DE69804866T9

DE69804866T9 - Hitzebiegbare spiegel

Info

Publication number: DE69804866T9
Application number: DE69804866T
Authority: DE
Inventors: J. Annette KRISKO
Original assignee: Cardinal CG Co
Current assignee: Cardinal CG Co
Priority date: 1997-10-31
Filing date: 1998-10-30
Publication date: 2007-10-31
Also published as: ATE215911T1; WO1999023043A1; DK1051364T3; US6530668B2; JP2001521873A; CA2319532C; US20010021071A1; EP1051364A1; DE69804866T2; ES2172244T3; EP1051364B1; DE69804866D1; JP3513108B2; CA2319532A1

Description

Die Erfindung betrifft Spiegel und insbesondere solche Spiegel, die derart hergestellt werden, daß man flache Substrate, wie beispielsweise Glas, verwendet, die anschließend in der Hitze zu einer gewünschten gekrümmten Gestalt verformt werden.
Gekrümmte Spiegel werden allgemein als Rückspiegel für Kraftfahrzeuge, als reflektierende Oberflächen für Teleskope und für dergleichen mehr verwendet. Sie können hergestellt werden, indem man zunächst eine Glasfolie oder -tafel zu der gewünschten gekrümmten Gestalt verformt und anschließend einen reflektierenden Überzug auf die eine oder die andere Seite des Substrates aufbringt. Beispielsweise können gekrümmte Spiegel, wie sie beim Karneval zur Hervorbringung von amüsanten, verzerrten Spiegelungen eines Betrachters verwendet werden, hergestellt werden, indem man zunächst eine Folie oder Tafel zu der gewünschten Gestalt verformt und anschließend eine Oberfläche des Glases mit metallischem Silber und einem darüber liegenden Schutzlack beschichtet.
Spiegel können auch hergestellt werden, indem man eine Sputtering-Technik mit Hilfe eines Magnetrons anwendet, wie beispielsweise in Chapin US-PS 4,166,018 beschrieben. Als reflektierende Schicht können dabei Chrom oder Silber verwendet werden. Wenn gekrümmte Spiegel unter Anwendung eines Sputtering-Verfahrens mit Hilfe eines Magnetrons hergestellt werden, werden die Glassubstrate für die Spiegel zunächst typischerweise in einer Größe zu der gewünschten Form gebogen, die für die Herstellung von zwei oder mehr Spiegeln ausreicht. Nachdem die gebogenen Glasstücke gewaschen worden sind, werden sie auf einen geeigneten Träger gelegt und durch Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons beschichtet. Zufolge der Krümmung der Substrate sind die erzeugten reflektierenden Beschichtungen nicht genau gleichmäßig. Das Herstellungsverfahren selbst ist langwierig und zeitraubend, da es verlangt, daß zahlreiche kleine Glassubstrate von Hand auf einen Träger gelegt werden, welcher durch eine Vorrichtung für das Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons hindurch geleitet wird, und jedes einzelne erhaltene Spiegelstück von Hand von dem Träger genommen werden muß, wenn das Sputtering vollständig durchgeführt ist.
Um diese Schwierigkeit zu vermeiden, wäre es wünschenswert, zunächst eine reflektierende Beschichtung auf eine flache Glasfolie unter Ausbildung eines Spiegels abzuscheiden und anschließend den Spiegel, wie gewünscht, in der Hitze zu biegen und zu zerschneiden. Aus US-PS 4,826,525 (Chesworth et al.) ist ein Beispiel für die Herstellung eines Spiegels durch Aufbringen von aufeinanderfolgenden Chrom- und Aluminiumüberzügen auf Glas bekannt. Im allgemeinen entstehen, wenn flache Glasfolien mit einer reflektierenden Schicht unter Verwendung von beispielsweise Chrom als reflektierendem Metall beschichtet und anschließend bei der Erweichungstemperatur des Glases hitzeverformt werden, auf den Überzügen leicht Fehlstellen, die als Grübchen bezeichnet werden können. Die Grübchen erscheinen als mit dem Auge erfaßbare, kleine, kreisrunde Fehlstellen mit geringer Reflexion. Das Auftreten der Grübchenbildung (gelegentlich als Nadelloch-Bildung bezeichnet) wird noch nicht völlig verstanden, jedoch glaubt man, daß ihre Entstehung eine Funktion von Spannungen ist, die während des Verformens in einem oder mehreren der durch Sputtering abgeschiedenen reflektierenden Überzügen, welche die reflektierende Schicht bilden, entstehen.
Die Erfindung betrifft einen hitzeverformbaren Spiegel, der in der Lage ist, bei erhöhten Temperaturen zu einem gekrümmten Spiegel verformt zu werden, ohne daß eine Grübchenbildung oder beträchtliche Veränderungen in der Reflexion auftreten. Der hitzeverformbare Spiegel umfaßt ein Substrat, vorzugsweise Glas, welches, von der Oberfläche des Substrats aus nach außen gesehen, eine durchsichtige, amorphe, dielektrische Schicht und eine reflektierende Schicht trägt. Letztere umfaßt zwei einander berührende, jedoch unterschiedliche Metallfilme. Der erste Metallfilm ist ein reflektiertender Film, der näher am Substrat angeordnet ist als der zweite Metallfilm, und der zweite Metallfilm umfaßt einen Schutzfilm, der weniger als reflektierend ist als der erste Metallfilm. Der zweite Metallfilm kann aus Niob, Wolfram, Tantal, Eisen oder Nickel bestehen, wobei Niob weitaus bevorzugt ist. Der reflektierende Metallfilm, der vorzugsweise aus Aluminium besteht, ist hinreichend dick, daß er dem Spiegel ein Reflexionsvermögen von mindestens 50% verleiht, und der zweite Metallfilm ist in einer Dicke vorhanden, die dazu ausreicht, den ersten Metallfilm zu schützen und eine beträchtliche Verringerung des Reflexionsvermögens während des Hitzeverformens des Spiegels zu verhindern. Das auf diese Weise beschriebene Produkt kann auch noch einen Schutzfilm aufweisen, der weiter vom Substrat weg angeordnet ist als die reflektierende Schicht, wobei der Schutzfilm vorzugsweise ein dielektrische Oxid oder Nitrid, wie beispielsweise durch Sputtering abgeschiedenes Siliciumnitrid, durch Sputtering abgeschiedenes Aluminiumoxid oder durch Sputtering abgeschiedenes Siliciumoxid aufweist. Von diesen ist Siliciumnitrid bevorzugt.
Wenn ein hitzeverformbarer Spiegel gemäß der Erfindung bei einer Temperatur verformt wird, die oberhalb der Temperatur liegt, bei der die Schichten der reflektierenden Beschichtung abgeschieden werden, können zwischen den verschiedenen, durch Sputtering abgeschiedenen Überzügen Atomdiffusion und bzw. oder strukturelle Umlagerungen auftreten, welche die reflek tierenden Eigenschaften des erzeugten gebogenen Spiegels verändern. Die hitzeverformbaren Spiegel gemäß der Erfindung behalten jedoch in großem Umfang und vorzugsweise vollständig ihre wichtigen optischen Spiegeleigenschaften (niedrige Durchlässigkeit, hohe Reflexion) bei, wenn sie auf diese erhitzt und verformt werden, und sind darüber hinaus frei von Grübchenbildungen.
In einer weiteren Ausführungsform betrifft die Erfindung einen gekrümmten Spiegel, der dadurch hergestellt ist, daß man einen hitzeverformbaren Spiegel der oben beschriebenen Art herstellt und ihn Biegekräften bei einer Temperatur unterzieht, bei der das Substrat in der Lage ist, plastisch deformiert zu werden (beispielsweise bei der Glasübergangstemperatur im Falle eines Glassubstrates). Der flache Spiegel wird bei dieser Temperatur zu der gewünschten gekrümmten Gestalt verformt, um einen gekrümmten Spiegel zu erzeugen, der anschließend unter Aufrechterhaltung seiner gekrümmten Gestalt abgekühlt wird. Der erhaltene gekrümmte Spiegel behält erwünschtermaßen mindestens etwa 100% des Reflexionsvermögens und nicht über etwa 150% der Durchlässigkeit des hitzeverformbaren flachen Spiegels bei, aus dem er hergestellt worden ist, und ist im wesentlichen frei von sichtbaren Grübchen.
Gekrümmte Spiegel gemäß der Erfindung weisen zweckmäßigerweise eine halbkugelige Reflexion von mindestens 50% (gemessen unter Verwendung eines Reflektometers und einer integrierenden Kugel über den Wellenlängenbereich von 200 bis 2600 nm) sowie eine Durchlässigkeit von nicht über etwa 4,0% auf. Das Reflexionsvermögen wird hierbei unter Verwendung eines Reflektometers mit einer Wolframlampe bei einer Fadentemperatur von 2854°K mit einem Einfallswinkel von 25 ± 5° gemessen, wobei eine Detektorzelle die annähernd das menschliche Auge verdoppelt (photoptische Standardkurve CIE) und eine integrierende Kugel eingesetzt werden. Zusätzlich zu den guten optischen Eigenschaften für das Spiegelerzeugnis muß der Überzugsstapel oder Filmstapel sowohl im flachen als auch im gebogenen Zustand mechanisch und chemisch dauerhaft bzw. beständig sein.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Zeichnungen beispielsmäßig anhand von Zeichnungen näher erläutert, worin bedeuten:
1 einen schematischen Querschnitt eines hitzeverformbaren Spiegels gemäß der Erfindung und
2 eine schematische Darstellung, welche die Anwendung einer Vorrichtung für die Hitzeverformung zeigt.
In 1 ist ein hitzeverformbarer Speigel 10 gemäß der Erfindung dargestellt, bei dem das flache, plattenartige Substrat Glas ist. Durch Sputtering sind auf die flache Oberfläche 20 des Substrates aufeinanderfolgend eine amorphe Schicht 14, eine reflektierende Schicht 16 aus einem ersten und zweiten Metallfilm 20, 22 und eine Schutzschicht 18 abgeschieden.
Bei der Ausführungsform nach 1 wird die amorphe Schicht 14 durch Sputtering unmittelbar auf die flache Oberfläche 20 des Glassubstrats abgeschieden, wobei die bekannten Sputtering-Techniken mit Magnetron, wie sie in Chapin US-PS 4,166,018 beschrieben sind, angewandt werden. „Abscheiden" oder „abgeschieden durch Sputtering" o.ä. werden hier zur Bezeichnung des Beschichtens bzw. der Beschichtung durch Sputtering mit Hilfe eines Magnetrons verwendet.
Der Überzug 14 ist amorph, d.h. er weist keine erkennbare Kristalltracht oder Kristallanordnung auf, wenn man durch ein Querschnittsübertragungs-Elektronenmikroskop (XTEM) blickt. Allgemein wurde gefunden, daß die Ausbildung von Nadellöchern oder Grübchen durch die Verwendung dieser amorphen Schicht zwischen dem Glassubstrat und der darüber liegenden reflektierenden Schicht zurückgedrängt werden kann. Die amorphe Schicht ist ein dielektrisches Material, vorzugsweise ein Oxid oder Nitrid, wie beispielsweise Silicumnitrid, Titannitrid und Zinnoxid. Von diesen ist Siliciumnitrid bevorzugt. Die amorphe Schicht wird zweckmäßig in einer Dicke von mindestens 200 Å, vorzugsweise mindestens 300 Å und insbesondere im Bereich von 300 bis 400 Å eingesetzt. Die hinreichende Dicke des amorphen Materials wird verwendet, um eine Grübchenbildung zu verhindern.
Gemäß 1 ist, wie oben erwähnt, die reflektierende Schicht 16 aus zwei einander berührenden Metallüberzügen 20 und 22 zusammengesetzt, wobei der Überzug 20 ein reflektierender Metallüberzug von hinreichender Dicke ist, um dem erhaltenen Spiegel ein Reflexionsvermögen (halbkugelige Reflexion, gemessen unter Verwendung eines Reflektometers und einer integrierenden Kugel über den Wellenlängenbereich von 200 bis 2600 nm) von mindestens 50% und eine Durchlässigkeit von nicht über etwa 4% zu verleihen, und der Metallüberzug 22 dazu dient, den reflektierenden Metallüberzug 20 zu schützen. Der reflektierende Metallüberzug wird zweckmäßig aus der Gruppe ausgewählt, die aus Aluminium, Titan, Zirkon, Molybdän, Kupfer, Hafnium, Gold und rostfreiem Stahl sowie Kombinationen daraus besteht. Aluminium ist das bevorzugte reflektierende Metall. Zweckmäßigerweise werden für das Material des reflektierenden Metallüberzuges Chrom, Chrom/Nickel-Legierungen und Silber vermieden, da diese reflektierenden Materialien anscheinend die Grübchenbildung oder die Nadellochbildung fördern. Es wird angenommen, daß jedoch geringe Mengen dieser Materialien in Kombination mit Aluminium oder anderen reflektierenden Metallen, wie sie oben aufgelistet sind, verwendet werden können.
Die metallische Schutzbeschichtung 22 ist aus einem Metall gebildet, das sich von dem Metall für die reflektierende Schicht 20 unterscheidet. Der reflektierende Metallüberzug 22 ist weniger reflektierend als die reflektierende Schicht 20 und das Metall, welches für den Überzug 22 verwendet wird, ist vorzugsweise weniger reflektierend als das Metall, welches für den reflektierenden Metallüberzug 20 verwendet wird, wenn Metallüberzüge gleicher Dicken miteinander verglichen werden. Der Überzug 22 wird vorzugsweise aus einem Metall hergestellt, daß aus der Gruppe Niob, Wolfram, Tantal, Eisen und Nickel oder Kombinationen davon besteht. Niob ist das bevorzugte Material für die Schutzschicht 22.
Der metallische Schutzüberzug 22 wird in einer Dicke verwendet, die eine gute Schutzwirkung gegen Oxidation des Aluminiums oder anderen reflektierenden Metallüberzuges unter ihm gewährleistet, jedoch darf die Dicke dieses Filmes nicht so groß sein, daß sie nach dem Biegen die Reflexion beträchtlich vermindert. Innerhalb dieser Parameter kann die Dicke des Metallüberzuges 22, wie gewünscht, variiert werden und liefert ein Mittel zur Steuerung der reflektierten Farbe des Spiegels. Wie erwähnt, ist Niob das bevorzugte Metall für den Überzug und wird zweckmäßig in einer Dicke eingesetzt, die von etwa 50 bis etwa 400 Å reicht, wobei der Bereich von 100 bis 150 Å bevorzugt ist.
In der bevorzugten Ausführungsform ist der reflektierende Metallüberzug 20 ein Überzug aus Aluminium, und der metallische Schutzüberzug 22 besteht aus Niob, wobei der Aluminiumüberzug in einer Dicke von etwa 200 bis etwa 1000 Å, vorzugsweise etwa 530 Å, und der Niobüberzug in einer Stärke im Bereich von etwa 50 bis 400 Å und vorzugsweise 100 bis 150 Å vorhanden sind. Diese Metallüberzüge berühren einander; d.h. einer ist über dem anderen ausgebildet.
Eine gewünschtenfalls verwendbare Schutzschicht ist in 1 als 18 dargestellt, und diese Schicht wird zweckmäßigerweise durch Sputtering über der reflektierenden Schicht 16 und vorzugsweise unmittelbar auf diese aufgebracht, d. h. unmittelbar auf die Oberfläche der Metallschutzschicht 22. Die äußere Schutzschicht 18 führt außerdem zu einer weiteren Steuerungsmöglichkeit über die reflektierte Farbe des Spiegels und dient zusammen mit der metallischen Schutzschicht 22 dazu, Sauerstoff an dem Erreichen des reflektierenden Metallüberzugs 20 zu hindern. Siliciumnitrid und Zinkoxid sind geeignete Materialien für die Schutzschicht 18, wobei Siliciumnitrid bevorzugt ist; die Schutzschicht 18 kann eine Dicke im Bereich von etwa 50 bis etwa 200 Å aufweisen.
In einer am meisten bevorzugten Ausführungsform besitzt die Beschichtung des Glassubstrates den amorphen Überzug 14, den reflektierenden Metallüberzug 20 und den metallischen Schutzüberzug 22, wobei einer auf dem anderen gebildet ist, d. h. sie sich gegenseitig berühren. Die gewünschtenfalls vorhandene Schutzschicht 18 wird zweckmäßigerweise, jedoch nicht notwendigerweise auf der äußeren Oberfläche der metallischen Schutzschicht 22 ausgebildet. Darüber hinaus ist es zweckmäßig, daß die amorphe Schicht 14 unmittelbar auf der Oberfläche 20 des Glassubstrates ausgebildet wird.
Selbstverständlich können auch andere und weitere Schichten aus durch Sputtering abgeschiedene Materialien zwischen oder auch zu beiden Seiten der amorphen Schicht 14, der reflektierenden Schicht 16 oder der Schutzschicht 18 angeordnet werden, vorausgesetzt, daß derartige zusätzliche Schichten nicht zu der erwünschten Grübchenbildung, Verfärbung oder anderen Fehlern des Überzuges führen, wenn der Spiegel dem Hitzeverformen unterworfen wird. Beispielsweise kann rostfreier Stahl auf irgendeiner Seite der amorphen Schicht 14 aufgebracht werden; wenn er über der amorphen Schicht aufgebracht wird, dient der rostfreie Stahl dazu, das Reflexionsvermögen des reflektierenden Metallüberzugs 20 zu verbessern.
2 zeigt schematisch eine erhitzte Form, wie sie sich zur Hitzeverformung von gebogenen Glasfolien oder Glastafeln eignet. Formen dieses Typs werden gewöhnlich bei der Herstellung von beispielsweise gekrümmten Windschutzscheiben für Kraftfahrzeuge und gekrümmten Glasscheiben verwendet, die anschließend mit einer Spiegeloberfläche zur Verwendung als Kraftfahrzeugrückspiegel und dergleichen ausgerüstet werden. Die Form besteht aus einer Matrize 40 mit einer konkaven, nach oben gerichteten Oberfläche 42 und einer Patrize 44 mit einer nach unten gerichteten konvexen Oberfläche 46. Im Betrieb werden die Formteile auf die Erweichungstemperatur von Glas erhitzt, und ein hitzeverformbarer Spiegel, wie derjenige, welcher in Verbindung mit 1 beschrieben ist, wird auf die Oberfläche der Matrize gelegt, wobei seine durch Sputtering aufgebrachte Beschichtung nach unten gerichtet ist. In dem Maße, wie die flache Glastafel auf ihren Erweichungspunkt erhitzt wird, sackt sie nach unten und kommt mit der oberen Oberfläche 42 der Form in Übereinstimmung. Danach wird die Patrize 44 der Form nach unten gegen die äußere Oberfläche der Glastafel gedrückt und stellt eine glatte Übereinstimmung zwischen Glastafel und Oberfläche 42 sicher. Wenn das Verformen beendet ist, werden die Formen auf unterhalb des Erweichungspunktes für das Glassubstrat gekühlt, voneinander getrennt und der gebogene Spiegel entfernt. Die Betriebstemperaturen für Formen dieses Typs liegen gewöhnlich im Bereich von 1110 bis 1130°F.
Die reflektierenden Beschichtungen von Spiegeln müssen vor und nach dem Biegen eine beträchtliche Dauerhaftigkeit aufweisen. D.h., die Beschichtungen müssen Widerstandsfähigkeit gegenüber Abrieb, extremen Wärme- und Kälteeinwirkungen, Feuchtigkeit und Lösungsmitteln, wie beispielsweise Alkoholen und Salzspüllösungen, aufweisen. Die Abriebfestigkeit kann gemessen werden, indem man einen normalen Bleistiftradiergummi (Blaisdell^® Nr. 536 T oder Äquivalent), der mit einem Kilogramm Last beladen ist, 100mal vor und zurück über eine mit Methanol gesäuberte, beschichtete Oberfläche reiben läßt. Eine Beschichtung mit einer annehmbaren Dauerhaftigkeit darf keinen wesentlichen Substanzverlust und keine Verringerung des Reflexionvermögens aufweisen. Die Haftung des durch Sputtering aufgebrachten Überzugsstapels an dem Substrat kann untersucht werden, indem man versucht, die Beschichtung mit einem druckempfindlichen Klebeband, wie in MIL-C 48497 A beschrieben, abzuziehen. Die Widerstandsfähigkeit gegenüber Alkohol kann untersucht werden, indem man einen Bereich auf der Beschichtung mit einem mit Isopropanol getränkten, sauberen Tuch von Hand abreibt. Ein Salzsprühversuch ist in ASTM B-117 beschrieben und wird 240 Stunden lang durchgeführt. Um die Widerstandsfähigkeit gegen über Feuchtigkeit zu untersuchen, wird ein beschichtetes Probestück 500 Stunden lang in einer Feuchtigkeitskammer, die bei 45°C und 98 bis 100% relativer Feuchtigkeit gehalten wird, exponiert.
Nach jedem der oben beschriebenen Versuche werden die untersuchten Beschichtungen visuell untersucht, um etwaige Fehler festzustellen.
Die Erfindung wird im folgenden durch ein Beispiel näher erläutert, ohne daß sie dadurch beschränkt würde.
Unter Verwendung einer herkömmlichen Sputtering-Anlage mit einem Magnetron, hergestellt von Airco, Inc., wurden die oberen, gesäuberten Oberflächen von flachen Glastafeln einem Sputtering von verschiedenen Targets aus in einer Reihe von aufeinanderfolgenden Zonen unterworfen, wobei die Fortbewegungsge schwindigkeit der Glastafeln sowie die an die verschiedenen Sputteringeinheiten mit Magnetron gelieferte elektrische Energie derart gewählt wurden, daß die gewünschten Stärken der durch Sputtering erzeugten Überzüge erzielt wurden. Zu Anfang wurde Silicium von einem Silicium-Target aus in einer stickstoffhaltigen Atmosphäre dem Sputtering unterworfen, so daß eine Abscheidung von Siliciumnitrid mit einer Stärke von etwa 400 Å erfolgte. Danach wurden dem Sputtering Aluminium von einem Aluminiumtarget aus und Niob von einem Niobtarget aus in einer Argonatmosphäre unterzogen, was zu Schichtdicken von etwa 530 Å bzw. 110 Å führte. Schließlich wurde Silicium von einem Siliciumtarget aus in einer stickstoffhaltigen Atmosphäre dem Sputtering unterzogen, was zu einer Endschicht aus Siliciumnitrid mit einer Dicke von etwa 100 Å führte.
Der erhaltene hitzeverformbare Spiegel wurde hinsichtlich Durchlässigkeit, Reflexion und Farbeigenschaften vermessen und anschließend dem oben beschriebenen Biegeverfahren bei einer Temperatur von 1130°F unterzogen. Nach Entfernen des erhaltenen, gekrümmten Spiegels aus der Form wurde der Spiegel auf Beschichtungsfehler untersucht und außerdem Messungen von Reflexionsvermögen, Durchlässigkeit und Färbung unterzogen. Kein Schleier, keine Grübchenbildung oder anderer physikalischer Mangel wurde beobachtet. Die Reflexion vor und nach dem Biegen betrug 59%, die Durchlässigkeit stieg beim Biegen von 2,2% auf 2,6%, und die anfänglichen und am Schluß bestimmten Farbkoordinaten des gebogenen Films (Hunter L,a,b-System, Illumination D 65) betrugen L = 73,3, a = 0,65 und b = 3,4. Der gebogene Spiegel wurde dem Salzsprühtest sowie Untersuchungen hinsichtlich der Widerstandsfähigkeit gegenüber Feuchtigkeit, Abrieb, Haftung und Reiben mit Alkohol, wie sie oben beschrieben sind, unterzogen, wobei keine bemerkenswerten Fehler auftraten.
Während eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung beschrieben worden ist, können selbstverständlich verschiedene Abänderungen, Anpassungen und Modifizierungen durchgeführt werden, ohne daß vom Gedanken der Erfindung und dem Umfang der folgenden Ansprüche abgewichen wird.

Claims

Hitzeverformbarer Spiegel aus einem flachen Substrat, welches aufgrund von Einwirkenlassen von Wärme zum plastischen Fließen in der Lage ist, und einer auf einer Oberfläche des Substrats gebildeten, durch Sputtering abgeschiedenen Beschichtung, welche, ausgehend vom Substrat nach außen, eine durchsichtige, amorphe, dielektrische Schicht und eine reflektierende Schicht aus unterschiedlichen ersten und zweiten Metallüberzügen, die sich berühren, besteht, wobei der erste Metallüberzug ein reflektierender Metallüberzug ist und dem Substrat näher angeordnet ist als der zweite Metallüberzug und der zweite Metallüberzug einen Schutzüberzug umfaßt, der weniger reflektierend ist als der reflektierede Metallüberzug und aus der Gruppe ausgewählt ist, die aus Niob, Wolfram, Tantal, Eisen und Nickel besteht, der reflektierende Metallüberzug eine Dicke aufweist, die dem Spiegel ein Reflexionsvermögen von mindestens 50% verleiht und der zweite Metallüberzug in einer Dicke vorhanden ist, die ausreicht, den ersten Metallüberzug zu schützen und eine beträchtliche Verringerung des Reflexionsvermögens während des Hitzeverformens des Spiegels zu vermeiden.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß Anspruch 1, der eine dauerhafte Schutzschicht enthält, die weiter vom Substrat entfernt als der zweite Metallüberzug angeordnet ist.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß Anspruch 2, wobei die dauerhafte Schutzschicht Siliciumnitrid, Aluminiumoxid oder Siliciumoxid enthält.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei erster und zweiter Metallüberzug Aluminium bzw. Niob enthalten oder daraus bestehen.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die amorphe, dielektrische Schicht ein Oxid oder ein Nitrid in einem Dickenbereich von 250 bis 400 Å umfaßt.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die amorphe, dielektrische Schicht Siliciumnitrid, Titannitrid oder Zinnoxid umfaßt.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Substrat Glas ist und die amorphe Schicht aus Siliciumnitrid besteht.
Hitzeverformbarer Spiegel, umfassend ein flache Glassubstrat und eine Sputtering abgeschiedene Beschichtung auf einer Oberfläche des Substrates, wobei der hitzeverformbare Spiegel bei erhöhten Temperaturen im wesentlichen ohne Schaden für die reflektierende Beschichtung verformbar ist und die Beschichtung, ausgehend vom Substrat nach außen, umfaßt: a) einen amorphen, dielektrischen Überzug, enthaltend Siliciumnitrid mit einer Dicke von 250 bis 400 Å sowie b) eine reflektierende Schicht aus zwei miteinander in Berührung stehenden, unterschiedlichen Metallüberzügen, wobei der erste Metallüberzug aus einem Metall besteht, welches aus der aus Aluminium, Titan, Zirkon, Molybdän, Kupfer, Hafnium, rostfreiem Stahl und Gold sowie die aus einer Kombination davon bestehenden Gruppe ausgewählt ist und dem Substrat näher angeordnet ist als der zweite Me tallüberzug und der zweite Metallüberzug Niob in einer Dicke im Bereich von 50 bis 400 Å umfaßt.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß Anspruch 8, welcher außerdem eine dauerhafte Schutzschicht aus Siliciumnitrid aufweist, die weiter von dem Substrat entfernt als der Niobüberzug angeordnet ist und eine hinreichende Verhinderung des Eindringens von Sauerstoff bewirkt, um das Absinken des Reflexionsvermögens des hitzeverformbaren Spiegels nach dem Biegen in der Hitze auf weniger als 50% zu verhindern.
Hitzeverformbarer Spiegel, umfassend ein flaches Glassubstrat und einen durch Sputtering auf einer Oberfläche des Substrates abgeschiedenen Überzug, wobei der Überzug, vom Substrat aus nach außen betrachtet, eine durchsichtige, amorphe Schicht und eine reflektierende Schicht aus zwei aus Aluminium und Niob bestehenden, einander berührenden Überzügen umfaßt, wobei der Aluminiumüberzug dem Substrat näher angeordnet ist als der Niobüberzug und der Aluminiumüberzug eine Dicke aufweist, die dem Spiegel ein Reflexionsvermögen von mindestens 50% verleiht und der Niobüberzug eine Dicke von 50 bis 400 Å besitzt.
Hitzeverformbarer Spiegel gemäß Anspruch 10, wobei die amorphe Schicht Siliciumnitrid in einer Dicke von 250 bis 400 Å umfaßt.