JP3221764B2 - 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 - Google Patents
合成樹脂製光学部品の反射防止膜Info
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の合成樹脂製光学部品の表面反射を防止するための合成
樹脂製光学部品の反射防止膜に関するものである。
面反射を防止するために、ケイ素酸化物SiOx の薄膜
を設けたり、あるいはZrO2 ,TiO2 ,CaO2 ,
Ta2O5 等の高屈折率材料の薄膜とMgF2 ,SiO2
等の低屈折率材料の薄膜を交互に蒸着した多層膜から
なる反射防止膜を設ける方法が提案されており、特に、
プラスチックレンズ等の合成樹脂製の光学部品において
は、その表面の軟質性や耐薬品性等を補うことも必要で
あるため、硬度が高く、耐薬品性等にすぐれたケイ素酸
化物SiOx の薄膜を反射防止膜の第1層あるいは中間
層として用いることが多い。
報には、アクリルレンズの表面にSiOからなる屈折率
nが1.55以上で厚さ89nm以下の四分の一波長膜
(以下、「λ/4膜」という。)を蒸着し、その上にM
gF2 からなる屈折率n=1.38のλ/4膜を積層し
た2層膜の反射防止膜が提案されており、また、特開昭
60−225101号公報には、第1層としてSiO2
からなる屈折率n=1.47、膜厚d=354nm、光
学膜厚nd=λ0 の薄膜を真空蒸着によって形成し、そ
の上に順次、Ta2 O5 からなる屈折率n=2.05、
光学膜厚nd=0.057λ0 の薄膜と、SiO2 から
なる屈折率n=1.47、光学膜厚d=0.11λ0 の
薄膜と、Ta2 O5 からなる屈折率n=2.05、光学
膜厚nd=0.538λ0 の薄膜と、SiO2 からなる
屈折率n=1.47、光学膜厚nd=0.258λ0 の
薄膜を積層した5層膜からなる反射防止膜が提案されて
おり(設計波長λ0 =520nm)、さらに、特開平3
−116101号公報には、メタクリル樹脂注型基板上
に第1層としてSiOx からなる屈折率n=1.60、
光学膜厚nd=(λ0 /4)×20%(d=17〜18
nm)の薄膜を真空蒸着によって形成し、その上に、T
iO2 からなる屈折率n=1.95、光学膜厚nd=
(λ0 /4)×20%の薄膜と、SiO2 からなる屈折
率n=1.45、光学膜厚nd=(λ0 /4)×40%
の薄膜と、TiO2 からなる屈折率n=2.0、光学膜
厚nd=(λ0 /4)×70%の薄膜と、SiO2 から
なる屈折率n=1.45、光学膜厚nd=(λ0 /4)
×95%の薄膜を積層した5層膜からなる反射防止膜
(設計波長λ0 =550〜570nm)が提案されてい
る。
の技術によれば、いずれも居住用空間等の限られた環境
で用いる場合は著しく性能が劣化するおそれはないが、
屋外等において厳しい温度条件に曝されたり、温度や湿
度の変化の大きい環境で長期にわたって使用されると、
耐摩耗性や耐薬品性が劣化したり、合成樹脂の母材の熱
歪等によって反射防止膜にクラック(膜割れ)が発生
し、ひどい時には膜剥離を起すおそれがある。
述の特開昭60−98401号公報および特開平3−1
16101号公報に記載された反射防止膜は、成膜直後
からその耐摩耗性や耐薬品性が不充分であることが判明
し、特開昭60−225101号公報に記載された反射
防止膜は、可視域の光に対して3%程度の吸収性を有
し、その光学特性に難点があることが判明した。
鑑みてなされたものであり、耐摩耗性や耐薬品性および
光学特性にすぐれており、かつ、厳しい温度条件や湿度
条件、あるいは、温度や湿度が大きく変化する環境で長
時間使用しても、前述の特性が劣化したり、クラックや
膜剥離を起こすおそれのない合成樹脂製光学部品の反射
防止膜を提供することを目的とするものである。
に本発明の反射防止膜は、合成樹脂製光学部品の表面に
成膜されたケイ素酸化物SiOx (2>x>1)を主成
分とする膜厚200nmないし300nmのアンダーコ
ートと、該アンダーコート上に成膜された反射防止特性
を有する繰返し多層膜からなり、前記アンダーコートの
屈折率が1.49ないし1.59の範囲にあり、かつ、
前記繰返し多層膜が前記合成樹脂製光学部品の表面に近
い側から順に第1層ないし第4層の4層の薄膜からな
り、設計波長λ=500nm、前記第1層の薄膜の屈折
率と光学膜厚をそれぞれn 1 、n 1 d 1 、前記第2層の
薄膜の屈折率と光学膜厚をそれぞれn 2 、n 2 d 2 、前
記第3層の薄膜の屈折率と光学膜厚をそれぞれn 3 、n
3 d 3 、前記第4層の薄膜の屈折率と光学膜厚をそれぞ
れn 4 、n 4 d 4 としたときに、これらの薄膜の屈折
率と光学膜厚が以下の条件式、 1.95≦n 1 ≦2.15、0.05λ≦n 1 d 1 ≦0.13λ、 1.43≦n 2 ≦1.55、0.03λ≦n 2 d 2 ≦0.07λ、 1.95≦n 3 ≦2.15、0.21λ≦n 3 d 3 ≦0.49λ、 1.43≦n 4 ≦1.55、0.20λ≦n 4 d 4 ≦0.28λ、 を満足す ることを特徴とする。
iO 2 またはZrO 2 またはこれらの混合物を主成分と
する高屈折率材料から形成され、第2層と第4層がSi
O x (2≧x≧1)を主成分とする低屈折率材料から形
成されるとよい。
成樹脂に対する密着性にすぐれたケイ素酸化物SiOx
(2>x>1)を主成分とする薄膜を、反射防止特性に
関与しないアンダーコートとして用いることによって、
反射防止膜の耐摩耗性や耐薬品性および合成樹脂に対す
る密着性を向上させる。アンダーコートの膜厚を200
nm以上にすることで、上記の耐摩耗性、耐薬品性を充
分に向上させ、加えて、屋外等の温度、湿度の厳しい環
境における耐久性も向上させることができる。また、ア
ンダーコートの膜厚が300nm以下であれば、前記の
厳しい環境において長期間使用しても反射防止膜のクラ
ックや膜剥離を生じるおそれがない。
て、本実施例の合成樹脂製光学部品の反射防止膜E1
は、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)で作られたプ
ラスチックレンズ1の表面1aに蒸着されたアンダーコ
ート2と、これに積層された繰返し多層膜である多層膜
3からなり、アンダーコート2は前述の合成樹脂製材料
に対して良好な密着性を有し、かつ、耐薬品性、および
耐摩耗性にすぐれたケイ素酸化物SiOx (2>x>
1)を主成分とする屈折率n=1.49〜1.59の低
屈折率材料からなる膜厚d=200nm〜300nmの
薄膜であり、多層膜3は、酸化チタンTiO2 または酸
化ジルコニウムZrO2 またはこれらの混合物を主成分
とする高屈折率材料からなる第1層の薄膜(以下、「第
1層」という。)3aと、ケイ素酸化物SiOx (2≧
x≧1)を主成分とする低屈折率材料からなる第2層の
薄膜(以下、「第2層」という。)3bと、酸化チタン
TiO2または酸化ジルコニウムZrO2 またはこれら
の混合物を主成分とする高屈折率材料からなる第3層の
薄膜(以下、「第3層」という。)3cと、ケイ素酸化
物SiOx (2≧x≧1)を主成分とする低屈折率材料
からなる第4層の薄膜(以下、「第4層」という。)3
dによって構成されている。
1.49〜1.59のケイ素酸化物を主成分とする低屈
折率材料を選んだ理由は、合成樹脂製光学部品の材料と
して多用されるポリメタクリル酸メチル(PMMA)や
ポリカーボネート(PC)やポリスチレン(PS)の屈
折率が上記の範囲にあること、および、上記低屈折率材
料が、耐薬品性や耐摩耗性にすぐれており、上記の合成
樹脂に対して良好な密着性を有し、かつ、アンダーコー
トとして用いた場合に光散乱量および光吸収量が少いた
めである。
m以下であると、充分な耐薬品性や耐摩耗性を得ること
ができず、300nm以上である場合は逆にクラックが
発生しやすいことが実験によって判明している。なお、
多層膜3の第1層3aと第2層3bは高屈折率材料と低
屈折率材料からなる等価薄膜を構成し、多層膜3の基本
的な膜構成は、設計波長λに対して前記等価薄膜の膜厚
がλ/4、第3層3cの膜厚がλ/4またはλ/2、第
4層3dの膜厚がλ/4である。また、多層膜3の各層
3a〜3dの屈折率nおよび光学膜厚ndは以下の範囲
であるのが望ましい。
A)のプラスチックレンズ1を公知の真空蒸着室に搬入
し、該真空蒸着室を排気して3×10-5torr以上の
高真空としたうえで、O2 ガスを導入し、真空蒸着室の
圧力を1.0×10-4torrに設定する。次に抵抗加
熱法あるいは電子ビーム加熱法によってケイ素酸化物S
iOx (2>x>1)を主成分とする蒸発材料を加熱蒸
発させ、プラスチックレンズ1の表面1aに光学膜厚n
d=330nmのアンダーコート2を形成する。このと
きの蒸着速度10Å/secであった。次いで、O2 ガ
ス導入量を制御して真空蒸着室の圧力を5×10-5to
rrに設定し、ZrO2 とTiO2 の混合物を主成分と
する蒸発材料を電子ビーム加熱法によって加熱蒸発さ
せ、蒸着速度5Å/secで光学膜厚nd=36nmの
多層膜3の第1層3aを形成する。さらに、O2 ガス導
入量を制御して真空蒸着室の圧力を1.0×10-4to
rrに設定し、SiO2 を主成分とする蒸発材料を電子
ビーム加熱法によって加熱蒸発させ、蒸着速度10Å/
secで光学膜厚nd=24nmの第2層3bを形成
し、次いで、O2 ガス導入量を制御して真空蒸着室の圧
力を5×10-5torrに設定し、ZrO2 とTiO2
の混合物を主成分とする蒸発材料を電子ビーム加熱法に
よって加熱蒸発させ、蒸着速度5Å/secで光学膜厚
nd=210nmの第3層3cを形成し、さらに、O2
ガス導入量を制御して真空蒸着室の圧力を1.0×10
-4torrに設定し、SiO2 を主成分とする蒸発材料
を電子ビーム加熱法によって加熱蒸発させ、蒸着速度1
0Å/secで光学膜厚nd=115nmの第4層3d
を形成したのち、O2 ガスの導入を停止して真空蒸着室
の圧力を一旦3×10-5torr以上の高真空に減圧し
たうえで大気圧まで昇圧し、真空蒸着室を開放して製品
を取出す。
の材料構成、各薄膜の屈折率n、膜厚dおよび光学膜厚
ndを表1に示し、また、その反射防止特性を図2に示
す。
ラスチックレンズの材料の一部を変更して第1ないし第
3の変形例の反射防止膜E2〜E4を製作した。第1変
形例の反射防止膜E2の製造工程においては、アンダー
コートを蒸着する際の真空蒸着室のO2 ガス雰囲気の圧
力を1.5×10-4torrとし、多層膜の第2層と第
4層はSiOx (2≧x≧1)を主成分とした低屈折率
材料を公知の抵抗加熱法または電子ビーム加熱法で加熱
蒸発させ、真空蒸着室のO2 ガス雰囲気の圧力をアンダ
ーコートを蒸着するときと同じ1.5×10-4torr
に設定し、また多層膜の第1層と第3層はTiO2 を主
成分とする高屈折率材料を公知の抵抗加熱法または電子
ビーム加熱法で加熱蒸発させた。他の点は本実施例の反
射防止膜E1の製造工程と同様であるので説明は省略す
る。
おいては、多層膜の第1層と第3層を蒸着するときの真
空蒸着室のO2 ガス雰囲気の圧力を1×10-4torr
に設定し、蒸着速度は2〜3Å/secで成膜した。そ
の他の点は本実施例の反射防止膜E1の製造工程と同様
である。
ックレンズの材料にポリカーボネート(PC)を用いて
製作した。製造工程は本実施例の反射防止膜E1と同様
である。
の変形例の反射防止膜E2〜E4の材料構成、各薄膜の
屈折率n、膜厚dおよび光学膜厚ndをそれぞれ表2な
いし表4に示し、また、その反射防止特性をそれぞれ図
3ないし図5に示す。
nmとして本実施例の反射防止膜E1と同じ製造工程に
よって第1比較例の反射防止膜E5を製作し、さらに、
アンダーコートの膜厚dを310nmとして反射防止膜
E1と同じ製造工程によって第2の比較例の反射防止膜
E6を製作した。両者の材料構成、各薄膜の屈折率n、
膜厚dおよび光学膜厚ndをそれぞれ表5,6に示し、
また反射防止特性をそれぞれ図6,7に示す。
−98401号公報の反射防止膜を従来例1、特開昭6
0−25101号公報の反射防止膜を従来例2、特開平
3−16101号公報の反射防止膜を従来例3として、
それぞれの品質を評価する品質評価テストを行った結果
を表7に示す。
の反射防止膜E2〜E4はいずれも密着性、耐摩耗性お
よび耐薬品性においてすぐれており、また、これらの特
性は、高温高湿の厳しい環境においてもあるいは厳しい
温度変化のある環境においても大きく損なわれるおそれ
がないことが判る。なお、第1比較例の反射防止膜E5
はアンダーコートの膜厚が不足したために耐薬品性が不
充分であり、第2の比較例の反射防止膜E6はアンダー
コートの膜厚が大きすぎるためにクラックが発生しやす
いことが判る。また、前述のように、従来例1および3
は成膜直後からその耐摩耗性や耐薬品性が不充分であ
り、従来例2は光学特性に難点があることが判る。
性、(3)耐薬品性、(4)耐環境性は以下のテスト方
法で評価した。
対し垂直方向にテープを瞬時に引剥し、目視にて膜剥離
の有無を観察する。膜剥離が起きていない場合のみを良
好とした。
て、往復50回こすり、目視にて傷の有無を観察する。
膜傷が発生していない場合のみを良好とした。
紙を当て荷重300gにて、往復50回こすり、目視に
て膜浮きや膜傷等の有無を観察する。膜浮きや膜傷等が
発生していない場合のみを良好とした。
5%RHに設定された恒温槽内に500時間放置した
後、目視にて膜外観を観察し、異常が認められない場合
のみを良好とした。さらに、前記の(1)密着性、
(2)耐摩耗性、(3)耐薬品性の評価テストを実施し
た。
60℃−60%RHに各2時間のサイクルを10サイク
ル実施した後、目視にて膜外観を観察し、異常が認めら
れない場合のみを良好とした。さらに、前記の(1)密
着性、(2)耐摩耗性、(3)耐薬品性の評価テストを
実施した。
ので、以下に記載するような効果を奏する。
れており、かつ、屋外等の厳しい温度条件や湿度条件、
あるいは温度や湿度が大きく変化する環境で長時間使用
しても、前述の特性が劣化したり、クラックや膜剥離を
起すおそれのない合成樹脂製光学部品の反射防止膜を実
現する。その結果、屋外等ですぐれた耐久性を示す反射
の少ない合成樹脂製光学部品を実現できる。
である。
グラフである。
グラフである。
グラフである。
グラフである。
グラフである。
Claims (2)
- 【請求項1】 合成樹脂製光学部品の表面に成膜された
ケイ素酸化物SiOx (2>x>1)を主成分とする膜
厚200nmないし300nmのアンダーコートと、該
アンダーコート上に成膜された反射防止特性を有する繰
返し多層膜からなり、前記アンダーコートの屈折率が
1.49ないし1.59の範囲にあり、かつ、前記繰返
し多層膜が前記合成樹脂製光学部品の表面に近い側から
順に第1層ないし第4層の4層の薄膜からなり、設計波
長λ=500nm、前記第1層の薄膜の屈折率と光学膜
厚をそれぞれn 1 、n 1 d 1 、前記第2層の薄膜の屈折
率と光学膜厚をそれぞれn 2 、n 2 d 2 、前記第3層の
薄膜の屈折率と光学膜厚をそれぞれn 3 、n 3 d 3 、前
記第4層の薄膜の屈折率と光学膜厚をそれぞれn 4 、n
4 d 4 としたときに、これらの薄膜の屈折率と光学膜厚
が以下の条件式、 1.95≦n 1 ≦2.15、0.05λ≦n 1 d 1 ≦0.13λ、 1.43≦n 2 ≦1.55、0.03λ≦n 2 d 2 ≦0.07λ、 1.95≦n 3 ≦2.15、0.21λ≦n 3 d 3 ≦0.49λ、 1.43≦n 4 ≦1.55、0.20λ≦n 4 d 4 ≦0.28λ、 を満足す ることを特徴とする合成樹脂製光学部品の反射
防止膜。 - 【請求項2】 繰返し多層膜の第1層と第3層がTiO
2 またはZrO 2 またはこれらの混合物を主成分とする
高屈折率材料から形成され、第2層と第4層がSiO x
(2≧x≧1)を主成分とする低屈折率材料から形成さ
れたことを特徴とする請求項1記載の合成樹脂製光学部
品の反射防止膜。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08409293A JP3221764B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
US08/754,475 US5725959A (en) | 1993-03-18 | 1996-11-22 | Antireflection film for plastic optical element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08409293A JP3221764B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06273601A JPH06273601A (ja) | 1994-09-30 |
JP3221764B2 true JP3221764B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=13820871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08409293A Expired - Lifetime JP3221764B2 (ja) | 1993-03-18 | 1993-03-18 | 合成樹脂製光学部品の反射防止膜 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3221764B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1278855C (zh) | 2002-02-19 | 2006-10-11 | 佳能株式会社 | 光量调节构件的制造方法、光量调节构件、光量调节装置及摄影装置 |
US6866431B2 (en) | 2002-02-19 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Light amount adjustment apparatus, manufacturing method, and photographing apparatus |
EP1336871B1 (en) | 2002-02-19 | 2006-11-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Production process of a graded neutral density filter, diaphragm with graded neutral density filter and photographing apparatus comprising the diaphragm |
JP4227459B2 (ja) | 2003-05-28 | 2009-02-18 | キヤノン株式会社 | 光学フィルタ、光学フィルタの製造方法、光量調節装置および光学機器 |
JP4438056B2 (ja) | 2003-06-26 | 2010-03-24 | キヤノン株式会社 | 光量調節部材の製造方法 |
JP3893391B2 (ja) | 2003-08-05 | 2007-03-14 | キヤノン株式会社 | Ndフィルタの製造方法 |
JP2013065390A (ja) | 2011-08-31 | 2013-04-11 | Hoya Corp | 光ピックアップ用光学素子、及び光ピックアップ装置 |
CN114438452A (zh) * | 2022-02-09 | 2022-05-06 | 洛阳微米光电技术有限公司 | 一种红外光学窗口及光学透镜外表面上增透膜的制作方法 |
-
1993
- 1993-03-18 JP JP08409293A patent/JP3221764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06273601A (ja) | 1994-09-30 |
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