JPH0926501A - 反射防止膜を有する合成樹脂光学部品 - Google Patents
反射防止膜を有する合成樹脂光学部品Info
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Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 従来技術の欠点を排し、表面反射率を低く
し、且つ耐熱環境性に優れ、しかも生産性の高い反射防
止膜を有する合成樹脂基体を用いた光学部品を提供す
る。 【構成】 基準波長をλ0とする時、合成樹脂からなる
基体の上に基体表面から層数を数えて、第１層が酸化シ
リコン膜からなり、最終層がフッ化マグネシウム膜から
なる、各々の層が次の条件を満たす反射防止膜を設け
る。 条件 第１層 ０．４０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 １．４５ ≦ｎ1 ≦１．４７ 最終層 ０．２４λ0≦ｎeｄe≦０．２６λ0 １．３７ ≦ｎe ≦１．３９ 但し、λ0 ：基準波長 ｎ1ｄ1：第１
層の光学的膜厚 ｎeｄe：最終層の光学的膜厚 ｎ1 ：第１層の屈
折率 ｎe ：最終層の屈折率
し、且つ耐熱環境性に優れ、しかも生産性の高い反射防
止膜を有する合成樹脂基体を用いた光学部品を提供す
る。 【構成】 基準波長をλ0とする時、合成樹脂からなる
基体の上に基体表面から層数を数えて、第１層が酸化シ
リコン膜からなり、最終層がフッ化マグネシウム膜から
なる、各々の層が次の条件を満たす反射防止膜を設け
る。 条件 第１層 ０．４０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 １．４５ ≦ｎ1 ≦１．４７ 最終層 ０．２４λ0≦ｎeｄe≦０．２６λ0 １．３７ ≦ｎe ≦１．３９ 但し、λ0 ：基準波長 ｎ1ｄ1：第１
層の光学的膜厚 ｎeｄe：最終層の光学的膜厚 ｎ1 ：第１層の屈
折率 ｎe ：最終層の屈折率
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学系を構成する合成
樹脂基体からなるレンズ等光学部品の改良に係わり、特
に光の表面反射率を低くし、且つ耐環境性を向上させる
ための反射防止膜を有する光学部品の改良に関する。
樹脂基体からなるレンズ等光学部品の改良に係わり、特
に光の表面反射率を低くし、且つ耐環境性を向上させる
ための反射防止膜を有する光学部品の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】レンズ等光学部品の表面での光の反射を
防止する方法としては、真空蒸着法により誘電体皮膜を
形成することがよく行われている。一般的に合成樹脂製
光学部品用の反射防止膜は、特開昭５９−２０４８０１
号公報に示すように、基体側の第１層と空気側の第３層
にＳｉＯ2、中間の第２層に高屈折率材質の薄膜をもつ
ものが知られ、更に特開昭５８−６０７０１号公報に示
すように基体側の第１層にＳｉＯXの酸素含有量の高い
薄膜を用い、第２層、第３層をそれぞれ酸素含有量を更
に変化させてＳｉＯY，ＳｉＯZ層とした３層構成のもの
が知られている。
防止する方法としては、真空蒸着法により誘電体皮膜を
形成することがよく行われている。一般的に合成樹脂製
光学部品用の反射防止膜は、特開昭５９−２０４８０１
号公報に示すように、基体側の第１層と空気側の第３層
にＳｉＯ2、中間の第２層に高屈折率材質の薄膜をもつ
ものが知られ、更に特開昭５８−６０７０１号公報に示
すように基体側の第１層にＳｉＯXの酸素含有量の高い
薄膜を用い、第２層、第３層をそれぞれ酸素含有量を更
に変化させてＳｉＯY，ＳｉＯZ層とした３層構成のもの
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述のような合成樹脂
基体からなる光学部品の基体上に、３層の誘電体薄膜を
積層する３層コートの場合には、次の点が特に問題にな
る。
基体からなる光学部品の基体上に、３層の誘電体薄膜を
積層する３層コートの場合には、次の点が特に問題にな
る。
【０００４】基体表面から数えて第１層に、保護膜とし
て酸化シリコンをコートしてあるが、酸化シリコンの膨
張係数は基体の合成樹脂の膨張係数に較べてかなり小さ
く、又膜厚が８０〜１５０ｍμと薄いので薄膜蒸着後の
温度変化により両者に起こる歪みの大きさの差により薄
膜層にクラックが起こったり、基体の変化による光学性
能の劣化が起こったりしていた。
て酸化シリコンをコートしてあるが、酸化シリコンの膨
張係数は基体の合成樹脂の膨張係数に較べてかなり小さ
く、又膜厚が８０〜１５０ｍμと薄いので薄膜蒸着後の
温度変化により両者に起こる歪みの大きさの差により薄
膜層にクラックが起こったり、基体の変化による光学性
能の劣化が起こったりしていた。
【０００５】又、従来の３層コートでは、一般のアクリ
ルやポリカーボネート等の基体に対して、広い光波長領
域例えば４００ｎｍ〜６５０ｎｍの領域で表面反射を
０．７％以下に低くすることは出来ず、多数の合成樹脂
製レンズを用いたカメラ等の光学系では、反射光量が多
くなり結像光量低下や又レンズ表面の反射光によるゴー
スト像発生等の問題があった。
ルやポリカーボネート等の基体に対して、広い光波長領
域例えば４００ｎｍ〜６５０ｎｍの領域で表面反射を
０．７％以下に低くすることは出来ず、多数の合成樹脂
製レンズを用いたカメラ等の光学系では、反射光量が多
くなり結像光量低下や又レンズ表面の反射光によるゴー
スト像発生等の問題があった。
【０００６】本発明は、前記課題を解決するためになさ
れたものである。即ち、このような従来技術の欠点を排
し、表面反射率を低くし、且つ耐熱環境性に優れ、しか
も生産性の高い反射防止膜を有する合成樹脂基体を用い
た光学部品を提供することを目的としたものである。
れたものである。即ち、このような従来技術の欠点を排
し、表面反射率を低くし、且つ耐熱環境性に優れ、しか
も生産性の高い反射防止膜を有する合成樹脂基体を用い
た光学部品を提供することを目的としたものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の目的は、下記構
成を採ることによって達成される。
成を採ることによって達成される。
【０００８】（１）基準波長をλ0とする時、合成樹脂
からなる基体の上に基体表面から層数を数えて、第１層
が酸化シリコン膜からなり、最終層がフッ化マグネシウ
ム膜からなる、各々の層が次の条件を満たす反射防止膜
を有することを特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂
光学部品。
からなる基体の上に基体表面から層数を数えて、第１層
が酸化シリコン膜からなり、最終層がフッ化マグネシウ
ム膜からなる、各々の層が次の条件を満たす反射防止膜
を有することを特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂
光学部品。
【０００９】 但し、λ0 ：基準波長 ｎ1ｄ1：第１層の光学的膜厚 ｎeｄe：最終層の光学的膜厚 ｎ1 ：第１層の屈折率 ｎe ：最終層の屈折率 （２）前記反射防止膜の構成層数を５層とし、各々の層
が次の条件を満たすことを特徴とする前記（１）記載の
反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
が次の条件を満たすことを特徴とする前記（１）記載の
反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
【００１０】 但し、ｎ2ｄ2：第２層の光学的膜厚 ｎ3ｄ3：第３層の光学的膜厚 ｎ4ｄ4：第４層の光学的膜厚 ｎ5ｄ5：第５層の光学的膜厚 ｎ2 ：第２層の屈折率 ｎ3 ：第３層の屈折率 ｎ4 ：第４層の屈折率 ｎ5 ：第５層の屈折率 （３）前記反射防止膜の基準波長λ0を５００〜６００
ｎｍとしたことを特徴とする前記（２）記載の反射防止
膜を有する合成樹脂光学部品。
ｎｍとしたことを特徴とする前記（２）記載の反射防止
膜を有する合成樹脂光学部品。
【００１１】（４）前記反射防止膜の基準波長λ0を５
００〜５５０ｎｍとしたことを特徴とする前記（２）記
載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
００〜５５０ｎｍとしたことを特徴とする前記（２）記
載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
【００１２】（５）前記反射防止膜各層の膜厚ｄｉ（ｉ
＝１〜５）を、次の条件を満たすことを特徴とする前記
（２）記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
＝１〜５）を、次の条件を満たすことを特徴とする前記
（２）記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。
【００１３】 （６）前記第２、第４層の高屈折率材料が、酸化タンタ
ル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸
化プラセオジウムの少なくとも１種類又は、これらの混
合物より成ることを特徴とする前記（２）記載の反射防
止膜を有する合成樹脂光学部品。
ル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸
化プラセオジウムの少なくとも１種類又は、これらの混
合物より成ることを特徴とする前記（２）記載の反射防
止膜を有する合成樹脂光学部品。
【００１４】（７）前記高屈折率材料が、酸化タンタル
と酸化チタンの混合物を主成分としたことを特徴とする
前記（６）記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部
品。但し、酸化タンタルと酸化チタンの混合重量比は１
０：１から１０：５が好ましい。
と酸化チタンの混合物を主成分としたことを特徴とする
前記（６）記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部
品。但し、酸化タンタルと酸化チタンの混合重量比は１
０：１から１０：５が好ましい。
【００１５】（８）反射防止膜を合成樹脂基体表面に形
成する時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の５
０％から９５％の領域の温度に加温しながら形成される
ことを特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂光学部
品。
成する時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の５
０％から９５％の領域の温度に加温しながら形成される
ことを特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂光学部
品。
【００１６】（９）反射防止膜を合成樹脂基体表面に形
成する時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の８
０％から９０％の領域の温度に加温しながら形成される
ことを特徴とする前記（８）記載の反射防止膜を有する
合成樹脂光学部品。
成する時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の８
０％から９０％の領域の温度に加温しながら形成される
ことを特徴とする前記（８）記載の反射防止膜を有する
合成樹脂光学部品。
【００１７】
【作用】次に本発明の特許請求の範囲に記載されている
各請求項について、その作用を説明する。
各請求項について、その作用を説明する。
【００１８】（１）各請求項において、合成樹脂光学部
品の合成樹脂の基体は次の樹脂を使用している。即ち、
ポリカーボネート樹脂、ノボルネン系樹脂（例：日本合
成ゴム製アートン樹脂）、環状オレフィンコポリマー系
樹脂、オレフィン系樹脂（例：日本ゼオン製ゼオネック
ス樹脂）、アクリル系樹脂である。さらに光透過率、樹
脂変形温度が上記樹脂と類似するものも同様に使用可能
である。
品の合成樹脂の基体は次の樹脂を使用している。即ち、
ポリカーボネート樹脂、ノボルネン系樹脂（例：日本合
成ゴム製アートン樹脂）、環状オレフィンコポリマー系
樹脂、オレフィン系樹脂（例：日本ゼオン製ゼオネック
ス樹脂）、アクリル系樹脂である。さらに光透過率、樹
脂変形温度が上記樹脂と類似するものも同様に使用可能
である。
【００１９】（２）反射防止膜の層構成は次の通りであ
る。
る。
【００２０】請求項１による図１において、第１層は酸
化シリコン膜より成り、その光学的膜厚ｎ1ｄ1、及び屈
折率ｎ1は次の通りである。
化シリコン膜より成り、その光学的膜厚ｎ1ｄ1、及び屈
折率ｎ1は次の通りである。
【００２１】０．４０λ0≦ｎ1ｄ1≦０．６０λ0 1.45 ≦ｎ1 ≦１．４７ 最終層はフッ化マグネシウム膜より成り、その光学的膜
厚ｎeｄe、及び屈折率ｎeは次の通りである。
厚ｎeｄe、及び屈折率ｎeは次の通りである。
【００２２】０．２４λ0≦ｎeｄe≦０．２６λ0 １．３７ ≦ｎe ≦１．３９ 第１層に通常ｎ1ｄ1 ＝０．２〜０．３λ0より厚目の酸
化シリコン膜を設けることで、反射防止膜の耐熱性及び
基体への密着性が向上した。又最終層を、低屈折率材料
ｎe＝１．３７〜１．３９のフッ化マグネシウムを設け
ることで大巾な反射防止効果が得られた。更に各層を蒸
着する時、基体を一定温度に加熱維持しておく事で、反
射防止コートの耐環境性、特に耐熱性の向上が可能とな
った。
化シリコン膜を設けることで、反射防止膜の耐熱性及び
基体への密着性が向上した。又最終層を、低屈折率材料
ｎe＝１．３７〜１．３９のフッ化マグネシウムを設け
ることで大巾な反射防止効果が得られた。更に各層を蒸
着する時、基体を一定温度に加熱維持しておく事で、反
射防止コートの耐環境性、特に耐熱性の向上が可能とな
った。
【００２３】請求項２による図２に示す５層構成におい
て、基体表面から数えて各層の材料、光学的膜厚、屈折
率を次のようにする。
て、基体表面から数えて各層の材料、光学的膜厚、屈折
率を次のようにする。
【００２４】
【表１】
【００２５】その結果、図２において、次の効果が認め
られた。
られた。
【００２６】１．第１層に酸化シリコンを用い、光学的
膜厚ｎ1ｄ1を０．４０λ0〜０．６０λ0と通常の膜厚よ
り大きくした。（通常は０．２０λ0〜０．３０λ0） 第１層の膜厚を、上述の如く大きくする事で、コート膜
の耐熱性が向上し、９０℃の高温環境においてもコート
クラックの発生は減少傾向を示した。又テープ剥離テス
トによるコートの付着力評価においても、付着力が増加
傾向を示した。
膜厚ｎ1ｄ1を０．４０λ0〜０．６０λ0と通常の膜厚よ
り大きくした。（通常は０．２０λ0〜０．３０λ0） 第１層の膜厚を、上述の如く大きくする事で、コート膜
の耐熱性が向上し、９０℃の高温環境においてもコート
クラックの発生は減少傾向を示した。又テープ剥離テス
トによるコートの付着力評価においても、付着力が増加
傾向を示した。
【００２７】２．５層構成の各々の層の膜厚を、特許請
求範囲の膜厚より減少又は増加させても波長λ0の反射
率は増加傾向を示す。例えば、λ0＝５１０ｎｍとした
ときの反射率グラフを図３に示す。光学的膜厚を請求範
囲より小さくすると、図３の曲線２の傾向を示し、６０
０〜６５０ｎｍ及び４００〜５００ｎｍの領域で反射率
が増加し、又光学的膜厚を請求範囲より大きくすると、
曲線３の傾向を示し、４００〜４２０ｎｍで反射率が増
加してしまう。
求範囲の膜厚より減少又は増加させても波長λ0の反射
率は増加傾向を示す。例えば、λ0＝５１０ｎｍとした
ときの反射率グラフを図３に示す。光学的膜厚を請求範
囲より小さくすると、図３の曲線２の傾向を示し、６０
０〜６５０ｎｍ及び４００〜５００ｎｍの領域で反射率
が増加し、又光学的膜厚を請求範囲より大きくすると、
曲線３の傾向を示し、４００〜４２０ｎｍで反射率が増
加してしまう。
【００２８】請求範囲内の光学的膜厚を取ることによ
り、４００〜６５０ｎｍの波長領域で反射率が０．７％
以下となり、又視感度の高い５５０ｎｍ付近の反射率が
０．１％以下と極めて低い良好な状態となる。
り、４００〜６５０ｎｍの波長領域で反射率が０．７％
以下となり、又視感度の高い５５０ｎｍ付近の反射率が
０．１％以下と極めて低い良好な状態となる。
【００２９】３．各層を蒸着にて形成する時、基体を加
熱し、基体を構成する合成樹脂の熱変形温度の５０〜９
５％の温度に維持しながら層形成をすると、反射防止コ
ートの耐熱性は、加熱しない場合に比較して大巾に向上
する。
熱し、基体を構成する合成樹脂の熱変形温度の５０〜９
５％の温度に維持しながら層形成をすると、反射防止コ
ートの耐熱性は、加熱しない場合に比較して大巾に向上
する。
【００３０】特に、熱変形温度の８０〜９０％と高い温
度で基体を加熱することでその効果は大きく、ポリカー
ボネート樹脂（熱変形温度１２０℃）を用いたレンズの
反射防止膜は、９０℃〜１０８℃に加熱しながら蒸着す
ることで、８５℃環境でもコートクラックが発生せず、
すぐれた耐熱性を示した。
度で基体を加熱することでその効果は大きく、ポリカー
ボネート樹脂（熱変形温度１２０℃）を用いたレンズの
反射防止膜は、９０℃〜１０８℃に加熱しながら蒸着す
ることで、８５℃環境でもコートクラックが発生せず、
すぐれた耐熱性を示した。
【００３１】基体温度を、１０８℃より高くしながら蒸
着すると、熱変形によって、レンズの面形状が変化し、
一般に光学部品として使用不可能になってしまう。
着すると、熱変形によって、レンズの面形状が変化し、
一般に光学部品として使用不可能になってしまう。
【００３２】
実施例１ 基体としては、ポリカーボネート樹脂を用いた射出成形
レンズであって、蒸着を下記の蒸着条件により反射防止
膜を形成した。
レンズであって、蒸着を下記の蒸着条件により反射防止
膜を形成した。
【００３３】 蒸着条件 ・基体加熱 ：１００℃ ・蒸着時の酸素導入ガス圧：１．４×１０-4Ｔｏｒｒ （第１〜第５層蒸着時に導入） ・蒸着速度：酸化シリコン・・１０Å／ｓｅｃ ：高屈折率材料 ・・５Å／ｓｅｃ （酸化タンタル） ：フッ化マグネシウム・・５Å／ｓｅｃ ・各層の光学的膜厚（λ0＝５１０ｎｍ） 第１層 ｎ1ｄ1＝０．５０λ0（ｎ1＝１．４６，ｄ1≒１７５ｎｍ） 第２層 ｎ2ｄ2＝０．１２λ0（ｎ1＝２．００，ｄ2≒ ３１ｎｍ） 第３層 ｎ3ｄ3＝０．０４λ0（ｎ3＝１．４６，ｄ3＝ １４ｎｍ） 第４層 ｎ4ｄ4＝０．２５λ0（ｎ4＝２．００，ｄ4＝ ６４ｎｍ） 第５層 ｎ5ｄ5＝０．２５λ0（ｎ5＝１．３８，ｄ5＝ ９２ｎｍ） 但し、各層の屈折率は、屈折率が既知の基体材料の上に
一定膜厚の単層膜を形成し、反射率を測定することで計
算によって求められた。積層時の膜厚制御は、通常の膜
厚制御装置（例：日電アネルバ製ＩＣ−６０００制御
機）を用いて行われる。所望の膜厚ｄiは、目標とする
光学膜厚を計算で求めた屈折率で割り得られた。
一定膜厚の単層膜を形成し、反射率を測定することで計
算によって求められた。積層時の膜厚制御は、通常の膜
厚制御装置（例：日電アネルバ製ＩＣ−６０００制御
機）を用いて行われる。所望の膜厚ｄiは、目標とする
光学膜厚を計算で求めた屈折率で割り得られた。
【００３４】得られた反射防止膜の特性は、図３の曲線
１に示される。可視領域（４００〜６５０ｎｍ）の光に
対して反射率０．７％以下が得られた。特に視感度の高
い５１０〜５９０ｎｍ波長で反射率０．１％以下が得ら
れている。
１に示される。可視領域（４００〜６５０ｎｍ）の光に
対して反射率０．７％以下が得られた。特に視感度の高
い５１０〜５９０ｎｍ波長で反射率０．１％以下が得ら
れている。
【００３５】カメラやビデオカメラのプラスチックレン
ズに用いることで、結像光量の低下防止と、レンズ表面
の反射光によって生ずるゴースト像の悪影響が防止可能
となった。又膜付きは、通常のテープ剥離テストで評価
した所、全く剥離が見られず、良好な結果を示した。又
耐環境性テストの為、８５℃環境（２４時間放置し、そ
の後コートクラックの有り無しを評価）での耐熱テスト
を実施したが、コートクラック等は全く見られず良好で
あった。又基体として、ノボルネン系樹脂、オレフィン
系樹脂、環状オレフィンコポリマー樹脂を用いた時も同
じコートが良好に得られた。
ズに用いることで、結像光量の低下防止と、レンズ表面
の反射光によって生ずるゴースト像の悪影響が防止可能
となった。又膜付きは、通常のテープ剥離テストで評価
した所、全く剥離が見られず、良好な結果を示した。又
耐環境性テストの為、８５℃環境（２４時間放置し、そ
の後コートクラックの有り無しを評価）での耐熱テスト
を実施したが、コートクラック等は全く見られず良好で
あった。又基体として、ノボルネン系樹脂、オレフィン
系樹脂、環状オレフィンコポリマー樹脂を用いた時も同
じコートが良好に得られた。
【００３６】実施例２ 実施例１において、高屈折率材料を酸化チタン及び酸化
セリウムを用いて、他は実施例１と同様な方法で反射防
止コートをポリカーボネート基体上に形成した。
セリウムを用いて、他は実施例１と同様な方法で反射防
止コートをポリカーボネート基体上に形成した。
【００３７】反射防止特性は図４の曲線４及び図５の曲
線５に示されている。
線５に示されている。
【００３８】図４の曲線４は酸化チタンを使用した場
合、図５の曲線５は酸化セリウムを使用した場合であ
る。
合、図５の曲線５は酸化セリウムを使用した場合であ
る。
【００３９】光学特性は、実施例１と同様に良好な特性
を示した。又膜付き、耐環境性（耐熱性）は、蒸着時の
基体温度を１００℃に加熱維持したことで実施例１と同
様に十分実用に耐える特性を示した。
を示した。又膜付き、耐環境性（耐熱性）は、蒸着時の
基体温度を１００℃に加熱維持したことで実施例１と同
様に十分実用に耐える特性を示した。
【００４０】実施例３ 実施例１において、高屈折率材料を酸化タンタルと酸化
チタンの混合材料（重量比５：１）を用いて、他は実施
例１と同様な方法で反射防止コートをポリカーボネート
基体上に形成した。
チタンの混合材料（重量比５：１）を用いて、他は実施
例１と同様な方法で反射防止コートをポリカーボネート
基体上に形成した。
【００４１】反射防止特性は、図３の曲線１とほぼ同様
に、可視領域４００〜６５０ｎｍの光に対して反射率
０．７％以下が得られ、特に視感度の高い５１０〜５９
０ｎｍの波長領域で反射率０．１％以下が得られた。さ
らに耐環境性テストの為８５℃環境及びさらに９０℃環
境で実施例１と同様な耐熱テストを実施したが、コート
クラック等は見られず実用上良好な性能を示した。
に、可視領域４００〜６５０ｎｍの光に対して反射率
０．７％以下が得られ、特に視感度の高い５１０〜５９
０ｎｍの波長領域で反射率０．１％以下が得られた。さ
らに耐環境性テストの為８５℃環境及びさらに９０℃環
境で実施例１と同様な耐熱テストを実施したが、コート
クラック等は見られず実用上良好な性能を示した。
【００４２】比較例１ 実施例１において、蒸着時の基体温度をポリカーボネー
トの熱変形温度（１２０℃）の５０％未満（６０℃）、
例えば何等積極的に基体を加熱しないで蒸着した時、光
学特性は実施例１と同様な性能を示したが、耐熱性は大
巾な低下を示し、８５℃放置でコート面に大量のクラッ
クが発生し、実用上問題となった。
トの熱変形温度（１２０℃）の５０％未満（６０℃）、
例えば何等積極的に基体を加熱しないで蒸着した時、光
学特性は実施例１と同様な性能を示したが、耐熱性は大
巾な低下を示し、８５℃放置でコート面に大量のクラッ
クが発生し、実用上問題となった。
【００４３】又一方基体を、熱変形温度の９５％を越え
る温度、例えば１１５〜１２０℃に加熱維持して蒸着し
た時、レンズの面形状精度の劣化が著しく発生してしま
い、実用上不十分であった。
る温度、例えば１１５〜１２０℃に加熱維持して蒸着し
た時、レンズの面形状精度の劣化が著しく発生してしま
い、実用上不十分であった。
【００４４】
【発明の効果】本発明により、可視領域（４００〜６５
０ｎｍ）の光に対して反射率０．７％以下の合成樹脂光
学部品が得られ、特に視感度の高い５１０〜５９０ｎｍ
波長で反射率０．１％以下の合成樹脂光学部品が得ら
れ、結像光量の低下防止と、レンズ表面の反射光によっ
て生ずるゴースト像の悪影響が防止出来たカメラやビデ
オカメラのプラスチックレンズを得ることが出来る。又
膜付きの剥離も見られず、８５℃の耐熱テストでもコー
トクラック等が全く見られず良い結果が得られる反射防
止膜を有する合成樹脂光学部品が提供されることとなっ
た。
０ｎｍ）の光に対して反射率０．７％以下の合成樹脂光
学部品が得られ、特に視感度の高い５１０〜５９０ｎｍ
波長で反射率０．１％以下の合成樹脂光学部品が得ら
れ、結像光量の低下防止と、レンズ表面の反射光によっ
て生ずるゴースト像の悪影響が防止出来たカメラやビデ
オカメラのプラスチックレンズを得ることが出来る。又
膜付きの剥離も見られず、８５℃の耐熱テストでもコー
トクラック等が全く見られず良い結果が得られる反射防
止膜を有する合成樹脂光学部品が提供されることとなっ
た。
【図１】反射防止膜の断面図。
【図２】反射防止膜５層の断面図。
【図３】反射防止膜５層の各層厚を変化した時の反射率
を示す図。
を示す図。
【図４】反射防止膜５層の高屈折率材料を酸化チタンと
した時の反射率を示す図。
した時の反射率を示す図。
【図５】反射防止膜５層の高屈折率材料を酸化セリウム
とした時の反射率を示す図。
とした時の反射率を示す図。
Claims (9)
- 【請求項１】 基準波長をλ0とする時、合成樹脂から
なる基体の上に基体表面から層数を数えて、第１層が酸
化シリコン膜からなり、最終層がフッ化マグネシウム膜
からなる、各々の層が次の条件を満たす反射防止膜を有
することを特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂光学
部品。 但し、λ0 ：基準波長 ｎ1ｄ1：第１層の光学的膜厚 ｎeｄe：最終層の光学的膜厚 ｎ1 ：第１層の屈折率 ｎe ：最終層の屈折率 - 【請求項２】 前記反射防止膜の構成層数を５層とし、
各々の層が次の条件を満たすことを特徴とする請求項１
記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 但し、ｎ2ｄ2：第２層の光学的膜厚 ｎ3ｄ3：第３層の光学的膜厚 ｎ4ｄ4：第４層の光学的膜厚 ｎ5ｄ5：第５層の光学的膜厚 ｎ2 ：第２層の屈折率 ｎ3 ：第３層の屈折率 ｎ4 ：第４層の屈折率 ｎ5 ：第５層の屈折率 - 【請求項３】 前記反射防止膜の基準波長λ0を５００
〜６００ｎｍとしたことを特徴とする請求項２記載の反
射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項４】 前記反射防止膜の基準波長λ0を５００
〜５５０ｎｍとしたことを特徴とする請求項２記載の反
射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項５】 前記反射防止膜各層の膜厚ｄｉ（ｉ＝１
〜５）を、次の条件を満たすことを特徴とする請求項２
記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項６】 前記第２、第４層の高屈折率材料が、酸
化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリ
ウム、酸化プラセオジウムの少なくとも１種類又は、こ
れらの混合物より成ることを特徴とする請求項２記載の
反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項７】 前記高屈折率材料が、酸化タンタルと酸
化チタンの混合物を主成分としたことを特徴とする請求
項６記載の反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項８】 反射防止膜を合成樹脂基体表面に形成す
る時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の５０％
から９５％の領域の温度に加温しながら形成されること
を特徴とする反射防止膜を有する合成樹脂光学部品。 - 【請求項９】 反射防止膜を合成樹脂基体表面に形成す
る時、基体の温度を合成樹脂基体の熱変形温度の８０％
から９０％の領域の温度に加温しながら形成されること
を特徴とする請求項８記載の反射防止膜を有する合成樹
脂光学部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7174880A JPH0926501A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 反射防止膜を有する合成樹脂光学部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7174880A JPH0926501A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 反射防止膜を有する合成樹脂光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0926501A true JPH0926501A (ja) | 1997-01-28 |
Family
ID=15986282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7174880A Pending JPH0926501A (ja) | 1995-07-11 | 1995-07-11 | 反射防止膜を有する合成樹脂光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0926501A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004092788A1 (ja) * | 2003-04-11 | 2004-10-28 | Riken | テラヘルツ波透過用光学部品、テラヘルツ波光学系、テラヘルツ帯波処理装置および同方法 |
| JP2005302088A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Konica Minolta Opto Inc | 対物レンズ及び光ピックアップ装置 |
| JP2018173447A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | グンゼ株式会社 | 反射防止フィルム |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022101A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62191801A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-22 | Minolta Camera Co Ltd | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
| JPH0585778A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Konica Corp | 反射防止膜を有する光学部品 |
-
1995
- 1995-07-11 JP JP7174880A patent/JPH0926501A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6022101A (ja) * | 1983-07-18 | 1985-02-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
| JPS62191801A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-22 | Minolta Camera Co Ltd | プラスチツク光学部品の反射防止膜 |
| JPH0585778A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-06 | Konica Corp | 反射防止膜を有する光学部品 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004092788A1 (ja) * | 2003-04-11 | 2004-10-28 | Riken | テラヘルツ波透過用光学部品、テラヘルツ波光学系、テラヘルツ帯波処理装置および同方法 |
| JP2005302088A (ja) * | 2004-04-07 | 2005-10-27 | Konica Minolta Opto Inc | 対物レンズ及び光ピックアップ装置 |
| JP2018173447A (ja) * | 2017-03-31 | 2018-11-08 | グンゼ株式会社 | 反射防止フィルム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050127 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050906 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061031 |