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Die
Erfindung betrifft einen Reflexionsspiegel zur Verwendung in verschiedenen
optischen Systemen, und spezieller betrifft sie einen Reflexionsspiegel
mit einem Kunststoffsubstrat und einem Reflexionsfilm aus Silber
oder Aluminium.
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Bisher
ist als Reflexionsspiegel zur Verwendung in verschiedenen optischen
Systemen ein solcher mit einem Glassubstrat und einem darauf aufgedampften
Reflexionsfilm aus Silber oder Aluminium bekannt. Insbesondere ist
ein Reflexionsspiegel mit einem Silber-Reflexionsfilm hinsichtlich
des spektralen Reflexionsvermögens
wegen höherer
Reflektivität
im Bereich sichtbaren Lichts und auch hinsichtlich der Polarisationseigenschaften,
im Vergleich zu anderen Reflexionsspiegeln, hervorragend.
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Da
ein Silber-Reflexionsspiegel jedoch geringe Beständigkeit aufweist, wird er
so konfiguriert, dass er über
eine Schutzschicht aus Aluminiumoxid oder dergleichen, die auf dem
Silberfilm hergestellt wird, verfügt. Jedoch besteht bei einem
Silber-Reflexionsspiegel mit einer Schutzschicht das Problem, dass
die Schutzschicht zu einer Beeinträchtigung des spektralen Reflexionsvermögens des
Spiegels führt.
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Zu
Reflexionsspiegeln, die so ausgebildet sind, dass sie das obige
Problem lösen,
gehört
derjenige, wie er z. B. in
JP 105-127004 A offenbart ist. Der in dieser
Veröffentlichung
offenbarte Reflexionsspiegel verfügt über ein Glassubstrat und eine
Schichtstruktur mit einer Silberschicht, einer Aluminiumoxidschicht
und einer dielektrischen Schicht mit hohem Brechungsindex, die in
dieser Reihenfolge auf das Glassubstrat aufgeschichtet sind. Der
Reflexionsspiegel mit dieser Konfiguration zeigt über den
gesamten Bereich sichtbaren Lichts hinweg ein verbessertes spektrales
Reflexionsvermögen.
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Jedoch
wurden in jüngerer
Zeit in weitem Umfang Kunststoffsubstrate anstelle von Glassubstraten
für die
oben beschriebenen Silber- oder Aluminium-Reflexionsspiegel verwendet,
da Kunststoffsubstrate eine wesentliche Verringerung der Kosten
und des Gewichts ermöglichen
und die Herstellung selbst eines großen Substrats oder eines solchen
mit komplizierter Form relativ einfach erlauben (siehe z. B.
JP 08-286007 A ).
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Jedoch
ist ein Kunststoffsubstrat für
Feuchtigkeit durchlässig,
die mit dem als Reflexionsfilm wirkenden Silber oder Aluminium reagieren
kann, so dass es zu einer Korrosion des Silbers oder des Aluminiums
und damit zu einer Verringerung des Reflexionsvermögens des
Reflexionsfilms kommt. Ferner ist ein Kunststoffsubstrat hinsichtlich
der mechanischen Festigkeit oder der Verschleißfestigkeit unzuverlässig, da
die Anhaftung zwischen dem Kunststoffsubstrat und dem darauf ausgebildeten
Film schwächer
als die Anhaftung zwischen einem Glassubstrat und dem darauf hergestellten
Film ist.
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Der
im Dokument
JP 08-286007
A offenbarte Reflexionsspiegel verfügt über dichte Filme aus Aluminiumoxid
oder dergleichen, die auf beiden Flächen des Reflexionsfilms ausgebildet
sind, um eine Beeinträchtigung
desselben zu verhindern und damit die Beständigkeit gegen Umwelteinflüsse zu verbessern.
Jedoch zeigt ein Reflexionsspiegel mit einem dichten Film einen
anderen zu überwindenden
Nachteil, wie eine Verringerung des Reflexionsvermögens, die
allerdings gering ist. Darüber
hinaus ist es erwünscht,
dass die Beständigkeit
von Reflexionsspiegeln gegen Umwelteinflüsse und die Anhaftung weiter
verbessert werden.
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Die
US 5,216,551 A betrifft
einen Oberflächenreflektor,
der eine untere Beschichtung aus einem Oxid, die auf einem Substrat
ausgebildet ist, eine reflektierende Aluminiumschicht, die auf der
Unterbeschichtung aus einem Oxid aufgebracht ist und eine Schutzschicht,
die auf der reflektierenden Schicht ausgebildet ist, aufweist.
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Aus
der
US 6,409,354 B1 ist
ein Polymer-basierender Spiegel bekannt, der aus einem synthetischen thermoplastischen
oder Thermosetharzsubstrat, wie Polymethylacrylat, ausgebildet ist,
das hinsichtlich dem Verziehen und Verformen durch Feuchtigkeit
stabil ist.
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Die
US 4,457,598 A beschreibt
einen Reflektor, der die elektrische Eigenschaften zumindest auf
seiner Oberfläche
zeigt. Eine reflektierende Schicht aus Aluminium ist auf einer Oberfläche des
Grundkörpers
durch Vakuumabscheidung aufgebracht. Eine lichtdurchlässige wasserunlösliche anorganische
Oxidschicht ist auf der Aluminium-Reflexionsschicht ausgebildet.
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Der
Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen praxisgerechten Reflexionsspiegel
mit einem Kunststoffsubstrat zu schaffen, der zwischen dem Reflexionsvermögen und
der Beständigkeit,
die beide hervorragend sein sollen, einen guten Kompromiss schafft.
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Diese
Aufgabe ist durch den Reflexionsspiegel gemäß dem beigefügten Anspruch
1 gelöst.
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Der
erfindungsgemäße Reflexionsspiegel
verfügt
unter anderem über
eine Schichtstruktur auf dem Kunststoffsubstrat, die über den
unteren Film aus Aluminiumoxid (Al2O3), den Reflexionsfilm und den Wasser abstoßenden Film
mit der Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung verfügt. Diese
Konfiguration ermöglicht es,
dass der untere Film im Kunststoffsubstrat enthaltene Feuchtigkeit
ausschließt,
um so zu verhindern, dass diese in den Reflexionsfilm eindringt.
Diese Konfiguration ermöglicht
es auch, dass der Wasser abstoßende Film
den Eintritt von Feuchtigkeit durch die Fläche des Reflexionsspiegels
entgegengesetzt zum Substrat verhindert. Wünschenswerterweise verfügt der untere
Film über
eine körperliche
Filmdicke von nicht weniger als 40 nm und nicht mehr als 200 nm.
Wünschenswerterweise
verfügt
der Wasser abstoßende
Film über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 1 nm und nicht über 10 nm. Der Reflexionsfilm
besteht z. B. aus Silber (Ag) oder Aluminium (Al).
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Beim
erfindungsgemäßen Reflexionsspiegel
verfügt
die Schichtstruktur wünschenswerterweise
ferner über
eine zwischen dem Substrat und dem unteren Film eingebettete Anhaftschicht.
Ferner ist erfindungsgemäß eine zwischen
den Reflexionsfilm und den Wasser abstoßenden Film eingebettete Reflektivitätseinstellschicht
vorgesehen. Wünschenswerterweise
verfügt
die Schichtstruktur ferner über
einen Siliciummonoxid (SiO) enthaltenden Schutzfilm, der zwischen
den Reflexionsfilm und den Wasser abstoßenden Film eingebettet ist
und sich am dichtesten beim Wasser abstoßenden Film befindet.
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Andere
und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der Erfindung werden
aus der folgenden, durch Figuren veranschaulichten Beschreibung
deutlicher werden.
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1 und 2 sind
Schnittansichten, die die jeweilige Konfiguration eines Reflexionsspiegels
zur Erläuterung
zeigen;
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3 ist
eine Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Reflexionsspiegels;
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4 ist
ein Kurvenbild, das das Reflexionsvermögen der in den 1 und 2 dargestellten
Reflexionsspiegel zeigt; und
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5 ist
ein Kurvenbild, das das Reflexionsvermögen des in der 3 dargestellten
Reflexionsspiegels zeigt.
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Erste Ausführungsform, die sich auf Hintergrundinformationen
bezieht
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Als
Erstes erfolgt unter Bezugnahme auf die 1 eine Beschreibung
der Konfiguration und der Funktion eines Reflexionsspiegels gemäß einer
ersten Ausführungsform.
Diese 1 ist eine Schnittansicht, die die Konfiguration
einer Schichtstruktur dieses Reflexionsspiegels zeigt.
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Wie
es in der 1 dargestellt ist, verfügt der Reflexionsspiegel
der ersten Ausführungsform über ein Kunststoffsubstrat 1 und
eine auf diesem hergestellte Schichtstruktur. Die Schichtstruktur 20 beinhaltet:
einen auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellten unteren
Film 2; einen Reflexionsfilm 4, der auf derjenigen
Seite des unteren Films 2 ausgebildet ist, die vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandt
ist; und einen Wasser abstoßenden Film 6,
der auf derjenigen Seite des Reflexionsfilms 4 ausgebildet
ist, die vom unteren Film 2 abgewandt ist.
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Die
Schichtstruktur 20 verfügt
ferner über
eine Anhaftschicht 3 zwischen dem unteren Film 2 und
dem Reflexionsfilm 4 sowie eine Reflektivitätseinstellschicht 5 zwischen
dem Reflexionsfilm 4 und dem Wasser abstoßenden Film 6.
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Das
Kunststoffsubstrat 1 besteht z. B. aus einem Polyolefin-Kunststoff.
Wünschenswerterweise
wird zumindest die Schichtstruktur-Herstellfläche 1A, auf der der
untere Film 2 herzustellen ist, einem Ionenbeschuss unterzogen.
Wünschenswerterweise
wird die Schichtstruktur-Herstellfläche 1A für ungefähr 20 Minuten
unter Verwendung von Argon (Ar) oder Stickstoff (N2)
einem Ionenbeschuss unterzogen. Der Ionenbeschuss erfolgt aus dem
folgenden Grund: er erlaubt ein Entfernen von Verunreinigungen von
der Fläche 1A, um
so dieselbe mit einer gewünschten
Oberflächenrauigkeit
zu versehen, um dadurch die Anhaftung zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und
der auf diesem hergestellten Schichtstruktur 20 zu verbessern.
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Da
der untere Film 2 aus Aluminiumoxid (Al2O3) über
geringe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit
verfügt, kann
er Feuchtigkeit ausschließen.
Ferner verfügt
das Aluminiumoxid für
sich über
geringe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit.
Daher wirkt der untere Film 2 so, dass er verhindert, dass
das Kunststoffsubstrat 1 durchdringende Feuchtigkeit in
die Anhaftschicht 3 oder den Reflexionsfilm 4 eindringt.
Vorzugsweise verfügt
der untere Film 2 über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 40 nm und nicht über 200 nm. Der Grund dafür ist der
folgende. Ein unterer Film 2 mit einer körperlichen
Filmdicke von 40 nm kann externe Feuchtigkeit mit höherer Zuverlässigkeit
ausschließen,
und ein unterer Film 2 mit einer körperlichen Filmdicke von 200
nm oder weniger kann eine Beeinträchtigung der Festigkeit verhindern,
da er keine internen Spannungen fördert. Bevorzugter verfügt der untere
Film 2 über
eine körperliche
Filmdicke von 100 nm.
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Die
Anhaftschicht 3 verfügt über eine
Zweischichtstruktur mit einem Chrom(Cr)film 31 und einem
Kupfer(Cu)film 32, die in dieser Reihenfolge auf dem unteren
Film 2 ausgebildet sind. Vorzugsweise verfügt der Chromfilm 31 über eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 5 nm und nicht über 15 nm und bevorzugter von
10 nm. Vorzugsweise verfügt
der Kupferfilm 32 über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 10 nm und nicht über 40 nm und bevorzugter von
30 nm. Die Anhaftschicht 3 wirkt so, dass sie die Haftfähigkeit
zwischen dem unteren Film 2 und dem Reflexionsfilm 4 verstärkt.
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Der
Reflexionsfilm 4 besteht z. B. aus Silber (Ag), so dass
er einfallendes Licht mit hohem Reflexionsvermögen reflektieren kann. Vorzugsweise
verfügt
der Reflexionsfilm 4 über eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 80 nm und nicht über 200 nm und bevorzugter
von 100 nm.
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Die
Reflektivitätseinstellschicht 5 ist
eine dielektrische Schicht mit hohem Brechungsindex, die nicht nur
die Beständigkeit
des Reflexionsfilms 4 verbessert, sondern auch das Reflexionsvermögen desselben.
Genauer gesagt, verfügt
die Reflektivitätseinstellschicht 5 über eine
Dreischichtstruktur mit einem Aluminiumoxidfilm 51, einem
Zirkoniumoxid(ZrO2)film 52 und
einem Siliciumdioxid(SiO2)film 53,
die in dieser Reihenfolge auf den Reflexionsfilm 4 aufgeschichtet
sind. Da der Aluminiumoxidfilm 51 über geringe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit
und hervorragende mechanische Festigkeit verfügt, wirkt er so, dass er verhindert,
dass Feuchtigkeit den Reflexionsfilm 4 erreicht und dass
er diesen vor externen mechanischen Kräften schützt. Der Zirkoniumoxidfilm 52 verfügt über hervorragende
mechanische Festigkeit, und er zeigt einen relativ hohen Brechungsindex.
Ferner zeigt der Siliciumdioxidfilm 53 hervorragende Abriebbeständigkeit
und wirkt so als Schutzfilm zum Schützen des Zirkoniumoxidfilms 52,
des Aluminiumoxidfilms 51 und des Reflexionsfilms 4.
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Der
Wasser abstoßende
Film 6 besteht aus einer Fluor und Silicium enthaltenden
Verbindung wie OF-110 (kommerziell von Optron Ltd. erhältlich)
oder WR2 (kommerziell von Merck & Co.,
Inc. erhältlich),
und so zeigt er hervorragende Feuchtigkeitsbeständigkeit und Salzwasser-Beständigkeit,
wodurch er die Funktion hat, zu verhindern, dass externe Feuchtigkeit
oder dergleichen in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Vorzugsweise verfügt der Wasser
abstoßende
Film 6 über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 1 nm und nicht über 10 nm. Der Grund ist der
folgende. Ein Wasser abstoßender
Film 6 mit einer körperlichen
Filmdicke von 1 nm oder mehr reicht dazu aus, das Eindringen von
externer Feuchtigkeit oder dergleichen zu verhindern, und ein solcher
mit einer körperlichen
Filmdicke von 10 nm oder weniger führt zu keiner Beeinträchtigung
des spektralen Reflexionsvermögens,
da er keinen Effekt hierauf hat. Bevorzugter verfügt der Wasser
abstoßende
Film 6 über eine
körperliche
Filmdicke von 5 nm.
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Als
Nächstes
erfolgt unter Bezugnahme auf die 1 eine Beschreibung
eines Herstellverfahrens für den
Reflexionsspiegel der ersten Ausführungsform.
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Als
Erstes wird das Kunststoffsubstrat 1 bereitgestellt, und
die Oberfläche
desselben, auf der der untere Film 2 herzustellen ist (d.
h. die Schichtstruktur-Herstellfläche 1A), wird einem
Ionenbeschuss unterzogen, der unter Verwendung von Argon (Ar) oder
Stickstoff (N2) für ungefähr 20 Minuten erfolgt.
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Das
Kunststoffsubstrat 1, das dem Ionenbeschuss unterzogen
wurde, wird an einem Halter (nicht dargestellt) befestigt, und es
wird in eine Vakuumkammer (nicht dargestellt) eingeführt und
an einer vorbestimmten Position in dieser fixiert. Dann wird die
Vakuumkammer ohne Heizvorgang auf ungefähr 1,3 × 10–4 Pa
abgepumpt und in diesem Zustand gehalten.
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Dann
wird der untere Film 2 auf der mit Ionen beschossenen Oberfläche des
Kunststoffsubstrats 1 unter Verwendung von Aufdampfen im
Vakuum hergestellt. Wenn bei Elektronenstrahlaufdampfung (d. h.
einer Aufdampfung im Vakuum unter Verwendung eines von einer Elektronenkanone
emittierten Elektronenstrahls zum Erwärmen einer Verdampfungsquelle)
als Vakuum-Aufdampfung verwendet wird, wird die Versorgungsspannung
auf z. B. 5 kV eingestellt, und die Strahlstromstärke der
Elektronenkanone wird auf z. B. 300 mA eingestellt.
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Dann
wird die Anhaftschicht 3 mittels eines Prozesses hergestellt,
bei dem der Chromfilm 31 unter Verwendung von Elektronenstrahl-Aufdampfung
auf der unteren Schicht 2 hergestellt wird und dann der
Kupferfilm 32 unter Verwendung von Widerstandsheizungs-Aufdampfung
auf dem Chromfilm 31 hergestellt wird.
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Dann
wird der Reflexionsfilm 4 aus Silber unter Verwendung von
z. B. Widerstandsheizungs-Aufdampfung auf dem Kupferfilm 32 hergestellt.
Anschließend
wird die Reflektivitätseinstellschicht 5 mit
der genannten Dreischichtstruktur dadurch hergestellt, dass der
Aluminiumoxidfilm 51, der Zirkoniumoxidfilm 52 und
der Siliciumdioxidfilm 53 in dieser Reihenfolge unter Verwendung
von z. B. Elektronenstrahl-Aufdampfung auf den Reflexionsfilm 4 aufgeschichtet
werden.
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Abschließend wird
der Wasser abstoßende
Film 6 z. B. durch Widerstandsheizungs-Aufdampfung so hergestellt,
dass er den Siliciumdioxidfilm 53 bedeckt. So wird der
Reflexionsspiegel durch die oben beschriebenen Prozesse fertig gestellt. Übrigens
ist es wünschenswert,
dass die Temperatur des Kunststoffsubstrats 1 für die oben
genannten Vakuum-Aufdampfungen auf ungefähr 50° oder weniger gehalten wird.
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Als
Nächstes
wird unter Bezugnahme auf die 1 eine Beschreibung
hinsichtlich der Funktion des Reflexionsspiegels der ersten Ausführungsform
vorgenommen.
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Das
Kunststoffsubstrat 1 verfügt über hohe Feuchtigkeitsabsorption
und ferner hohe Durchlässigkeit für Feuchtigkeit.
Demgemäß könnte Feuchtigkeit
in den Reflexionsfilm 4 eindringen und diesen verfärben oder korrodieren.
Da der untere Film 2 jedoch eine geringe Feuchtigkeitabsorption
und auch geringe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit
zeigt, wirkt er als Abschirmschicht zum Ausschließen von
Feuchtigkeit, wodurch er verhindert, dass das Kunststoffsubstrat 1 durchdringende
Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Darüber hinaus
wird ein Ionenbeschuss unter Verwendung von Argon (Ar) oder Stickstoff
(N2) dazu verwendet, Verunreinigungen von
der Oberfläche
des Kunststoffsubstrats 1 zu entfernen, auf der der untere
Film 2 herzustellen ist, so dass es über eine gewünschte Oberflächenrauigkeit
verfügt,
was die Haftung zwischen ihm und der Schichtstruktur 20 verbessert.
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Der
Wasser abstoßende
Film 6 verhindert, dass Feuchtigkeit, insbesondere Salzwasser
mit Metallkorrosionseigenschaften, durch die Oberfläche des
Reflexionsspiegels in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Darüber hinaus
zeigt der Wasser abstoßende
Film 6 hervorragende Abriebfestigkeit und wirkt so als
Schutzfilm zum Schützen
der Reflektivitätseinstellschicht 5 und
des Reflexionsfilms 4, die auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellt
sind.
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Die
Anhaftschicht 3 wirkt dahingehend, die Haftung zwischen
dem unteren Film und dem Reflexionsfilm 4 zu verstärken, um
dadurch zu verhindern, dass sich der Reflexionsfilm 4 vom
unteren Film 2 abschält. Die
Reflektivitätseinstellschicht 5 verbessert
die Beständigkeit
und das Reflexionsvermögen
des Reflexionsfilms 4. Genauer gesagt, verhindert der Aluminiumoxidfilm 51,
der auf der vom Kunststoffsubstrats abgewandten Seite des Reflexionsfilms 4 ausgebildet
ist, dass Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt,
und somit schützt
er den Reflexionsfilm 4, um dessen Beständigkeit zu verbessern. Der
Zirkoniumoxidfilm 52 verbessert die Beständigkeit
und das Reflexionsvermögen
des Reflexionsfilms 4. Ferner schützt der Siliciumdioxidfilm 53 den
Zirkoniumoxidfilm 52, den Aluminiumoxidfilm 51 und
den Reflexionsfilm 4, um dadurch die mechanische Festigkeit
des Reflexionsspiegels zu verbessern.
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Wie
oben beschrieben, verfügt
der Reflexionsspiegel gemäß der ersten
Ausführungsform über das Kunststoffsubstrat 1 und die
auf diesem hergestellte Schichtstruktur 20. Die Schichtstruktur 20 verfügt über den unteren
Film 2 aus Aluminiumoxid, der auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellt
wird, und den Reflexionsfilm 4, der auf dem unteren Film 2 hergestellt
wird, wobei sich dazwischen die Anhaftschicht 3 befindet.
Die Konfiguration ermöglicht
es, zu verhindern, dass das Kunststoffsubstrat 1 durchdringende
Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Demgemäß erfährt der
Reflexionsfilm 4 keine Korrosion, so dass es möglich ist,
einen Reflexionsspiegel mit hervorragender Beständigkeit zu erhalten, d. h.
mit Feuchtigkeitsbeständigkeit
und mechanischer Festigkeit, während
ein hervorragendes Reflexionsvermögen erhalten bleibt. Insbesondere
dann, wenn der untere Film 2 über eine körperliche Filmdicke nicht unter
40 nm und nicht über
200 nm verfügt,
hat er die Funktion des Ausschließens von Feuchtigkeit mit höherer Zuverlässigkeit,
und er kann auch die internen Spannungen des unteren Films minimieren.
Dies ermöglicht
es, einen Reflexionsspiegel zu erhalten, der noch bessere Feuchtigkeitbeständigkeit
und mechanische Festigkeit zeigt.
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Ferner
verfügt
die Schichtstruktur 20 über
den Wasser abstoßenden
Film 6 mit der Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung.
Diese Konfiguration ermöglicht
es, das Eindringen von Feuchtigkeit, insbesondere von Salzwasser
mit Metallkorrosionseigenschaften, durch die Oberfläche des
Reflexionsspiegels auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten
Seite zu verhindern. Diese Konfiguration ermöglicht es auch, eine Beeinträchtigung
des Reflexionsvermögens
aufgrund einer Abnutzung der Oberfläche des Reflexionsspiegels
zu verhindern. Daher zeigt der Reflexionsspiegel eine bessere Feuchtigkeitsbeständigkeit,
Salzwasserbeständigkeit
und Lebensdauer. Insbesondere dann, wenn der Wasser abstoßende Film 6 eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 1 nm und nicht über 10 nm aufweist, ist es
möglich,
einen Reflexionsspiegel mit hervorragender Feuchtigkeitsbeständigkeit,
Salzwasserbeständigkeit
und Lebensdauer zu erzielen, während
ein hervorragendes Reflexionsvermögen erhalten bleibt.
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Darüber hinaus
beinhaltet das Herstellverfahren für den Reflexionsspiegel gemäß der ersten
Ausführungsform
den Schritt des Reinigens der Oberfläche des Kunststoffsubstrats 1 durch
einen Ionenbeschuss unter Verwendung von Argon (Ar) oder Stickstoff
(N2) sowie den Schritt des Herstellens der
Schichtstruktur 20 auf dem Kunststoffsubstrat 1.
Demgemäß kann die
Haftung zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und der Schichtstruktur 20 verbessert
werden. Daher kann ein Reflexionsspiegel mit hervorragender Lebensdauer
erhalten werden.
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Zweite
Ausführungsform,
die sich auf Hintergrundinformationen bezieht Als Nächstes erfolgt
eine Beschreibung hinsichtlich der Konfiguration und der Funktion
eines Reflexionsspiegels gemäß einer
zweiten Ausführungsform.
Nachfolgend werden Teile, die im Wesentlichen mit Bauteilen der
oben beschriebenen ersten Ausführungsform übereinstimmen,
mit denselben Bezugszahlen gekennzeichnet, und die Beschreibung
derselben wird weggelassen, wo dies zweckdienlich ist.
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Der
Reflexionsspiegel der zweiten Ausführungsform ist so konfiguriert,
dass er ferner über
einen Schutzfilm verfügt,
der zwischen den Reflexionsfilm und den Wasser abstoßenden Film
eingebettet ist und sich am dichtesten beim letzteren befindet,
zusätzlich
zur Konfiguration des Reflexionsspiegels der oben beschriebenen
ersten Ausführungsform.
Nachfolgend wird der Reflexionsspiegel dieser zweiten Ausführungsform
anhand der 2 speziell beschrieben.
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Wie
es in der 2 dargestellt ist, verfügt der Reflexionsspiegel
der zweiten Ausführungsform über das
Kunststoff substrat 1 und eine auf diesem hergestellte
Schichtstruktur 21. Die Schichtstruktur 21 verfügt über den
unteren Film 2; den Reflexionsfilm 4 aus Silber,
der auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten Seite
des unteren Films 2 ausgebildet ist; und den Wasser abstoßenden Film 6 mit
der Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung, der auf der vom
unteren Film 2 abgewandten Seite des Reflexionsfilms 4 ausgebildet ist.
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Die
Schichtstruktur 21 verfügt
ferner über
die Anhaftschicht 3 zwischen dem unteren Film 2 und
dem Reflexionsfilm 4 sowie die Reflektivitätseinstellschicht 5 und
einen Schutzfilm 7, die zwischen den Reflexionsfilm 4 und
den Wasser abstoßenden
Film 6 eingebettet sind und in der Reihenfolge der Reflektivitätseinstellschicht 5,
des Schutzfilms 7 und des Wasser abstoßenden Films 6 auf
den Reflexionsfilm 4 aufgeschichtet sind.
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Der
Schutzfilm 7, der als Hauptkomponente Siliciummonoxid (SiO)
enthält,
wird z. B. durch Aufdampfen im Vakuum hergestellt, und so zeigt
er hervorragende Abriebfestigkeit (d. h.) Lebensdauer. Ferner zeigt
der den Schutzfilm 7 enthaltende Reflexionsspiegel höheres Reflexionsvermögen als
ein solcher ohne denselben, da der Brechungsindex von Siliciummonoxid
höher als
derjenige von Siliciumdioxid ist. Vorzugsweise verfügt der Schutzfilm 7 über eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 5 nm und nicht über 20 nm. Der Grund ist der
folgende. Ein Schutzfilm 7 mit einer Dicke über 20 nm
kann einfallendes Licht absorbieren und so zu einer Beeinträchtigung
des Reflexionsvermögens
führen,
während
ein solcher mit einer Dicke unter 5 nm keine ausreichende Abriebfestigkeit
herbeiführen
kann. Bevorzugter weist der Schutzfilm 7 eine körperliche
Filmdicke von 10 nm auf, da dadurch ein guter Kompromiss zwischen
dem Reflexionsvermögen
und der Abriebfestigkeit, die dann beide hervorragend sind, gebildet
ist.
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Wie
oben beschrieben, verfügt
der Reflexionsspiegel gemäß der zweiten
Ausführungsform
ferner über den
Schutzfilm 7, der zwischen den Reflexionsfilm 4 und
den Wasser abstoßenden
Film 6 eingebettet ist und am dichtesten beim Wasser abstoßenden Film 6 liegt,
zusätzlich
zur Konfiguration des Reflexionsspiegels der obigen ersten Ausführungsform.
Diese Konfiguration erlaubt es, eine höhere mechanische Festigkeit
zu erzielen, wodurch die Zuverlässigkeit
des Reflexionsspiegels verbessert ist. So ist es weniger wahrscheinlich,
dass der Reflexionsspiegel Schäden
erleidet, z. B. dann, wenn ein Benutzer versehentlich seine Oberfläche berührt. Ferner
zeigt ein Reflexionsspiegel mit einem Schutzfilm 7 ein
besseres Reflexionsvermögen.
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Dritte Ausführungsform
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Als
Nächstes
erfolgt eine Beschreibung hinsichtlich der Konfiguration und der
Funktion eines erfindungsgemäßen Reflexionsspiegels
gemäß einer
dritten Ausführungsform.
Nachfolgend werden Teile, die im Wesentlichen mit den Bauteilen
der oben beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsform übereinstimmen, mit denselben
Bezugszeichen gekennzeichnet, und die zugehörige Beschreibung wird weggelassen,
wo dies zweckdienlich erscheint.
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Beim
Reflexionsspiegel der dritten Ausführungsform wird für den Reflexionsfilm
Aluminium (Al) verwendet, wohingegen bei den Reflexionsspiegeln
der oben beschriebenen ersten und zweiten Ausführungsform hierfür Silber
verwendet wurde. Nachfolgend wird der Reflexionsspiegel der dritten
Ausführungsform
anhand der 3 spezieller beschrieben.
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Wie
es in der 3 dargestellt ist, verfügt der Reflexionsspiegel
der dritten Ausführungsform über das Kunststoffsubstrat 1 und
eine auf diesem hergestellte Schichtstruktur 22. Die Schichtstruktur 22 verfügt über den
unteren Film 2; den Reflexionsfilm 4, der auf
der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten Seite des unteren Films 2 ausgebildet
ist; und den Wasser abstoßenden
Film 6 mit einer Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung,
der auf der vom unteren Film 2 abgewandten Seite des Reflexionsfilms 4 ausgebildet
ist.
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Die
Schichtstruktur 22 verfügt
ferner über
die Anhaftschicht 3 zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und dem
unteren Film 2 sowie die Reflektivitätseinstellschicht 5 zwischen
dem Reflexionsfilm 4 und dem Wasser abstoßenden Film 6.
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Die
Anhaftschicht 3 besteht z. B. aus Chrom (Cr), und sie verfügt über eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 5 nm und nicht über 15 nm und bevorzugter von
10 nm. Die Anhaftschicht 3 stärkt die Haftung zwischen dem
Kunststoffsubstrat 1 und dem unteren Film 2.
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Der
Reflexionsfilm 4 besteht aus Aluminium (Al), und so kann
er einfallendes Licht mit hohem Reflexionsvermögen reflektieren. Vorzugsweise
verfügt
der Reflexionsfilm 4 über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 80 nm und nicht über 200 nm und bevorzugter
von 100 nm.
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Die
Reflektivitätseinstellschicht 5 verfügt über eine
Vierschichtstruktur mit dem Aluminiumoxid(Al2O3)film 51, einem Magnesiumfluorid(MgF2)film 54, einem Cerdioxid(CeO2)film 55 und dem Siliciumdioxid(SiO2)film 53, die in dieser Reihenfolge
auf den Reflexionsfilm 4 aufgeschichtet sind. Da der Aluminiumoxidfilm 51 geringe
Feuchtigkeitsdurchlässigkeit
und hervorragende mechanische Festigkeit zeigt, wirkt er so, dass
er verhindert, dass Feuchtigkeit den Reflexionsfilm 4 erreicht,
und er schützt
diesen gegen äußere mechanische Kräfte. Vorzugsweise
verfügt
der Aluminiumoxidfilm 51 über eine körperliche Filmdicke nicht unter 20
nm und nicht über
60 nm und bevorzugter über
40 nm. Der Magnesiumfluoridfilm 54 und der Cerdioxidfilm 55 zeigen
den Effekt einer Erhöhung
des Reflexionsvermögens.
Vorzugsweise verfügt
der Magnesiumfluoridfilm 54 über eine körperliche Filmdicke von nicht
unter 20 nm und nicht über
60 nm und bevorzugter von 50 nm. Vorzugsweise verfügt der Cerdioxidfilm 55 über eine
körperliche
Filmdicke nicht unter 15 nm und nicht über 50 nm und bevorzugter von
40 nm. Ferner zeigt der Siliciumdioxidfilm 53 hervorragende
Abriebfestigkeit und wirkt so als Schutzfilm zum Schützen des
Reflexionsfilms 4, des Aluminiumoxidfilms 51,
des Magnesiumfluoridfilms 54 und des Cerdioxidfilms 55.
Vorzugweise verfügt
der Siliciumdioxidfilm 53 über eine körperliche Filmdicke nicht unter
20 nm und nicht über
70 nm und bevorzugter von 50 nm. Wenn die oben genannten körperlichen
Filmdicken des Aluminiumoxidfilms 51, des Magnesiumfluoridfilm 54,
des Cerdioxidfilms 55 und des Siliciumdioxidfilms 53 unter
den jeweiligen Untergrenzen liegen, können diese Filme die oben genannten
Effekte und Funktionen nicht ausreichend erzielen. Andererseits
absorbieren die genannten Filme 51, 54, 55 und 53,
wenn ihre körperlichen
Filmdicken über
den jeweiligen Obergrenzen liegen, übermäßig viel sichtbares Licht,
so dass kein ausreichendes Reflexionsvermögen erzielt werden kann.
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Der
Wasser abstoßende
Film 6 besteht aus einer Fluor und Silicium enthaltenden
Verbindung wie OF-110 (kommerziell von Optron Ltd. erhältlich)
oder WR2 (kommerziell von Merck & Co.,
Inc. erhältlich),
wie im Fall der ersten und zweiten Ausführungsform, die oben beschrieben
wurden.
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Als
Nächstes
erfolgt unter Bezugnahme auf die 3 eine Beschreibung
hinsichtlich des Herstellverfahrens für den Reflexionsspiegel gemäß der dritten
Ausführungsform.
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Als
Erstes wird das Kunststoffsubstrat 1 bereit gestellt, und
es wird an einem Halter (nicht dargestellt) angebracht und in eine
Vakuumkammer (nicht dargestellt) eingeführt, in der es an einer vorbestimmten
Position fixiert wird. Bei der dritten Ausführungsform ist für die Schichtstruktur-Herstellfläche 1A des
Kunststoffsubstrats 1 kein Ionenbeschuss erforderlich.
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Dann
wird die Vakuumkammer ohne Erwärmung
auf ungefähr
1,3 × 10–4 Pa
evakuiert und in diesem Zustand gehalten.
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Dann
wird die Anhaftschicht 3 durch Aufdampfen im Vakuum, wie
Elektronenstrahl-Aufdampfen, auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellt.
Danach wird die untere Schicht 2 unter Verwendung von z.
B. Elektronenstrahl-Aufdampfung auf der Anhaftschicht 3 hergestellt.
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Dann
wird der Reflexionsfilm 4 aus Aluminium unter Verwendung
von z. B. Widerstandsheizungs-Aufdampfung auf dem unteren Film 2 hergestellt.
Anschließend
wird die Reflektivitätseinstellschicht 5 mit
der Vierschichtstruktur dadurch hergestellt, dass der Aluminiumoxidfilm 51,
der Magnesiumfluoridfilm 54, der Cerdioxidfilm 55 und
der Siliciumdioxidfilm 53 in dieser Reihenfolge unter Verwendung
von z. B. Elektronenstrahl-Aufdampfung auf dem Reflexionsfilm 4 aufgeschichtet
werden. Es ist wünschenswert,
dass der Siliciumdioxidfilm 53 durch ein Verfahren hergestellt
wird, zu dem Folgendes gehört:
Erwärmen
von Siliciummonoxid, das als Verdampfungsquelle verwendet wird,
durch einen Elektronenstrahl oder dergleichen und Oxidieren des
Siliciummonoxids in einer Sauerstoffatmosphäre (O2),
um dadurch Siliciumdioxid abzuscheiden. Der Grund ist der folgende.
Beim durch das oben genannte Herstellverfahren hergestellten Siliciumdioxidfi1m 53 ist
insbesondere die Abriebfestigkeit verbessert.
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Schließlich wird
der Wasser abstoßende
Film 6 z. B. unter Verwendung von Widerstandsheizungs-Aufdampfung
so hergestellt, dass er den Siliciumdioxidfilm 53 der Reflektivitätseinstellschicht 5 bedeckt.
So wird der Reflexionsspiegel durch die oben beschriebenen Prozesse
fertig gestellt. Übrigens
ist es wünschenswert, dass
die oben genannten Aufdampfvorgänge
im Vakuum so ausgeführt
werden, dass die Temperatur des Kunststoffsubstrats 1 auf
ungefähr
50° oder
weniger gehalten wird.
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Als
Nächstes
erfolgt unter Bezugnahme auf die 3 eine Beschreibung
der Funktion des Reflexionsspiegels der dritten Ausführungsform.
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Das
Kunststoffsubstrat 1 verfügt über eine hohe Feuchtigkeitsabsorption
und ferner hohe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit.
So kann Feuchtigkeit dazu führen,
dass sich der Reflexionsfilm 4 verfärbt oder korrodiert. Da der
untere Film 2 jedoch geringe Feuchtigkeitsabsorption und
auch geringe Durchlässigkeit
für Feuchtigkeit zeigt,
wirkt er als Abschirmungsschicht zum Ausschließen von Feuchtigkeit, so dass
er verhindert, dass das Kunststoffsubstrat 1 und die Anhaftschicht 3 durchdringende
Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Darüber hinaus
verbessert die Anhaftschicht 3 die Haftung zwischen dem
Kunststoffsubstrat 1 und der Schichtstruktur 22,
ohne dass es erforderlich wäre,
einen Prozess wie einen Ionenbeschuss unter Verwendung von Argon
(Ar) oder Stickstoff (N2), auszuführen.
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Darüber hinaus
verbessert die Reflektivitätseinstellschicht 5 die
Beständigkeit
und das Reflexionsvermögen
des Reflexionsfilms 4. Genauer gesagt, verhindert der Aluminiumoxidfilm 51,
der auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten Seite
des Reflexionsfilms 4 ausgebildet ist, ein Eindringen von Feuchtigkeit
in den Reflexionsfilm 4, und er schützt diesen, um dadurch dessen
Lebensdauer zu verbessern. Der Magnesiumfluoridfilm 54 und
der Cerdioxidfilm 55 verbessern das Reflexionsvermögen (das
Reflexionsvermögen
im Bereich sichtbaren Lichts) des Reflexionsfilms 4. Darüber hinaus
schützt
der Siliciumdioxidfilm 53 den Reflexionsfilm 4,
den Aluminiumoxidfilm 51, den Magnesiumfluoridfilm 54,
den Cerdioxidfilm 55 und dergleichen, um dadurch die mechanische
Festigkeit des Reflexionsspiegels zu verbessern.
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Der
Wasser abstoßende
Film 6 verhindert, dass Feuchtigkeit, insbesondere Salzwasser
mit Metallkorrosionseigenschaften, durch die Oberfläche des
Reflexionsspiegels in den Reflexionsfilm 4 eindringt. Darüber hinaus
zeigt der Wasser abstoßende
Film 6 hervorragende Abriebfestigkeit und wirkt so als
Schutzfilm zum Schützen
der Reflektivitätseinstellschicht 5 und
des auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellten Reflexionsfilms 4.
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Wie
oben beschrieben, verfügt
der Reflexionsspiegel gemäß der dritten
Ausführungsform über das Kunststoffsubstrat 1 und
die auf diesem hergestellte Schichtstruktur 22. Die Schichtstruktur 22 verfügt über den unteren
Film 2 aus Aluminiumoxid, der auf dem Kunststoffsubstrat 1 so
hergestellt ist, dass sich dazwischen die Anhaftschicht 3 befindet;
und dem Reflexionsfilm 4 aus Aluminium, der auf dem unteren
Film 2 hergestellt ist. Diese Konfiguration ermöglicht es,
zu verhindern, dass das Kunststoffsubstrat 1 durchdringende
Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt, während für hohe Haftung
zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und der Schichtstruktur 22 gesorgt
ist. Die Schichtstruktur 22 verfügt ferner über die Reflektivitätseinstellschicht 5 mit dem
Magnesiumfluoridfilm 54 und dem Cerdioxidfilm 55,
die auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten Seite
des Reflexionsfilms 4 ausgebildet sind. Diese Konfiguration
erlaubt eine Verbesserung der Lebensdauer und des Reflexionsvermögens des
Reflexionsfilms 4. Demgemäß erfährt der Reflexionsfilm 4 keine
Korrosion, so dass es möglich
ist, einen Reflexionsspiegel mit hervorragender Lebensdauer, d.
h. hoher Feuchtigkeitsbeständigkeit
und mechanischer Festigkeit, zu erzielen, während er hervorragendes Reflexionsvermögen zeigt.
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Ferner
verfügt
die Schichtstruktur 22 über
den Wasser abstoßenden
Film 6 mit der Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung.
Diese Konfiguration erlaubt es, das Eindringen von Feuchtigkeit,
insbesondere Salzwasser mit Metallkorrosionseigenschaften, durch
die Oberfläche
des Reflexionsspiegels auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten
Seite zu verhindern. Diese Konfiguration ermöglicht es auch, eine Beeinträchtigung
des Reflexionsvermögens
aufgrund einer Abnutzung der Oberfläche des Reflexionsspiegels
zu verhindern. Daher kann ein Reflexionsspiegel mit besserer Feuchtigkeitsbeständigkeit,
Salzwasserbeständigkeit
und Lebensdauer erhalten werden.
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Bei
der dritten Ausführungsform
wird der Siliciumdioxidfilm 53 durch ein Verfahren hergestellt,
zu dem es gehört,
Siliciummonoxid, das als Verdampfungsquelle verwendet wird, zu erwärmen und
es in einer Sauerstoffatmosphäre
zu oxidieren, um dadurch Siliciumdioxid aufzudampfen. So kann die
Abriebfestigkeit weiter verbessert werden.
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Der
Reflexionsspiegel der dritten Ausführungsform kann ferner über den
Siliciummonoxid enthaltenden Schutzfilm verfügen, der zwischen de Reflexionsfilm 4 und
de Wasser abstoßenden
Film 6 eingebettet ist und am dichtesten beim Wasser abstoßenden Film 6 liegt
(d. h. zwischen der Reflektivitätseinstellschicht 5 und dem
Wasser abstoßenden
Film 6), auf dieselbe Weise wie beim Reflexionsspiegel
der oben beschriebenen zweiten Ausführungsform. In diesem Fall
ist die Abriebfestigkeit weiter verbessert.
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Beispiele
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Als
Nächstes
erfolgt eine Beschreibung hinsichtlich spezieller Beispiele der
Erfindung.
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Es
wurden dieselben Reflexionsspiegel, wie sie in den
1 bis
3 dargestellt
sind, auf die oben beschriebenen Weisen hergestellt, und es wurden
an ihnen Umgebungstests ausgeführt.
Die Tabelle 1 zeigt die Testergebnisse. Jedes der Beispiele 1 und
2 entspricht einem Reflexionsspiegel der ersten Ausführungsform
mit der in der
1 dargestellten Schichtstruktur
20,
das Beispiel 3 entspricht dem Reflexionsspiegel der zweiten Ausführungsform
mit der in der
2 dargestellten Schichtstruktur
21,
und das Beispiel 4 entspricht dem Reflexionsspiegel der dritten
Ausführungsform
mit der in der
3 dargestellten Schichtstruktur
22.
Dieselben Tests wurden auch an herkömmlichen Reflexionsspiegeln
ausgeführt,
von denen keiner den unteren Film aus Aluminiumoxid und den Wasser
abstoßenden
Film enthielt, und die Testergebnisse sind in der Tabelle gemeinsam
mit den Testergebnissen zu den Beispielen 1 bis 4 als Vergleichsbeispiele
angegeben. Tabelle 1
| Substratmaterial | Adhäsionstest | Abriebtest | Feuchtigkeitsbeständigkeitstest | Salzwasser-Eintauchtest | Salzsprühtest | Hochtemperaturtest | Wärmezyklustest |
Beispiel 1 | Substrat A | O | O | O | O | O | O | O |
Beispiel 2 | Substrat B | O | O | O | O | O | O | O |
Beispiel 3 | Substrat B | O | ⌾ | O | O | O | O | O |
Beispiel 4 | Substrat B | O | O | O | O | O | O | - |
Vergleichsbeispiel
1 | Substrat A | x | x | x | O | x | O | O |
Vergleichsbeispiel
2 | Substrat B | O | x | x | O | x | O | O |
Vergleichsbeispiel
3 | Substrat C | O | x | O | O | x | O | O |
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Als
Substratmaterialien wurden Substrattypen A und B verwendet. Es wurden
sieben Tests ausgeführt: ein
Adhäsionstest,
ein Abnutzungstest, ein Salzwasser-Eintauchtest, ein Feuchtigkeitsbeständigkeitstest,
ein Salzsprühtest,
ein Hochtemperaturtest und ein Wärmezyklustest
(jedoch wurden der letztere an einigen Proben nicht ausgeführt).
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Der
Adhäsionstest,
der Abnutzungstest und der Feuchtigkeitsbeständigkeitstest wurden gemäß dem Standard
MIL(Military Standards)-C-674C ausgeführt, und der Salzsprühtest wurde
gemäß dem Standard MIL-STD-810D
ausgeführt.
Der Salzwasser-Eintauchtest
wurde ausgeführt,
um zu beobachten, ob Korrosion zu erkennen war, nachdem jeder Reflexionsspiegel
für 3 Stunden
bei normaler Temperatur in eine 5%-Natriumchlorid(NaCl)-Lösung eingetaucht
worden war. Der Hochtemperaturtest wurde ausgeführt, um zu beobachten, ob an
der Filmbildungsfläche
jedes Reflexionsspiegels Risse, Abschälungen oder dergleichen auftraten, nachdem
jeder Reflexionsspiegel für
5 Stunden auf einer Temperatur von 70°C erhalten worden war. Der Wärmezyklustest
wurde ausgeführt,
um zu erkennen, ob an der Filmbildungsfläche jedes Reflexionsspiegels
nach acht Wiederholungen eines Wärmezyklus
Risse, Abschälungen
oder dergleichen auftraten, wobei es zum Zyklus gehörte, jeden
Reflexionsspiegel für
2 Stunden auf –20°C zu halten,
dann die Temperatur in zwei Stunden auf 65°C zu erhöhen, dann denselben für 2 Stunden
auf 65°C
zu halten und dann die Temperatur in 2 Stunden wieder auf –20°C abzusenken.
In der Tabelle zeigt das Symbol ”o” an, dass sich kein Problem
für den
praktischen Gebrauch ergab, und das Symbol ”x” zeigt an, dass sich ein dem
praktischen Gebrauch entgegen stehendes Problem ergab. Das Symbol ”⌾” zeigt
an, dass die Eigenschaften besonders hervorragend waren.
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Das
Beispiel 1 und das Vergleichsbeispiel 1 sind Reflexionsspiegel jeweils
unter Verwendung des Substrats A, und die Beispiele 2 bis 4 sowie
das Vergleichsbeispiel 2 sind Reflexionsspiegel jeweils unter Verwendung
des Substrats B. Das Vergleichsbeispiel 3 entspricht einem Reflexionsspiegel
unter Verwendung eines Substrats C aus einem anderen Material als
der Materialien der Substrate A und B.
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Wie
es in der Tabelle 1 dargestellt ist, zeigen die Beispiele 1 bis
4 kein Problem, das dem praktischen Gebrauch entgegen stehen würde, und
zwar hinsichtlich aller ausgeführten
Tests.
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Der
Adhäsionstest
zeigte, dass beim Vergleichsbeispiel 1 unter Verwendung des Substrats
A zwar ein teilweises Abschälen
zu beobachten war, wobei jedoch beim Beispiel 1 unter Verwendung
des Substrat A auf dieselbe Weise kein Abschälen auftrat. Der Abnutzungstest
zeigte, dass zwar bei allen Vergleichsbeispielen 1 bis 4 Defekte
zu erkennen waren, jedoch bei den Beispielen 1 bis 4 keine Defekte
zu erkennen waren, die zu einem Problem führen könnten. Insbesondere beim Beispiel
3 unter Verwendung des Schutzfilms 7 war kein Defekt zu
erkennen. Der Feuchtigkeitsbeständigkeitstest zeigte,
dass zwar bei den Vergleichsbeispielen 1 und 2 eine Verfärbung zu
erkennen war, jedoch keine bei den Beispielen 1 bis 4. Der Salzsprühtest zeigte,
dass zwar bei allen Vergleichsbeispielen 1 bis 3 Korrosion auftrat,
jedoch bei den Beispielen 1 bis 4 kein Korrosionsproblem für den praktischen
Gebrauch auftrat, wobei sich jedoch in einem Teil ihrer Randabschnitte
eine geringfügige
Verfärbung
zeigte.
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Als
Nächstes
erfolgten Messungen an den Reflexionsspiegeln der Beispiele 1 bis
3, um die Wellenlängenabhängigkeit
des Reflexionsvermögens
jedes Reflexionsspiegels zu messen. In diesem Fall wurde der Einfallswinkel
bei fehlender Polarisation auf 45° eingestellt.
Die Messergebnisse sind in der 4 dargestellt. In
der 4 zeigt eine Kurve L1 die Ergebnisse für das Beispiel
1, und eine Kurve L3 zeigt die Ergebnisse für das Beispiel 3.
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Wie
es in der 4 dargestellt ist, tritt bei
den Reflexionsspiegeln der Beispiele 1 und 3 keine Abnahme des Reflexionsvermögens aufgrund
des Vorliegens des unteren Films 2 und des Wasser abstoßenden Films 6 auf,
und diese Reflexionsspiegel zeigen über den gesamten Bereich sichtbaren
Lichts hinweg hohes Reflexionsvermögen. Demgemäß zeigen die Reflexionsspiegel
der Beispiele 1 und 3 ein Qualitätsniveau,
bei dem hinsichtlich ihrer Funktionen kein Problem existiert. Insbesondere
beinhaltet der Reflexionsspiegel des Beispiels 3 den Schutzfilm 7 aus
Siliciummonoxid, dessen Brechungsindex höher als derjenige von Siliciumdioxid
ist, so dass der Reflexionsspiegel im Bereich kurzer Wellenlängen von
ungefähr
400 nm bis 500 nm ein relativ hohes Reflexionsvermögen zeigt.
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Auf
dieselbe Weise erfolgten Messungen am Reflexionsspiegel des Beispiels
4, um die Wellenlängenabhängigkeit
des Reflexionsvermögens
desselben zu messen, und die zugehörigen Messergebnisse sind in der 5 dargestellt.
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Wie
es aus der 5 erkennbar ist, zeigt der Reflexionsspiegel
des Beispiels 4 ein sehr hohes Reflexionsvermögen, wie ein solches von über 90%
im Wellenlängenband
von ungefähr
400 nm bis 600 nm, wohingegen ein herkömmlicher Aluminium-Reflexionsspiegel
im Allgemeinen ein Reflexionsvermögen in der Größenordnung
von höchstens
ungefähr
84% zeigt. Dies ergibt sich hauptsächlich aus dem Effekt einer
Reflexionszunahme, die durch den Magnesiumfluoridfilm 54 und
den Cerdioxidfilm 55 erzielt wird.
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Die
folgenden Eigenschaften sind aus den oben genannten Ergebnissen
ersichtlich. Wenn die auf dem Kunststoffsubstrat 1 hergestellte
Schichtstruktur 20, 21 oder 22 über den
unteren Film 2 aus Aluminiumoxid, den Reflexionsfilm 4 aus
Silber oder Aluminium und den Wasser abstoßenden Film 6 mit
einer Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung verfügt, ermöglicht es
diese Konfiguration, zu verhindern, dass das Kunststoffsubstrat 1 durchdringende
Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm 4 eindringt, und so
erfährt
dieser keine Verfärbung
oder Korrosion. Demgemäß ist es
möglich,
einen Reflexionsspiegel mit hervorragender Feuchtigkeitsbeständigkeit
und mechanischer Festigkeit zu erzielen, während hervorragendes Reflexionsvermögen erhalten bleibt.
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Insbesondere
dann, wenn der untere Film 2 über eine körperliche Filmdicke von 100
nm verfügt,
kann er Feuchtigkeit mit hoher Zuverlässigkeit ausschließen, und
er kann auch interne Spannungen im unteren Film 2 minimieren.
Dies ermöglicht
es, einen Reflexionsspiegel zu erhalten, der noch bessere Feuchtigkeitsbeständigkeit
und mechanische Festigkeit zeigt.
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Wenn
die Schichtstruktur ferner über
den Wasser abstoßenden
Film 6 verfügt,
der in Bezug auf den Reflexionsfilm 4 am weitesten entfernt
vom Kunststoffsubstrat 1 ist, kann das Eindringen von Feuchtigkeit,
insbesondere Salzwasser mit Metallkorrosionseigenschaften, durch
die Oberfläche
des Reflexionsspiegels auf der vom Kunststoffsubstrat 1 abgewandten
Seite verhindert werden. Diese Konfiguration ermöglicht es auch, eine Abnutzung
der Oberfläche
des Reflexionsspiegels zu verhindern. Insbesondere dann, wenn der
Wasser abstoßende
Film 6 über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 1 nm und nicht über 10 nm verfügt, ist
es möglich,
einen Reflexionsspiegel mit besserer Feuchtigkeitsbeständigkeit,
Salzwasserbeständigkeit
und mechanischer Festigkeit zu erhalten, der darüber hinaus ein noch hervorragenderes
Reflexionsvermögen
zeigt.
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Wenn
die Schichtstruktur ferner über
den Siliciummonoxid enthaltenden Schutzfilm 7 verfügt, der
zwischen den Reflexionsfilm 4 und den Wasser abstoßenden Film 6 eingebettet
ist und am dichtesten beim letzteren liegt, kann durch diese Konfiguration
eine besonders hervorragende Abriebfestigkeit erzielt werden.
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Wenn
zumindest die Oberfläche
des Kunststoffsubstrats 1, auf der der untere Film 2 herzustellen
ist, durch einen 20-minütigen
Ionenbeschuss unter Verwendung von Argon (Ar) oder Stickstoff (N2) gereinigt wird, um dann den unteren Film 2 direkt
auf dem Kunststoffsubstrat 1 herzustellen, kann durch diesen
Prozess die Haftung zwischen dem Kunststoffsubstrat 1 und
der Schichtstruktur 2 verbessert werden, um so eine noch
bessere mechanische Festigkeit zu erzielen.
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Die
Erfindung kann gegenüber
den oben beschriebenen Ausführungsformen
und Beispielen auf viele Arten modifiziert werden. Zum Beispiel
wurde zwar Aufdampfung im Vakuum unter Verwendung einer Erwärmung durch
einen Elektronenstrahl zum Herstellen der unteren Schicht 2 beschrieben,
jedoch können auch andere
Verfahren wie z. B. Abscheidung mittels eines Ionenstrahls verwendet
werden.
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Gemäß den beschriebenen
Ausführungsformen
und Beispielen verfügt
die Anhaftschicht 3 über
eine Zweischichtstruktur mit dem Chromfilm 31 und dem Kupferfilm 32 oder
eine Einzelschichtstruktur mit dem Chromfilm. Jedoch besteht für die Anhaftschicht 3 keine
Beschränkung
auf diese Ausführungsformen
und Beispiele, sondern sie kann eine Schichtstruktur mit drei oder
mehr Schichten sein.
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Obwohl
bei den Ausführungsformen
und Beispielen ein Reflexionsspiegel mit der Anhaftschicht 3 und der
Reflektivitätseinstellschicht 5 beschrieben
wurde, müssen
diese Schichten nicht notwendigerweise vorhanden sein.
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Wie
oben beschrieben, verfügt
der erfindungsgemäße Reflexionsspiegel über ein
Kunststoffsubstrat und eine auf diesem hergestellte Schichtstruktur.
Die Schichtstruktur verfügt über einen
unteren Film aus Aluminiumoxid; einen Reflexionsfilm, der auf der
vom Kunststoffsubstrat abgewandten Seite des unteren Films ausgebildet
ist; und den Wasser abstoßenden
Film mit einer Fluor und Silicium enthaltenden Verbindung, der auf
der vom unteren Film abgewandten Seite des Reflexionsfilms ausgebildet
ist. Diese Konfiguration ermöglicht
es, zu verhindern, dass das Kunststoffsubstrat oder die Oberfläche des
Reflexionsspiegels durchdringende Feuchtigkeit in den Reflexionsfilm
eindringt. Demgemäß erfährt der
Reflexionsfilm keine Korrosion, so dass es möglich ist, für einen
guten Kompromiss zwischen dem Reflexionsvermögen und der Lebensdauer, die
beide hervorragend sind, zu sorgen.
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Insbesondere
dann, wenn der Reflexionsfilm aus Silber (Ag) oder Aluminium (A1)
besteht, erlaubt diese Konfiguration das Erzielen eines relativ
hohen Reflexionsvermögens
im Bereich sichtbaren Lichts.
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Insbesondere
dann, wenn der Wasser abstoßende
Film über
eine Filmdicke nicht unter 1 nm und nicht über 10 nm verfügt, erlaubt
es diese Konfiguration, hervorragende Feuchtigkeitsbeständigkeit,
hervorragende Salzwasserbeständigkeit
und hervorragende mechanische Festigkeit zu erzielen, während ein
ganz hervorragendes Reflexionsvermögen erhalten bleibt.
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Insbesondere
dann, wenn der untere Film über
eine körperliche
Filmdicke nicht unter 40 nm und nicht über 200 nm verfügt, kann
er Feuchtigkeit mit höherer
Zuverlässigkeit
ausschließen,
und es können
auch interne Spannungen in ihm minimiert werden. Dies ermöglicht es,
noch bessere Feuchtigkeitsbeständigkeit
und noch bessere mechanische Festigkeit zu erzielen.
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Insbesondere
dann, wenn die Schichtstruktur ferner über die zwischen den Reflexionsfilm
und den Wasser abstoßenden
Film eingebettete Reflektivitätseinstellschicht
verfügt,
können
sowohl die mechanische Festigkeit als auch das Reflexionsvermögen verbessert
werden.
-
Wenn
die Schichtstruktur ferner über
den Siliciummonoxid enthaltenden Schutzfilm verfügt, der zwischen den Reflexionsfilm
und den Wasser abstoßenden
Film eingebettet ist und am nächsten
am letzteren liegt, kann die Lebensdauer noch weiter verbessert
werden.