JP3005971B2 - 多層膜光学フイルタ - Google Patents
多層膜光学フイルタInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、所定の波長域を透過
し、他の波長域を反射してカットする多層膜光学フイル
タに関し、例えば、人体検出器や放射温度計または分析
計その他に使用されるものである。
し、他の波長域を反射してカットする多層膜光学フイル
タに関し、例えば、人体検出器や放射温度計または分析
計その他に使用されるものである。
【０００２】
【従来の技術】前記のような多層膜光学フイルタとし
て、例えば、図３や図４に示したものが知られている。
図３および図４において、１１は赤外線透過光学材であ
るＳｉからなる基板、１２は基板１１の表面に設けられ
た多層膜で、これは低屈折率材料であるＺｎＳと高屈折
率材料であるＧｅのそれぞれを真空蒸着してなるＺｎＳ
膜１３とＧｅ膜１４とを組合わせて積層したものであ
る。
て、例えば、図３や図４に示したものが知られている。
図３および図４において、１１は赤外線透過光学材であ
るＳｉからなる基板、１２は基板１１の表面に設けられ
た多層膜で、これは低屈折率材料であるＺｎＳと高屈折
率材料であるＧｅのそれぞれを真空蒸着してなるＺｎＳ
膜１３とＧｅ膜１４とを組合わせて積層したものであ
る。
【０００３】図３に示した多層膜光学フイルタにおいて
は、多層膜１２は、ＺｎＳ膜１３を基板１の表面に直接
に第１層膜として設け、その表面にＧｅ膜１４を設け、
さらに所要数のＺｎＳ膜１３とＧｅ膜１４とを組合わせ
て積層して形成されている。また、図４に示した多層膜
光学フイルタにおいては、多層膜１２は、Ｇｅ膜１４を
基板１１の表面に直接に第１層膜として設け、その表面
にＺｎＳ膜１３を設け、さらに所要数のＧｅ膜１４とＺ
ｎＳ膜１３とを組合わせて積層して形成されている。
は、多層膜１２は、ＺｎＳ膜１３を基板１の表面に直接
に第１層膜として設け、その表面にＧｅ膜１４を設け、
さらに所要数のＺｎＳ膜１３とＧｅ膜１４とを組合わせ
て積層して形成されている。また、図４に示した多層膜
光学フイルタにおいては、多層膜１２は、Ｇｅ膜１４を
基板１１の表面に直接に第１層膜として設け、その表面
にＺｎＳ膜１３を設け、さらに所要数のＧｅ膜１４とＺ
ｎＳ膜１３とを組合わせて積層して形成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の各多層膜光
学フイルタにおいて、図３に示したように、ＺｎＳ膜１
３を第１層膜として基板１１の表面に直接真空蒸着で形
成したものは、基板１１に対するＺｎＳ膜１３の付着強
度がかなり低い課題があることが知られている。また、
図４に示した多層膜光学フイルタにおける、第１層膜で
あるＧｅ膜１４の基板１１に対する付着強度は、前記図
３における、基板１１に対するＺｎＳ膜１３の付着強度
に比してはやや高いが、その付着強度はいまだ不十分で
あることが知られている。
学フイルタにおいて、図３に示したように、ＺｎＳ膜１
３を第１層膜として基板１１の表面に直接真空蒸着で形
成したものは、基板１１に対するＺｎＳ膜１３の付着強
度がかなり低い課題があることが知られている。また、
図４に示した多層膜光学フイルタにおける、第１層膜で
あるＧｅ膜１４の基板１１に対する付着強度は、前記図
３における、基板１１に対するＺｎＳ膜１３の付着強度
に比してはやや高いが、その付着強度はいまだ不十分で
あることが知られている。
【０００５】したがって、図３および図４に示した構成
の多層膜光学フイルタは、例えば、人体検出器や放射温
度計などに組込んで使用している間に、基板１１から多
層膜１２が部分的などに剥離するおそれが大きい難点が
ある。そして、前記のように、基板１１から多層膜１２
が剥離すると、多層膜光学フイルタの分光特性に変化が
生じ、人体検出器や放射温度計または分析計などの赤外
線検出精度に影響を与えて、その信頼性が低下するなど
の課題及び耐久性が低い課題がある。
の多層膜光学フイルタは、例えば、人体検出器や放射温
度計などに組込んで使用している間に、基板１１から多
層膜１２が部分的などに剥離するおそれが大きい難点が
ある。そして、前記のように、基板１１から多層膜１２
が剥離すると、多層膜光学フイルタの分光特性に変化が
生じ、人体検出器や放射温度計または分析計などの赤外
線検出精度に影響を与えて、その信頼性が低下するなど
の課題及び耐久性が低い課題がある。
【０００６】本発明は、上記のような課題を解決するも
のであって、基板に対する蒸着多層膜の付着強度を高く
して、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイ
ルタを得ることを目的とする。
のであって、基板に対する蒸着多層膜の付着強度を高く
して、その剥離を防止することが可能な多層膜光学フイ
ルタを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願の第１発明は、赤外
線透過光学材であるＳｉまたはＧｅからなる基板の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した
多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の第１層膜
がＧｅ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基板
の表面に、前記多層膜との付着強度を高めるために、Ｓ
ｉＯからなるプリコート膜を、その多層膜の分光特性に
影響を与えない程度の厚さで、かつ、充分な付着強度が
得られる程度の厚さに真空蒸着で形成し、このＳｉＯの
プリコート膜の表面に、前記第１層膜であるＧｅ膜が真
空蒸着で形成されたことを特徴としている。
線透過光学材であるＳｉまたはＧｅからなる基板の表面
に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した
多層膜が設けられ、かつ前記多層膜の基板側の第１層膜
がＧｅ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基板
の表面に、前記多層膜との付着強度を高めるために、Ｓ
ｉＯからなるプリコート膜を、その多層膜の分光特性に
影響を与えない程度の厚さで、かつ、充分な付着強度が
得られる程度の厚さに真空蒸着で形成し、このＳｉＯの
プリコート膜の表面に、前記第１層膜であるＧｅ膜が真
空蒸着で形成されたことを特徴としている。
【０００８】そして、本願の第２発明は、赤外線透過光
学材であるＳｉまたはＧｅからなる基板の表面に、Ｇｅ
とＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した多層膜が
設けられ、かつ、前記多層膜の基板側の第１層膜がＺｎ
Ｓ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基板の表
面に、前記多層膜との付着強度を高めるために、ＳｉＯ
のプリコート膜を、その多層膜の分光特性に影響を与え
ない程度の厚さで、かつ、充分な付着強度が得られる程
度の厚さに真空蒸着で形成すると共に、このＳｉＯのプ
リコート膜の表面にＧｅのプリコート膜を、その多層膜
の分光特性に影響を与えない程度の厚さで、かつ、充分
な付着強度が得られる程度の厚さに真空蒸着で形成し、
前記Ｇｅのプリコート膜の表面に、前記第１層膜である
ＺｎＳ膜が真空蒸着で形成されたことを特徴としてい
る。
学材であるＳｉまたはＧｅからなる基板の表面に、Ｇｅ
とＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層した多層膜が
設けられ、かつ、前記多層膜の基板側の第１層膜がＺｎ
Ｓ膜である多層膜光学フイルタにおいて、前記基板の表
面に、前記多層膜との付着強度を高めるために、ＳｉＯ
のプリコート膜を、その多層膜の分光特性に影響を与え
ない程度の厚さで、かつ、充分な付着強度が得られる程
度の厚さに真空蒸着で形成すると共に、このＳｉＯのプ
リコート膜の表面にＧｅのプリコート膜を、その多層膜
の分光特性に影響を与えない程度の厚さで、かつ、充分
な付着強度が得られる程度の厚さに真空蒸着で形成し、
前記Ｇｅのプリコート膜の表面に、前記第１層膜である
ＺｎＳ膜が真空蒸着で形成されたことを特徴としてい
る。
【０００９】前記各基板は任意の赤外線透過光学材で構
成することが可能であり、例えば、ＳｉまたはＧｅを挙
げることができる。そして、前記各プリコート膜は、多
層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えない厚さに形
成するが、例えば、ＳｉＯのプリコート膜の物理膜厚は
約１１００ＯÅ（オングストローム）程度、Ｇｅのプリ
コート膜の物理膜厚は約１８０Å程度を挙げることがで
きる。
成することが可能であり、例えば、ＳｉまたはＧｅを挙
げることができる。そして、前記各プリコート膜は、多
層膜光学フイルタの分光特性に影響を与えない厚さに形
成するが、例えば、ＳｉＯのプリコート膜の物理膜厚は
約１１００ＯÅ（オングストローム）程度、Ｇｅのプリ
コート膜の物理膜厚は約１８０Å程度を挙げることがで
きる。
【００１０】
【作用】前記第１発明の多層膜光学フイルタは、基板と
多層膜の基板側の第１層膜であるＧｅ膜との間に、真空
蒸着で形成したＳｉＯからなるプリコート膜を介在させ
ている。このＳｉＯからなるプリコート膜は、赤外透過
材料であり、かつ、ＳｉやＧｅなどからなる基板との付
着強度が高く、また、Ｇｅ膜に対しても付着強度が高い
ことから、このＳｉＯのプリコート膜によって、多層膜
の分光特性に影響を与えることなく、第１層膜であるＧ
ｅ膜を基板に対して強固に付着させることができ、基板
から多層膜が剥離するのが防止され、その耐久性を向上
させることができる。
多層膜の基板側の第１層膜であるＧｅ膜との間に、真空
蒸着で形成したＳｉＯからなるプリコート膜を介在させ
ている。このＳｉＯからなるプリコート膜は、赤外透過
材料であり、かつ、ＳｉやＧｅなどからなる基板との付
着強度が高く、また、Ｇｅ膜に対しても付着強度が高い
ことから、このＳｉＯのプリコート膜によって、多層膜
の分光特性に影響を与えることなく、第１層膜であるＧ
ｅ膜を基板に対して強固に付着させることができ、基板
から多層膜が剥離するのが防止され、その耐久性を向上
させることができる。
【００１１】第２発明の多層膜光学フイルタは、基板と
多層膜の前記基板側の第１層膜であるＺｎＳ膜との間
に、ＳｉＯとＧｅのそれぞれからなるプリコート膜を、
ＳｉＯのプリコート膜を基板側にして介在させている。
ＳｉＯのプリコート膜は、赤外透過材料であり、かつ、
基板とＧｅプリコート膜のいずれに対しても付着強度が
高く、また、Ｇｅのプリコート膜も、赤外透過材料であ
り、かつ、多層膜の基板側の第１層膜を構成するＺｎＳ
膜との付着強度が高いことから、このＳｉＯとＧｅの両
プリコート膜によって、多層膜の分光特性に影響を与え
ることなく、前記第１層膜であるＺｎＳ膜を基板に強固
に付着させることができ、基板から多層膜が剥離するの
が防止され、かつ、その耐久性を向上させることができ
る。
多層膜の前記基板側の第１層膜であるＺｎＳ膜との間
に、ＳｉＯとＧｅのそれぞれからなるプリコート膜を、
ＳｉＯのプリコート膜を基板側にして介在させている。
ＳｉＯのプリコート膜は、赤外透過材料であり、かつ、
基板とＧｅプリコート膜のいずれに対しても付着強度が
高く、また、Ｇｅのプリコート膜も、赤外透過材料であ
り、かつ、多層膜の基板側の第１層膜を構成するＺｎＳ
膜との付着強度が高いことから、このＳｉＯとＧｅの両
プリコート膜によって、多層膜の分光特性に影響を与え
ることなく、前記第１層膜であるＺｎＳ膜を基板に強固
に付着させることができ、基板から多層膜が剥離するの
が防止され、かつ、その耐久性を向上させることができ
る。
【００１２】
【実施例】本発明の多層膜光学フイルタの第１実施例を
図１について説明する。この第１実施例は、第１発明に
対応するものである。図１において、１はＳｉからなる
基板で、その表面にＳｉＯプリコート膜２が真空蒸着で
形成されている。３はＳｉＯプリコート膜２の表面に、
ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層して構成
された多層膜である。この多層膜３は、ＳｉＯプリコー
ト膜２の表面に、まずＧｅ膜４を第１層膜として真空蒸
着で形成してから、その表面にＺｎＳ膜５を真空蒸着で
形成し、さらに所要数のＧｅ膜４とＺｎＳ膜５とを組合
わせて真空蒸着で積層し形成している。前記ＳｉＯプリ
コート膜２の物理膜厚は、約１１００Åである。
図１について説明する。この第１実施例は、第１発明に
対応するものである。図１において、１はＳｉからなる
基板で、その表面にＳｉＯプリコート膜２が真空蒸着で
形成されている。３はＳｉＯプリコート膜２の表面に、
ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を組合わせて積層して構成
された多層膜である。この多層膜３は、ＳｉＯプリコー
ト膜２の表面に、まずＧｅ膜４を第１層膜として真空蒸
着で形成してから、その表面にＺｎＳ膜５を真空蒸着で
形成し、さらに所要数のＧｅ膜４とＺｎＳ膜５とを組合
わせて真空蒸着で積層し形成している。前記ＳｉＯプリ
コート膜２の物理膜厚は、約１１００Åである。
【００１３】この第１実施例の多層膜光学フイルタは、
基板１の表面にまずＳｉＯプリコート膜２を真空蒸着で
形成しているが、このＳｉＯプリコート膜２は、Ｓｉか
らなる基板１に対する付着強度が高いとともに、多層膜
３を構成したＧｅ膜４との付着強度も高いから、多層膜
３を基板１の表面にＳｉＯプリコート膜２が強固に付着
させる。そして、ＳｉＯプリコート膜２は、赤外透過材
料であるから、多層膜の分光特性に影響を与えることも
ない。したがって、この多層膜光学フイルタを、人体検
出器や放射温度計または分析計などに組込んで使用して
いる間に、多層膜３が基板１から部分的などに剥離する
ことをＳｉＯプリコート膜２で防止することができ、そ
の耐久性を向上させることが可能である。このため、こ
の多層膜光学フイルタは、分光特性が変化するようなお
それがなく、前記人体検出器や放射温度計または分析計
などに強い赤外線の検出精度を維持させるせることがで
き、その信頼性を向上させることが可能である。
基板１の表面にまずＳｉＯプリコート膜２を真空蒸着で
形成しているが、このＳｉＯプリコート膜２は、Ｓｉか
らなる基板１に対する付着強度が高いとともに、多層膜
３を構成したＧｅ膜４との付着強度も高いから、多層膜
３を基板１の表面にＳｉＯプリコート膜２が強固に付着
させる。そして、ＳｉＯプリコート膜２は、赤外透過材
料であるから、多層膜の分光特性に影響を与えることも
ない。したがって、この多層膜光学フイルタを、人体検
出器や放射温度計または分析計などに組込んで使用して
いる間に、多層膜３が基板１から部分的などに剥離する
ことをＳｉＯプリコート膜２で防止することができ、そ
の耐久性を向上させることが可能である。このため、こ
の多層膜光学フイルタは、分光特性が変化するようなお
それがなく、前記人体検出器や放射温度計または分析計
などに強い赤外線の検出精度を維持させるせることがで
き、その信頼性を向上させることが可能である。
【００１４】図２は、本発明の多層膜光学フイルタの第
２実施例を示すものであり、これは第２発明に対応する
ものである。図２において、１はＧｅからなる基板で、
その表面にＳｉＯプリコート膜２ａが真空蒸着で形成さ
れ、かつ、このＳｉＯプリコート膜２ａの表面にＧｅプ
リコート膜２ｂが真空蒸着で形成されている。３はＧｅ
プリコート膜２ｂの表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着
膜を組合わせて積層して構成された多層膜である。この
多層膜３は、Ｇｅプリコート膜２ｂの表面に、第１層膜
としてのＺｎＳ膜５を真空蒸着で形成してから、その表
面にＧｅ膜４を真空蒸着で形成し、さらに所要数のＺｎ
Ｓ膜５とＧｅ膜４とを組合わせて真空蒸着で積層し形成
している。前記ＳｉＯプリコート膜２ａの物理膜厚は約
１１００Å、Ｇｅプリコート膜２ｂの物理膜厚は約１８
０Åにそれぞれ設定している。
２実施例を示すものであり、これは第２発明に対応する
ものである。図２において、１はＧｅからなる基板で、
その表面にＳｉＯプリコート膜２ａが真空蒸着で形成さ
れ、かつ、このＳｉＯプリコート膜２ａの表面にＧｅプ
リコート膜２ｂが真空蒸着で形成されている。３はＧｅ
プリコート膜２ｂの表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着
膜を組合わせて積層して構成された多層膜である。この
多層膜３は、Ｇｅプリコート膜２ｂの表面に、第１層膜
としてのＺｎＳ膜５を真空蒸着で形成してから、その表
面にＧｅ膜４を真空蒸着で形成し、さらに所要数のＺｎ
Ｓ膜５とＧｅ膜４とを組合わせて真空蒸着で積層し形成
している。前記ＳｉＯプリコート膜２ａの物理膜厚は約
１１００Å、Ｇｅプリコート膜２ｂの物理膜厚は約１８
０Åにそれぞれ設定している。
【００１５】この第２実施例の多層膜光学フイルタは、
Ｇｅからなる基板１の表面に、それに対する付着強度が
高いＳｉＯプリコート膜２ａを真空蒸着で形成し、か
つ、このＳｉＯプリコート膜２ａの表面にＧｅプリコー
ト２ｂを真空蒸着で形成する。次に、前記Ｇｅプリコー
ト２ｂの表面に、多層膜３の第１層膜としてのＺｎＳ膜
５をまず形成している。そして、前記Ｇｅプリコート２
ｂは、前記ＳｉＯプリコート膜２ａ及び前記ＺｎＳ膜５
に対する付着強度が高い。したがって、ＳｉＯプリコー
ト膜２ａとＧｅプリコート２ｂとが、多層膜３を基板１
に強固に付着させて、その多層膜３が基板１から剥離す
ることを防止する。また、前記ＳｉＯプリコート膜２ａ
とＧｅプリコート２ｂとは、共に赤外透過材料であるか
ら、多層膜の分光特性に影響を与えることもない。この
ため、この多層膜光学フイルタは、人体検出器その他に
組込んで使用している間に、その多層膜３が基板１から
部分的などに剥離する課題を解決することができるか
ら、人体検出器などの信頼性を向上させることが可能で
ある。
Ｇｅからなる基板１の表面に、それに対する付着強度が
高いＳｉＯプリコート膜２ａを真空蒸着で形成し、か
つ、このＳｉＯプリコート膜２ａの表面にＧｅプリコー
ト２ｂを真空蒸着で形成する。次に、前記Ｇｅプリコー
ト２ｂの表面に、多層膜３の第１層膜としてのＺｎＳ膜
５をまず形成している。そして、前記Ｇｅプリコート２
ｂは、前記ＳｉＯプリコート膜２ａ及び前記ＺｎＳ膜５
に対する付着強度が高い。したがって、ＳｉＯプリコー
ト膜２ａとＧｅプリコート２ｂとが、多層膜３を基板１
に強固に付着させて、その多層膜３が基板１から剥離す
ることを防止する。また、前記ＳｉＯプリコート膜２ａ
とＧｅプリコート２ｂとは、共に赤外透過材料であるか
ら、多層膜の分光特性に影響を与えることもない。この
ため、この多層膜光学フイルタは、人体検出器その他に
組込んで使用している間に、その多層膜３が基板１から
部分的などに剥離する課題を解決することができるか
ら、人体検出器などの信頼性を向上させることが可能で
ある。
【００１６】
【発明の効果】本発明における請求項１の多層膜光学フ
イルタは、上記のように、赤外線透過光学材であるＳｉ
またはＧｅからなる基板の表面に、それに対する付着強
度が高いＳｉＯのプリコート膜を設けてから、このＳｉ
Ｏのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着
膜からなる多層膜の第１層膜であるＧｅ膜を真空蒸着で
形成している。そして、前記Ｇｅ膜は、前記ＳｉＯのプ
リコート膜に対する付着強度が高いから、このＳｉＯの
プリコート膜が第１層膜であるＧｅ膜を基板に強固に付
着させて、それが基板から剥離することを防止する。ま
た、ＳｉＯのプリコート膜は赤外透過材料であることか
ら、多層膜の分光特性に影響を与えることもない。した
がって、前記ＳｉＯのプリコート膜が、前記第１層膜と
してのＧｅ膜を基板に強固に付着させて、多層膜が基板
から剥離することを防ぐから、安定した分光特性を備え
た多層膜光学フイルタを得ることができる。このため、
この多層膜光学フイルタを使用した人体検出器や放射温
度計または分析計その他の信頼性を向上させることが可
能である。
イルタは、上記のように、赤外線透過光学材であるＳｉ
またはＧｅからなる基板の表面に、それに対する付着強
度が高いＳｉＯのプリコート膜を設けてから、このＳｉ
Ｏのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着
膜からなる多層膜の第１層膜であるＧｅ膜を真空蒸着で
形成している。そして、前記Ｇｅ膜は、前記ＳｉＯのプ
リコート膜に対する付着強度が高いから、このＳｉＯの
プリコート膜が第１層膜であるＧｅ膜を基板に強固に付
着させて、それが基板から剥離することを防止する。ま
た、ＳｉＯのプリコート膜は赤外透過材料であることか
ら、多層膜の分光特性に影響を与えることもない。した
がって、前記ＳｉＯのプリコート膜が、前記第１層膜と
してのＧｅ膜を基板に強固に付着させて、多層膜が基板
から剥離することを防ぐから、安定した分光特性を備え
た多層膜光学フイルタを得ることができる。このため、
この多層膜光学フイルタを使用した人体検出器や放射温
度計または分析計その他の信頼性を向上させることが可
能である。
【００１７】そして、本発明における請求項２の多層膜
光学フイルタは、上記のように、赤外線透過光学材であ
るＳｉまたはＧｅからなる基板の表面にＳｉＯのプリコ
ート膜を設け、その表面にＧｅのプリコート膜を設けて
から、このＧｅのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳ
の各真空蒸着膜からなる多層膜の第１層膜としてのＺｎ
Ｓ膜を真空蒸着で形成している。そして、前記ＳｉＯと
Ｇｅの各プリコート膜は、互いに付着強度が高いととも
に、これらと基板及び第１層膜としてのＺｎＳ膜との各
付着強度も高いから、このＳｉＯとＧｅの各プリコート
膜が第１層膜であるＺｎＳ膜を基板に強固に付着させ
て、それが基板から剥離することを防止する。また、Ｓ
ｉＯとＧｅの各プリコート膜は、共に赤外透過材料であ
ることから、多層膜の分光特性に影響を与えることもな
い。したがって、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコート膜
が、前記第１層膜であるＺｎＳ膜を介して多層膜を基板
に強固に付着させて、その多層膜が基板から剥離するこ
とを防ぐから、安定した分光特性を備えた多層膜光学フ
イルタを得ることができる。このため、この多層膜光学
フイルタを使用した人体検出器や放射温度計または分析
計その他の信頼性を向上させることが可能である。
光学フイルタは、上記のように、赤外線透過光学材であ
るＳｉまたはＧｅからなる基板の表面にＳｉＯのプリコ
ート膜を設け、その表面にＧｅのプリコート膜を設けて
から、このＧｅのプリコート膜の表面に、ＧｅとＺｎＳ
の各真空蒸着膜からなる多層膜の第１層膜としてのＺｎ
Ｓ膜を真空蒸着で形成している。そして、前記ＳｉＯと
Ｇｅの各プリコート膜は、互いに付着強度が高いととも
に、これらと基板及び第１層膜としてのＺｎＳ膜との各
付着強度も高いから、このＳｉＯとＧｅの各プリコート
膜が第１層膜であるＺｎＳ膜を基板に強固に付着させ
て、それが基板から剥離することを防止する。また、Ｓ
ｉＯとＧｅの各プリコート膜は、共に赤外透過材料であ
ることから、多層膜の分光特性に影響を与えることもな
い。したがって、前記ＳｉＯとＧｅの各プリコート膜
が、前記第１層膜であるＺｎＳ膜を介して多層膜を基板
に強固に付着させて、その多層膜が基板から剥離するこ
とを防ぐから、安定した分光特性を備えた多層膜光学フ
イルタを得ることができる。このため、この多層膜光学
フイルタを使用した人体検出器や放射温度計または分析
計その他の信頼性を向上させることが可能である。
【図１】本発明第１実施例の拡大構成図である。
【図２】本発明第２実施例の拡大構成図である。
【図３】従来例の拡大構成図である。
【図４】従来例の拡大構成図である。
１…基板、２，２ａ…ＳｉＯプリコート膜、２ｂ…Ｇｅ
プリコート膜、３…多層膜、４…Ｇｅ膜、５…ＺｎＳ
膜。
プリコート膜、３…多層膜、４…Ｇｅ膜、５…ＺｎＳ
膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−215803（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−210503（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−8605（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−69603（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−297501（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−287301（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】 赤外線透過光学材であるＳｉまたはＧｅ
からなる基板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を
組合わせて積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜
の基板側の第１層膜がＧｅ膜である多層膜光学フイルタ
において、前記基板の表面に、前記多層膜との付着強度
を高めるために、ＳｉＯからなるプリコート膜を、前記
多層膜の分光特性に影響を与えない程度の厚さで、か
つ、充分な付着強度が得られる程度の厚さに真空蒸着で
形成し、このＳｉＯのプリコート膜の表面に、前記第１
層膜であるＧｅ膜が真空蒸着で形成されたことを特徴と
する多層膜光学フイルタ。 - 【請求項２】 赤外線透過光学材であるＳｉまたはＧｅ
からなる基板の表面に、ＧｅとＺｎＳの各真空蒸着膜を
組合わせて積層した多層膜が設けられ、かつ前記多層膜
の基板側の第１層膜がＺｎＳ膜である多層膜光学フイル
タにおいて、前記基板の表面に、前記多層膜との付着強
度を高めるために、ＳｉＯのプリコート膜を、前記多層
膜の分光特性に影響を与えない程度の厚さで、かつ、充
分な付着強度が得られる程度の厚さに真空蒸着で形成す
ると共に、このＳｉＯのプリコート膜の表面にＧｅのプ
リコート膜を、その多層膜の分光特性に影響を与えない
程度の厚さで、かつ、充分な付着強度が得られる程度の
厚さに真空蒸着で形成し、前記Ｇｅのプリコート膜の表
面に、前記第１層膜であるＺｎＳ膜が真空蒸着で形成さ
れたことを特徴とする多層膜光学フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143231A JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143231A JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05313013A JPH05313013A (ja) | 1993-11-26 |
| JP3005971B2 true JP3005971B2 (ja) | 2000-02-07 |
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ID=15333955
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4143231A Expired - Fee Related JP3005971B2 (ja) | 1992-05-09 | 1992-05-09 | 多層膜光学フイルタ |
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|---|---|
| JP (1) | JP3005971B2 (ja) |
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-
1992
- 1992-05-09 JP JP4143231A patent/JP3005971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05313013A (ja) | 1993-11-26 |
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