JPH08146202A - 反射防止膜を有する光学部品 - Google Patents
反射防止膜を有する光学部品Info
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- JPH08146202A JPH08146202A JP6291631A JP29163194A JPH08146202A JP H08146202 A JPH08146202 A JP H08146202A JP 6291631 A JP6291631 A JP 6291631A JP 29163194 A JP29163194 A JP 29163194A JP H08146202 A JPH08146202 A JP H08146202A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射防止膜を有する光学部品の反射防止膜の
層の数を従来の３層から２層に減らし各層の光学膜厚も
より薄くし生産性を向上させ、更に、耐熱性と共に温湿
度等の環境への対応性を向上させ、耐クラック性、耐拭
性、光学性能の格段の向上をはかる。 【構成】 表面に２層の誘電体薄膜を有する光学部品に
おいて、前記２層は該光学部品の基体表面から数えて第
１層と第２層からなり第１層は屈折率ｎ1が1.85〜1.95
の高屈折率層を形成し第２層は屈折率ｎ2が1.45〜1.47
の低屈折率層を形成したことを，特徴とする反射防止膜
を有する合成樹脂基体からなる光学部品。
層の数を従来の３層から２層に減らし各層の光学膜厚も
より薄くし生産性を向上させ、更に、耐熱性と共に温湿
度等の環境への対応性を向上させ、耐クラック性、耐拭
性、光学性能の格段の向上をはかる。 【構成】 表面に２層の誘電体薄膜を有する光学部品に
おいて、前記２層は該光学部品の基体表面から数えて第
１層と第２層からなり第１層は屈折率ｎ1が1.85〜1.95
の高屈折率層を形成し第２層は屈折率ｎ2が1.45〜1.47
の低屈折率層を形成したことを，特徴とする反射防止膜
を有する合成樹脂基体からなる光学部品。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光学系を構成する合成樹
脂基体からなるレンズ等の光学部品の光透過効率を向上
させるための反射防止膜を有する光学部品の改良に関す
る。
脂基体からなるレンズ等の光学部品の光透過効率を向上
させるための反射防止膜を有する光学部品の改良に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】レンズ等光学部品の表面で光の反射を防
止する方法として真空蒸着法により誘電体被膜を形成す
ることがよく行われている。一般的に合成樹脂製光学部
品用の反射防止膜は、特開昭59-204801号に示すように
基体側の第１層と空気側の第３層にSiO2、中間の第２層
に高屈折率材質の薄膜をもつものが知られ、更に、特開
昭58-60701号に示すように基体側の第１層にSiOXの酸素
含有量の高い薄膜を用い第２層，第３層をそれぞれ酸素
含有量を更に変化させてSiOY，SiOZ層とした３層構成の
ものが知られている。
止する方法として真空蒸着法により誘電体被膜を形成す
ることがよく行われている。一般的に合成樹脂製光学部
品用の反射防止膜は、特開昭59-204801号に示すように
基体側の第１層と空気側の第３層にSiO2、中間の第２層
に高屈折率材質の薄膜をもつものが知られ、更に、特開
昭58-60701号に示すように基体側の第１層にSiOXの酸素
含有量の高い薄膜を用い第２層，第３層をそれぞれ酸素
含有量を更に変化させてSiOY，SiOZ層とした３層構成の
ものが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述のような合成樹脂
基体からなる光学部品の基体上に３層の誘電体薄膜を積
層する３層コートの場合次の点が特に問題になる。
基体からなる光学部品の基体上に３層の誘電体薄膜を積
層する３層コートの場合次の点が特に問題になる。
【０００４】基体表面から数えて第１層に保護膜として
酸化シリコンをコートしてあるが、酸化シリコンの膨張
係数は基体の合成樹脂の膨張係数に較べてかなり小さい
ので薄膜蒸着後の温度変化により両者に起こる歪みの大
きさの差により薄膜層のクラックが起こったり基体の変
形による光学性能の劣化が起こったりしていた。また、
蒸着する層が３層もあると膨張係数の差による基体とコ
ートの間の歪みが大きくなり、クラック発生による膜質
劣化が大きくなり、更に製作時間が長くかかり生産性が
悪い。
酸化シリコンをコートしてあるが、酸化シリコンの膨張
係数は基体の合成樹脂の膨張係数に較べてかなり小さい
ので薄膜蒸着後の温度変化により両者に起こる歪みの大
きさの差により薄膜層のクラックが起こったり基体の変
形による光学性能の劣化が起こったりしていた。また、
蒸着する層が３層もあると膨張係数の差による基体とコ
ートの間の歪みが大きくなり、クラック発生による膜質
劣化が大きくなり、更に製作時間が長くかかり生産性が
悪い。
【０００５】本発明はこのような従来技術の欠点を排し
耐熱環境性に優れしかも生産性の高い合成樹脂基体に対
して２層コートを施した反射防止膜を有する光学部品を
提供することを課題目的にする。
耐熱環境性に優れしかも生産性の高い合成樹脂基体に対
して２層コートを施した反射防止膜を有する光学部品を
提供することを課題目的にする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的は次の技術手段
ａ，ｂ，ｃ，ｄ及びｅの何れかによって達成される。 （ａ） 合成樹脂基体表面に２層の誘電体薄膜を有する
光学部品において、前記２層は該光学部品の基体表面か
ら数えて第１層と第２層からなり第１層は屈折率ｎ1が
1.85〜1.95の高屈折率層を形成し第２層は屈折率ｎ2が
1.45〜1.47の低屈折率層を形成したことを，特徴とする
反射防止膜を有する光学部品。
ａ，ｂ，ｃ，ｄ及びｅの何れかによって達成される。 （ａ） 合成樹脂基体表面に２層の誘電体薄膜を有する
光学部品において、前記２層は該光学部品の基体表面か
ら数えて第１層と第２層からなり第１層は屈折率ｎ1が
1.85〜1.95の高屈折率層を形成し第２層は屈折率ｎ2が
1.45〜1.47の低屈折率層を形成したことを，特徴とする
反射防止膜を有する光学部品。
【０００７】（ｂ） ａ項において、前記２層の誘電体
薄膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2
とし設計波長をλ0としたとき、 0.165λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ
2≦1.395λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。
薄膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2
とし設計波長をλ0としたとき、 0.165λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ
2≦1.395λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。
【０００８】（ｃ） ａ項において、前記２層の誘電体
薄膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2
とし設計波長をλ0としたとき、 0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ2
≦1.34λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。
薄膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2
とし設計波長をλ0としたとき、 0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ2
≦1.34λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。
【０００９】（ｄ） 第１層の材質を酸化セリウムとし
たことを特徴とするａ，ｂ及びｃ項の何れか１項に記載
の反射防止膜を有する光学部品。
たことを特徴とするａ，ｂ及びｃ項の何れか１項に記載
の反射防止膜を有する光学部品。
【００１０】（ｅ） 第２層の材質を酸化シリコンとし
たことを特徴とするａ，ｂ，ｃ及びｄ項の何れか１項に
記載の反射防止膜を有する光学部品。
たことを特徴とするａ，ｂ，ｃ及びｄ項の何れか１項に
記載の反射防止膜を有する光学部品。
【００１１】
【作用】入射光側の基体面に耐熱性に強くしかも熱膨張
係数が酸化シリコン程小さくない酸化セリウムがコート
されているので基体の合成樹脂と酸化セリウム薄膜との
両者間温度変化による歪みの差による薄膜のクラックや
基体の変形も起こりにくく、更に、基体に用いた合成樹
脂の素材の耐熱性も保護されて向上するとともに反射防
止膜のコートも従来の３層に較べて２層で済むので生産
性の高い反射防止膜を有する光学部品が提供される。
係数が酸化シリコン程小さくない酸化セリウムがコート
されているので基体の合成樹脂と酸化セリウム薄膜との
両者間温度変化による歪みの差による薄膜のクラックや
基体の変形も起こりにくく、更に、基体に用いた合成樹
脂の素材の耐熱性も保護されて向上するとともに反射防
止膜のコートも従来の３層に較べて２層で済むので生産
性の高い反射防止膜を有する光学部品が提供される。
【００１２】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明す
るが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。
るが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。
【００１３】光学部品の基体（１）上に形成された誘電
体の２層膜は図１に示すように光学部品の基体（１）の
面から数えて一層目の第１層（２）に屈折率ｎ1が1.85
〜1.95の範囲にある高屈折率層が、２層目の第２層
（３）に屈折率ｎ2が1.45〜1.47の範囲にある低屈折率
層が蒸着され構成されている。また、第１層（２）と第
２層（３）の光学膜厚ｄ1，ｄ2はそれぞれ次のようにし
てある。
体の２層膜は図１に示すように光学部品の基体（１）の
面から数えて一層目の第１層（２）に屈折率ｎ1が1.85
〜1.95の範囲にある高屈折率層が、２層目の第２層
（３）に屈折率ｎ2が1.45〜1.47の範囲にある低屈折率
層が蒸着され構成されている。また、第１層（２）と第
２層（３）の光学膜厚ｄ1，ｄ2はそれぞれ次のようにし
てある。
【００１４】0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29
λ0／４≦ｄ2≦1.34λ0／４ このように設定することで本発明では指定の設計波長に
おいてはそれぞれの膜構成に応じて反射率を0.16％〜0.
84％に安定して再現できる優れた光学性能を得た。
λ0／４≦ｄ2≦1.34λ0／４ このように設定することで本発明では指定の設計波長に
おいてはそれぞれの膜構成に応じて反射率を0.16％〜0.
84％に安定して再現できる優れた光学性能を得た。
【００１５】ここに光学膜厚ｄ1，ｄ2はそれぞれ膜の示
す屈折率と膜の幾何学的厚さとの積であり、反射率を最
小にする波長λ0（設計波長又は中心波長という）を用
いて表す。
す屈折率と膜の幾何学的厚さとの積であり、反射率を最
小にする波長λ0（設計波長又は中心波長という）を用
いて表す。
【００１６】本発明の実施例における第１層の高屈折率
層は酸化セリウムであり、第２層の低屈折率層は酸化シ
リコンである。
層は酸化セリウムであり、第２層の低屈折率層は酸化シ
リコンである。
【００１７】従来、一般に小さい形状の合成樹脂製レン
ズに２層以上の誘電体膜を積層すると該膜の応力歪みに
よりレンズ形状が変形しレンズの光学性能を悪化させる
ことがあった。また、一定膜厚を超えて積層すると室内
放置下でクラックが発生することがあった。
ズに２層以上の誘電体膜を積層すると該膜の応力歪みに
よりレンズ形状が変形しレンズの光学性能を悪化させる
ことがあった。また、一定膜厚を超えて積層すると室内
放置下でクラックが発生することがあった。
【００１８】しかし、前述のような本発明の蒸着材料と
層構成を用いれば、従来技術の前記問題点は発生せず安
定した再現性のある技術が実現できることことが次のよ
うな実験によって確認できた。
層構成を用いれば、従来技術の前記問題点は発生せず安
定した再現性のある技術が実現できることことが次のよ
うな実験によって確認できた。
【００１９】第１層の酸化セリウムの光学膜厚ｄ1を0.1
5λ0／４から0.45λ0／４まで変化させ各々について第
２層の酸化シリコンの光学膜厚を反射率の極小値が最小
になるように設定し合成樹脂基体（例えばポリメチルメ
タアクリレートＰＭＭＡ）に積層し、耐クラック性、光
学性能及び耐拭性を評価した。
5λ0／４から0.45λ0／４まで変化させ各々について第
２層の酸化シリコンの光学膜厚を反射率の極小値が最小
になるように設定し合成樹脂基体（例えばポリメチルメ
タアクリレートＰＭＭＡ）に積層し、耐クラック性、光
学性能及び耐拭性を評価した。
【００２０】表１はレーザ光等の単一波長光に適した反
射防止コートの例を示す。設計波長λ0は半導体レーザ7
80nmにしてある。
射防止コートの例を示す。設計波長λ0は半導体レーザ7
80nmにしてある。
【００２１】表２はカメラ，ＶＴＲ等の通常のレンズの
可視光線に適した反射防止コートの例を示す。設計波長
λ0は490nmにしてある。
可視光線に適した反射防止コートの例を示す。設計波長
λ0は490nmにしてある。
【００２２】
【表１】
【００２３】
【表２】
【００２４】単一波長用としては第１層の酸化セリウム
の光学膜厚ｄ1は0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４、第２
層の酸化シリコンの光学膜厚ｄ2は1.29λ0／４≦ｄ2≦
1.34λ0／４が良好な性能の光学膜厚の領域である。
の光学膜厚ｄ1は0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４、第２
層の酸化シリコンの光学膜厚ｄ2は1.29λ0／４≦ｄ2≦
1.34λ0／４が良好な性能の光学膜厚の領域である。
【００２５】可視光線用としては第１層の酸化セリウム
の光学膜厚ｄ1は0.165λ0／４≦ｄ１≦０．３７４λ0／
４、第２層の酸化シリコンの光学膜厚ｄ2は1.30λ0／４
≦ｄ2≦1.40λ0／４が良好な性能の光学膜厚の領域であ
る。
の光学膜厚ｄ1は0.165λ0／４≦ｄ１≦０．３７４λ0／
４、第２層の酸化シリコンの光学膜厚ｄ2は1.30λ0／４
≦ｄ2≦1.40λ0／４が良好な性能の光学膜厚の領域であ
る。
【００２６】合成樹脂材料はＰＭＭＡ等のアクリル系樹
脂に限定されるものではなく、ポリカーボネートＰＣ、
ポリスチレン樹脂ＰＳ、ポリオレフィン系樹脂、ノボル
ネン系樹脂等が同様に用いられる。また、設計波長は、
490nmや780nmに限定する必要はない。一般に300nm〜800
nmの広い波長域から選択出来る。
脂に限定されるものではなく、ポリカーボネートＰＣ、
ポリスチレン樹脂ＰＳ、ポリオレフィン系樹脂、ノボル
ネン系樹脂等が同様に用いられる。また、設計波長は、
490nmや780nmに限定する必要はない。一般に300nm〜800
nmの広い波長域から選択出来る。
【００２７】表１において耐クラック性、光学性能、耐
拭性の各評価基準は次のようにした。
拭性の各評価基準は次のようにした。
【００２８】耐クラック性○：クラックなし △：軽微
なクラック ×：クラック大 光学性能 ○：設計波長における反射率が ０〜0.59
％ △：設計波長における反射率が0.6〜0.99％ ×：設計波長における反射率が1.0％以上 耐拭性 ○：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ50
回拭で膜剥がれなし △：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ20回拭で膜剥が
れなし ×：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ10回拭以下で膜
剥がれあり このような基準で評価することにより表１では次のこと
がわかる。
なクラック ×：クラック大 光学性能 ○：設計波長における反射率が ０〜0.59
％ △：設計波長における反射率が0.6〜0.99％ ×：設計波長における反射率が1.0％以上 耐拭性 ○：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ50
回拭で膜剥がれなし △：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ20回拭で膜剥が
れなし ×：10ｇ以上の拭圧で綿棒に水を含ませ10回拭以下で膜
剥がれあり このような基準で評価することにより表１では次のこと
がわかる。
【００２９】（１）２酸化セリウムの光学膜厚が試料N
o.，のように0.40λ0／４を超えると耐クラック性
が低下し蒸着直後の環境試験前にクラックが発生する。
o.，のように0.40λ0／４を超えると耐クラック性
が低下し蒸着直後の環境試験前にクラックが発生する。
【００３０】（２）２酸化セリウムの光学膜厚が試料N
o.，のように0.3λ0／４を下回ると光学性能が低下
する。
o.，のように0.3λ0／４を下回ると光学性能が低下
する。
【００３１】表２において耐クラック性、耐拭性の各評
価基準は表１の場合と同じであるが光学性能の評価基準
は次のようにした。
価基準は表１の場合と同じであるが光学性能の評価基準
は次のようにした。
【００３２】○：波長400nmと700nmにおける反射率が3.
6％以下であり反射率の極小値が1.5％以下である。
6％以下であり反射率の極小値が1.5％以下である。
【００３３】×：波長400nmと700nmにおける反射率が3.
6％を超え反射率の極小値が1.5％を超える。
6％を超え反射率の極小値が1.5％を超える。
【００３４】このような基準で評価することにより表２
では次のことがわかる。
では次のことがわかる。
【００３５】（３）２酸化セリウム及び２酸化シリコン
の光学膜厚条件が試料番号〜の範囲であれば耐クラ
ック性及び耐拭性は良好であるが光学性能が悪い。光学
性能も良好にするには前記光学膜厚条件を試料番号〜
の範囲にすれば良いことがわかる。
の光学膜厚条件が試料番号〜の範囲であれば耐クラ
ック性及び耐拭性は良好であるが光学性能が悪い。光学
性能も良好にするには前記光学膜厚条件を試料番号〜
の範囲にすれば良いことがわかる。
【００３６】また、表１，表２を通じて耐拭性は全試料
について良好である。
について良好である。
【００３７】次に本発明の代表的実施例を２つ挙げて具
体的に説明する。
体的に説明する。
【００３８】実施例１ これは単一波長用反射防止膜２層を基体の入射面に蒸着
コートした光学部品で基体の材質はＰＭＭＡであり、各
層の材質、屈折率及び光学膜厚は表３に示す通りであ
る。尚、このときの設計波長（中心波長）λ0は780nmに
してある。
コートした光学部品で基体の材質はＰＭＭＡであり、各
層の材質、屈折率及び光学膜厚は表３に示す通りであ
る。尚、このときの設計波長（中心波長）λ0は780nmに
してある。
【００３９】
【表３】
【００４０】実施例２ これは可視光線用反射防止膜２層を基体の入射面に蒸着
コートした光学部品で基体の材質はＰＭＭＡであり、各
層の材質、屈折率及び光学膜厚は表４に示す通りであ
る。尚、このときの設計波長（中心波長）λ0は490nmに
してある。
コートした光学部品で基体の材質はＰＭＭＡであり、各
層の材質、屈折率及び光学膜厚は表４に示す通りであ
る。尚、このときの設計波長（中心波長）λ0は490nmに
してある。
【００４１】
【表４】
【００４２】実施例１及び実施例２の反射防止膜を有す
る光学部品は以下の手順で作成した。先ず、反射防止膜
を蒸着する基体となるレンズを真空蒸着装置のレンズセ
ット面にセットし、常温下で真空槽内の真空度が3.0×1
0-5mbar以下まで排気をおこなう。真空度が3.0×10-5mb
ar以下になったところで酸素ガスを1.5×10-4mbarの真
空度になるまで導入しながら各層を所定の光学膜厚にし
つつ真空蒸着をおこなった。各層の光学膜厚は光学モニ
ターや水晶モニター方式でコントロールをおこなった。
る光学部品は以下の手順で作成した。先ず、反射防止膜
を蒸着する基体となるレンズを真空蒸着装置のレンズセ
ット面にセットし、常温下で真空槽内の真空度が3.0×1
0-5mbar以下まで排気をおこなう。真空度が3.0×10-5mb
ar以下になったところで酸素ガスを1.5×10-4mbarの真
空度になるまで導入しながら各層を所定の光学膜厚にし
つつ真空蒸着をおこなった。各層の光学膜厚は光学モニ
ターや水晶モニター方式でコントロールをおこなった。
【００４３】実施例１及び実施例２で作成した光学部品
を温度60℃，相対湿度90％の環境下に168時間放置して
も膜質の劣化や反射防止特性の変化はみられなかった。
を温度60℃，相対湿度90％の環境下に168時間放置して
も膜質の劣化や反射防止特性の変化はみられなかった。
【００４４】以上のように本発明に基ずいて光学部品に
反射防止膜をコートすれば２層構成の反射防止膜として
は優れた反射防止効果のある反射防止膜を備えた光学部
品を安定して生産することが可能になった。そして、環
境信頼性の高い製品を提供できるようになった。
反射防止膜をコートすれば２層構成の反射防止膜として
は優れた反射防止効果のある反射防止膜を備えた光学部
品を安定して生産することが可能になった。そして、環
境信頼性の高い製品を提供できるようになった。
【００４５】実施例１及び実施例２の分光反射率特性を
グラフに示すと図２及び図３のようになる。
グラフに示すと図２及び図３のようになる。
【００４６】
【発明の効果】本発明により、反射防止膜を有する光学
部品は反射防止膜の層の数を従来の３層から２層に減ら
すことができるとともに各層の光学膜厚もより薄くする
ことが可能になり生産性が向上する。
部品は反射防止膜の層の数を従来の３層から２層に減ら
すことができるとともに各層の光学膜厚もより薄くする
ことが可能になり生産性が向上する。
【００４７】また、耐熱性と共に温湿度等の環境への対
応性も向上し、耐クラック性、耐拭性、光学性能の格段
の向上がはかれる。
応性も向上し、耐クラック性、耐拭性、光学性能の格段
の向上がはかれる。
【図１】本発明の反射防止膜を有する光学部品の一実施
例の層構成図。
例の層構成図。
【図２】本発明の反射防止膜を有する光学部品の実施例
１の分光反射率特性を表すグラフ。
１の分光反射率特性を表すグラフ。
【図３】本発明の反射防止膜を有する光学部品の実施例
２の分光反射率特性を表すグラフ。
２の分光反射率特性を表すグラフ。
１ 基体 ２ 第１層 ３ 第２層
Claims (5)
- 【請求項１】 合成樹脂基体表面に２層の誘電体薄膜を
有する光学部品において、前記２層は該光学部品の基体
表面から数えて第１層と第２層からなり第１層は屈折率
ｎ1が1.85〜1.95の高屈折率層を形成し第２層は屈折率
ｎ2が1.45〜1.47の低屈折率層を形成したことを，特徴
とする反射防止膜を有する光学部品。 - 【請求項２】 請求項１において、前記２層の誘電体薄
膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2と
し設計波長をλ0としたとき、 0.165λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ
2≦1.395λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。 - 【請求項３】 請求項１において、前記２層の誘電体薄
膜の第１層の光学膜厚をｄ1、第２層の光学膜厚をｄ2と
し設計波長をλ0としたとき、 0.30λ0／４≦ｄ1≦0.40λ0／４ 1.29λ0／４≦ｄ2
≦1.34λ0／４ の関係にあることを特徴とする反射防止膜を有する光学
部品。 - 【請求項４】 第１層の材質を酸化セリウムとしたこと
を特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の反射防
止膜を有する光学部品。 - 【請求項５】 第２層の材質を酸化シリコンとしたこと
を特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載の反射防
止膜を有する光学部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291631A JPH08146202A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 反射防止膜を有する光学部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6291631A JPH08146202A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 反射防止膜を有する光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08146202A true JPH08146202A (ja) | 1996-06-07 |
Family
ID=17771461
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6291631A Pending JPH08146202A (ja) | 1994-11-25 | 1994-11-25 | 反射防止膜を有する光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08146202A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304363B1 (en) | 1988-02-12 | 2001-10-16 | Donnelly Corporation | Reduced ultraviolet radiation transmitting, electrochromic glazing assembly |
| JP2002055207A (ja) * | 2000-05-29 | 2002-02-20 | Konica Corp | 光学部品および光学装置 |
| JP2009271439A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 反射防止膜を備えた光学部品 |
-
1994
- 1994-11-25 JP JP6291631A patent/JPH08146202A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6304363B1 (en) | 1988-02-12 | 2001-10-16 | Donnelly Corporation | Reduced ultraviolet radiation transmitting, electrochromic glazing assembly |
| JP2002055207A (ja) * | 2000-05-29 | 2002-02-20 | Konica Corp | 光学部品および光学装置 |
| JP2009271439A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 反射防止膜を備えた光学部品 |
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