JPS60262101A - 水分計用多層膜干渉フイルタ - Google Patents
水分計用多層膜干渉フイルタInfo
- Publication number
- JPS60262101A JPS60262101A JP59118778A JP11877884A JPS60262101A JP S60262101 A JPS60262101 A JP S60262101A JP 59118778 A JP59118778 A JP 59118778A JP 11877884 A JP11877884 A JP 11877884A JP S60262101 A JPS60262101 A JP S60262101A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- index material
- wavelength
- interference filter
- substrate
- Prior art date
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は水分計用バンドパスフィルタに関し、剥離せず
、干渉が少なく、しかも従来品と同程度の光量が得られ
るフイｐりの提案に係るものである。
、干渉が少なく、しかも従来品と同程度の光量が得られ
るフイｐりの提案に係るものである。
〈従来技術〉
大気中の水分は第４図に示す如き分光特性をもっている
。この場合、５．８８μｍ以外の５．８５ 。
。この場合、５．８８μｍ以外の５．８５ 。
６．５１ 、６．６８μｍ等の波長域では他成分の干渉
が避けられないので、５．８８μｍ付近を測定域とする
必要がある。しかし、５．８８μｍ付近を測定域として
も帯域幅をあまり広くすると、第５図（イ）（ロ）（ハ
）に）に示すようなＮＯ、８０□、ＣＯ□、ＣＯ各成分
の干渉を受けることとなる。従って、５．８μｍ付近を
測定域として大気中の水分の分析を行なう場合、使用す
るバンドパスフィルりは中心波長が約５．８μｍで半値
幅が９％以下のものを使用しなければならない。一方、
半値幅があまり狭いと、検出器に入射する光量が足らな
くなるので、一般に少なくとも６％以上は必要である。
が避けられないので、５．８８μｍ付近を測定域とする
必要がある。しかし、５．８８μｍ付近を測定域として
も帯域幅をあまり広くすると、第５図（イ）（ロ）（ハ
）に）に示すようなＮＯ、８０□、ＣＯ□、ＣＯ各成分
の干渉を受けることとなる。従って、５．８μｍ付近を
測定域として大気中の水分の分析を行なう場合、使用す
るバンドパスフィルりは中心波長が約５．８μｍで半値
幅が９％以下のものを使用しなければならない。一方、
半値幅があまり狭いと、検出器に入射する光量が足らな
くなるので、一般に少なくとも６％以上は必要である。
このような条件を満たすバンドパスフィルタとしては従
来、高屈折率物質としてＰｂＴｅを使用した多層膜干渉
フイμりが用いられている。このフイμりによれば、約
８μｍ以下の波長の赤外線はＰｂＴｅによる吸収によっ
て透過しないので、その分ブロック層を重ねなくても済
むという利点があるが、反面、膜がソフトコートなので
、剥離しやすく、使用条件の厳しい水分計において使用
した場合、経時的な劣化を起したシ、他物と軽く接触し
ただけでも傷付き、ドリフトの要因になる等といった不
都合があった。
来、高屈折率物質としてＰｂＴｅを使用した多層膜干渉
フイμりが用いられている。このフイμりによれば、約
８μｍ以下の波長の赤外線はＰｂＴｅによる吸収によっ
て透過しないので、その分ブロック層を重ねなくても済
むという利点があるが、反面、膜がソフトコートなので
、剥離しやすく、使用条件の厳しい水分計において使用
した場合、経時的な劣化を起したシ、他物と軽く接触し
ただけでも傷付き、ドリフトの要因になる等といった不
都合があった。
〈発明の目的〉
本発明はこのような点にあって、中心波長が５．８μｍ
付近、半値幅が６〜９％の範囲にあり、かつ高強度で耐
久性のあるハードコートの多層干渉フィルタを提供する
ことを目的とする。
付近、半値幅が６〜９％の範囲にあり、かつ高強度で耐
久性のあるハードコートの多層干渉フィルタを提供する
ことを目的とする。
〈発明の構成〉
上記目的を達成するため、本発明に係る水分計用多層膜
干渉フィルタは、Ａｇ２Ｏ３若しくはＳｉからなる基板
上に高屈折率物質としてＧｅ、低屈折率物質としてＺｎ
Ｓ若しくはＳｉＯを用いた多層膜を形成して構成され、
中心波長が５．８μｎｚ付近にあシかつ半値幅が６〜９
％で限定されたことを特徴とする。
干渉フィルタは、Ａｇ２Ｏ３若しくはＳｉからなる基板
上に高屈折率物質としてＧｅ、低屈折率物質としてＺｎ
Ｓ若しくはＳｉＯを用いた多層膜を形成して構成され、
中心波長が５．８μｎｚ付近にあシかつ半値幅が６〜９
％で限定されたことを特徴とする。
高屈折率物質としてＧｅを用いているので、多層膜がハ
ードコートとなる。従って、強度が高く１１１ 耐久性
のある干渉フィルタを得ることができるの１″ アあ、
。
ードコートとなる。従って、強度が高く１１１ 耐久性
のある干渉フィルタを得ることができるの１″ アあ、
。
く実施例〉
第１図は本発明の一実施例としての干渉フィルタの構成
を示し、ｆｉｌはＡ １２０８ からなる基板、（２）
は基板（１）上に形成された多層膜で高屈折率物質几と
低屈折率物質（Ｌ）との交互層で構成される。この実施
例では高屈折率物質としてＧｅ、低屈折率物質としてＺ
ｎＳ若しくはＳｉＯを用いている。中心波長５．８μｍ
で半値幅が６〜９％の干渉フイμりを得るためには交互
層として長波長をカットするブロックフィルりと短波長
をカットするブソツクフイｐりとを組合せたものを用い
ればよい。もつとも、Ａｇ２Ｏ，材料を基板に用いた場
合、第２図に示すように７．６μｍ以上の波長の光は基
板自体がカットするので、それ以上の波長をブロックす
るフィルタは用いる必要がない。
を示し、ｆｉｌはＡ １２０８ からなる基板、（２）
は基板（１）上に形成された多層膜で高屈折率物質几と
低屈折率物質（Ｌ）との交互層で構成される。この実施
例では高屈折率物質としてＧｅ、低屈折率物質としてＺ
ｎＳ若しくはＳｉＯを用いている。中心波長５．８μｍ
で半値幅が６〜９％の干渉フイμりを得るためには交互
層として長波長をカットするブロックフィルりと短波長
をカットするブソツクフイｐりとを組合せたものを用い
ればよい。もつとも、Ａｇ２Ｏ，材料を基板に用いた場
合、第２図に示すように７．６μｍ以上の波長の光は基
板自体がカットするので、それ以上の波長をブロックす
るフィルタは用いる必要がない。
低屈折率物質としてＺｎＳを用いた場合、次に掲げる交
互層の構造式は上記条件を充足するよう設計されている
。
互層の構造式は上記条件を充足するよう設計されている
。
１？２０８／ＬＨＬＩ ＬＨＬＨＬＨＬ ）ＬＬ、（Ｌ
ＨＬＨＬＨＩ、 ）ＬＨ−ｆｉｌ又、低屈折率物質（Ｌ
）としてＳｉＯを用いた場合、次に掲げる交互層の構造
式は上記条件を充足するように設計されている。
ＨＬＨＬＨＩ、 ）ＬＨ−ｆｉｌ又、低屈折率物質（Ｌ
）としてＳｉＯを用いた場合、次に掲げる交互層の構造
式は上記条件を充足するように設計されている。
１？２０８／ＨＬ（ＬＨＬＨＬＨＬ）２ＬＨ−＋２１こ
のような交互層は、基板の片面ずつ高屈折率物質（Ｆ（
）と低屈折率物質（Ｌｌとをプルツク層の中心波長によ
って決定される所定の膜厚となるよう監視しつつ真空蒸
着法によって交互に形成していくことによシ製作できる
。かくして製作したフィルタの分光特性を第３図に示す
。
のような交互層は、基板の片面ずつ高屈折率物質（Ｆ（
）と低屈折率物質（Ｌｌとをプルツク層の中心波長によ
って決定される所定の膜厚となるよう監視しつつ真空蒸
着法によって交互に形成していくことによシ製作できる
。かくして製作したフィルタの分光特性を第３図に示す
。
次に基板は）としてはＡｌ３Ｏ３基板の他に、ＳＩ基板
を用いることができ、その場合、低屈折率物質（Ｌ）ど
してＺｎＳ及びＳｉＯのいずれでも使用できる。ＺｎＳ
を用いる場合の交互層は（１）式で示される構造とし、
ＳｉＯを用いる場合の交互層は（２）式で示される構造
とすればよい。
を用いることができ、その場合、低屈折率物質（Ｌ）ど
してＺｎＳ及びＳｉＯのいずれでも使用できる。ＺｎＳ
を用いる場合の交互層は（１）式で示される構造とし、
ＳｉＯを用いる場合の交互層は（２）式で示される構造
とすればよい。
尚、干渉フイｐりの半値幅は６〜９％の範囲のうちでも
特に７．５〜８％の範囲に設定するのが望ましい。他成
分の干渉が少なく、しかも検出器にて検出するのに十分
な光量を通過させつるからである。
特に７．５〜８％の範囲に設定するのが望ましい。他成
分の干渉が少なく、しかも検出器にて検出するのに十分
な光量を通過させつるからである。
〈発明の効果〉
以上説明したように本発明によれば、高屈折率物質にＧ
ｅを用いているのでノ為−ドコートであシ、耐久性があ
シ高強度であると共に、中心波長を５．８μｍ付近、半
値幅を６〜９％の範囲としているので、ＣＱ 、 ＣＧ
２． ｓＱ２ 、 Ｎｏ等の他成分の干渉が少なく、水
分計用として頗る使用価値高いフィルタを提供できるも
のである。
ｅを用いているのでノ為−ドコートであシ、耐久性があ
シ高強度であると共に、中心波長を５．８μｍ付近、半
値幅を６〜９％の範囲としているので、ＣＱ 、 ＣＧ
２． ｓＱ２ 、 Ｎｏ等の他成分の干渉が少なく、水
分計用として頗る使用価値高いフィルタを提供できるも
のである。
第１図は本発明の一実施例としての干渉フィルタの構成
を示す図、第２図はＡＪＩ？２０８基板の分光特性を示
す図、第３図は第１図のフィルタの分光特性を示す図、
第４図は水の分光特性を示す図、第５図（イ）〜μ）は
夫々ＮＯ、ＳＯ２，ＣＯ□、 Ｃ（、）の分光特性を示
す図である。 （１）・・・基板、（２）・・・多層膜。 第５図 （イ） （ロ） 第５図 （ハ） （ニ）
を示す図、第２図はＡＪＩ？２０８基板の分光特性を示
す図、第３図は第１図のフィルタの分光特性を示す図、
第４図は水の分光特性を示す図、第５図（イ）〜μ）は
夫々ＮＯ、ＳＯ２，ＣＯ□、 Ｃ（、）の分光特性を示
す図である。 （１）・・・基板、（２）・・・多層膜。 第５図 （イ） （ロ） 第５図 （ハ） （ニ）
Claims (1)
- Ａ １２０８若しくはＳｉからなる基板上に高屈折率物
質としてＧｅ 、低屈折率物質としてＺｎＳ若しくはＳ
ｉＯを用いた多層膜を形成して構成され、中心波長が５
．８μｍ付近にあシかつ半値幅が６〜９％で限定された
ことを特徴とする水分計用多層膜干渉フイμり。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118778A JPS60262101A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59118778A JPS60262101A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60262101A true JPS60262101A (ja) | 1985-12-25 |
Family
ID=14744842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59118778A Pending JPS60262101A (ja) | 1984-06-09 | 1984-06-09 | 水分計用多層膜干渉フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60262101A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01108504A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Horiba Ltd | 帯域透過光学フィルター |
| JPH01108503A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Horiba Ltd | 帯域透過光学フィルター |
| JPH0326101U (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-18 | ||
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH04122336U (ja) * | 1991-04-20 | 1992-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射温度計 |
| JPH05313013A (ja) * | 1992-05-09 | 1993-11-26 | Horiba Ltd | 多層膜光学フイルタ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155306A (en) * | 1979-05-23 | 1980-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Band-pass passing type optical filter |
| JPS5831307A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-24 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉フイルタ− |
-
1984
- 1984-06-09 JP JP59118778A patent/JPS60262101A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55155306A (en) * | 1979-05-23 | 1980-12-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Band-pass passing type optical filter |
| JPS5831307A (ja) * | 1981-08-20 | 1983-02-24 | Tokyo Optical Co Ltd | 干渉フイルタ− |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01108504A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Horiba Ltd | 帯域透過光学フィルター |
| JPH01108503A (ja) * | 1987-10-21 | 1989-04-25 | Horiba Ltd | 帯域透過光学フィルター |
| JPH0326101U (ja) * | 1989-07-25 | 1991-03-18 | ||
| JPH03210503A (ja) * | 1990-01-14 | 1991-09-13 | Horiba Ltd | 多層膜干渉フィルタ |
| JPH04122336U (ja) * | 1991-04-20 | 1992-11-02 | 株式会社堀場製作所 | 放射温度計 |
| JPH05313013A (ja) * | 1992-05-09 | 1993-11-26 | Horiba Ltd | 多層膜光学フイルタ |
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