JPH0511103A - 合成樹脂製反射鏡およびその製造方法 - Google Patents
合成樹脂製反射鏡およびその製造方法Info
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- JPH0511103A JPH0511103A JP18525991A JP18525991A JPH0511103A JP H0511103 A JPH0511103 A JP H0511103A JP 18525991 A JP18525991 A JP 18525991A JP 18525991 A JP18525991 A JP 18525991A JP H0511103 A JPH0511103 A JP H0511103A
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- synthetic resin
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- gaseous
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Abstract
(57)【要約】
［目的］ 基本的な光学特性を有し、マイクロクラック
の発生のない膜強度を有した合成樹脂性反射鏡とする。 ［構成］ 反応スパッタリングにより合成樹脂製基板の
表面にＡｌ2 Ｏ3 層またはＡｌＮ層の第１層を形成し、
スパッタリングによりＡｌ層の第２層を形成し、反応ス
パッタリングによりＡｌ2 Ｏ3 層またはＡｌＮ層の第３
層を形成して、合成樹脂製反射鏡とする。
の発生のない膜強度を有した合成樹脂性反射鏡とする。 ［構成］ 反応スパッタリングにより合成樹脂製基板の
表面にＡｌ2 Ｏ3 層またはＡｌＮ層の第１層を形成し、
スパッタリングによりＡｌ層の第２層を形成し、反応ス
パッタリングによりＡｌ2 Ｏ3 層またはＡｌＮ層の第３
層を形成して、合成樹脂製反射鏡とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は合成樹脂製基板をコーテ
ィングすることにより形成される合成樹脂製品反射鏡
と、そのための製造方法に関する。
ィングすることにより形成される合成樹脂製品反射鏡
と、そのための製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、レンズ等の光学部品に合成樹脂製
部品を用いる頻度が高くなっている。その内、特にカメ
ラ用、ＡＶ用として今後さらに要求が高くなると思われ
る合成樹脂製部品として表面反射鏡・裏面反射鏡などの
反射鏡がある。このような合成樹脂製光学部品は、ガラ
ス性光学部品と比較して形状の複雑化、低コスト化、軽
量化を図る事ができると共に、プリズム形成などではガ
ラス製よりも加工し易いという利点を有しているためで
ある。
部品を用いる頻度が高くなっている。その内、特にカメ
ラ用、ＡＶ用として今後さらに要求が高くなると思われ
る合成樹脂製部品として表面反射鏡・裏面反射鏡などの
反射鏡がある。このような合成樹脂製光学部品は、ガラ
ス性光学部品と比較して形状の複雑化、低コスト化、軽
量化を図る事ができると共に、プリズム形成などではガ
ラス製よりも加工し易いという利点を有しているためで
ある。
【０００３】ところで、合成樹脂製部品を反射鏡として
用いるためには、射出成形、切削等で合成樹脂製基板を
加工後、任意の表面に表面鏡あるいは裏面鏡としてのコ
ーティングが要求される。従来このコーティングは、ガ
ラス基板へのコーティングと同様に真空蒸着法が用いら
れているが、合成樹脂製基板に対してガラス基板と同様
の蒸着材料・膜構成でコーティングを行うと、成膜後に
マイクロクラックが発生したり、基板に対する膜の密着
強度が不十分であったり、蒸着後に異常がなくても対環
境試験後にマイクロクラックを発生する不都合がある。
このため、合成樹脂製基板へのコーティングに際して
は、特開平２−６６１５７号公報に記載されるように成
膜構成を選定することが行われている。すなわち、同公
報では基板側から第１層を物理的膜厚ｄ＝１００ｎｍの
ＣｅＦ3 層、第２層をｄ＝１００ｎｍのＡｌ層、第３層
をｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 層の膜構成とすることによ
って実用レベルの膜強度を得ている。
用いるためには、射出成形、切削等で合成樹脂製基板を
加工後、任意の表面に表面鏡あるいは裏面鏡としてのコ
ーティングが要求される。従来このコーティングは、ガ
ラス基板へのコーティングと同様に真空蒸着法が用いら
れているが、合成樹脂製基板に対してガラス基板と同様
の蒸着材料・膜構成でコーティングを行うと、成膜後に
マイクロクラックが発生したり、基板に対する膜の密着
強度が不十分であったり、蒸着後に異常がなくても対環
境試験後にマイクロクラックを発生する不都合がある。
このため、合成樹脂製基板へのコーティングに際して
は、特開平２−６６１５７号公報に記載されるように成
膜構成を選定することが行われている。すなわち、同公
報では基板側から第１層を物理的膜厚ｄ＝１００ｎｍの
ＣｅＦ3 層、第２層をｄ＝１００ｎｍのＡｌ層、第３層
をｄ＝１００ｎｍのＣｅＦ3 層の膜構成とすることによ
って実用レベルの膜強度を得ている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような成膜技術に
対し、合成樹脂製光学部品では、真空蒸着法に比較して
大量生産性・工程の省力化・品質の安定化・低コスト化
などの面で有利なスパッタリング法によるコーティング
が近年行われている。
対し、合成樹脂製光学部品では、真空蒸着法に比較して
大量生産性・工程の省力化・品質の安定化・低コスト化
などの面で有利なスパッタリング法によるコーティング
が近年行われている。
【０００５】ところが、従来のような多層の膜構成の膜
をたとえばポリカーボネート樹脂性基板上にスパッタリ
ング法でコーティングする場合、その多層膜を構成する
材料（ターゲット）の全てを一つの真空槽内に備えなけ
ればならないと共に、個々のターゲット用の電源も同じ
数だけ必要とし、装置自体が複雑なものとなるばかりで
なくランニングコストも非常に大きくなる問題がある。
すなわち、反射鏡としての反射率を得るためにはＡｌ単
層膜のみで充分であるにもかかわらず、樹脂製基板との
密着性の確保、あるいは機械的・化学的耐久性を確保す
るためにＳｉＯ，ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 などの他の誘電
体層の膜が必要とされるため、スパッタリング装置も最
低２つ以上のターゲットが同時に使用できるようなもの
が必要であり、これによってランニングコストの増大を
引き起こすためである。
をたとえばポリカーボネート樹脂性基板上にスパッタリ
ング法でコーティングする場合、その多層膜を構成する
材料（ターゲット）の全てを一つの真空槽内に備えなけ
ればならないと共に、個々のターゲット用の電源も同じ
数だけ必要とし、装置自体が複雑なものとなるばかりで
なくランニングコストも非常に大きくなる問題がある。
すなわち、反射鏡としての反射率を得るためにはＡｌ単
層膜のみで充分であるにもかかわらず、樹脂製基板との
密着性の確保、あるいは機械的・化学的耐久性を確保す
るためにＳｉＯ，ＳｉＯ2 ，Ａｌ2 Ｏ3 などの他の誘電
体層の膜が必要とされるため、スパッタリング装置も最
低２つ以上のターゲットが同時に使用できるようなもの
が必要であり、これによってランニングコストの増大を
引き起こすためである。
【０００６】本発明はこのような問題を解決するために
なされたものであり、一つのターゲットの使用により、
分光反射率特性などの基本的な光学特性の再現性を含め
て充分に満足するのみならず、密着性あるいは耐久性試
験後においても優れた構成の合成樹脂性反射鏡及びその
製造方法を提供する事を目的とする。
なされたものであり、一つのターゲットの使用により、
分光反射率特性などの基本的な光学特性の再現性を含め
て充分に満足するのみならず、密着性あるいは耐久性試
験後においても優れた構成の合成樹脂性反射鏡及びその
製造方法を提供する事を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は合成樹脂製基板上の第１層目としてＡｌタ
ーゲットを用い、光学的膜厚ｎ1 ｄ1 が０＜ｎ1 ｄ1 ≦
０．５λのＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層をＡｒガスに
Ｏ2 ガスもしくはＮ2 ガスを導入した反応性スパッタリ
ングで成膜し、第２層目として物理的膜厚ｄ2 が５０〜
１００ｎｍのＡｌ層をスパッタリングで成膜し、さらに
また第３層目として光学的膜厚ｎ3 ｄ3 が０＜ｎ3 ｄ3
≦０．５λのＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層を第１層と
同じくＡｒガスにＯ2 ガスもしくはＮ2 ガスを導入した
反応性スパッタリングで成膜するものである。
に、本発明は合成樹脂製基板上の第１層目としてＡｌタ
ーゲットを用い、光学的膜厚ｎ1 ｄ1 が０＜ｎ1 ｄ1 ≦
０．５λのＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層をＡｒガスに
Ｏ2 ガスもしくはＮ2 ガスを導入した反応性スパッタリ
ングで成膜し、第２層目として物理的膜厚ｄ2 が５０〜
１００ｎｍのＡｌ層をスパッタリングで成膜し、さらに
また第３層目として光学的膜厚ｎ3 ｄ3 が０＜ｎ3 ｄ3
≦０．５λのＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層を第１層と
同じくＡｒガスにＯ2 ガスもしくはＮ2 ガスを導入した
反応性スパッタリングで成膜するものである。
【０００８】
【作用】以上の構成ではコーティング層がＡｌ2 Ｏ3 層
もしくはＡｌＮ膜およびＡｌ金属膜で構成されており、
各層はスパッタリング法によって成膜される。ターゲッ
トとしては、Ａｌ金属製のターゲットのみを使用し、第
１層及び第３層のスパッタリングには、Ｏ2 ガスもしく
はＮ2 ガスを導入しながらの反応性スパッタリングによ
って行う。また、このスパッタリングは、常温雰囲気中
すなわち、真空層内の加熱を行うことなく行うことがで
きる。
もしくはＡｌＮ膜およびＡｌ金属膜で構成されており、
各層はスパッタリング法によって成膜される。ターゲッ
トとしては、Ａｌ金属製のターゲットのみを使用し、第
１層及び第３層のスパッタリングには、Ｏ2 ガスもしく
はＮ2 ガスを導入しながらの反応性スパッタリングによ
って行う。また、このスパッタリングは、常温雰囲気中
すなわち、真空層内の加熱を行うことなく行うことがで
きる。
【０００９】上記構成の合成樹脂性反射鏡を裏面反射鏡
として使用する場合、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層もしくは
ＡｌＮ層が合成樹脂性基板との密着性と耐クラック性と
に寄与している。第２層目のＡｌ層は分光反射率に大き
く寄与しているが、Ｏ2 ガスもしくはＮ2 ガスの導入量
及び膜厚を適当に選択することによって第１層のＡｌ 2
Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層も分光反射率向上に寄与するこ
とができる。また、第３層目のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡ
ｌＮ層は、膜の耐久性、特に機械的強度を向上させるこ
とができる。
として使用する場合、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層もしくは
ＡｌＮ層が合成樹脂性基板との密着性と耐クラック性と
に寄与している。第２層目のＡｌ層は分光反射率に大き
く寄与しているが、Ｏ2 ガスもしくはＮ2 ガスの導入量
及び膜厚を適当に選択することによって第１層のＡｌ 2
Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層も分光反射率向上に寄与するこ
とができる。また、第３層目のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡ
ｌＮ層は、膜の耐久性、特に機械的強度を向上させるこ
とができる。
【００１０】また、上記構成の合成樹脂製光学部品を表
面反射鏡として使用する場合、第１層のＡｌ2 Ｏ3 層も
しくはＡｌＮ層が合成樹脂製基板との密着性と耐クラッ
ク性のみに寄与し、第３層のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌ
Ｎ層は、膜の耐久性、特に機械的強度を向上させるのに
有効である。この場合も分光反射率に大きく寄与してい
るのは第２層のＡｌ層であるが、Ｏ2 ガスもしくはＮ2
ガスの導入量及び膜厚を適当に選択する事によって第３
層のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層も分光反射率向上に
寄与することができる。
面反射鏡として使用する場合、第１層のＡｌ2 Ｏ3 層も
しくはＡｌＮ層が合成樹脂製基板との密着性と耐クラッ
ク性のみに寄与し、第３層のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌ
Ｎ層は、膜の耐久性、特に機械的強度を向上させるのに
有効である。この場合も分光反射率に大きく寄与してい
るのは第２層のＡｌ層であるが、Ｏ2 ガスもしくはＮ2
ガスの導入量及び膜厚を適当に選択する事によって第３
層のＡｌ2 Ｏ3 層もしくはＡｌＮ層も分光反射率向上に
寄与することができる。
【００１１】
【実施例１】屈折率ｎ＝１．５８のポリカーボネート樹
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＯ2 ガスを混合した雰囲気中でＡｌターゲットにより
反応性スパッタリングを行い、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層
を３ｎｍ成膜した。このときのＡｒガスの分圧は２．０
×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ2 ガスの分圧は２．０×１０-3Ｔ
ｏｒｒであり、Ａｌターゲットを用いて成膜を行った。
次に、Ａｒガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、
Ｏ2 ガス無添加でＡｌターゲットによりスパッタリング
を行い、第２層目にＡｌ層を６０ｎｍ成膜した。その
後、Ａｒガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒ，Ｏ2ガ
スの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ａｌターゲッ
トにより第３層目のＡｌ2 Ｏ3 層を反応性スパッタリン
グにより５０ｎｍ成膜した。
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＯ2 ガスを混合した雰囲気中でＡｌターゲットにより
反応性スパッタリングを行い、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層
を３ｎｍ成膜した。このときのＡｒガスの分圧は２．０
×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ2 ガスの分圧は２．０×１０-3Ｔ
ｏｒｒであり、Ａｌターゲットを用いて成膜を行った。
次に、Ａｒガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、
Ｏ2 ガス無添加でＡｌターゲットによりスパッタリング
を行い、第２層目にＡｌ層を６０ｎｍ成膜した。その
後、Ａｒガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒ，Ｏ2ガ
スの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ａｌターゲッ
トにより第３層目のＡｌ2 Ｏ3 層を反応性スパッタリン
グにより５０ｎｍ成膜した。
【００１２】表１は以上のようにして製造された合成樹
脂製反射鏡の膜構成を示す。
脂製反射鏡の膜構成を示す。
【００１３】
【表１】
【００１４】次にこの合成樹脂製反射鏡を裏面反射鏡と
して、入射角４５°に対する分光反射率を測定したとこ
ろ、図１の特性図となった。図１に示すように本実施例
の裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学特性で
ある分光反射率を有していた。
して、入射角４５°に対する分光反射率を測定したとこ
ろ、図１の特性図となった。図１に示すように本実施例
の裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学特性で
ある分光反射率を有していた。
【００１５】また、本実施例の裏面反射鏡の膜表面に幅
１８ｍｍのセロハンテープ（商標名）を接着させた後、
接着面と約４５°の角度でテープを取り除く密着性試験
を行ったところ、膜剥離を生ずることはなかった。
１８ｍｍのセロハンテープ（商標名）を接着させた後、
接着面と約４５°の角度でテープを取り除く密着性試験
を行ったところ、膜剥離を生ずることはなかった。
【００１６】さらに、本実施例の裏面反射鏡について、
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃の温度サイクルを５回繰り返す熱衝撃試験行っ
たところ、異常はみられなかった。
対環境試験として、−２０℃→常温（２０〜２５℃）→
＋６０℃の温度サイクルを５回繰り返す熱衝撃試験行っ
たところ、異常はみられなかった。
【００１７】
【実施例２】屈折率ｎ＝１．５８のポリカーボネート樹
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＯ2 ガスを混合した雰囲気中で反応性スパッタリング
を行い、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層を３ｎｍ成膜した。こ
のときのＡｒガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ
2 ガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒであり、Ａｌタ
ーゲットを用いて成膜を行った。次にＡｒガスの分圧を
２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ｏ2 ガス無添加でＡｌタ
ーゲットを用いてスパッタリングを行い、第２層目にＡ
ｌ層を６０ｎｍ成膜した。その後、Ａｒガス分圧を２．
０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ2 ガスの分圧を２．０×１０-3
Ｔｏｒｒとし、Ａｌターゲットを用いて、第３層目のＡ
ｌ2 Ｏ3 層を反応性スパッタリングにより２００ｎｍ成
膜した。表２はこのようにして製造された合成樹脂反射
鏡の膜構成を示す。
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＯ2 ガスを混合した雰囲気中で反応性スパッタリング
を行い、第１層目のＡｌ2 Ｏ3 層を３ｎｍ成膜した。こ
のときのＡｒガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ
2 ガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒであり、Ａｌタ
ーゲットを用いて成膜を行った。次にＡｒガスの分圧を
２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、Ｏ2 ガス無添加でＡｌタ
ーゲットを用いてスパッタリングを行い、第２層目にＡ
ｌ層を６０ｎｍ成膜した。その後、Ａｒガス分圧を２．
０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｏ2 ガスの分圧を２．０×１０-3
Ｔｏｒｒとし、Ａｌターゲットを用いて、第３層目のＡ
ｌ2 Ｏ3 層を反応性スパッタリングにより２００ｎｍ成
膜した。表２はこのようにして製造された合成樹脂反射
鏡の膜構成を示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】次にこの合成樹脂製反射鏡を裏面反射鏡と
して、入射角４５°に対する分光反射率を測定したとこ
ろ、図２の特性を示した。図２に示すように本実施例の
裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学特性であ
る分光反射率を有していた。
して、入射角４５°に対する分光反射率を測定したとこ
ろ、図２の特性を示した。図２に示すように本実施例の
裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学特性であ
る分光反射率を有していた。
【００２０】また、本実施例の裏面反射鏡について実施
例１と同様な方法で、密着性試験及び対環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
例１と同様な方法で、密着性試験及び対環境試験を行っ
たところ、膜剥離を生ずることがなく、また何ら異常は
認められなかった。
【００２１】
【実施例３】屈折率ｎ＝１．５８のポリカーボネート樹
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＮ2 ガスの混合雰囲気中で反応性スパッタリングを行
い、第１層目のＡｌＮ層を３ｎｍ成膜した。このときの
Ａｒガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｎ2 ガスの
分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒであり、Ａｌターゲット
を用いて成膜を行った。次にＡｒガスの分圧を２．０×
１０-3ＴｏｒｒとしＮ2 ガス無添加でＡｌターゲットに
よりスパッタリングを行い、第２層目にＡｌ層を６０ｎ
ｍ成膜した。その後Ａｒガスの分圧２．０×１０-3Ｔｏ
ｒｒ、Ｎ2 ガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、
Ａｌターゲットを用いて反応性スパッタリングを行い、
第３層目のＡｌＮ層を５０ｎｍ成膜した。表３はこの反
射鏡の膜構成を示す。
脂（ＰＣ）からなる合成樹脂製基板に対しＡｒガスおよ
びＮ2 ガスの混合雰囲気中で反応性スパッタリングを行
い、第１層目のＡｌＮ層を３ｎｍ成膜した。このときの
Ａｒガスの分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒ、Ｎ2 ガスの
分圧は２．０×１０-3Ｔｏｒｒであり、Ａｌターゲット
を用いて成膜を行った。次にＡｒガスの分圧を２．０×
１０-3ＴｏｒｒとしＮ2 ガス無添加でＡｌターゲットに
よりスパッタリングを行い、第２層目にＡｌ層を６０ｎ
ｍ成膜した。その後Ａｒガスの分圧２．０×１０-3Ｔｏ
ｒｒ、Ｎ2 ガスの分圧を２．０×１０-3Ｔｏｒｒとし、
Ａｌターゲットを用いて反応性スパッタリングを行い、
第３層目のＡｌＮ層を５０ｎｍ成膜した。表３はこの反
射鏡の膜構成を示す。
【００２２】
【表３】
【００２３】以上のようにして得られた本実施例を裏面
反射鏡として、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図３の特性を示した。図３に示すように本
実施例の裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学
特性である分光反射率を有していた。また、本実施例の
裏面反射鏡について実施例１と同様に密着性試験及び対
環境試験を行ったところ、膜剥離を生ずることがなく、
また、何ら異常は認められなかった。
反射鏡として、入射角４５°に対する分光反射率を測定
したところ、図３の特性を示した。図３に示すように本
実施例の裏面反射鏡は、初期性能としての基本的な光学
特性である分光反射率を有していた。また、本実施例の
裏面反射鏡について実施例１と同様に密着性試験及び対
環境試験を行ったところ、膜剥離を生ずることがなく、
また、何ら異常は認められなかった。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、初期性能としての基本
的な光学特性を満足できると共に、ミラー膜にマイクロ
クラックの発生がなく、また合成樹脂製基板の変形・劣
化がなく、外観特性が良好であり、さらに耐久性試験後
であっても膜剥離やマイクロクラックの発生がない合成
樹脂製反射鏡を提供することができる。
的な光学特性を満足できると共に、ミラー膜にマイクロ
クラックの発生がなく、また合成樹脂製基板の変形・劣
化がなく、外観特性が良好であり、さらに耐久性試験後
であっても膜剥離やマイクロクラックの発生がない合成
樹脂製反射鏡を提供することができる。
【図１】実施例１の反射率特性図。
【図２】実施例２の反射率特性図。
【図３】実施例３の反射率特性図。
Claims (3)
- 【請求項１】 合成樹脂製基板上の第１層目を化学的膜
厚ｎ1 ｄ1 が０＜ｎ1 ｄ1 ≦１／２λ（λは光の波長）
のＡｌ2 Ｏ3 層、第２層目を物理的膜厚ｄ2 が５０〜１
００ｎｍのＡｌ層、第３層目を光学的膜厚ｎ3 ｄ3 が０
＜ｎ3 ｄ3 ≦１／２λのＡｌ2 Ｏ3 層により形成したこ
とを特徴とする合成樹脂製反射鏡。 - 【請求項２】 合成樹脂製基板上の第１層目を化学的膜
厚ｎ1 ｄ1 が０＜ｎ1 ｄ1 ≦１／２λ（λは光の波長）
のＡｌＮ層、第２層目を物理的膜厚ｄ2 が５０〜１００
ｎｍのＡｌ層、第３層目を光学的膜厚ｎ3 ｄ3 が０＜ｎ
3 ｄ3 ≦１／２λのＡｌＮ層により形成したことを特徴
とする合成樹脂製反射鏡。 - 【請求項３】 Ａｌターゲットを用いた反応性スパッタ
リングにより合成樹脂製基板に第１層をコーティングす
る工程と、Ａｌターゲットを用いたスパッタリングによ
り第２層をコーティングする工程と、Ａｌターゲットを
用いた反応性スパッタリングにより第３層をコーティン
グする工程とを備えていることを特徴とする合成樹脂製
反射鏡の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18525991A JPH0511103A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 合成樹脂製反射鏡およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18525991A JPH0511103A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 合成樹脂製反射鏡およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0511103A true JPH0511103A (ja) | 1993-01-19 |
Family
ID=16167695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18525991A Withdrawn JPH0511103A (ja) | 1991-06-28 | 1991-06-28 | 合成樹脂製反射鏡およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0511103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7976737B2 (en) | 2005-09-07 | 2011-07-12 | Exax Inc. | Silver organo-sol ink for forming electronically conductive patterns |
-
1991
- 1991-06-28 JP JP18525991A patent/JPH0511103A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7976737B2 (en) | 2005-09-07 | 2011-07-12 | Exax Inc. | Silver organo-sol ink for forming electronically conductive patterns |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |