DE3687336T2

DE3687336T2 - Durchsichtiger gegenstand mit einer hohen sichtbaren durchlaessigkeit.

Info

Publication number: DE3687336T2
Application number: DE8686307565T
Authority: DE
Inventors: Roy Lee Bernardi; Donald V Jacobsen; Francis Walter Ryan
Original assignee: BOC Group Inc
Current assignee: Messer LLC
Priority date: 1985-10-08
Filing date: 1986-10-01
Publication date: 1993-04-29
Anticipated expiration: 2006-10-02
Also published as: MX165693B; AU590619B2; JPH0579024B2; EP0219273A3; CA1297069C; EP0219273B1; BR8604851A; US4828346A; CN1012950B; NO863995D0; AU6322486A; EP0219273A2; NO863995L; ZA867041B; ES2036525T3; JPS62109637A; CN86106503A; DE3687336D1; KR900002049B1; KR870003946A

Description

Die Erfindung betrifft einen transparenten, zum Einsatz in einem Fenster geeigneten Gegenstand, und insbesondere einen elektrisch leitenden Überzug für Verglasungen von Motorfahrzeugen, bei denen es notwendig ist, Eis oder Beschlag zu entfernen.
Teiltransparente Überzüge, die aus einer dünnen Metallschicht zwischen zwei dielektrischen Antireflexschichten bestehen, finden zahlreiche Anwendungen, einschließlich für Sonnenwärmeschutzscheiben für Gebäude und Fahrzeuge. Elektrisch leitende Überzüge, die die Scheibe zur Entfernung von Eis oder Beschlag beheizen können, sind besonders wünschenswert. Überzüge mit gleichförmiger hoher Leitfähigkeit und gleichförmiger Durchlässigkeit von mehr als 70% sind zur Verwendung bei beheizten Windschutzscheiben erforderlich.
Das UK-Patent 1 307 642 (Asahi Glass Co.) beschreibt eine elektrisch beheizte Scheibe mit einem Dielektrikum-Metall- Dielektrikum-Überzug, wobei die Metallschicht Silber ist und die Dielektrikum-Schichten unter anderem TiO&sub2;, SnO oder Bi&sub2;O&sub3; sind.
Das US-Patent 4 368 945 (Fujimori u. a.) beschreibt eine infrarotreflektierende beschichtete Scheibe mit einem Kunststoffilm, auf welchem ein Dielektrikum-Metall-Dielektrikum- Überzug aus Wolframoxid, Silber und Wolframoxid aufgebracht ist.
Das US-Patent 4 462 883 (Hart) beschreibt einen Dielektrikum- Metall-Dielektrikum-Überzug für Glas- oder Kunststoffscheiben mit einer Silberschicht zwischen zwei Antireflexschichten aus SnO oder einem anderen Metalloxid. Damit die Silberschicht nicht oxidiert, ist sie mit einer kleinen Menge Titan oder einem anderen Opfermetall überzogen, das während eines reaktiven Aufdampfens der darüberliegenden Metalloxidschicht oxidiert wird. Der sich ergebende überzogene Gegenstand weist ein niedriges Emissionsvermögen auf, d. h. er läßt sichtbare Strahlung durch, aber reflektiert einen hohen Anteil der einfallenden Infrarotstrahlung. Ein besonderes Verfahren zum Aufbringen von Überzügen mit Silberschichten und einem Opfermetalloxid ist in dem US-Patent 4 497 700 für Groth u. a. beschrieben.
Das US-Patent 4 337 990 (Fan u. a.) beschreibt einen transparenten Wärmespiegel mit einer Schicht aus aufgedampftem Silber, die zwischen Schichten von reaktiv aufgedampftem Titanoxid eingebettet ist.
Die UK-Patentschrift 2 080 339 A (Bosch) beschreibt eine Mehrschicht-Wärmeschutzkonstruktion zur Verwendung bei Scheiben mit einem Träger, einer ersten Entspiegelungsschicht aus TiN/TiO&sub2;/TiN, einer leitfähigen Metallschicht (Ag, Cu, Au) und einer zweiten Entspiegelungsschicht aus beispielsweise TiO&sub2;.
Ein Schichtglas mit einem Dielektrikum-Metall-Dielektrikum Überzug aus TiO&sub2;-Ag-TiO&sub2; weist eine hohe Durchlässigkeit im sichtbaren Bereich, eine hohe Infrarotreflexion und andere überragende optische Eigenschaften auf. Unglücklicherweise bildet sich Titandioxid durch reaktives Aufdampfen in verhältnismäßig geringem Ausmaß, das Ausmaß beträgt nur etwa 8% von demjenigen von Zinkoxid oder Zinnoxid. Wenn jedoch Glas mit einem Überzug auf ZnO-Ag-ZnO von uns mit einer Schicht aus Kunststoff und Glas mit herkömmlichen Techniken laminiert wurde, nahm die Durchlässigkeit um ein überraschend großes Maß ab. Die sich ergebende Durchlässigkeit ist nur geringfügig größer, als sie für Windschutzscheibenanwendungen notwendig ist, und es ist eine ungewöhnliche Sorgfalt erforderlich, um es in kommerziellen Mengen zu produzieren.
Die vorliegende Erfindung bezweckt die Schaffung eines Gegenstands mit Dielektrikum-Metall-Dielektrikum-Schichten mit optischen Eigenschaften, die für beheizte Windschutzscheiben geeignet sind, und für andere Anwendungen, der zu vernünftigen Kosten in kommerziellen Mengen hergestellt werden kann.
Die Erfindung sieht einen transparenten Gegenstand vor, welcher der Reihe nach aufweist:
eine transparente Basis,
eine erste transparente Entspiegelungsschicht,
eine transparente Metallschicht,
eine Titandioxidschicht mit einer Dicke von 2 bis 5 Nanometer,
eine zweite Entspiegelungsschicht mit einem Brechungsindex, der zwischen dem einer Deckschicht und 2,7 liegt, und
eine schützende Deckschicht.
Die überzogenen Schichten weisen typischerweise eine erste Entspiegelungsregion, eine transparente Schicht aus Silber oder anderem Metall, und eine zweite Entspiegelungsregion aus einer Schicht aus Titandioxid, TiO&sub2;, und eine Schicht aus einem anderen dielektrischem Material auf.
Eine Titandioxidschicht kann außerdem eine Komponente der ersten Entspiegelungsregion sein. Jede Entspiegelungsregion, welche eine Titandioxidschicht aufweist, weist auch eine Schicht aus einem transparenten Oxid oder einem anderen dielektrischem Material mit einem Brechungsindex zwischen etwa 2,7, dem ungefähren Brechungsindex von Titandioxid, und dem Brechungsindex der benachbarten Basis bzw. Deckschicht auf.
Das Material mit dem dazwischenliegenden Brechungsindex ist vorzugsweise Zinkoxid, da dieses Material verhältnismäßig schnell und billig durch reaktives Aufdampfen aufgebracht werden kann. Wismuthoxid, Indiumoxid, Zinnoxid, Siliziummonoxid und andere Materialien können ebenfalls für die Schichten mit dazwischenliegendem Brechungsindex verwendet werden. Gewünschtenfalls kann ein Mischoxid wie beispielsweise Indium-Zinn-Oxid oder ein Komposit aus zwei oder mehr Schichten Anwendung finden.
Vorzugsweise hat die Metallschicht einen spezifischen Widerstand von weniger als 5 Ohm/Quadrateinheit. Das bevorzugte Metall ist Silber wegen seiner neutralen Farbe und seiner hohen elektrischen Leitfähigkeit, jedoch können in weniger kritischen Anwendungen auch Kupfer, Gold oder Aluminium verwendet werden.
Die Erfindung wird nun beispielsweise mit Bezug auf die anliegenden Zeichnungen beschrieben, in welchen zeigen:
Fig. 1 einen Querschnitt eines transparenten Gegenstandes nach der Erfindung,
Fig. 2 einen Querschnitt einer weiteren Ausführungsform der Erfindung,
die Fig. 3a und 3b graphische Darstellungen der spektralen Durchlässigkeit und des Reflexionsvermögens eines Vergleichsüberzugs (Kurven 1) und einer bevorzugten Ausführungsform (Kurven 2),
Fig. 4 eine Draufsicht einer Einrichtung zur Herstellung transparenter Gegenstände nach der Erfindung.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung ist in Fig. 1 dargestellt. Das transparente Substrat- oder Basismaterial 11 ist typischerweise Glas oder Kunststoff mit einem Brechungsindex von etwa 1,5 und kann 2,5 mm dick sein; es kann Natronkalksilikat-Floatglas als Basismaterial 11 verwendet werden. Die Basis ist mit einer ersten transparenten Entspiegelungsschicht 12 überzogen, die vorzugsweise durch reaktives Aufdampfen eines Metalls aufgebracht ist. Die Schicht kann 30 bis 60 Nanometer Zinkoxid mit einem Brechungsindex von etwa 2,0 aufweisen. Als nächstes kommt eine Metallschicht 14 mit einer Dicke von 10 bis 50 Nanometer, wobei Silber mit einer Dicke von 15 bis 20 Nanometer besonders bevorzugt wird. Danach kommt eine Schicht aus Titanoxid 16 mit einer Dicke von 2 bis 5 Nanometer, die vorzugsweise durch Oxidieren einer metallischen Metallschicht und anschließendes Aufbringen zusätzlichen Titandioxids durch reaktives Aufdampfen hergestellt wird. Auf die Schicht 16 folgt eine Schicht 18 mit einem Brechungsindex, der zwischen demjenigen einer Deckschicht 19 und dem Wert 2,7 liegt, bei welchem es sich um den Brechungsindex von Titanoxid handelt. Die Schicht 18 kann Zinkoxid gleicher oder geringerer Dicke wie die Schicht 12 sein. Die Deckschicht 19 ist eine Schicht aus transparentem Glas oder Kunststoff, typischerweise mit einem Brechungsindex von etwa 1,5.
Fig. 2 zeigt eine alternative Ausführungsform, die besonders als elektrisch beheizte Scheibe ausgebildet ist. Das Substrat 11 ist eine Glasscheibe, die teilweise mit einem Muster aus elektrisch leitfähigem Material 21 bedeckt ist, das als Elektrode zur Stromzufuhr zu einer Metallschicht 14 dient. Der erste Entspiegelungsbereich weist eine Zinkoxidschicht 22 auf und kann außerdem eine Titandioxidschicht 23 aufweisen. Wenn vorhanden, liegt die Titandioxidschicht 23 angrenzend an eine metallische Silberschicht 14. Die Silberschicht ist mit einer dünnen Schicht 25 aus einem Opfermetall überdeckt, das zum Schutz der darunterliegenden Silberschicht gegen Oxidation dient. Wegen seiner großen Affinität für Sauerstoff wird Titan bevorzugt, obwohl auch Aluminium, Zink, Wismuth, Indium, Zinn und andere Metalle geeignet sind. Der größte Teil des Opfermetalls wird in ein Oxid umgewandelt, das dann einen Teil einer zweiten Entspiegelungsregion bildet. Diese Entspiegelungsregion umfaßt außerdem eine Titandioxidschicht 26 und eine zweite Schicht 18 mit dazwischenliegendem Brechungsindex, vorzugsweise aus Zinkoxid. Die Deckschicht besteht aus einer Kunststoffschicht 27 und einer Glasschicht 29.
Die bevorzugte Ausführungsform weist einen spezifischen elektrischen Widerstand von 4 bis 5 Ohm/Quadrateinheit auf. Der optische Durchlässigkeitsgrad ist größer als 70% und vorzugsweise größer als 72% bei geringer Absorption. Für die Titandioxidschicht wurden Brechungsindizes im Bereich von 2,5 bis 2,7 gemessen.
Die Zusammensetzung einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist in Tafel 1 gezeigt. Die Glasschichten 11 und 19 sind jeweils 2,5 mm dick, wobei aber diese Dicke nicht kritisch ist. Tafel 1 Schicht Material Dicke (nm) Brechungsindex Glas
Die Kurven 1 in den Fig. 3a und 3b zeigen die spektrale Durchlässigkeit und das Reflexionsvermögen von Beispiel 1, einem dreischichtigen Überzug aus 40 Nanometer Zinkoxid, 18 Nanometer Silber und 40 Nanometer Zinkoxid auf einem Glassubstrat, mit einer Glasdeckschicht überdeckt. Die Kurven 2 zeigen die spektralen Eigenschaften von Beispiel 2, der in Tafel 1 angegebenen Ausführungsform der Erfindung. Es ist bezeichnend, daß die Ausführungsform der Erfindung eine hohe Durchlässigkeit im sichtbaren Spektralbereich und ein hohes Reflexionsvermögen im infrarotnahen Bereich zeigt.
Spektralmäßig ausgemittelte (Beleuchtung A) optische Eigenschaften sind in Tafel 2 zusammengefaßt. T&sub1; und R&sub1; beziehen sich auf die Durchlässigkeit und das Reflexionsvermögen der beschichteten Basis, bevor die Deckschicht aufgebracht wird. T&sub2;, R&sub2; und R&sub3; entsprechen der Durchlässigkeit und dem Reflexionsvermögen des geschichteten Gegenstandes einschließlich der Deckschicht 19. R&sub2; und R&sub3; geben das Reflexionsvermögen für Lichteinfall auf der Basis 11 bzw. der Deckschicht 19 an. Die letzte Spalte gibt das Emissionsvermögen e des Gegenstandes an. Niedriges Emissionsvermögen ist ein Maß für hohes Infrarotreflexionsvermögen, und Emissionsgrade von 0,15 oder weniger sind für Sonnenwärmeschutzfenster zu bevorzugen, Werte von 0,1 oder weniger sind besonders zu bevorzugen.
Zum Vergleich geben die ersten beiden Reihen der Tafel 2 die optischen Eigenschaften der Beispiele 1 und 2 an. Beachte, daß die Erfindung, Beispiel 2, einen höheren Durchlässigkeitsgrad T&sub2; im durchlässigen Bereich, niedrigere Reflexionsgrade R&sub2; und R&sub3;, und im wesentlichen den gleichen Emissionsgrad e aufweist.
Die dritte Reihe in Tafel 2 zeigt die entsprechenden optischen Eigenschaften eine Überzugs aus 33 Nanometer Zinkoxid, 3,5 Nanometer Titandioxid, 18 Nanometer Silber, 3 Nanometer Titandioxid und 33 Nanometer Zinkoxid.
Zum weiteren Vergleich zeigt die vierte Reihe in Tafel 2 entsprechende optische Eigenschaften für einen Überzug aus 30 Nanometer Titandioxid, 18 Nanometer Silber und 30 Nanometer Titandioxid. Tafel 2 Beispiel
Wie in Tafel 2 angegeben, haben alle vier Beispiele sehr ähnliche Werte des Durchlässigkeitsgrads T&sub1; im sichtbaren Bereich und des Emissionsgrads e, aber die zwei Ausführungsformen nach der Erfindung, nämlich Beispiele 2 und 3, haben Durchlässigkeitsgrade T&sub2; und Reflexionsgrade R&sub2; und R&sub3; zwischen denen der Beispiele 1 und 4, bei welchen die Entspiegelungsschichten ausschließlich ZnO bzw. TiO&sub2; enthalten. Da eine Kraftfahrzeugwindschutzscheibe gegenwärtig einen Durchlässigkeitsgrad T&sub2; von mindestens 70% haben muß, ist die Steigerung von T&sub2; von 72% (Beispiel 1) auf 74% (Beispiel 2) kommerziell signifikant, da sie einen Bereich für vernünftige Toleranzen bei allen Stufen des Fertigungsverfahrens zuläßt.
Gewisse Eigenschaften von Materialien, die sich zum Aufdampfen nach der vorliegenden Erfindung eignen, sind in Tafel 3 dargestellt. Diese Eigenschaften umfassen den Schmelzpunkt (M.P.), ungefähre Kosten und den Brechungsindex der angegebenen Oxide. Im allgemeinen ermöglichen höherschmelzende Materialien größere Aufdampfgeschwindigkeiten, weil der Zerstäubungsquelle mehr Energie zugeführt werden kann, ohne daß das Aufdampftarget erweicht oder verformt wird. Tafel 3 Material M.P. Kosten Oxid Brechungsindex
Fig. 4 zeigt eine Draufsicht einer zum Aufbringen der Überzugsschichten geeigneten Einrichtung. Die Beschichtungsmaschine weist Zerstäubungsquellen 1 bis 5, vorzugsweise der Planarmagnetron-Bauart, eine evakuierbare Kammer 6 zur Erzeugung einer geeigneten Niederdruck-Aufdampfumgebung, und einen Förderer 8 zum Transportieren der Substrate durch die Maschine vorbei an den Zerstäubungsquellen auf. Vorzugsweise handelt es sich bei dem Förderer um eine Reihe von motorgetriebenen Rollen 9, die vom Einlaß durch sämtliche Kammern bis zum Auslaß der Maschine verlaufen. Die Rollen innerhalb der Maschine sind in Fig. 4 weggelassen. Eine Seitenansicht einer in gewisser Hinsicht ähnlichen Maschine ist in Fig. 1 des US-Patents 3 945 903 (Svendor u. a.) dargestellt.
Die zu beschichtenden Substrate werden auf den Förderer 8 aufgesetzt und zum äußeren Tor (32) einer Einlaßschleuse 30 befördert. Die Einlaßschleuse ermöglicht die Aufrechterhaltung des niedrigen Druckes in der Arbeitskammer 40, indem jeweils das innere Tor 34 geschlossen ist, während das äußere Tor 32 geöffnet ist, um Substrate in die Schleuse hineinzubefördern. Wenn die gewünschte Anzahl von Substraten sich in der Schleuse befindet, wird das äußere Tor geschlossen und die Kammer 30 schnell evakuiert. Die Schleuse wird dann mittels einer mechanischen Pumpe 35 der Roots-Bauart mit drei parallelgeschalteten mechanischen Vorpumpen auf etwa 8,0 Pa (60 Millitorr) evakuiert. Der Druck wird dann weiter abgesenkt, indem auf evakuieren durch eine Kammer 36 mit zwei Diffusionspumpen und zwei luftbetätigten Tellerventilen 38 umgeschaltet wird. Die Kammer ist außerdem mit mechanisch gekühlten Kühlfallen zur Abscheidung von Wasserdampf ausgerüstet. Nachdem die Einlaßschleuse auf einen Druck von etwa 0,01 Pa (0,1 Millitorr) evakuiert worden ist, wird das innere Tor 34 geöffnet und die Substrate werden aus der Einlaßschleuse 30 in einen Einlaßpufferabschnitt 42 befördert. Der Pufferabschnitt 42 weist zwei Kammern 43 auf, die jeweils drei Diffusionspumpen und zugeordnete Tellerventil enthalten.
Die fünf Zerstäubungsquellen 1 bis 5 sind vorzugsweise Planarmagnetronquellen der Bauart, die im US-Patent 4 166 018 der vorliegenden Anmelder beschrieben ist. Die Aufdampfungszone wird über die Kammern 43 und 49 evakuiert, die mit den beiden Pufferabschnitten verbunden ist. Ein Zerstäubergas, üblicherweise Argon, wird aus einer Quelle 62 zugeführt, die über ein erstes Ventil mit der Arbeitskammer verbunden ist. Ein reaktives Zerstäubungsgas, üblicherweise Sauerstoff, tritt durch ein zweites Ventil aus einer zweiten Quelle 64 in die Arbeitskammer ein.
Wenn alles vorbereitet ist, werden die Substrate aus dem Einlaßpuffer an der Reihe von Zerstäubungsquellen vorbeitransportiert, von denen eine oder mehrere durch einzelne Energiequellen 45 betrieben werden. Die Substrate werden in den Auslaßpufferabschnitt 48 transportiert, der mit zwei Pumpkammern 49 ähnlich denjenigen des Einlaßpufferabschnitts ausgestattet ist. Das Zerstäubungsgas wird gewechselt und die Substrate werden nach Bedarf rückwärts und vorwärts durch die Zerstäubungszone 46 transportiert, um die erforderlichen Schichten in der gewünschten Reihefolge aufzubringen. Wenn der Überzug fertiggestellt ist, wird ein zweites inneres Tor 52 geöffnet und die Substrate werden in eine Auslaßschleuse 50 transportiert. Nachdem das innere Tor wieder geschlossen worden ist und die Schleuse 50 auf Atmosphärendruck belüftet wurde, werden die Substrate über ein zweites äußeres Tor 54 herausbefördert. Die leere Auslaßschleuse wird dann durch Pumpen 55, 56 ähnlich denjenigen der Eintrittsschleuse 30 evakuiert.
Die Gaszufuhrventile, die Zerstäubungsenergiequellen, die Torventile, der Förderer und andere Funktionselemente der Beschichtungseinrichtung können automatisch oder manuell nach Bedarf mittels herkömmlicher Mittel gesteuert werden. Außerdem können Mittel zum Waschen, Spülen, Trocknen und Prüfen der Substrate vor dem Beschichten vorgesehen sein.
Nunmehr wird ein Verfahren zum Herstellen einer bestimmten Beschichtung beschrieben. Zuerst müssen Targets aus den geeigneten Materialien auf den Zerstäubungsquellen in der Arbeitskammer installiert werden. Beispielsweise können Titan- und Silberkathoden in den Positionen 1 bzw. 3, und Zinktargets in den Positionen 2, 4 und 5 installiert werden. Hochreine Targetmaterialien (99,95% Ag, 99,95% Tn und 99,8% Ti) sind für beste Ergebnisse bei beheizten Windschutzscheiben zu bevorzugen, aber für manche Anwendungen können auch Materialien geringerer Reinheit geeignet sein. Glaswindschutzscheiben oder andere geeignete Substrate werden gereinigt, auf dem Förderer geladen und in die Prozeßeinrichtung transportiert. In einem ersten Durchgang mit Transport nach rechts in Fig. 4 wird eine Zinkoxidschicht durch Energiezufuhr nur zu den drei Zinkzerstäubungsquellen und durch Einleiten eines Gemisches aus 95% Sauerstoff und 5% Argon in die Kammer zur Aufrechterhaltung eines Druckes von etwa 0,3 Pa (2 Millitorr) aufgebracht. Die Zerstäubungsenergie und die Transportgeschwindigkeit werden im Hinblick auf die Erzeugung der gewünschten Dicke eingestellt.
Beispielsweise kann eine Energiezufuhr von 79 kW zu jeder der drei Zerstäubungsquellen eine Zinkoxidschicht von etwa 37 Nanometer Dicke auf Substraten erzeugen, die sich mit einer Geschwindigkeit von 0,16 m/s bewegen.
Dünne Silberschichten, gefolgt von Titan, werden auf der Zinkoxidschicht aufgebracht, indem auf ein nichtreaktives Zerstäubungsgas umgeschaltet wird und die Substrate in umgekehrter Richtung zurück nach links in Fig. 3 transportiert werden. Mit einer Argonatmosphäre von 0,6 Pa (3 Millitorr), einer Leistungszufuhr von 17 kW zu der Silberzerstäubungsquelle in Position 3 und einer Leistungszufuhr von 14 kW zu der Titanzerstäubungsquelle in Position 1 werden Dicken von 18 Nanometer Ag und 2 Nanometer Ti bei einer Fördergeschwindigkeit von 0,25 m/s aufgebracht. Falls zur Eliminierung von Sauerstoff notwendig, kann die Titanquelle schon eine Zeitlang betrieben werden, bevor die Substrate durch die Aufdampfungszone befördert werden.
Die Titanschicht wird oxidiert und dieses Material mit zusätzlichem Titandioxid und dann mit Zinkoxid in einem dritten Durchgang bei Transport nach rechts in Fig. 3 überzogen. Typischerweise wird eine Atmosphäre von 95% Sauerstoff und 5% Argon bei einem Druck von etwa 0,4 Pa (2 Millitorr) aufrechterhalten und eine Leistung von 90 kW zur Titankathode in Position 1 und eine Leistung von 79 kW zu jeder der drei Zinkquellen zugeführt. Dies reicht aus, um eine 1-Nanometer- Schicht aus Titandioxid und eine 35-Nanometer-Schicht aus Zinkoxid auf Substraten aufzubringen, die mit einer Geschwindigkeit von 0,14 m/s transportiert werden. Wenn das die Silberschicht bedeckende Opfermetall Titan ist, wird es leicht in die Titandioxidschicht eingebaut. Exakte Stoichiometrie ist nicht kritisch.
Das beschichtete Glas kann dann zu einer laminierten Windschutzscheibe zusammengebaut werden, indem der Überzug mit einer Schicht aus Kunststoff und dann einer Schicht aus Glas nach herkömmlichen Techniken überzogen wird. Normalerweise wird die Windschutzscheibe mit der Deckschicht zum Fahrzeuginneren hin eingebaut. Alternativ dazu können weitere aufgedampfte Schichten auf die beschichtete Basis aufgebracht werden. Diese zusätzlichen Schichten können ein transparentes hartes Material sein, das einen kratzfesten Schutzüberzug bildet. Solche zusätzlichen Schichten können durch weitere Aufdampfstufen in der Prozeßkammer oder durch andere Mittel aufgebracht werden.

Claims

1. Transparenter Gegenstand, welcher der Reihe nach aufweist:

eine transparente Basis,

eine erste transparente Entspiegelungsschicht,

eine transparente metallische Schicht,

eine Titandioxidschicht mit einer Dicke von 2 bis 5 Nanometer,

eine zweite Entspiegelungsschicht mit einem Brechungsindex zwischen demjenigen einer Deckschicht und dem Wert 2,7, und

eine schützende Deckschicht.

2. Gegenstand nach Anspruch 1, wobei die metallische Schicht eines oder mehrere der Metalle Silber, Kupfer, Aluminium und Gold enthält.

3. Gegenstand nach Anspruch 1 oder 2, wobei die erste Entspiegelungsschicht und die zweite Entspiegelungsschicht jeweils eines oder mehrere der Materialien Zinkoxid, Wismuthoxid, Indiumoxid, Siliziummonoxid, Zinnoxid und Indium-Zinn- Mischoxid aufweist.

4. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die metallische Schicht Silber mit einer Dicke von 15 bis 20 Nanometer ist.

5. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, der außerdem eine Opfermetalloxidschicht angrenzend an die metallische Schicht aufweist und das Opfermetallmaterial eines oder mehrere der Metalle Titan, Aluminium, Zink, Wismuth, Indium und Zinn aufweist.

6. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die beiden Entspiegelungsschichten Zinkoxid aufweisen und jeweils eine Dicke im Bereich von 30 bis 60 Nanometer haben.

7. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Basis und die Deckschicht Glas sind.

8. Gegenstand nach Anspruch 7, wobei die Deckschicht eine Kunststoffschicht zwischen der zweiten Entspiegelungsschicht und der Glasschicht aufweist.

9. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der spezifische Widerstand der Überzugsschichten weniger als 5 Ohm/Quadrateinheit beträgt.

10. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem Durchlässigkeitsgrad für sichtbare Strahlung von mindestens 72% und einem Emissionsgrad von weniger als 0,1.

11. Gegenstand nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Basis eine Elektrode zur Herstellung elektrischen Kontakts mit den Überzugsschichten aufweist.

12. Gegenstand nach Anspruch 11, wobei die Elektrode zur Herstellung elektrischen Kontakts insbesondere mit der Metallschicht ausgelegt ist.