DE2407363C2 - Halbreflektierende Verglasung und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Halbreflektierende Verglasung und Verfahren zu deren HerstellungInfo
- Publication number
- DE2407363C2 DE2407363C2 DE19742407363 DE2407363A DE2407363C2 DE 2407363 C2 DE2407363 C2 DE 2407363C2 DE 19742407363 DE19742407363 DE 19742407363 DE 2407363 A DE2407363 A DE 2407363A DE 2407363 C2 DE2407363 C2 DE 2407363C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- glazing
- semi
- compound
- protective layer
- reflective
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3605—Coatings of the type glass/metal/inorganic compound
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3615—Coatings of the type glass/metal/other inorganic layers, at least one layer being non-metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3628—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a sulfide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3642—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
- C23C14/0036—Reactive sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
|K Die Erfindung betrifft eine halbreflektlerende Verglasung gemäß dem Oberbegriff von Palentanspruch I,
Sj sowie ein Verfahren zur Herstellung einer halbreflekllerendcn Verglasung.
5| 3o Bekanntlich bestehen solche Verglasungen aus einem transparenten Substrat, Insbesondere Glas, welches mit
j:; einer sehr dOn'-en Schicht aus Gold, Silber oder Kupfer überzogen 1st, Metallen, die eine geringe Reflexion für
p die Wellenlängen des sichtbaren Lichtes haben, die jedoch die Infrarotstrahlungen stark reflektieren. Diese
\4 Verglasungen weisen somit den Vorteil auf, daß sie praktisch die Gesamtheit des sichtbaren Lichtes durchlassen
£' und den größten Teil der Wö'mesirahlung reflektieren.
r.J 35 Da die halbrefleklierenden Metalle jedoch nur mittelmäßig am Glas haften, verwendet man oft Haflschlchten
rä zwischen der metallischen Schicht und der transparenten Unterlage, wie etwa Haflschlchten aus Aluminium
B( oder Chrom. Trotz dieser Haftschichten bleiben die halbreflekllerendcn Schichten extrem fragil und sind sc!ir
' - vcrschlelßanfälllg bei einer Reibung mit anderen Körpern, so daß es Insbesondere bei Reinigungsvorgängen zu
einer Beschädigung der metallischen Schichten kommen kann.
w 4o Es wurde bereits vorgeschlagen, auf der oder den metallischen auf der Verglasung abgeschiedenen Schichten
eine Schutzschicht, beispielsweise aus Quarz, Glas, Aluminiumoxid oder Magneslumfluorld anzubringen, Mate-
; ' rlallen, die man hierzu mit Hilfe einer Elektronenkanone In einer Unterdruckkammer verdampft, in der die
ί- Verglasung angeordnet Ist. Außer der Tatsache jedoch, daß dieses Verdampfungsverfahren es nur schwierig
' zuläßt. Schichten homogener Dicke abzuscheiden, beeinflußt das Schutzmaterial Im allgemeinen aber auch das
45 Durchlässlgkcllsspeklrum der Verglasung gegen sichtbare Strahlung nachlcllhafl.
Schließlich Ist es zur Vermeidung von Korrosions- und Abrlcberschelnungcn halbrcflektlerendcr metallischer
: . Schichten einer wärmedämmcndcn Verglasung bekannt (DE-OS 22 21 472), auf die metallische Schicht, die aus
: Gold, Silber oder Kupfer bestehen kann, eine Schutzschicht aufzubringen, die aus Slllziummonoxld besteht. Das
Sillzlummonoxld ist nicht leitend, und obgleich durch die zusätzliche Schicht optische Eigenschaften der
, 50 Verglasung korrigierbar sind sowie das Aussehen der Verglasung verbessert wird, so wird j^loch das Durchläs-
.J.-. sigkeltsspektrum der Verglasung beeinflußt.
Aufgabe der Erfindung Ist es, eine halbreflektlercnde Verglasung der in der DE-OS 22 21 472 beschriebenen
Art derart zu verbessern, daß die Reflexlonswlrkung ausschließlich Im IR-Bcrelch erhöhl wird, die Durchlilsslgkelisspektren
jedoch nicht wesentlich modifiziert werden, l-'erner soll ein geeignetes Verfahren zur Herstellung
55 einer solchen Verglasung geschaffen werden.
Für die Verglasung wird diese Aufgabe durch die Im kennzeichnenden Teil des Anspruchs I enthaltenen
Merkmale gelöst.
Es hat sich herausgestellt, daß diese halbleltendcn Verbindungen nicht nur die Ausbildung einer homogenen
Schutzschicht auf der halbreflekllerendcn metallischen Schicht gewährleisten, sondern auch die mechanische
60 Festigkeit der metallischen Schlchlcn, welche die Verglasung trägt, verstarken, ohne hierbei deren optisches
Durchlüsslgkcltsspcktrum wesentlich zu verändern. Vielmehr verbessert diese Schulzschicht sogar die Eigenschaften
der Verglasung hinsichtlich Reflexion von lR-Slrahlen. Dieser Effekt lsi um so überraschender, da
dann, wenn man In analoger Welse den Durchlaß der 1R-Strahlcn zu vermindern wünscht. Indem man die
Dicke der halbrcflckticrcndcn metallischen Schicht vergrößert - handele es sich nun um Gold, Silber oder
<,5 Kupfer -, die derart hergestellte Verglasung einen Rcflcxlnnskocffl/icnicn für die sichtbare Strahlung aufweisen
würde, der wesentlich größer ware.
7.war ist es bekannt (DR-OS 21 38 034 und DE-OS 21 50 651). bei einer Verglasung Schichten aus halblcitendem
Material wie /Innoxlil. Indiumoxid oder Titannitrid vorzusehen, jedoch stets nur als Bestandteil einer
wärmedämmenden Schichtenfolge auf Glas, wobei sich dort jedoch andere Durchlässigkeits- und Reflexionseigenschaften
gegenüber der erfindungsgemäßen halbreflekllerenden Verglasung ergeben.
Für das Verfahren wird die Aufgabe errindungsgemäß durch die Im kennzeichnenden Teil des Anspruches 5
enthaltenen Merkmale gelöst.
Zweckmäßige Ausgestallungen der Verglasung und des Verfahrens sind im übrigen durch die in den Unteran-Sprüchen
enthaltenen Merkmalen gekennzeichnet.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigt
Flg. 1 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung, welche die Abscheidung der Schutzschicht gestattet;
die Flg. 2 bis 11 Kurven, welche die Spektren (Prozent der Durchlässigkeit und der Reflexion als Funktion
der Wellenlänge, ausgedrückt In μηι) für verschiedene Verglasungen einiger Im folgenden beschriebener
Beispiele wiedergeben.
In Flg. 1 Ist mit 1 eine Kammer bezeichnet. In der Vakuum über eine Leitung 2 hervorgerufen werden kann.
Im Innern der Kammer 1 ist eine Verglasung 3 angeordnet, die auf einer Seite einen Filmüberzug 4 aus einem
halbreflektierenden Metall trägt. Die Verglasung ist durch Klemmen 5 mit einer Anode 6 verbunden. Eine
Kathode 7 aus Titan, weiche durch Wasserleitungen 8 gekühlt wird. Ist gegenüber dem Film 4 der Verglasung is
angeordnet.
Um Titannitrid auf den Film 4 abzuscheiden, beginnt man damit, um hierauf eine Schutzschicht zu bilden,
ein Vakuum von etwa l,33xlO"s mbar In der Kammer über die Leitung 2 zu erzeugen. Es wird dann ein
Gemisch aus Argon und Stickstoff in die Kammer über eine Leitung 9 bei einem Druck von etwa 1,33 χ ΙΟ"3
mbar (Partialdruck des Stickstoffs: 1,33 χ 10-* mbar) eingeführt. Man srrgt dann für eine elektrische Entladung
zwischen Kathode 7 und Anode 6, bei einer Frequenz von etwa 13,5 MHz, wodurch Titan verd-üipft, welches
sich mit dem umgebenden Stickstoff zur Bildung vcn Titannitrid kombiniert und sich In vollkommen homogener
Welse auf dem Film 4 abscheidet.
Die folgenden Beispiele erläutern das Verfahren, ohne es zu begrenzen.
Bei sämtlichen Beispielen besteht auch das Substrat der halbreflektlerenden Verglasung aus Glas, welches
man zunächst In üblicher Welse mit Hilfe einer Ceroxldsuspenslon -n Äthylalkohol reinigt und mit Hilfe eines
Filzes zur Anwendung bringt. Nach dem Jrocknen verbleibt ein feiner Film auf dem Glas, und man eliminiert
es durch Reiben mit einem mit reinem Äthylalkohol getränkten Baumwollstoff. Das abschließende Trocknen
des Gegenstandes erfolgt mit einer Zellulosewattc.
Bei jedem Beispiel wird eine Verglelchsprobc ohne Schutzschicht, die im übrigen jedoch an jedem Punkt
analog der Probekörper nach der Erfindung ist, hergestellt, um die Transmissions- und Reflexlonselgenschaften
der sichtbaren Strahlung und der energetischen Strahlung (Infrarot) miteinander vergleichen zu können.
Bei diesem Beispiel handelt es sich um eine Verglasung, bei der das halbreflektierende Metall Kupfer 1st.
Zunächst wird auf der Verglasung ein Kupferfilm durch kathodische Zerstäubung bei einer Radiofrequenz bei
14,7 MHz und einer Leistung von 180W mit Hilfe der In Flg. 1 dargestellten Vorrichtung abgeschieden. Die
Entfernung des Auffängers bzw. der Auffangelektrode aus Kupfer vom Substrat beträgt 32 mm, und die Atn>osphäre
best"ht aus Argon, das sich auf einem Druck von 8 χ 10"-1 mbar befindet. Der Vorgang dauert 10 Sekunden;
hiernach wird die Auffangelektrode aus Kupfer durch ein? solche aus Titan ersetzt. Eine Abscheidung aus
Titannitrid erhält man durch reaktive kathodische Zerstäubung, wobei die Atmosphäre aus einem Gemisch aus
Argon und Stickstoff gebildet Ist, dessen Gesamidruck bei 8 χ 10 ' mbar bei einem Partlaldruck des Stickstoffs
von 2,7 χ 10"4 mbar liegt. Die Frequenz 1st die gleiche wie vorher; eine Leistung von 270 W wird 10 Minuten
lang angelegt.
Die Durchlaßspektren T und die F.eflexlonsspektrcn R auf der Seite der Abscheidung und R' auf der Seite des
Substrats sind In den belllegenden Zeichnungen für eine Vergleichsprobe ohne Kupferschicht (Flg. 2) und für
die Probe nach der Erfindung dargestellt, welche die Schutzschicht aus Titannitrid (Flg. 3) aufweist.
Tabelle I am Ende der Beschreibung faßt die Transmissions- und Reflexionscharakterlstlken des Probekörpers
mit Schutzschicht nach 'ier Erfindung sowie die der Probekörper der folgenden Beispiele 2 bis 5 zusammen.
Dieses Beispiel betrifft eine Verglasung, bei dem das halbreriekiiciende Metall Gold ist.
Zunächst wird die Goldschlchl mit Hilfe der Vorrichtung nach Flg. I durch thermische Verdampfung unter
einem Vakuum von 1,33 χ 10 s mbar abgeschieden. Die Kontrolle der Dicke erfolgt mit Hilfe eines Photometers
mit monochromatischem Licht; die Verdampfung wird unterbrochen, wenn die Anzeige auf dem Instrument
von 100% auf 65% bei einer Wellenlänge von 0,5 μηι übergegangen Ist. Es werden so zwei gleiche Probekörper
hergestellt.
Eine Abscheidung aus Titannitrid wird dann auf einem hiervon uiter Arbeitsbedingungen hergestellt, die
analog denen von Beispiel 1 sind. Der üesamidruck des Argon/Stickstoffgemisches liegt bei 6,7 χ ΙΟ"3 mbar und
der Partlaldruck des Stickstoffs bei -1,33 χ 10J mbar. Eine Radlofrequenzlclstung von 360 W wird zwei Minuten
und 15 Sekunden lang angelegt.
Fi g. 4 zeigt die Spektralcharakteristiken T. K und R' der Verglclchsprobe, die nur die Goldschicht trägt, und
Flg. 5 gibt eben diese Charakteristiken für den Probekörper mit TlN-SchutzschK-ht. Tabelle I faßt die energetlsehen
und Lichteigenschaften dieses letztgenannten Proh;körpers zusammen.
Dieses Beispiel betrifft Proben mit halbrcflekilerendcr Schicht aus Gold, die unter Bedingungen analog denen
zu Beispiel 2 hergestellt wurden, jedoch mit einer geringeren Dicke der Goldschicht (Anzeige des Photometers
geht von 100% auf 77% anstatt auf 65%) und einem Druck des Argon/Stlcksioffgcmlsches der geringfügig höher
Ist (8 χ 10"' mbar anstelle von 6,7 χ 10 ' mbar).
Die Flg. 6 und 7 zeigen die Spektren jeweils eines l'robckörpcrs ohne Schutzschicht und eines Probekörpers
nach der Erfindung mit Schutzschicht. Die Energie- und Llchlclgenschaftcn des letzteren erscheinen In Tafel I.
i» Beispiel 4
Dieses Beispiel betrifft eine Verglasung mit einer Goldschicht, die als halbrcrickllerendcs Element dient, und
mit einer Aluminiumschicht, die das Haftvermögen begünstigen soll.
Hergestellt werden zwei Probekörper, Indem man nacheinander auf das Glas durch thermische Verdampfung
ι* Gold und dann Aluminium abscheidet. Die Regelung der Dicke erfolgt photomeirlsch bei der Wellenlänge von
0.55 μην, nach der Abscheidung der Goldschlchi geht die Photometcranzelge von ΙΟΟ'Ί. auf 73% und dann von
73% auf 59% mit der Aluminiumabschcldung.
gplcnlQJ J
M Die Flg. 8 und 9 geben jeweils die Spektren der Vcrglclchsprobc, welche nur die Abschcldungen von Gold
und Aluminium und die des Probekörpers nach der Erfindung, der Gegenstand dieses Beispiels Ist. wieder.
Die Energie- und Lichtcharakteristiken des letzteren sind In Tabelle I eingetragen.
Sie wird durch thermische Verdampfung unter einem Vakuum von 2 χ ΙΟ"5 mbar abgeschieden. Die Anzeige
des Kontrollphotometers geht nach diesem Vorgang von 100% auf Φ% für die Wellenlange von 0,55 μπι über.
Titannitrid wird unter den gleichen Bedingungen wie nach Beispiel 3 abgeschieden.
M Fig. 10 zeigt d'c Spektralchaiakteristlkcn einer Vcrglclchsprobc ohne Silberabscheidung und Flg. 11 gibt die
des Probekörpers mit TlN-Schutzschlcht. Die Energie- und Llchtcharakicrlsilken des letzteren sind In Tafel 1
aufgetragen.
Beispiel 6
35
Dieses Beispiel betrifft eine halbreflcktlerendc Verglasung mit einer Übcrzugsschlcht aus Silber, bei der die
Haftung auf der Verglasung durch eine Vorbehandlung mittels kathodischer Zerstäubung eines Überzuges aus
einem Oxidgemisch von Indium und Zinn verbessert wird, ausgehend von einer AulTangelektrodc aus einer
Legierung von Indium und Zinn mit einem Gehalt von 10% Zinn. Die Zerstäubung wird mit einer Intensität
·» von 13 Milliampere und einer Spannung von 1000 Volt während einer Zeltdauer von 120 s In einer Argonatmosphäre mit 10 Vol.-% Sauerstoff und einem Druck von 53,2 χ 10 J mbar durchgeführt. Die Silberschicht wird
anrchlleßend von einer Sllbcraufrangelcktrode aus durch Zerstäubung mit einer Intensität von 38 Milliampere
und einer Spannung von 2300 Voll während einer Zeitdauer von 11 s und in reiner Argonatmosphäre unter dem
gleichen Druck von 53,2 χ 10° mbar aufgebracht. Die halbreflcklierendc Schutzschicht wird anschließend von
Ί5 einer Auffangelektrode aus einer Legierung von Indium und Zinn, wie welter oben Im Beispiel beschrieben
wurde, durch kathodische Zerstäubung mit einer Intensität von 95 Milliampere und einer Spannung von 3100
mbar aufgebracht.
einen Reflexlonswert Im Infrarotberclch in einer Wellenlänge von 2 Jim, der 65% übersteigt.
Eine Haftschicht aus Kupfer für eine Verglasung, die zusammengesetzt ist aus einer Mischung von Indiumoxid, die von einer Auffangelekirodc aus einer Legierung von Indium und Zinn mit einem Gehalt von 20%
Zinn abgeschieden wird, wird auf ein Glas durch kathodische Zerstäubung in einer ArgonatmosphSre mit einem
Gehalt an Sauerstoff von 2,5 Vol.-% und unter einem Druck von 53,2 χ 10 ■' mbar. mit einer Intensität von 41
Milliampere und einer Spannung von 2000 Volt für die Dauer von 42 s aufgebracht. Eine Kupferschicht wird
anschließend durch kathodische Zerstäubung mit einer Radlofrequenzlcistung von 200 Watt 9 s lang in einer
reinen Argonatmosphäre unter einem Druck von 9,3 χ ΙΟ3 mbar aufgebracht.
Die Schutzschicht aus einer Mischung von Indium und Zinnoxid, die durch die ebenso mit einer Indium-
und Zinnlegierung versehene Auffängerclcktrodc erhalten wird, wird durch kathodische Zerstäubung in einer
Argonatmosphäre mit 2.5% Sauerstoff und unter einem Druck von 53,2 χ 10 J mbar Stärke von 41 Milliampere
und einer Spannung von 2000 Volt 84 s !ang aufgebracht.
Die halbrefiektierende Verglasung zeigt eine Lichttransmission Tl von 72% und einen Reflexlonskoeffizienten
im Infrarotbereich bei einer Wellenlänge von 2 μπι von 62%.
Tafel I
1 | 33 | 16 | 19 | 43 | 9 | 13 |
2 | 26 | 32 | 26 | 38 | 19 | 13 |
3 | 36 | 21 | 12 | 46 | 15 | 7 |
4 | 30 | 25 | 20 | 42 | 15 | 10 |
5 | 27 | 28 | 23 | 35 | 20 | 18 |
Die vorstehenden Beispiele und die sich hierauf beziehenden Kurven zeigen klar, daß die halbrefiektlerenden
Verglasungen nach der Erfindung mit einer Schutzschicht aus Titannitrid ein Durchlässigkeitsspektrum
vergleichbar dem analoger Verglasungcn ohne Schutzschicht aufweisen; Ihr Reflexionsvermögen für energetische 20
Wellen Ist jedoch großer als das der Verglasungen ohne Schutzschicht. Unter Berücksichtigung einerseits der
mechanischen bekannten Eigenschaften von Titannitrid und Insbesondere seiner Abrlebfestigkelt und andererseits aufgrund der Tatsache, daß die Titannitrid ein geringes Emissionsvermögen aufweist, derart, daß es durch
sein Vorhandensein nicht die Charakteristiken der halbreflcktlerenden Basisschicht, selbst wenn die Verglasung
erwürmt wird, stört, zeigen sich die Verglasungen nach der Erfindung den halbreflektlerenden Verglasungen 25
einer üblichen Bauart stark überlegen.
30
Claims (4)
1. Halbreflektierende Verglasung mit wenigstens einer auf einer transparenten Unterlage abgeschiedenen
metallischen Schicht aus Gold, Silber und Kupfer, einer die metallische Schicht abdeckenden transparenten
5 Schutzschicht und gegebenenfalls einer oder mehrerer zwischen der metallischen Schicht und der transparenten
Unterlage angeordneter Haftschichten, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht aus einer
halbleitenden Verbindung, wie Titannitrid oder Indiumoxid mit einem spezifischen elektrischen Widerstand
von weniger als 1000 Ω/D und mit einem quasi metallischen Reflexionsvermögen im Infrarotbereich ,besteht,
deren Dicke zwischen 100 und 200 nm beträgt und so gewählt ist, daß das Durchlässigkeitsspektrum der
ίο Verglasung und sein Emissionsvermögen nicht wesentlich verändert werden.
2. Verglasung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Schutzschicht bildende halbleltende
Verbindung aus üütlertem Zinn- oder Indiumoxid, oder einem Gemisch der beiden Oxide besteht.
3. Verglasung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung aus Indiumoxid besteht. In
dem 20% Zinnoxid enthalten sind.
15
4. Verglasung nach Anspruch 1, dadurch gekennzelclr.iet, daß die die Schutzschicht bildende halbleltende
Verbindung ein Titannitrid ist.
5. Verfahren zur Herstellung einer halbreflektlerenden Verglasung nach einem oder mehreren der vorhergehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in an sich bekannter Welse eine Radiofrequenzentladung
■ zwischen der vorher mit metallischen Baslsschkrhtcn, darunter der des halbreflektlerenden Metalls überzoge-
20 nen VerglRSjng und einer Kathode hervorgerufen wird, die aus Metall besteht, das In die entsprechende halbieitende
Verbindung in eine Atmosphäre eintritt, weiche außer einem inerten Gas das Gas enthält, welches
in die Verbindung aus dem halblcllenden Material eintritt, derart, daß eine reaktive Kathodenzerstäubung
. hervorgerufen wird.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7305577A FR2218301A1 (en) | 1973-02-16 | 1973-02-16 | Semi-reflecting glaze with semi-conductor layer - of pref tin oxide, indium oxide or titanium nitride applied on film of gold, silver or copper |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2407363A1 DE2407363A1 (de) | 1974-08-29 |
DE2407363C2 true DE2407363C2 (de) | 1984-10-31 |
Family
ID=9114956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19742407363 Expired DE2407363C2 (de) | 1973-02-16 | 1974-02-15 | Halbreflektierende Verglasung und Verfahren zu deren Herstellung |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS585855B2 (de) |
BE (1) | BE811127A (de) |
DE (1) | DE2407363C2 (de) |
FR (1) | FR2218301A1 (de) |
IT (1) | IT1006379B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19546962A1 (de) * | 1994-12-15 | 1996-06-20 | Frontec Inc | Metallisierungsstruktur und Flüssigkristallvorrichtung |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5189514A (ja) * | 1975-02-04 | 1976-08-05 | Kairyosaretanetsusenhanshagarasu | |
JPS51150509A (en) * | 1975-06-20 | 1976-12-24 | Asahi Glass Co Ltd | Novel glass which reflects heat rays |
DE2548904C3 (de) * | 1975-10-31 | 1981-06-25 | geb. Jevgrašina Elena Markovna Gerasimova | Verfahren zur Herstellung von lichtfiltrierendem, Wärme bzw. Radiostrahlen reflektierendem oder elektrisch beheizbarem organischen Triplexglas |
DE2830723A1 (de) * | 1978-07-13 | 1980-02-14 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Verfahren zur herstellung von infrarotreflektierenden scheiben durch katodenzerstaeubung |
DE2930373A1 (de) * | 1979-07-26 | 1981-02-19 | Siemens Ag | Verfahren zum herstellen transparenter, elektrisch leitender indiumoxid (in tief 2 o tief 3 )-schichten |
DE3201783A1 (de) * | 1982-01-21 | 1983-09-08 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum herstellen von in der draufsicht und durchsicht weitgehend farbneutralen, einen hohen infrarotanteil der strahlung reflektierenden scheiben durch katodenzerstaeubung von targets sowie durch das verfahren hergestellte glasscheiben |
DE3307661A1 (de) * | 1983-03-04 | 1984-09-06 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung |
FR2589484A1 (fr) * | 1985-11-04 | 1987-05-07 | Asulab Sa | Objet pourvu d'un revetement en metal precieux resistant a l'usure |
US4847158A (en) * | 1987-05-15 | 1989-07-11 | Ppg Industries, Inc. | Low reflectance bronze coating |
US7267748B2 (en) * | 2004-10-19 | 2007-09-11 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. | Method of making coated article having IR reflecting layer with predetermined target-substrate distance |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE515314A (de) * | 1949-04-18 | |||
US2825687A (en) * | 1952-04-04 | 1958-03-04 | Nat Res Dev | Transparent conducting films |
FR1465462A (fr) * | 1965-10-16 | 1967-01-13 | Philips Nv | Filtre réfléchissant la chaleur |
LU51136A1 (de) * | 1966-05-18 | 1968-02-12 | Glaverbel | |
US3537944A (en) * | 1967-03-17 | 1970-11-03 | Libbey Owens Ford Glass Co | Transparent heat reflecting window having relatively low internal visual reflection |
US3516720A (en) * | 1968-03-04 | 1970-06-23 | Eastman Kodak Co | Thin film coating for sunglasses |
US3505092A (en) * | 1968-06-14 | 1970-04-07 | Libbey Owens Ford Co | Method for producing filmed articles |
GB1354726A (en) * | 1970-07-29 | 1974-06-05 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Glass articles coated to reduce solar radiation transmission |
FR2135033B1 (de) * | 1971-05-03 | 1973-12-28 | Saint Gobain Pont A Mousson | |
DE2150651B2 (de) * | 1971-10-11 | 1977-04-21 | N. V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven (Niederlande) | Sich elektrisch nicht aufladendes abdeckglas, insbesondere abdeckglas fuer solarzellen fuer raumfahrzeuge |
-
1973
- 1973-02-16 FR FR7305577A patent/FR2218301A1/fr active Granted
-
1974
- 1974-02-15 BE BE140998A patent/BE811127A/xx not_active IP Right Cessation
- 1974-02-15 JP JP49017767A patent/JPS585855B2/ja not_active Expired
- 1974-02-15 DE DE19742407363 patent/DE2407363C2/de not_active Expired
- 1974-04-08 IT IT2092274A patent/IT1006379B/it active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19546962A1 (de) * | 1994-12-15 | 1996-06-20 | Frontec Inc | Metallisierungsstruktur und Flüssigkristallvorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2218301A1 (en) | 1974-09-13 |
JPS49114617A (de) | 1974-11-01 |
JPS585855B2 (ja) | 1983-02-02 |
DE2407363A1 (de) | 1974-08-29 |
FR2218301B1 (de) | 1978-03-03 |
IT1006379B (it) | 1976-09-30 |
BE811127A (fr) | 1974-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3941027C2 (de) | Beschichtetes Verglasungsmaterial und Verfahren zu dessen Beschichtung | |
EP0120408B2 (de) | Verfahren zur Beschichtung eines transparenten Substrates | |
DE3687336T2 (de) | Durchsichtiger gegenstand mit einer hohen sichtbaren durchlaessigkeit. | |
DE2813394C3 (de) | Transparente elektrisch leitende Schichtstruktur | |
DE69916378T2 (de) | Transparentes substrat mit einer folge von schichten zur reflexion thermischer strahlung | |
EP0564709B1 (de) | Beschichtetes transparentes Substrat, Verwendung hiervon, Verfahren und Anlage zur Herstellung der Schichten, und Hafnium-Oxinitrid (HfOxNy) mit 1,5 x/y 3 und 2,6 n 2,8 | |
DE2407363C2 (de) | Halbreflektierende Verglasung und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2533364B2 (de) | Glasschichtkoerper | |
DE3881974T2 (de) | Durchsichtige Gegenstände. | |
DE1911036B2 (de) | Transparentes augenlichtschutzmaterial | |
EP3660550B9 (de) | Reflektierendes verbundmaterial mit einem aluminium-träger und mit einer silber-reflexionsschicht | |
DE102009016708A1 (de) | Solarabsorber-Schichtsystem und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE69403397T2 (de) | Verfahren zur Behandlung einer dünnen Oxidschicht | |
DE19620645C2 (de) | Verfahren zur Herstellung selektiver Absorber | |
DE2750500A1 (de) | Verfahren zur herstellung von infrarotreflektierenden, fuer sichtbares licht weitgehend transparenten scheiben und durch die verfahren hergestellte scheibe | |
DE3009533A1 (de) | Verfahren zur herstellung eines reflexverminderndenmehrschichtenbelages und optischer koerper mit reflexverminderndem mehrschichtenbelag | |
DE10126364A1 (de) | Aluminium-Reflexionsspiegel und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2138034A1 (de) | Glasgegenstande und Verfahren zu deren Herstellung | |
DD204693A1 (de) | Verfahren zur herstellung waermereflektierender scheiben | |
DE102011083166B4 (de) | Verbundmaterial mit spektral selektivem Mehrschichtsystem und Verfahren zu dessen Herstellung | |
DE2221472A1 (de) | Waermedaemmende Verglasung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE69804866T9 (de) | Hitzebiegbare spiegel | |
DE3022714C2 (de) | Verfahren zum Herstellen einer selektiv absorbierenden Beschichtung für Solarkollektoren und danach hergestellte Beschichtung | |
DE102012215059B4 (de) | Schutzschicht für ein IR-reflektierendes Schichtsystem, IR-reflektierendes Schichtsystem und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2854213A1 (de) | Verfahren zur herstellung von zu isolierscheiben verarbeitbaren, infrarotreflektierenden fensterscheiben und durch das verfahren hergestellte fensterscheiben sowie isolierscheiben |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |