JP2894530B2 - 反射防止膜を有する光学部材 - Google Patents
反射防止膜を有する光学部材Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は反射防止膜を有する光学
部材に関する。
部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】合成樹脂基材の表面反射を低下させるた
めに、合成樹脂基材上に反射防止膜を施すことはよく知
られている。また、できる限り低い視感反射率を得るた
めに高屈折率物質であるＴｉＯ2 層が光学的膜厚λ／２
の高屈折率層として用いられ、さらにＴｉＯ2 層を形成
する際には、酸素イオンビームを合成樹脂基材に照射し
ながらＴｉＯ2 を蒸着させることも知られている。合成
樹脂基材上にＴｉＯ2 層を備えた反射防止効果のある光
学部材の例として、例えば特開平２−３９１０１号公報
には基板をポリウレタンレンズとし、このポリウレタン
レンズ上に、ＳｉＯ2 からなる第１層［屈折率１．４
７、光学的膜厚３／２λ（λは５５０ｎｍである。以下
同様）］、ＺｒＯ2 とＳｉＯ2 の２層等価膜からなる第
２層［屈折率１．８０、光学的膜厚λ／４］、基材に酸
素イオンビームを照射しながら形成されたＴｉＯ2 層か
らなる第３層［屈折率２．４０、光学的膜厚λ／２］、
ＳｉＯ2 からなる第４層［屈折率１．４７、光学的膜厚
λ／４］を順に積層してなる反射防止膜を設けた光学部
材が開示されている。この反射防止膜付き光学部材にお
いては、第３層のＴｉＯ2 層の光学的膜厚をλ／２、屈
折率を上限の２．４０にして、低視感反射率を得てい
る。
めに、合成樹脂基材上に反射防止膜を施すことはよく知
られている。また、できる限り低い視感反射率を得るた
めに高屈折率物質であるＴｉＯ2 層が光学的膜厚λ／２
の高屈折率層として用いられ、さらにＴｉＯ2 層を形成
する際には、酸素イオンビームを合成樹脂基材に照射し
ながらＴｉＯ2 を蒸着させることも知られている。合成
樹脂基材上にＴｉＯ2 層を備えた反射防止効果のある光
学部材の例として、例えば特開平２−３９１０１号公報
には基板をポリウレタンレンズとし、このポリウレタン
レンズ上に、ＳｉＯ2 からなる第１層［屈折率１．４
７、光学的膜厚３／２λ（λは５５０ｎｍである。以下
同様）］、ＺｒＯ2 とＳｉＯ2 の２層等価膜からなる第
２層［屈折率１．８０、光学的膜厚λ／４］、基材に酸
素イオンビームを照射しながら形成されたＴｉＯ2 層か
らなる第３層［屈折率２．４０、光学的膜厚λ／２］、
ＳｉＯ2 からなる第４層［屈折率１．４７、光学的膜厚
λ／４］を順に積層してなる反射防止膜を設けた光学部
材が開示されている。この反射防止膜付き光学部材にお
いては、第３層のＴｉＯ2 層の光学的膜厚をλ／２、屈
折率を上限の２．４０にして、低視感反射率を得てい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平２
−３９１０１号公報に開示されている光学部材は、Ｔｉ
Ｏ2 層の屈折率を上限の２．４０にするために、高エネ
ルギーの酸素イオンビームを基板に照射する必要があ
る。そのため高エネルギーの酸素イオンビームの照射に
より合成樹脂基板が着色しやすい問題を有する。またＴ
ｉＯ2 層の屈折率を２．４０にしておくと、ＴｉＯ2 の
分子状態は密な状態になるためＴｉＯ2 層内に強い内部
応力が生じ、ポリウレタン樹脂のような経時的に微小変
形しやすい合成樹脂では反射防止膜に無数のくぼみ、し
わが発生しやすく外観上また光学上好ましくない問題を
有している。このため前述した光学部材は眼鏡用レンズ
などには適用しにくい問題を有している。
−３９１０１号公報に開示されている光学部材は、Ｔｉ
Ｏ2 層の屈折率を上限の２．４０にするために、高エネ
ルギーの酸素イオンビームを基板に照射する必要があ
る。そのため高エネルギーの酸素イオンビームの照射に
より合成樹脂基板が着色しやすい問題を有する。またＴ
ｉＯ2 層の屈折率を２．４０にしておくと、ＴｉＯ2 の
分子状態は密な状態になるためＴｉＯ2 層内に強い内部
応力が生じ、ポリウレタン樹脂のような経時的に微小変
形しやすい合成樹脂では反射防止膜に無数のくぼみ、し
わが発生しやすく外観上また光学上好ましくない問題を
有している。このため前述した光学部材は眼鏡用レンズ
などには適用しにくい問題を有している。
【０００４】本発明は上述した課題を解決するためにな
されたものであり、その目的は高屈折率層であるＴｉＯ
2 層を形成した場合でもポリウレタン樹脂基板が着色せ
ず、また経時的に微小変形しやすいポリウレタン樹脂か
らなる光学基板にＴｉＯ2 層を形成した場合でも反射防
止膜に無数のくぼみ、しわが発生しにくく、さらに低視
感反射特性を示すＴｉＯ2 層を有する光学部材を提供す
ることにある。
されたものであり、その目的は高屈折率層であるＴｉＯ
2 層を形成した場合でもポリウレタン樹脂基板が着色せ
ず、また経時的に微小変形しやすいポリウレタン樹脂か
らなる光学基板にＴｉＯ2 層を形成した場合でも反射防
止膜に無数のくぼみ、しわが発生しにくく、さらに低視
感反射特性を示すＴｉＯ2 層を有する光学部材を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的は、ポリウ
レタン樹脂基板上に反射防止膜を有する光学部材であっ
て、前記反射防止膜は、λ／４−λ／４−λ／２−λ／
４型の４層反射防止膜であり、基板側から数えて順に、
ＳｉＯ2 を主成分とし、屈折率が１．４３〜１．４８、
実質的な光学的膜厚が０．１５λ〜０．３０λである第
１層と、屈折率が１．６４〜１．７２、実質的な光学的
膜厚が０．１５λ〜０．３０λである第２層と、ＴｉＯ
2 を主成分とし、屈折率が２．２５〜２．３４、実質的
な光学的膜厚が０．４２λ〜０．５８λの層であって、
酸素イオンビームを前記ポリウレタン樹脂基板に照射し
ながら形成された第３層と、ＳｉＯ2 を主成分とし、屈
折率が１．４３〜１．４８、実質的な光学的膜厚が０．
２０λ〜０．３０λである第４層とにより形成されてい
ることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材により
達成された。
レタン樹脂基板上に反射防止膜を有する光学部材であっ
て、前記反射防止膜は、λ／４−λ／４−λ／２−λ／
４型の４層反射防止膜であり、基板側から数えて順に、
ＳｉＯ2 を主成分とし、屈折率が１．４３〜１．４８、
実質的な光学的膜厚が０．１５λ〜０．３０λである第
１層と、屈折率が１．６４〜１．７２、実質的な光学的
膜厚が０．１５λ〜０．３０λである第２層と、ＴｉＯ
2 を主成分とし、屈折率が２．２５〜２．３４、実質的
な光学的膜厚が０．４２λ〜０．５８λの層であって、
酸素イオンビームを前記ポリウレタン樹脂基板に照射し
ながら形成された第３層と、ＳｉＯ2 を主成分とし、屈
折率が１．４３〜１．４８、実質的な光学的膜厚が０．
２０λ〜０．３０λである第４層とにより形成されてい
ることを特徴とする反射防止膜を有する光学部材により
達成された。
【０００６】本発明の反射防止膜を有する光学部材にお
いて、第２層を等価膜とすることもでき、この場合、等
価膜は全体としての屈折率が１．６４〜１．７２、実質
的な光学的膜厚が０．１５〜０．３０λであり、第２層
が単層からなる場合の反射率と等価な反射率を有する。
いて、第２層を等価膜とすることもでき、この場合、等
価膜は全体としての屈折率が１．６４〜１．７２、実質
的な光学的膜厚が０．１５〜０．３０λであり、第２層
が単層からなる場合の反射率と等価な反射率を有する。
【０００７】本発明者は、（ｉ）光学的膜厚がλ／２で
ある第３層のＴｉＯ2 層の屈折率を２．２５〜２．３４
にすることによってポリウレタン樹脂基板へのイオンビ
ームの照射エネルギー量を屈折率２．４０のＴｉＯ2 層
を形成する場合に比べ小さくすることが可能となり、ポ
リウレタン樹脂基板の着色を抑さえることができるこ
と、（ii）ＴｉＯ2 層の屈折率を２．２５〜２．３４に
することによって屈折率２．４０のＴｉＯ2 層に比べ
て、層のＴｉＯ2 の分子状態は疎の状態になり、ＴｉＯ
2 層の内部応力を低く抑えることができること、（iii)
これにより経時的に微小変化しやすい例えばポリウレタ
ン樹脂などの合成樹脂の上にＴｉＯ2 層を有する反射防
止膜を施しても視感反射特性を損なわず、反射防止膜に
くぼみ、しわの発生を防ぐことができることを見い出し
た。
ある第３層のＴｉＯ2 層の屈折率を２．２５〜２．３４
にすることによってポリウレタン樹脂基板へのイオンビ
ームの照射エネルギー量を屈折率２．４０のＴｉＯ2 層
を形成する場合に比べ小さくすることが可能となり、ポ
リウレタン樹脂基板の着色を抑さえることができるこ
と、（ii）ＴｉＯ2 層の屈折率を２．２５〜２．３４に
することによって屈折率２．４０のＴｉＯ2 層に比べ
て、層のＴｉＯ2 の分子状態は疎の状態になり、ＴｉＯ
2 層の内部応力を低く抑えることができること、（iii)
これにより経時的に微小変化しやすい例えばポリウレタ
ン樹脂などの合成樹脂の上にＴｉＯ2 層を有する反射防
止膜を施しても視感反射特性を損なわず、反射防止膜に
くぼみ、しわの発生を防ぐことができることを見い出し
た。
【０００８】また、本発明者は、λ／４−λ／４−λ／
２−λ／４型の反射防止膜において基板から数えて第１
層をＳｉＯ2 を主成分とする層にすることにより、
（ａ）この第１層が反射防止膜を構成するとともに、下
地層としても働き、別途、下地層を設けた場合と同程度
の反射防止膜と基板との密着性が得られること、（ｂ）
反射防止膜が全体として良好な表面硬度を有すること、
さらに（ｃ）特開平２−３９１０１号公報記載の３／２
λ−λ／４−λ／２−λ／４型の反射防止膜を有する光
学部材よりも低い視感反射特性が得られることを見い出
した。
２−λ／４型の反射防止膜において基板から数えて第１
層をＳｉＯ2 を主成分とする層にすることにより、
（ａ）この第１層が反射防止膜を構成するとともに、下
地層としても働き、別途、下地層を設けた場合と同程度
の反射防止膜と基板との密着性が得られること、（ｂ）
反射防止膜が全体として良好な表面硬度を有すること、
さらに（ｃ）特開平２−３９１０１号公報記載の３／２
λ−λ／４−λ／２−λ／４型の反射防止膜を有する光
学部材よりも低い視感反射特性が得られることを見い出
した。
【０００９】上記の知見に基づいてなされた本発明の反
射防止膜を有する光学部材について以下さらに詳細に説
明する。本発明の反射防止膜を有する光学部材はポリウ
レタン樹脂基板上に反射防止効果を担う第１層、第２
層、第３層、第４層からなるλ／４−λ／４−λ／２−
λ／４型の反射防止膜を施したものである。
射防止膜を有する光学部材について以下さらに詳細に説
明する。本発明の反射防止膜を有する光学部材はポリウ
レタン樹脂基板上に反射防止効果を担う第１層、第２
層、第３層、第４層からなるλ／４−λ／４−λ／２−
λ／４型の反射防止膜を施したものである。
【００１０】第１層はＳｉＯ2 を主成分とした層として
いる。ＳｉＯ2 を含む層とした理由はＳｉＯ2 層が前述
した利点（ａ）, （ｂ）および（ｃ）を有することによ
る。第１層の屈折率の範囲は１．４３〜１．４８であ
る。また第１層の基本光学的膜厚はλ／４であるが、実
質的な光学的膜厚の範囲は０．１５λ〜０．３０λであ
る。
いる。ＳｉＯ2 を含む層とした理由はＳｉＯ2 層が前述
した利点（ａ）, （ｂ）および（ｃ）を有することによ
る。第１層の屈折率の範囲は１．４３〜１．４８であ
る。また第１層の基本光学的膜厚はλ／４であるが、実
質的な光学的膜厚の範囲は０．１５λ〜０．３０λであ
る。
【００１１】第２層は、層屈折率が１．６４〜１．７２
である。第２層の屈折率は、上記第１層および下記第４
層の膜構成物質、すなわち屈折率並びに基板の物質、す
なわち屈折率が定まれば下記のλ／４−λ／４−λ／２
−λ／４型反射防止膜の振幅条件式により定めることが
できる。
である。第２層の屈折率は、上記第１層および下記第４
層の膜構成物質、すなわち屈折率並びに基板の物質、す
なわち屈折率が定まれば下記のλ／４−λ／４−λ／２
−λ／４型反射防止膜の振幅条件式により定めることが
できる。
【００１２】
【数１】 第２層の膜構成物質は前述した条件を満せば、特に限定
されず、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、Ｔａ2 Ｏ
5 、ＳｉＯ2 などの公知の膜の１種又は２種以上構成物
質を用いることができる。第２層の基本光学的膜厚はλ
／４であり、実質的な光学的膜厚の範囲は０．１５λ〜
０．３０λである。
されず、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＴｉＯ2 、Ｔａ2 Ｏ
5 、ＳｉＯ2 などの公知の膜の１種又は２種以上構成物
質を用いることができる。第２層の基本光学的膜厚はλ
／４であり、実質的な光学的膜厚の範囲は０．１５λ〜
０．３０λである。
【００１３】また、第２層は全体としての屈折率が１．
６４〜１．７２、実質的な光学的膜厚が０．１５λ〜
０．３０λであり、第２層が単層からなる場合の反射率
を有する等価膜とすることもできる。その例として２層
等価膜、３層等価膜などが挙げられる。
６４〜１．７２、実質的な光学的膜厚が０．１５λ〜
０．３０λであり、第２層が単層からなる場合の反射率
を有する等価膜とすることもできる。その例として２層
等価膜、３層等価膜などが挙げられる。
【００１４】２層等価膜の具体例としては以下のものが
挙げられる（なお、下記２層等価膜を構成する層のう
ち、上に記載の層が第３層側に、下に記載の層が第１層
側に存在する）。
挙げられる（なお、下記２層等価膜を構成する層のう
ち、上に記載の層が第３層側に、下に記載の層が第１層
側に存在する）。
【００１５】第３層はＴｉＯ2 を主成分とし、層の屈折
率は２．２５〜２．３４である。第３層に屈折率が２．
２５〜２．３４のＴｉＯ2 層を用いた理由は、屈折率
２．２５〜２．３４のＴｉＯ2 層が前述した利点
（ｉ）、（ii）および（iii)を有するからである。ま
た、このＴｉＯ2 層は、ポリウレタン樹脂基板を加熱し
た状態で基板に酸素イオンビームを照射しながらチタン
又はその酸化物（一酸化チタン、二酸化チタン等）を基
材方向に飛ばして、二酸化チタンを蒸着させる方法によ
り形成される。この形成方法においてポリウレタン樹脂
基板を５０〜１２０℃に加熱することが好ましい。その
理由は、５０℃未満であると、形成されるＴｉＯ2層の
硬度が不十分になりやすく、一方、１２０℃を超えると
ポリウレタン樹脂基板が熱変形し歪みなどが発生する恐
れがあるからである。
率は２．２５〜２．３４である。第３層に屈折率が２．
２５〜２．３４のＴｉＯ2 層を用いた理由は、屈折率
２．２５〜２．３４のＴｉＯ2 層が前述した利点
（ｉ）、（ii）および（iii)を有するからである。ま
た、このＴｉＯ2 層は、ポリウレタン樹脂基板を加熱し
た状態で基板に酸素イオンビームを照射しながらチタン
又はその酸化物（一酸化チタン、二酸化チタン等）を基
材方向に飛ばして、二酸化チタンを蒸着させる方法によ
り形成される。この形成方法においてポリウレタン樹脂
基板を５０〜１２０℃に加熱することが好ましい。その
理由は、５０℃未満であると、形成されるＴｉＯ2層の
硬度が不十分になりやすく、一方、１２０℃を超えると
ポリウレタン樹脂基板が熱変形し歪みなどが発生する恐
れがあるからである。
【００１６】この形成方法の他の条件（例えば基板への
酸素イオンビームの照射方法、原料であるチタン又はそ
の酸化物の蒸発方法など）は通常採用されている条件の
中から適宜選択されるが、基板へのイオンビームの照射
時の酸素イオン電流密度はＴｉＯ2 層の屈折率を２．２
５〜２．３４にするために５〜１５μＡ／ｃｍ2 の範囲
が好ましい。尚、第３層の基本光学的膜厚はλ／２であ
るが、実質的な光学的膜厚の範囲は０．４２λ〜０．５
８λである。また特に好ましいＴｉＯ2 層の屈折率の範
囲は２．２８〜２．３２である。
酸素イオンビームの照射方法、原料であるチタン又はそ
の酸化物の蒸発方法など）は通常採用されている条件の
中から適宜選択されるが、基板へのイオンビームの照射
時の酸素イオン電流密度はＴｉＯ2 層の屈折率を２．２
５〜２．３４にするために５〜１５μＡ／ｃｍ2 の範囲
が好ましい。尚、第３層の基本光学的膜厚はλ／２であ
るが、実質的な光学的膜厚の範囲は０．４２λ〜０．５
８λである。また特に好ましいＴｉＯ2 層の屈折率の範
囲は２．２８〜２．３２である。
【００１７】第４層はＳｉＯ2 を主成分とした層であ
る。第４層としてＳｉＯ2 を主成分とした層にした理由
は、高い表面硬度を有すること、および第３層のＴｉＯ
2 層との密着性が良好であることによるものである。第
４層の基本光学的膜厚はλ／４、実質的な光学的膜厚の
範囲は０．２０λ〜０．３０λである。また第４層の屈
折率の範囲は１．４３〜１．４８である。尚、第１層か
ら第４層は、前述した屈折率範囲内で公知の膜構成物質
を添加してもよい。
る。第４層としてＳｉＯ2 を主成分とした層にした理由
は、高い表面硬度を有すること、および第３層のＴｉＯ
2 層との密着性が良好であることによるものである。第
４層の基本光学的膜厚はλ／４、実質的な光学的膜厚の
範囲は０．２０λ〜０．３０λである。また第４層の屈
折率の範囲は１．４３〜１．４８である。尚、第１層か
ら第４層は、前述した屈折率範囲内で公知の膜構成物質
を添加してもよい。
【００１８】本発明において基板として用いる合成樹脂
はポリウレタンに限定される。尚、ここでいうポリウレ
タンとは、ポリイソシアネート化合物とポリチオール化
合物および／またはポリオール化合物とが反応してでき
た重合体をいう。
はポリウレタンに限定される。尚、ここでいうポリウレ
タンとは、ポリイソシアネート化合物とポリチオール化
合物および／またはポリオール化合物とが反応してでき
た重合体をいう。
【００１９】本発明では、ポリウレタン樹脂基板と反射
防止膜との間に有機ケイ素重合体を含むハードコート層
を介在させることができる。本発明の反射防止膜を有す
る光学部材は、眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自
動車の窓ガラス、ワードプロセッサーのディスプレイに
付設する光学フィルターなどに使用することが可能であ
る。
防止膜との間に有機ケイ素重合体を含むハードコート層
を介在させることができる。本発明の反射防止膜を有す
る光学部材は、眼鏡レンズのほか、カメラ用レンズ、自
動車の窓ガラス、ワードプロセッサーのディスプレイに
付設する光学フィルターなどに使用することが可能であ
る。
【００２０】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。 （ａ）耐擦傷性試験 ＃００００のスチールウールにより表面を往復回数で１
０回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 Ａ：わずかに傷がつく Ｂ：多く傷がつく Ｃ：膜のはがれが生じる （ｂ）視感反射率、視感透過率 日立製作所製Ｕ３４１０型自記分光光度計を用い、視感
反射率、視感透過率を求めた。 （ｃ）外観 目視により以下の項目をチェックし、項目に該当しない
ものを良、該当するものを不良とした。 （ｉ）光学部材が着色していること。 （ii）反射防止膜にくぼみ、しわが見えること。 （ｄ）密着性試験 ＪＩＳ−Ｚ−１５２２に従いゴバン目を１０×１０個作
りセロファン粘着テープにより剥離試験を３回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。 （ａ）耐擦傷性試験 ＃００００のスチールウールにより表面を往復回数で１
０回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 Ａ：わずかに傷がつく Ｂ：多く傷がつく Ｃ：膜のはがれが生じる （ｂ）視感反射率、視感透過率 日立製作所製Ｕ３４１０型自記分光光度計を用い、視感
反射率、視感透過率を求めた。 （ｃ）外観 目視により以下の項目をチェックし、項目に該当しない
ものを良、該当するものを不良とした。 （ｉ）光学部材が着色していること。 （ii）反射防止膜にくぼみ、しわが見えること。 （ｄ）密着性試験 ＪＩＳ−Ｚ−１５２２に従いゴバン目を１０×１０個作
りセロファン粘着テープにより剥離試験を３回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
【００２１】実施例１ まず反射防止膜を施す合成樹脂基板として、ｍ−キシレ
ンジイソシアネートとペンタエリスリトールテトラキス
プロピルプロピオネートとを重合してなるポリウレタン
レンズ（ｎｄ＝１．６０、νｄ＝３６）を用意した。
ンジイソシアネートとペンタエリスリトールテトラキス
プロピルプロピオネートとを重合してなるポリウレタン
レンズ（ｎｄ＝１．６０、νｄ＝３６）を用意した。
【００２２】（ｉ）ハードコート層の形成 前記ポリウレタンレンズを、５０モル％の酸化タングス
テンゾルで被覆した酸化スズゾルと５０モル％のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランを含有するコー
ティング液に浸漬し、その後硬化してハードコート層を
設けた。
テンゾルで被覆した酸化スズゾルと５０モル％のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランを含有するコー
ティング液に浸漬し、その後硬化してハードコート層を
設けた。
【００２３】（ii）反射防止膜の形成 前記ハードコート層を有するプラスチックレンズを８０
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法（真
空度２×１０-5Ｔｏｒｒ）により、ＳｉＯ2 層（屈折率
１．４６、光学的膜厚０．１６λ）からなる第１層、こ
の第１層の上に、ＴｉＯ2 とＴａ2 Ｏ5 との混合層（屈
折率２．１３、光学的膜厚０．１０λ）とＳｉＯ2 層
（屈折率１．４６、光学的膜厚０．０９λ）との２層等
価膜からなる第２層、この第２層の上に、ＴｉＯ2 層
（屈折率２．３０、光学的膜厚０．５０λ）からなる第
３層、この第３層の上にＳｉＯ2 層（屈折率１．４６、
光学的 膜厚０．２５λ）からなる第４層を積層して反射
防止膜を有する光学部材を作製した。尚、設計波長はλ
＝５４０ｎｍで行なった。第３層のＴｉＯ2 層を形成す
る際には、前記ポリウレタンレンズ基板に酸素イオンビ
ームを酸素イオン電流密度１０μＡ／ｃｍ2 にして照射
しながらＴｉＯ2 を基材方向に飛ばしてＴｉＯ2層を形
成した。得られた反射防止膜付き光学部材の評価結果を
表１に示す。表１から判るように本実施例の反射防止膜
付き光学部材は耐擦傷性および密着性に優れ、さらに視
感反射率が０．１５％と反射防止効果に優れ、またレン
ズに着色、反射防止膜にくぼみ、しわが確認されないも
のであった。
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法（真
空度２×１０-5Ｔｏｒｒ）により、ＳｉＯ2 層（屈折率
１．４６、光学的膜厚０．１６λ）からなる第１層、こ
の第１層の上に、ＴｉＯ2 とＴａ2 Ｏ5 との混合層（屈
折率２．１３、光学的膜厚０．１０λ）とＳｉＯ2 層
（屈折率１．４６、光学的膜厚０．０９λ）との２層等
価膜からなる第２層、この第２層の上に、ＴｉＯ2 層
（屈折率２．３０、光学的膜厚０．５０λ）からなる第
３層、この第３層の上にＳｉＯ2 層（屈折率１．４６、
光学的 膜厚０．２５λ）からなる第４層を積層して反射
防止膜を有する光学部材を作製した。尚、設計波長はλ
＝５４０ｎｍで行なった。第３層のＴｉＯ2 層を形成す
る際には、前記ポリウレタンレンズ基板に酸素イオンビ
ームを酸素イオン電流密度１０μＡ／ｃｍ2 にして照射
しながらＴｉＯ2 を基材方向に飛ばしてＴｉＯ2層を形
成した。得られた反射防止膜付き光学部材の評価結果を
表１に示す。表１から判るように本実施例の反射防止膜
付き光学部材は耐擦傷性および密着性に優れ、さらに視
感反射率が０．１５％と反射防止効果に優れ、またレン
ズに着色、反射防止膜にくぼみ、しわが確認されないも
のであった。
【００２４】実施例２ 第２層をＺｒＯ2 層（屈折率１．９０、光学的膜厚０．
１０λ）と、このＺｒＯ2 層の上に設けたＳｉＯ2 層
（屈折率１．４６、光学的膜厚０．０９λ）との２層等
価膜にした以外はすべて実施例１と同様に行なった。そ
の結果を表１に示す。表１に示すように実施例２の反射
防止膜付き光学部材は実施例１の反射防止膜付き光学部
材と同程度の物性を有するものであった。
１０λ）と、このＺｒＯ2 層の上に設けたＳｉＯ2 層
（屈折率１．４６、光学的膜厚０．０９λ）との２層等
価膜にした以外はすべて実施例１と同様に行なった。そ
の結果を表１に示す。表１に示すように実施例２の反射
防止膜付き光学部材は実施例１の反射防止膜付き光学部
材と同程度の物性を有するものであった。
【００２５】実施例３ 第３層をＴｉＯ2 とＴａ2 Ｏ5 との混合層（屈折率２．
３０、光学的膜厚０．５０λ）にした以外はすべて実施
例１と同様に行なった。尚、酸素イオンビームの照射条
件も実施例１と同様に行なった。その結果を表１に示
す。表１に示すように実施例３の反射防止膜付き光学部
材は実施例１の反射防止膜付き光学部材と同程度の物性
を有するものであった。
３０、光学的膜厚０．５０λ）にした以外はすべて実施
例１と同様に行なった。尚、酸素イオンビームの照射条
件も実施例１と同様に行なった。その結果を表１に示
す。表１に示すように実施例３の反射防止膜付き光学部
材は実施例１の反射防止膜付き光学部材と同程度の物性
を有するものであった。
【００２６】実施例４ 第２層をＺｒＯ2 とＡｌ2 Ｏ3 との混合層（ＺｒＯ2 と
Ａｌ2 Ｏ3 の重量比は７０：３０、混合層の屈折率１．
６７、光学的膜厚０．２５λ）にした以外はすべて実施
例１と同様に行なった。その結果を表１に示す。表１に
示すように実施例４の反射防止膜付き光学部材は実施例
１の反射防止膜付き光学部材と同程度の物性を有するも
のであった。
Ａｌ2 Ｏ3 の重量比は７０：３０、混合層の屈折率１．
６７、光学的膜厚０．２５λ）にした以外はすべて実施
例１と同様に行なった。その結果を表１に示す。表１に
示すように実施例４の反射防止膜付き光学部材は実施例
１の反射防止膜付き光学部材と同程度の物性を有するも
のであった。
【００２７】比較例１ 特開平２−３９１０１号公報に開示された反射防止膜付
き光学部材を以下のようにして作製した。すなわち、前
記実施例１と同様の合成樹脂基板に、前記実施例１と同
様のハードコート層を施した。このハードコート層を有
するプラスチックレンズを８０℃に加熱し、前記ハード
コート層の上に真空蒸着法（真空度２×１０-5Ｔｏｒ
ｒ）により、ＳｉＯ2 層（屈折率１．４７、光学的膜厚
３／２λ）からなる第１層を形成した。この第１層の上
にＺｒＯ2 層とＳｉＯ2 層との２層等価膜からなる第２
層（屈折率１．８０、光学的膜厚λ／４）、この第２層
の上にＴｉＯ2 層（屈折率２．４０、光学的膜厚λ／
２）からなる第３層、この第３層の上にＳｉＯ2 層（屈
折率１．４７、光学的膜厚λ／４）からなる第４層を積
層して反射防止膜を有する光学部材を作製した。尚、設
計波長はλ＝５４０ｎｍで行なった。第３層のＴｉＯ2
層を形成する際には、前記ポリウレタンレンズ基材に酸
素イオンビームを酸素イオン電流密度２５μＡ／ｃｍ2
にして照射しながらＴｉＯ2 を基材方向に飛ばしてＴｉ
Ｏ2 層を形成した。得られた反射防止膜付き光学部材の
評価結果を表１に示す。表１に示すように比較例の反射
防止膜付き光学部材は、その視感反射率が０．８％と、
実施例１〜４の光学部材の反射特性と比べ劣るものであ
った。またレンズに着色が、反射防止膜にしわが見ら
れ、外観上好ましいものではなかった。
き光学部材を以下のようにして作製した。すなわち、前
記実施例１と同様の合成樹脂基板に、前記実施例１と同
様のハードコート層を施した。このハードコート層を有
するプラスチックレンズを８０℃に加熱し、前記ハード
コート層の上に真空蒸着法（真空度２×１０-5Ｔｏｒ
ｒ）により、ＳｉＯ2 層（屈折率１．４７、光学的膜厚
３／２λ）からなる第１層を形成した。この第１層の上
にＺｒＯ2 層とＳｉＯ2 層との２層等価膜からなる第２
層（屈折率１．８０、光学的膜厚λ／４）、この第２層
の上にＴｉＯ2 層（屈折率２．４０、光学的膜厚λ／
２）からなる第３層、この第３層の上にＳｉＯ2 層（屈
折率１．４７、光学的膜厚λ／４）からなる第４層を積
層して反射防止膜を有する光学部材を作製した。尚、設
計波長はλ＝５４０ｎｍで行なった。第３層のＴｉＯ2
層を形成する際には、前記ポリウレタンレンズ基材に酸
素イオンビームを酸素イオン電流密度２５μＡ／ｃｍ2
にして照射しながらＴｉＯ2 を基材方向に飛ばしてＴｉ
Ｏ2 層を形成した。得られた反射防止膜付き光学部材の
評価結果を表１に示す。表１に示すように比較例の反射
防止膜付き光学部材は、その視感反射率が０．８％と、
実施例１〜４の光学部材の反射特性と比べ劣るものであ
った。またレンズに着色が、反射防止膜にしわが見ら
れ、外観上好ましいものではなかった。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【発明の効果】本発明によって高屈折率物質であるＴｉ
Ｏ2 を蒸着物質として使用した場合でもポリウレタン樹
脂基板が着色せず、また反射防止膜に無数のくぼみ、し
わが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示す反射防
止膜を有する光学部材を提供することができた。
Ｏ2 を蒸着物質として使用した場合でもポリウレタン樹
脂基板が着色せず、また反射防止膜に無数のくぼみ、し
わが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示す反射防
止膜を有する光学部材を提供することができた。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−32102（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−94301（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−70201（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−166901（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−39101（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 ポリウレタン樹脂基板上に反射防止膜を
有する光学部材であって、 前記反射防止膜は、λ／４−λ／４−λ／２−λ／４型
の４層反射防止膜であり、基板側から数えて順に、 ＳｉＯ2 を主成分とし、屈折率が１．４３〜１．４８、
実質的な光学的膜厚が０．１５λ〜０．３０λである第
１層と、 屈折率が１．６４〜１．７２、実質的な光学的膜厚が
０．１５λ〜０．３０λである第２層と、 ＴｉＯ2 を主成分とし、屈折率が２．２５〜２．３４、
実質的な光学的膜厚が０．４２λ〜０．５８λの層であ
って、酸素イオンビームを前記ポリウレタン樹脂基板に
照射しながら形成された第３層と、 ＳｉＯ2 を主成分とし、屈折率が１．４３〜１．４８、
実質的な光学的膜厚が０．２０λ〜０．３０λである第
４層と、 により形成されていることを特徴とする反射防止膜を有
する光学部材。 - 【請求項２】 第２層が、等価膜からなり、該等価膜は
全体としての屈折率が１．６４〜１．７２、実質的な光
学的膜厚が０．１５λ〜０．３０λであり、第２層が単
層からなる場合の反射率と等価な反射率を有する、請求
項１に記載の反射防止膜を有する光学部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4229688A JP2894530B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4229688A JP2894530B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0675103A JPH0675103A (ja) | 1994-03-18 |
| JP2894530B2 true JP2894530B2 (ja) | 1999-05-24 |
Family
ID=16896145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4229688A Expired - Fee Related JP2894530B2 (ja) | 1992-08-28 | 1992-08-28 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2894530B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5235316B2 (ja) * | 2007-01-31 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 光学用積層フィルム及び画像表示装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5632102A (en) * | 1979-08-27 | 1981-04-01 | Fujitsu Ltd | 4-layer nonreflecting coat |
| JPS5694301A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-30 | Fujitsu Ltd | Multilayered antireflection film |
| JPS5870201A (ja) * | 1981-10-22 | 1983-04-26 | Tokyo Optical Co Ltd | 反射防止膜を施した強化ガラス |
| JPH07119844B2 (ja) * | 1990-10-31 | 1995-12-20 | ホーヤ株式会社 | 反射防止膜を有する光学部品 |
| JPH07119845B2 (ja) * | 1990-11-27 | 1995-12-20 | ホーヤ株式会社 | 光学部品 |
-
1992
- 1992-08-28 JP JP4229688A patent/JP2894530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0675103A (ja) | 1994-03-18 |
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