JP2724260B2 - 反射防止膜を有する光学部材 - Google Patents
反射防止膜を有する光学部材Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、反射防止膜を有するポ
リウレタン樹脂基板からなる光学部材及びその製造方法
に関する。
リウレタン樹脂基板からなる光学部材及びその製造方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】合成樹脂基材の表面反射を低下させるた
めに、合成樹脂基材上に反射防止膜を施すことはよく知
られている。また、できる限り低い視感反射率を得るた
めに高屈折率物質であるTiO2 層が膜厚λ/2の高屈
折率層として用いられ、さらにTiO2 層を形成する際
には、酸素イオンビームを合成樹脂基材に照射しながら
TiO2 を蒸着させることも知られている。合成樹脂基
材上にTiO2 層を備えた反射防止効果のある光学部材
の例として例えば、特開平2−39101号公報には基
板をポリウレタンレンズとし、このポリウレタンレンズ
上に、SiO2 からなる第1層〔屈折率1.47、膜厚
3/2λ(λは550nmである。以下同様)、ZrO
2 とSiO2 の2層等価膜からなる第2層〔屈折率1.
80、膜厚λ/4〕、基材に酸素イオンビームを照射し
ながら形成されたTiO2 層からなる第3層〔屈折率
2.40、膜厚λ/2〕、SiO2からなる第4層〔屈
折率1.47、膜厚λ/4〕を順に積層してなる反射防
止膜を設けた光学部材が開示されている。この発明の特
徴は、第3層のTiO2 層の膜厚をλ/2、屈折率を上
限の2.40にして、低視感反射率を得ている。
めに、合成樹脂基材上に反射防止膜を施すことはよく知
られている。また、できる限り低い視感反射率を得るた
めに高屈折率物質であるTiO2 層が膜厚λ/2の高屈
折率層として用いられ、さらにTiO2 層を形成する際
には、酸素イオンビームを合成樹脂基材に照射しながら
TiO2 を蒸着させることも知られている。合成樹脂基
材上にTiO2 層を備えた反射防止効果のある光学部材
の例として例えば、特開平2−39101号公報には基
板をポリウレタンレンズとし、このポリウレタンレンズ
上に、SiO2 からなる第1層〔屈折率1.47、膜厚
3/2λ(λは550nmである。以下同様)、ZrO
2 とSiO2 の2層等価膜からなる第2層〔屈折率1.
80、膜厚λ/4〕、基材に酸素イオンビームを照射し
ながら形成されたTiO2 層からなる第3層〔屈折率
2.40、膜厚λ/2〕、SiO2からなる第4層〔屈
折率1.47、膜厚λ/4〕を順に積層してなる反射防
止膜を設けた光学部材が開示されている。この発明の特
徴は、第3層のTiO2 層の膜厚をλ/2、屈折率を上
限の2.40にして、低視感反射率を得ている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら特開平2
−39101号公報に開示されている光学部材は、Ti
O2 層の屈折率を上限の2.40にしていることにより
高エネルギーの酸素イオンビームを基板に照射する必要
がある。そのため高エネルギーの酸素イオンビームの照
射により合成樹脂基板が着色しやすい問題を有する。ま
たTiO2 層の屈折率を2.40にしておくと、層のT
iO2 の分子間の距離が短くなることにより、層のTi
O2 の分子状態は密な状態になるためTiO2 層内に強
い内部応力が生じ、ポリウレタン樹脂のような経時的に
微小変形しやすい合成樹脂では反射防止膜に無数のくぼ
み、しわが発生しやすく外観上また光学上好ましくない
問題を有している。このため前述した光学部材は眼鏡用
レンズなどには適用しにくい問題を有している。本発明
は上述した課題を解決するためになされたものでその目
的は高屈折率層であるTiO2 層を形成した場合でも合
成樹脂基板が着色せず、またポリウレタン樹脂のように
経時的に微小変形しやすい合成樹脂からなる光学基板に
TiO2 層を形成した場合でも反射防止膜に無数のくぼ
み、しわが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示す
TiO2 層を有する光学部材を提供することにある。
−39101号公報に開示されている光学部材は、Ti
O2 層の屈折率を上限の2.40にしていることにより
高エネルギーの酸素イオンビームを基板に照射する必要
がある。そのため高エネルギーの酸素イオンビームの照
射により合成樹脂基板が着色しやすい問題を有する。ま
たTiO2 層の屈折率を2.40にしておくと、層のT
iO2 の分子間の距離が短くなることにより、層のTi
O2 の分子状態は密な状態になるためTiO2 層内に強
い内部応力が生じ、ポリウレタン樹脂のような経時的に
微小変形しやすい合成樹脂では反射防止膜に無数のくぼ
み、しわが発生しやすく外観上また光学上好ましくない
問題を有している。このため前述した光学部材は眼鏡用
レンズなどには適用しにくい問題を有している。本発明
は上述した課題を解決するためになされたものでその目
的は高屈折率層であるTiO2 層を形成した場合でも合
成樹脂基板が着色せず、またポリウレタン樹脂のように
経時的に微小変形しやすい合成樹脂からなる光学基板に
TiO2 層を形成した場合でも反射防止膜に無数のくぼ
み、しわが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示す
TiO2 層を有する光学部材を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、ポリウレタン
樹脂基板上にλ=500nm〜550nmを設計波長と
したときの光学膜厚がλ/2のTiO2層を高屈折率層と
し、SiO2層を低屈折率層として有する多層反射防止膜を
施した光学部材であって、前記TiO2層は前記基板に酸素
イオンビームを照射しながら形成され、その層の屈折率
の範囲が2.25〜2.35であることを特徴とする反射防止膜
を有する光学部材に関する。さらに本発明は、ポリウレ
タン樹脂基板上にλ=500nm〜550nmを設計波
長としたときの光学膜厚がλ/2であり、かつ屈折率が
2.25〜2.35の範囲であるTiO2層を高屈折率層とし、SiO2
層を低屈折率層として有する多層反射防止膜を施した光
学部材の製造方法であって、前記TiO2層は前記基板に、
酸素イオン電流密度が5〜15μA/cm2 の酸素イオ
ンビームを照射しながら形成されることを特徴とする前
記反射防止膜を有する光学部材の製造方法に関する。
樹脂基板上にλ=500nm〜550nmを設計波長と
したときの光学膜厚がλ/2のTiO2層を高屈折率層と
し、SiO2層を低屈折率層として有する多層反射防止膜を
施した光学部材であって、前記TiO2層は前記基板に酸素
イオンビームを照射しながら形成され、その層の屈折率
の範囲が2.25〜2.35であることを特徴とする反射防止膜
を有する光学部材に関する。さらに本発明は、ポリウレ
タン樹脂基板上にλ=500nm〜550nmを設計波
長としたときの光学膜厚がλ/2であり、かつ屈折率が
2.25〜2.35の範囲であるTiO2層を高屈折率層とし、SiO2
層を低屈折率層として有する多層反射防止膜を施した光
学部材の製造方法であって、前記TiO2層は前記基板に、
酸素イオン電流密度が5〜15μA/cm2 の酸素イオ
ンビームを照射しながら形成されることを特徴とする前
記反射防止膜を有する光学部材の製造方法に関する。
【0005】本発明者は膜厚λ/2の高屈折率層である
TiO2層の屈折率を2.25〜2.35にすることによってポリウ
レタン基板へのイオンビームの照射エネルギー量を屈折
率2.40のTiO2層に比べ小さくすることが可能となり、合
成樹脂基板の着色を押さえることを見い出した。さら
に、TiO2層の屈折率を2.25〜2.35にすることによって屈
折率2.40のTiO2層に比べて、TiO2の分子間の距離が長く
なることより層のTiO2の分子状態は疎の状態になり、Ti
O2層の内部応力を低く抑えることができることを見い出
した。これにより経時的に微小変化しやすいポリウレタ
ン樹脂の上にTiO2層を有する反射防止膜を施しても視感
反射特性を損なわず、反射防止膜にくぼみ、しわの発生
を防ぐことができることを見い出した。
TiO2層の屈折率を2.25〜2.35にすることによってポリウ
レタン基板へのイオンビームの照射エネルギー量を屈折
率2.40のTiO2層に比べ小さくすることが可能となり、合
成樹脂基板の着色を押さえることを見い出した。さら
に、TiO2層の屈折率を2.25〜2.35にすることによって屈
折率2.40のTiO2層に比べて、TiO2の分子間の距離が長く
なることより層のTiO2の分子状態は疎の状態になり、Ti
O2層の内部応力を低く抑えることができることを見い出
した。これにより経時的に微小変化しやすいポリウレタ
ン樹脂の上にTiO2層を有する反射防止膜を施しても視感
反射特性を損なわず、反射防止膜にくぼみ、しわの発生
を防ぐことができることを見い出した。
【0006】次に前述した膜厚λ/2で屈折率2.25〜2.
35のTiO2層について説明する。この層は、ポリウレタン
基板を50〜120℃に加熱した状態で基板に酵素イオ
ンビームを照射しながらチタン又はその酸化物(一酸化
チタン、二酸化チタン等)を基材方向に飛ばして、二酸
化チタンを蒸着させる方法により形成される。この形成
方法においてポリウレタン基板を50〜120℃に加熱
することが好ましい理由は、50℃未満であると、形成
されるTiO2層の硬度が不十分になりやすく、一方、12
0℃を超えるとポリウレタン基板が熱変形し歪みなどが
発生する恐れがあるからである。この形成方法の他の条
件(例えば基材への酸素オンビームの照射方法、原料で
あるチタン又はその酸化物の蒸発方法など)は通常採用
されている条件の中から適宜選択される。但し、基材へ
のイオンビームの照射時の酸素イオン電流密度は、TiO2
層の屈折率2.25〜2.35にして、反射防止膜にくぼみ、し
わの発生を防止するために5〜15μA/cm2 の範囲
とする。本発明でいうλ/2の膜厚とは、例えばλ/4
−λ/2−λ/4の3層膜でいうλ/2の高屈折率層の
膜厚に該当し、その実質的な膜厚は0.42λ〜0.58λの範
囲にある。このTiO2層の膜厚をλ/2に特定した理由
は、他の屈折率層との屈折率、膜厚との組み合せにより
良好な低視感反射特性を有する反射防止膜を得ることが
できるからである。
35のTiO2層について説明する。この層は、ポリウレタン
基板を50〜120℃に加熱した状態で基板に酵素イオ
ンビームを照射しながらチタン又はその酸化物(一酸化
チタン、二酸化チタン等)を基材方向に飛ばして、二酸
化チタンを蒸着させる方法により形成される。この形成
方法においてポリウレタン基板を50〜120℃に加熱
することが好ましい理由は、50℃未満であると、形成
されるTiO2層の硬度が不十分になりやすく、一方、12
0℃を超えるとポリウレタン基板が熱変形し歪みなどが
発生する恐れがあるからである。この形成方法の他の条
件(例えば基材への酸素オンビームの照射方法、原料で
あるチタン又はその酸化物の蒸発方法など)は通常採用
されている条件の中から適宜選択される。但し、基材へ
のイオンビームの照射時の酸素イオン電流密度は、TiO2
層の屈折率2.25〜2.35にして、反射防止膜にくぼみ、し
わの発生を防止するために5〜15μA/cm2 の範囲
とする。本発明でいうλ/2の膜厚とは、例えばλ/4
−λ/2−λ/4の3層膜でいうλ/2の高屈折率層の
膜厚に該当し、その実質的な膜厚は0.42λ〜0.58λの範
囲にある。このTiO2層の膜厚をλ/2に特定した理由
は、他の屈折率層との屈折率、膜厚との組み合せにより
良好な低視感反射特性を有する反射防止膜を得ることが
できるからである。
【0007】本発明の反射防止膜の膜構成は上記条件を
満たしていれば特に限定されないが、実用的なことを考
えると、λ/4−λ/2−λ/4の3層膜、λ/4−λ
/2−λ/4を変形させた多層膜が好ましい。このλ/
4−λ/2−λ/4を変形させた多層膜の例として、3
層膜の基板から数えて第1層のλ/4が3層対称等価
膜、あるいは2膜のコンポジット膜であることが挙げら
れる。また、λ/4−λ/2−λ/4の各層の屈折率、
基板の屈折率、媒質の屈折率との間には以下の式に示す
関係があり、基板の屈折率が変化しても反射防止膜の基
板から数えて第1層のλ/4または第3層のλ/4の屈
折率を調整することより良好な低視感反射特性を有する
光学部材を得ることができる。 N1 2 No = N3 2 Ns N0 :基板の屈折率 N1 :基板から数えた反射防止膜の第1層の屈折率 N3 :基板から数えた反射防止膜の第3層の屈折率 Ns:媒質の屈折率 尚、前述したTiO2 層以外の層の形成法は特に限定さ
れず、真空蒸着法、イオンビームアシスト法、スパッタ
リング法などが用いられる。
満たしていれば特に限定されないが、実用的なことを考
えると、λ/4−λ/2−λ/4の3層膜、λ/4−λ
/2−λ/4を変形させた多層膜が好ましい。このλ/
4−λ/2−λ/4を変形させた多層膜の例として、3
層膜の基板から数えて第1層のλ/4が3層対称等価
膜、あるいは2膜のコンポジット膜であることが挙げら
れる。また、λ/4−λ/2−λ/4の各層の屈折率、
基板の屈折率、媒質の屈折率との間には以下の式に示す
関係があり、基板の屈折率が変化しても反射防止膜の基
板から数えて第1層のλ/4または第3層のλ/4の屈
折率を調整することより良好な低視感反射特性を有する
光学部材を得ることができる。 N1 2 No = N3 2 Ns N0 :基板の屈折率 N1 :基板から数えた反射防止膜の第1層の屈折率 N3 :基板から数えた反射防止膜の第3層の屈折率 Ns:媒質の屈折率 尚、前述したTiO2 層以外の層の形成法は特に限定さ
れず、真空蒸着法、イオンビームアシスト法、スパッタ
リング法などが用いられる。
【0008】本発明において光学部材の基板はポリウレ
タン樹脂である。ポリウレタン樹脂は、ポリイソシアネ
ート化合物とポリチオール化合物および/またはポリオ
ール化合物とが反応して得られる樹脂である。
タン樹脂である。ポリウレタン樹脂は、ポリイソシアネ
ート化合物とポリチオール化合物および/またはポリオ
ール化合物とが反応して得られる樹脂である。
【0009】本発明では、合成樹脂基板と反射防止膜と
の間に有機ケイ素重合体を含むハードコート層、通常知
られている下地層を介在することができる。本発明の反
射防止膜を有する光学部材は、眼鏡レンズのほか、カメ
ラ用レンズ、自動車の窓ガラス、ワードプロセッサーの
ディスプレイに付設する光学フィルターなどに使用する
ことが可能である。
の間に有機ケイ素重合体を含むハードコート層、通常知
られている下地層を介在することができる。本発明の反
射防止膜を有する光学部材は、眼鏡レンズのほか、カメ
ラ用レンズ、自動車の窓ガラス、ワードプロセッサーの
ディスプレイに付設する光学フィルターなどに使用する
ことが可能である。
【0010】
【実施例】以下、実施例により本発明を詳細に説明する
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。
が、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。なお、実施例及び比較例で得られた反射防止膜を有
する光学部材は、以下に示す試験方法により、諸物性を
測定した。
【0011】(a)耐擦傷性試験 #0000のスチールウールにより表面を往復回数で1
0回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 A:わずかに傷がつく B:多く傷がつく C:膜のはがれが生じる
0回こすって耐擦傷性を次のように判定した。 A:わずかに傷がつく B:多く傷がつく C:膜のはがれが生じる
【0012】(b)視感反射率、視感透過率 日立製作所製U3410型自記分光光度計を用い、視感
反射率、視感透過率を求めた。
反射率、視感透過率を求めた。
【0013】(c)着色率 以下の式によって着色率(%)を求めた。 着色率(%)=100(%)−〔視感反射率(%)+視
感透過率(%)〕
感透過率(%)〕
【0014】(d)外観 目視により以下の項目をチェックし、項目に該当しない
ものを良、該当するものを不良とした。 (i) 光学部材が着色していること。 (ii) 反射防止膜にくぼみ、しわが見えること。
ものを良、該当するものを不良とした。 (i) 光学部材が着色していること。 (ii) 反射防止膜にくぼみ、しわが見えること。
【0015】(e)密着性試験 JIS−Z−1522に従いゴバン目を10×10個作
りセロファン粘着テープにより剥離試験を3回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
りセロファン粘着テープにより剥離試験を3回行い、残
ったゴバン目の数を数えた。
【0016】実施例1 まず反射防止膜を施す合成樹脂基板として、m−キシレ
ンジイソシアネートと、ペンタエリスリトールテトラキ
スプロピルピオネートとを重合してなるポリウレタンレ
ンズ(nd=1.60、νd=36)を用意した。
ンジイソシアネートと、ペンタエリスリトールテトラキ
スプロピルピオネートとを重合してなるポリウレタンレ
ンズ(nd=1.60、νd=36)を用意した。
【0017】(i) ハードコート層の形成 前記ポリウレタンレンズを、50モル%の酸化タングス
テンゾルで被覆した酸化スズゾルと50モル%のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランを含有するコー
ティング液に浸漬し、その後硬化してハードコート層を
設けた。
テンゾルで被覆した酸化スズゾルと50モル%のγ−グ
リシドキシプロピルトリメトキシシランを含有するコー
ティング液に浸漬し、その後硬化してハードコート層を
設けた。
【0018】(ii) 下地層および反射防止膜の形成 前記ハードコート層を有するプラスチックレンズを80
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法(真
空度2×10-5Torr)により、SiO2 層(屈折率
1.46、膜厚0.103λ)、TiO2 層(屈折率
2.30、膜厚0.030λ)、SiO2 層(屈折率
1.46、膜厚0.596λ)からなる下地層、この下
地層の上にTiO2層(屈折率2.30、膜厚0.05
7λ)、SiO2 層(屈折率1.46、膜厚0.058
λ)の2層等価膜からなる第1の低屈折率層、この第1
の低屈折率層の上にTiO2 層(屈折率2.30、膜厚
0.466λ)からなる高屈折率層、この高屈折率層の
上にSiO2 層からなる第2の低屈折率層(屈折率1.
44、膜厚0.25λ)を積層して反射防止膜を有する
光学部材を作製した。TiO2 層を形成する際には、前
記ポリウレタンレンズ基材に酸素イオンビームを酸素イ
オン電流密度10μA/cm2 にして照射しながらTi
O2 を基材方向に飛ばしてTiO2 層を形成した。その
結果を表2に示す。表2から判るように耐擦傷性に優
れ、さらに視感反射率が0.18%と反射防止効果に優
れ、またレンズに着色、反射防止膜にくぼみ、しわが確
認されないものであった。尚、設計波長はλ=520n
mで行なった。
℃に加熱し、前記ハードコート層の上に真空蒸着法(真
空度2×10-5Torr)により、SiO2 層(屈折率
1.46、膜厚0.103λ)、TiO2 層(屈折率
2.30、膜厚0.030λ)、SiO2 層(屈折率
1.46、膜厚0.596λ)からなる下地層、この下
地層の上にTiO2層(屈折率2.30、膜厚0.05
7λ)、SiO2 層(屈折率1.46、膜厚0.058
λ)の2層等価膜からなる第1の低屈折率層、この第1
の低屈折率層の上にTiO2 層(屈折率2.30、膜厚
0.466λ)からなる高屈折率層、この高屈折率層の
上にSiO2 層からなる第2の低屈折率層(屈折率1.
44、膜厚0.25λ)を積層して反射防止膜を有する
光学部材を作製した。TiO2 層を形成する際には、前
記ポリウレタンレンズ基材に酸素イオンビームを酸素イ
オン電流密度10μA/cm2 にして照射しながらTi
O2 を基材方向に飛ばしてTiO2 層を形成した。その
結果を表2に示す。表2から判るように耐擦傷性に優
れ、さらに視感反射率が0.18%と反射防止効果に優
れ、またレンズに着色、反射防止膜にくぼみ、しわが確
認されないものであった。尚、設計波長はλ=520n
mで行なった。
【0019】比較例1 実施例1の比較として比較例1を挙げる。高屈折率層の
TiO2 層の屈折率を2.40にして実施例1との比較
を行なった。このTiO2 層を形成する際には、実施例
1で用いた同じ材質のポリウレタン樹脂基材に酸素イオ
ンビームを酸素イオン電流密度25μA/cm2 にして
照射して屈折率2.40の高屈折率層であるTiO2 層
を形成した以外は実施例1と同じにして反射防止膜を有
するプラスチックレンズを作製した。その結果を表1に
示す。表1から判るように視感反射率は0.18%と反
射防止効果には優れているが、レンズに着色、反射防止
膜にくぼみ、しわが確認され外観上好ましくないもので
あった。
TiO2 層の屈折率を2.40にして実施例1との比較
を行なった。このTiO2 層を形成する際には、実施例
1で用いた同じ材質のポリウレタン樹脂基材に酸素イオ
ンビームを酸素イオン電流密度25μA/cm2 にして
照射して屈折率2.40の高屈折率層であるTiO2 層
を形成した以外は実施例1と同じにして反射防止膜を有
するプラスチックレンズを作製した。その結果を表1に
示す。表1から判るように視感反射率は0.18%と反
射防止効果には優れているが、レンズに着色、反射防止
膜にくぼみ、しわが確認され外観上好ましくないもので
あった。
【0020】
【0021】
【0022】
【表1】 ┌───────┬───────────────┬─────────┐ │ │ 実 施 例 1 │ 比 較 例 1 │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ 基 材 │ ( I ) │ ( I ) │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ハードコート層│ ( II ) │ ( II ) │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ │ SiO2 層 │ │ │ │(屈折率 1.46 膜厚 0.103λ) │ │ │ │───────────────│ │ │ 下 地 層 │ TiO2 層 │ 実施例1と同じ │ │ │(屈折率 2.30 膜厚 0.030λ) │ │ │ │───────────────│ │ │ │ SiO2 層 │ │ │ │(屈折率 1.46 膜厚 0.596λ) │ │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ │ TiO2 層 │ │ │ 第1の │(屈折率 2.30 膜厚 0.057λ) │ │ │ 低屈折率層 │───────────────│ 実施例1と同じ │ │ │ SiO2 層 │ │ │ │(屈折率 1.46 膜厚 0.058λ) │ │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ │ TiO2 層 │ TiO2 層 │ │ │(屈折率 2.30 膜厚 0.466λ) │(屈折率 2.40 │ │ 高屈折率層 │ │ 膜 厚 0.466λ) │ ├───────┼───────────────┼─────────┤ │ 第2の │ SiO2 層 │ │ │ 低屈折率層 │(屈折率 1.44 │ 実施例1と同じ │ │ │ 膜 厚 0.25 λ) │ │ └───────┴───────────────┴─────────┘ (注)(I):ポリウレタンレンズ (II)酸化タングステンゾルで被覆した酸化スズゾルと
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランから作製
されるハードコート層
γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランから作製
されるハードコート層
【0023】
【表2】 ┌────────┬──────┬──────┐ │ │ 実施例1 │ 比較例1 │ ├────────┼──────┼──────┤ │耐擦傷性試験 │ A │ A │ ├────────┼──────┼──────┤ │視感反射率(%)│ 0.18 │ 0.18 │ ├────────┼──────┼──────┤ │視感透過率(%)│99.36 │98.45 │ ├────────┼──────┼──────┤ │着 色 率(%)│ 0.28 │ 1.30 │ ├────────┼──────┼──────┤ │外 観 │ 良 │ 不 良 │ └────────┴──────┴──────┘
【0024】
【発明の効果】本発明によって高屈折率物質であるTiO2
を蒸着物質として使用した場合でも基板が着色せず、ま
たポリウレタン樹脂のように経時的に微小変形しやすい
基板にTiO2層を形成した場合でも反射防止膜に無数のく
ぼみ、しわが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示
す反射防止膜を有する光学部材を提供することができ
た。
を蒸着物質として使用した場合でも基板が着色せず、ま
たポリウレタン樹脂のように経時的に微小変形しやすい
基板にTiO2層を形成した場合でも反射防止膜に無数のく
ぼみ、しわが発生しにくく、さらに低視感反射特性を示
す反射防止膜を有する光学部材を提供することができ
た。
Claims (3)
- 【請求項1】 ポリウレタン樹脂基板上にλ=500n
m〜550nmを設計波長としたときの光学膜厚がλ/
2のTiO2層を高屈折率層とし、SiO2層を低屈折率層とし
て有する多層反射防止膜を施した光学部材であって、 前記TiO2層は前記基板に酸素イオンビームを照射しなが
ら形成され、その層の屈折率の範囲が2.25〜2.35である
ことを特徴とする反射防止膜を有する光学部材。 - 【請求項2】 前記光学部材は眼鏡用レンズであること
を特徴とする請求項1に記載の光学部材。 - 【請求項3】 ポリウレタン樹脂基板上にλ=500n
m〜550nmを設計波長としたときの光学膜厚がλ/
2であり、かつ屈折率が2.25〜2.35の範囲であるTiO2層
を高屈折率層とし、SiO2層を低屈折率層として有する多
層反射防止膜を施した光学部材の製造方法であって、 前記TiO2層は前記基板に、酸素イオン電流密度が5〜1
5μA/cm2 の酸素イオンビームを照射しながら形成
されることを特徴とする前記反射防止膜を有する光学部
材の製造方法。
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---|---|---|---|
JP3298456A JP2724260B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 反射防止膜を有する光学部材 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3298456A JP2724260B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 反射防止膜を有する光学部材 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05107402A JPH05107402A (ja) | 1993-04-30 |
JP2724260B2 true JP2724260B2 (ja) | 1998-03-09 |
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Family Applications (1)
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JP3298456A Expired - Fee Related JP2724260B2 (ja) | 1991-10-17 | 1991-10-17 | 反射防止膜を有する光学部材 |
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JP (1) | JP2724260B2 (ja) |
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-
1991
- 1991-10-17 JP JP3298456A patent/JP2724260B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH05107402A (ja) | 1993-04-30 |
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