CN102707350B - 紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜及其制备方法，所述的反射镜包括玻璃基板、过渡层、金属层、氟化物层和保护层，所述的玻璃基板、过渡层、金属层、氟化物层和保护层依次设置。本发明的反射镜可在紫外和可见光范围内使用，比较现有技术相同使用范围反射镜，反射率高，在190nm～300nm反射率＞92%，在紫外可见波长反射率稳定性高，紫外可见波段反射率无明显下降，一年内190nm～300nm反射率仍≥92%。

Description

紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜及其制备方法
技术领域
本发明属于光学仪器领域，本发明是对反射膜制作方法的改进，特别适用于在紫外光和可见光波长范围的反射镜的制备方法。具体涉及一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜及其制备方法。
背景技术
在科学分析仪器例如光谱仪器、色谱仪器等，在光路中使用反射镜片比较普遍。现在制造紫外可见波长反射镜片的技术是在以玻璃为基体的表面上镀铝膜，或者在铝膜的基础上再镀一层二氧化硅。仅镀铝膜后，反射率下降很快，一般一个月后在200nm处的反射率＜80%，三个月后在200nm处的反射率＜75%。而在铝膜上再镀一层二氧化硅后，在200nm处的反射率＜80%，满足不了光谱、色谱仪器的要求。
发明内容
本发明的目的在于克服上述已有技术的不足，提供一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜。所述的反射镜在紫外可见光波长范围内有较高反射率，且反射率保持稳定。
本发明的另一目的在于提供一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜，包括玻璃基板、过渡层、金属层、氟化物层和保护层，所述的玻璃基板、过渡层、金属层、氟化物层和保护层依次设置。
所述的过渡层为镍，所述的金属层为铝、所述的氟化物层依次由冰晶石层和氟化镁层组成，所述的保护层依次由二氧化硅层和氟化铈层组成。
所述过渡层镍的几何厚度为10～20纳米，所述金属层铝的几何厚度为60～90纳米，所述冰晶石层的几何厚度为5～15纳米，所述氟化镁层的几何厚度为5～20纳米，所述二氧化硅层的几何厚度为10～25纳米，所述氟化铈层的几何厚度为10～20纳米。
上述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜，采用以下方法制备：（1）在基板上镀过渡层镍，温度80℃～200℃；（2）在过渡层上镀金属层铝，温度40℃～100℃；（3）在金属层上镀冰晶石层，温度40℃～100℃；（4）在冰晶石层上镀氟化镁层，温度40℃～100℃；（5）在氟化镁层上镀二氧化硅层，温度40℃～100℃；（6）在二氧化硅层上镀氟化铈层，温度40℃～70℃。
一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法，包括以下步骤：（1）在基板上镀过渡层镍，温度80℃～200℃；（2）在过渡层上镀金属层铝，温度40℃～100℃；（3）在金属层上镀冰晶石层，温度40℃～100℃；（4）在冰晶石层上镀氟化镁层，温度40℃～100℃；（5）在氟化镁层上镀二氧化硅层，温度40℃～100℃；（6）在二氧化硅层上镀氟化铈层，温度40℃～70℃。
上述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法，其在于所述过渡层镍的几何厚度为10～20纳米，所述金属层铝的几何厚度为60～90纳米，所述冰晶石层的几何厚度为5～15纳米，所述氟化镁层的几何厚度为5～20纳米，所述二氧化硅层的几何厚度为10～25纳米，所述氟化铈层的几何厚度为10～20纳米。
本发明与现有技术相比有如下优点：
本发明的反射镜可在紫外和可见光范围内使用，比较现有技术相同使用范围反射镜，反射率高，在190nm～300nm反射率＞92%，在紫外可见波长反射率稳定性高，紫外可见波段反射率无明显下降，一年内190nm～300nm反射率仍≥92%。
附图说明
图1本发明紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜结构示意图。
具体实施方式
实施例1
如图1所示的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜，包括玻璃基板1、过渡层2、金属层3、氟化物层和保护层，所述的玻璃基板1、过渡层2、金属层3、氟化物层和保护层依次设置。
所述的过渡层为镍，所述的金属层为铝、所述的氟化物层依次由冰晶石层4和氟化镁层5组成，所述的保护层依次由二氧化硅层6和氟化铈层7组成。
所述过渡层镍的几何厚度为15纳米，所述金属层铝的几何厚度为75纳米，所述冰晶石层的几何厚度为10纳米，所述氟化镁层的几何厚度为10纳米，所述二氧化硅层的几何厚度为15纳米，所述氟化铈层的几何厚度为15纳米。
采用以下方法制备：（1）在基板上镀过渡层镍，温度150℃；（2）在过渡层上镀金属层铝，温度70℃；（3）在金属层上镀冰晶石层，温度70℃；（4）在冰晶石层上镀氟化镁层，温度70℃；（5）在氟化镁层上镀二氧化硅层，温度70℃；（6）在二氧化硅层上镀氟化铈层，温度55℃。
反射率稳定性的测试方法为：反射率检测方法是用光谱仪进行测试，是本领域技术人员公知的。在第一次反射率测试以后将样品在正常工作条件下（温度5℃～35℃，相对湿度85%，室内无腐蚀性气体）放置一年进行第二次测试，对比二者的测试数据确定其稳定性。本发明的反射镜可在紫外和可见光范围内使用，比较现有技术相同使用范围的反射镜，反射率高，在190nm～300nm反射率＞92%，在紫外可见波长反射率稳定性高，紫外可见波段反射率无明显下降，一年内190nm～300nm反射率仍≥92%。

Claims (4)

1.一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜，其特征在于包括玻璃基板（1）、过渡层（2）、金属层（3）、氟化物层和保护层，所述的玻璃基板（1）、过渡层（2）、金属层（3）、氟化物层和保护层依次设置；所述的过渡层为镍，所述的金属层为铝、所述的氟化物层依次由冰晶石层和氟化镁层组成，所述的保护层依次由二氧化硅层和氟化铈层组成；
采用以下方法制备：（1）在基板上镀过渡层镍，温度150℃；（2）在过渡层上镀金属层铝，温度70℃；（3）在金属层上镀冰晶石层，温度70℃；（4）在冰晶石层上镀氟化镁层，温度70℃；（5）在氟化镁层上镀二氧化硅层，温度70℃；（6）在二氧化硅层上镀氟化铈层，温度55℃。
2.根据权利要求1所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜，其特征在于所述过渡层镍的几何厚度为10～20纳米，所述金属层铝的几何厚度为60～90纳米，所述冰晶石层的几何厚度为5～15纳米，所述氟化镁层的几何厚度为5～20纳米，所述二氧化硅层的几何厚度为10～25纳米，所述氟化铈层的几何厚度为10～20纳米。
3.一种紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）在基板上镀过渡层镍，温度150℃；（2）在过渡层上镀金属层铝，温度70℃；（3）在金属层上镀冰晶石层，温度70℃；（4）在冰晶石层上镀氟化镁层，温度70℃；（5）在氟化镁层上镀二氧化硅层，温度70℃；（6）在二氧化硅层上镀氟化铈层，温度55℃。
4.根据权利要求3所述的紫外可见波段高反射率高稳定性反射镜的制备方法，其特征在于所述过渡层镍的几何厚度为10～20纳米，所述金属层铝的几何厚度为60～90纳米，所述冰晶石层的几何厚度为5～15纳米，所述氟化镁层的几何厚度为5～20纳米，所述二氧化硅层的几何厚度为10～25纳米，所述氟化铈层的几何厚度为10～20纳米。
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