine Korrosion des Metallreflexionsfilms verhindern kann.
Auch ist die dritte Schicht als transparenter Schutzfilm 4 aus dem MgF₂-Film gebildet, während die vierte Schicht als transparenter Schutzfilm 5 aus dem CeO₂-Film gebildet ist. Da MgF₂ und CeO₂ jeweilige Spannungen aufweisen, die in entgegengesetzte Richtungen weisen, kann die Adhäsion zwischen diesen transparenten Schutzfilmen verbessert werden.
3 zeigt Reflexioncharakteristiken (P-polarisiertes Licht, S-polarisiertes Licht und ihr Mittelwert) im sichtbaren Lichtbereich des Aluminium-Reflexionsspiegels dieser Ausführung, während 4 jene des Reflexionsspiegels nach dem Vergleichsbeispiel zeigt. In den 3 und 4 bezeichnet jeweils die Abszisse die Wellenlänge (nm) vom einfallenden Licht, während die Ordinate die Lichtreflektivität (%) zeigt.
Während der Aluminium-Reflexionsspiegel in dieser Ausführung in der äußersten fünften Schicht den transparenten Schutzfilm 6 aus SiO₂ aufweist, im Vergleich zu dem Aluminium-Reflexionsspiegel nach dem Vergleichsbeispiel, sind die Reflexionscharakteristiken des ersteren günstiger als die des letzteren, wie aus den 3 und 4 ersichtlich.
In dem erfindungsgemäßen Aluminium-Reflexionsspiegel kann die Filmdicke jeder Schicht geeignet geändert werden, ohne auf die oben erwähnten Dicken beschränkt zu sein.
In dem Herstellungsverfahren für einen Aluminium-Reflexionsspiegel und bei dem Aluminium-Reflexionsspiegel der Erfindung ist, wie vorstehend erläutert, ein SiO-Film als erste Schicht gebildet, die als Schutzfilm wirkt, wobei ein Aluminium-Reflexionsfilm als die zweite Schicht ausgebildet ist, ein MgF₂-Film als die dritte Schicht gebildet ist, die als transparenter Schutzfilm wirkt, ein CeO₂-Film als die vierte Schicht gebildet ist, die als ein transparenter Schutzfilm wirkt, und ein SiO₂-Film als die fünfte Schicht gebildet ist, die als transparenter Schutzfilm wirkt. Demzufolge kann die Abscheidung aller Schichten durch das Wärmeheizabscheidungsverfahren erfolgen, ohne teure Elektronenkanonen zu verwenden, wodurch die Ausstattungskosten reduziert werden können.
Da ferner die erste Schicht als Schutzfilm und die fünfte Schicht als transparenter Schutzfilm aus SiO bzw. SiO₂ gebildet sind, die Si als Material aufweisen, können die Arten der in der Kammer untergebrachten Materialien reduziert werden, wodurch die Kammer kleiner ausgeführt werden kann.
Da die Kammer im Anfangsschritt evakuiert wird, während im letzten Schritt O₂ in die Kammer eingeführt wird, können die einzelnen Filmbildungsschritte effizient und kontinuierlich durchgeführt werden, wodurch die Arbeitseffizienz verbessert werden kann. TABELLE 1

* Die Spiegelfläche entfärbt sich und altert nach 24 Stunden im Vergleichsbeispiel, während in der Ausführung auch nach 96 Stunden keine Änderung ersichtlich ist.

In einer Vakuumkammer wird SiO auf einem Glassubstrat 1 abgeschieden, um eine erste Schicht 2 als Schutzfilm zu bilden, wird Al auf der ersten Schicht 2 abgeschieden, um eine zweite Schicht 3 als Aluminium-Reflexionsfilm zu bilden, wird MgF₂ auf der zweiten Schicht 3 abgeschieden, um eine dritte Schicht 4 als transparenten Schutzfilm zu bilden, und wird CeO₂ auf der dritten Schicht 4 abgeschieden, um eine vierte Schicht 5 als transparenter Schutzfilm zu bilden. Dann wird, während in die Kammer O₂-Gas eingeleitet wird, SiO₂ auf der vierten Schicht 5 abgeschieden, um eine fünfte Schicht 6 als transparenter Schutzfilm auszubilden.

Claims

Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels mit fünf übereinander auf einem Glassubstrat (1) aufgebrachten Schichten (2-6) mit folgenden Schritten: – Evakuieren einer Kammer, die das Glassubstrat (1) und die Materialien zur Bildung der fünf Schichten (2-6) aufnimmt, – Abscheiden einer Schutzschicht (2) aus SiO auf das Glassubstrat (1), – Abscheiden einer Aluminium-Reflexionsschicht (3) auf der SiO-Schicht (2), – Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (4) aus MgF₂ auf der Aluminiumschicht (3), – Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (5) aus CeO₂ auf der MgF₂-Schicht (4) und – Abscheiden einer transparenten Schutzschicht (6) aus SiO₂ auf der CeO₂-Schicht unter Einleiten von O₂-Gas in die Kammer, dadurch gekennzeichnet, dass – das Abscheiden der MgF₂-Schicht (4) derart erfolgt, dass eine untere Teilschicht durch Abschneiden bei niedriger Temperatur und eine obere Teilschicht durch Abscheiden bei höherer Temperatur hergestellt wird.
Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Abscheiden der unteren Teilschicht der MgF₂-Schicht (4) bei einer Abscheidungstemperatur unter 80°C und das Abscheiden der oberen Teilschicht MgF₂-Schicht (4) bei einer Abscheidungstemperatur über 300°C erfolgt.
Verfahren zur Herstellung eines Aluminium-Reflexionsspiegels nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Abscheiden der Schichten (2-6) im Rahmen eines Widerstandsheiz-Abscheidungsverfahrens erfolgt.
Aluminium-Reflexionsspiegel, bei dem auf einem Glassubstrat (1) aufeinanderfolgend vom Substrat her eine Schutzschicht (2) aus SiO, eine Aluminium-Reflexionsschicht (3), eine transparente Schutzschicht (4) aus MgF₂, eine transparente Schutzschicht (5) aus CeO₂ und eine transparente Schutzschicht (6) aus SiO₂ aufgebracht sind, dadurch gekennzeichnet, dass die MgF₂-Schicht als zweilagige Schicht ausgebildet ist und aus einer durch Niedertemperaturabscheidung gebildeten unteren Teilschicht und einer durch Hochtemperaturabscheidung gebildeten oberen Teilschicht besteht.
Aluminium-Reflexionsspiegel nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die auf dem Substrat angeordnete SiO-Schicht eine optische Dichte von 1/4 λ bis 1/2 λ, die Aluminium-Reflexionsschicht eine mechanische Dicke von 100 nm bis 500 nm, die MgF₂-Schicht eine optische Dicke von 1/4 λ, die CeO₂-Schicht eine optische Dicke von 1/4 λ und die auf der CeO₂-Schicht angeordnete SiO₂-Schicht eine optische Dicke von 1/8 λ bis 1/16 λ aufweist, wobei die Wellenlänge λ = 633 nm ist.