JPH04318304A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH04318304A JPH04318304A JP3084191A JP8419191A JPH04318304A JP H04318304 A JPH04318304 A JP H04318304A JP 3084191 A JP3084191 A JP 3084191A JP 8419191 A JP8419191 A JP 8419191A JP H04318304 A JPH04318304 A JP H04318304A
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Classifications
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1272—Assembling or shaping of elements
-
- G—PHYSICS
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- G11B5/147—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with cores being composed of metal sheets, i.e. laminated cores with cores composed of isolated magnetic layers, e.g. sheets
- G11B5/1475—Assembling or shaping of elements
-
- G—PHYSICS
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- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/4902—Electromagnet, transformer or inductor
- Y10T29/49021—Magnetic recording reproducing transducer [e.g., tape head, core, etc.]
- Y10T29/49032—Fabricating head structure or component thereof
- Y10T29/49055—Fabricating head structure or component thereof with bond/laminating preformed parts, at least two magnetic
- Y10T29/49057—Using glass bonding material
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気ヘッドの製造方
法に関し、さらに詳しくは、VTR,R−DATおよび
デジタルVTRなどのシステムに搭載される回転型磁気
ヘッドおよびその製造方法に関する。
法に関し、さらに詳しくは、VTR,R−DATおよび
デジタルVTRなどのシステムに搭載される回転型磁気
ヘッドおよびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、磁気記録技術の高密度化、高帯域
化に伴って、記録媒体にはメタルテープ等の高保磁力媒
体が使用されるようになった。このため、磁気ヘッドの
コア材料には高い飽和磁束密度をもつ軟磁性合金の薄膜
が用いられ、例えば、図15に示すような軟磁性合金薄
膜22を非磁性材23で挟み込んだ構造の磁気ヘッド2
1が提案され、さらに、コア効率を高める為に磁気ヘッ
ドのコアの厚さをフロントギャップ部分ではトラック幅
に要する厚さとし、他の部分では厚くすることが提案さ
れている。
化に伴って、記録媒体にはメタルテープ等の高保磁力媒
体が使用されるようになった。このため、磁気ヘッドの
コア材料には高い飽和磁束密度をもつ軟磁性合金の薄膜
が用いられ、例えば、図15に示すような軟磁性合金薄
膜22を非磁性材23で挟み込んだ構造の磁気ヘッド2
1が提案され、さらに、コア効率を高める為に磁気ヘッ
ドのコアの厚さをフロントギャップ部分ではトラック幅
に要する厚さとし、他の部分では厚くすることが提案さ
れている。
【0003】本発明者等も、特開平1−33709 号
公報に開示される磁気ヘッドを提案し、さらにその製造
方法として、イオンミリングのような方向性をもった粒
子によって磁気ヘッドのトラック幅を決定する領域のみ
の磁気コアを薄くする方法を提案して来た。
公報に開示される磁気ヘッドを提案し、さらにその製造
方法として、イオンミリングのような方向性をもった粒
子によって磁気ヘッドのトラック幅を決定する領域のみ
の磁気コアを薄くする方法を提案して来た。
【0004】図16に特開平1−33709 号公報に
開示された磁気ヘッド24を示す。この図において軟磁
性薄膜あるいは軟磁性薄膜と絶縁性薄膜の積層薄膜26
はギャップ部分25ではトラック幅に対応する厚さであ
り、他の部分では厚くなっている。磁気コア26をこの
ような構造とすることにより、磁気コアの断面積を大き
くし磁気抵抗を小さくすることでコア効率を向上させて
いる。
開示された磁気ヘッド24を示す。この図において軟磁
性薄膜あるいは軟磁性薄膜と絶縁性薄膜の積層薄膜26
はギャップ部分25ではトラック幅に対応する厚さであ
り、他の部分では厚くなっている。磁気コア26をこの
ような構造とすることにより、磁気コアの断面積を大き
くし磁気抵抗を小さくすることでコア効率を向上させて
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】図17に磁気ヘッド2
4をギャップ対向面で2分割し、そのギャップ対向面を
観察できるような配置での斜視図を示している。この図
に示されるように、理想的に正確な加工精度が得られ、
また特開平1−33709 号公報にも開示されている
手法の、最終的な磁気ヘッド24の記録媒体摺動面側に
なる部分(フロントギャップ部分)29の磁気コア26
のみを薄くしたとしても、一対の磁気コア半体31が接
合されているギャップ突き合わせ面においては、トラッ
ク幅に要するよりも厚く形成された磁気コアの幅Bに対
して、図17のハッチングで示されたフロントギャップ
部分29の厚さの分Cだけしか磁気コア26が互いに対
向することにはならない。即ち、バックギャップ部分3
0の磁気コアを厚くして、磁気抵抗を小さくし、磁気ヘ
ッド24のコア効率を向上させようとしているが、バッ
クギャップ部分30での磁気コア断面積の小さい部分が
存在するため磁気抵抗の大きな部分を含むことになり、
結果として十分なコア効率向上の効果が得られないとい
う問題があった。
4をギャップ対向面で2分割し、そのギャップ対向面を
観察できるような配置での斜視図を示している。この図
に示されるように、理想的に正確な加工精度が得られ、
また特開平1−33709 号公報にも開示されている
手法の、最終的な磁気ヘッド24の記録媒体摺動面側に
なる部分(フロントギャップ部分)29の磁気コア26
のみを薄くしたとしても、一対の磁気コア半体31が接
合されているギャップ突き合わせ面においては、トラッ
ク幅に要するよりも厚く形成された磁気コアの幅Bに対
して、図17のハッチングで示されたフロントギャップ
部分29の厚さの分Cだけしか磁気コア26が互いに対
向することにはならない。即ち、バックギャップ部分3
0の磁気コアを厚くして、磁気抵抗を小さくし、磁気ヘ
ッド24のコア効率を向上させようとしているが、バッ
クギャップ部分30での磁気コア断面積の小さい部分が
存在するため磁気抵抗の大きな部分を含むことになり、
結果として十分なコア効率向上の効果が得られないとい
う問題があった。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明は、表面に磁性
膜によって磁気コアを形成した基板を付き合わせて両磁
気コア間に磁気ギャップが形成されるように固定した磁
気ヘッドにおいて、記録媒体のトラックに対向する側の
ギャップ部分の磁気コアがトラック幅に対応する厚さに
形成されると共に、その他の部分の磁気コアはトラック
に対向するギャップ部の磁気コアよりも厚く形成され、
かつ、トラックに対向するギャップ部分の磁気コアは、
基板側とその反対側の両側から薄くなるように絞り込ま
れた構造を有することを特徴する磁気ヘッドを提供する
ものである。
膜によって磁気コアを形成した基板を付き合わせて両磁
気コア間に磁気ギャップが形成されるように固定した磁
気ヘッドにおいて、記録媒体のトラックに対向する側の
ギャップ部分の磁気コアがトラック幅に対応する厚さに
形成されると共に、その他の部分の磁気コアはトラック
に対向するギャップ部の磁気コアよりも厚く形成され、
かつ、トラックに対向するギャップ部分の磁気コアは、
基板側とその反対側の両側から薄くなるように絞り込ま
れた構造を有することを特徴する磁気ヘッドを提供する
ものである。
【0007】さらに、この発明は、表面に磁性膜によっ
て磁気コアを形成した基板を付き合わせて両磁気コア間
に磁気ギャップが形成されるように両基板を固定した磁
気ヘッドの製造方法において、基板上面に複数の直線状
V溝を平行に形成する工程と、各V溝の一方斜面の頂上
近傍に所定ピッチで非磁性膜を形成する工程と、V溝の
前記磁性膜を有する斜面に磁性膜を形成する工程と、磁
性膜の非磁性膜に対向する部分をその背面から所定厚さ
まで薄くする工程と、V溝にガラスを充填した後に基板
上面を平坦化する工程と、基板をV溝に直交する面に沿
って切断して第1および第2基板に分割する工程と、各
基板の上面と下面にV溝に直行する方向にコイル巻き用
溝を形成する工程と、第1および第2基板の上面が互い
に接触し、かつ、第1基板の各磁性膜と第2基板の各磁
性膜との間に磁気ギャップが形成されるように、第1基
板と第2基板とを重ね合わせた後に、各V溝のガラスを
溶融して第1基板と第2基板とを接合して一つの接合体
にする工程と、その接合体を第1および第2基板の接合
面に対して所定角度だけ傾いた面に沿ってスライスする
工程からなる磁気ヘッドの製造方法を提供するものであ
る。
て磁気コアを形成した基板を付き合わせて両磁気コア間
に磁気ギャップが形成されるように両基板を固定した磁
気ヘッドの製造方法において、基板上面に複数の直線状
V溝を平行に形成する工程と、各V溝の一方斜面の頂上
近傍に所定ピッチで非磁性膜を形成する工程と、V溝の
前記磁性膜を有する斜面に磁性膜を形成する工程と、磁
性膜の非磁性膜に対向する部分をその背面から所定厚さ
まで薄くする工程と、V溝にガラスを充填した後に基板
上面を平坦化する工程と、基板をV溝に直交する面に沿
って切断して第1および第2基板に分割する工程と、各
基板の上面と下面にV溝に直行する方向にコイル巻き用
溝を形成する工程と、第1および第2基板の上面が互い
に接触し、かつ、第1基板の各磁性膜と第2基板の各磁
性膜との間に磁気ギャップが形成されるように、第1基
板と第2基板とを重ね合わせた後に、各V溝のガラスを
溶融して第1基板と第2基板とを接合して一つの接合体
にする工程と、その接合体を第1および第2基板の接合
面に対して所定角度だけ傾いた面に沿ってスライスする
工程からなる磁気ヘッドの製造方法を提供するものであ
る。
【0008】V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程にお
いて、非磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成される
ことが好ましい。
いて、非磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成される
ことが好ましい。
【0009】V溝の斜面に磁性膜を形成する工程におい
て、磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成されること
が好ましい。
て、磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成されること
が好ましい。
【0010】磁性膜を薄くする工程において、磁性膜が
イオンミリングによって薄く加工されることが好ましい
。
イオンミリングによって薄く加工されることが好ましい
。
【0011】V溝の斜面に形成される磁性膜は、軟磁性
金属膜と電気絶縁膜を交互に積層した膜であることが好
ましい。
金属膜と電気絶縁膜を交互に積層した膜であることが好
ましい。
【0012】V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程にお
いて、非磁性膜が磁気ヘッドのトラック幅に要する磁気
コア厚さとその他の部分の磁気コア厚さとの差の約1/
2 の厚さに形成されることが好ましい。
いて、非磁性膜が磁気ヘッドのトラック幅に要する磁気
コア厚さとその他の部分の磁気コア厚さとの差の約1/
2 の厚さに形成されることが好ましい。
【0013】V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程にお
いて、非磁性膜がアルミナ、マグネシア、ステアタイト
、フォルステライト等の酸化物又は複合酸化物であるこ
とが好ましい。
いて、非磁性膜がアルミナ、マグネシア、ステアタイト
、フォルステライト等の酸化物又は複合酸化物であるこ
とが好ましい。
【0014】一対の磁気コアの接合面において、バック
ギャップ部分では磁気コアの厚さ全体が互いに対向する
ように位置合わせされるので、バックギャップ部分で磁
気コア断面積のせまい部分が存在しなくなる。
ギャップ部分では磁気コアの厚さ全体が互いに対向する
ように位置合わせされるので、バックギャップ部分で磁
気コア断面積のせまい部分が存在しなくなる。
【0015】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいてこの発明
を詳述する。なお、これによってこの発明が限定される
ものではない。
を詳述する。なお、これによってこの発明が限定される
ものではない。
【0016】この実施例においては、軟磁性合金薄膜に
FeAlSi系合金薄膜を、非磁性基板に結晶化ガラス
を用いたものを示すが、軟磁性合金としては、例えばN
iFe系合金、FeSiGa系合金、CoNbZr系合
金等を用いてもよく、非磁性基板としては、セラミクス
を用いても良い。基板材料は、軟磁性材料との熱膨張の
整合と磨耗特性によって適宜選択する。
FeAlSi系合金薄膜を、非磁性基板に結晶化ガラス
を用いたものを示すが、軟磁性合金としては、例えばN
iFe系合金、FeSiGa系合金、CoNbZr系合
金等を用いてもよく、非磁性基板としては、セラミクス
を用いても良い。基板材料は、軟磁性材料との熱膨張の
整合と磨耗特性によって適宜選択する。
【0017】図1および図2は本発明の磁気ヘッドの実
施例を示す斜視図である。これらの図においては厚さ方
向とギャップの近傍は拡大して示した。また、図3には
、磁気ヘッドをギャップ対向面で2分割し、そのギャッ
プ対向面を露出させた状態の斜視図を示した。
施例を示す斜視図である。これらの図においては厚さ方
向とギャップの近傍は拡大して示した。また、図3には
、磁気ヘッドをギャップ対向面で2分割し、そのギャッ
プ対向面を露出させた状態の斜視図を示した。
【0018】図1〜図3に示すように、FeAlSi系
合金薄膜から成る磁気コア3は、フロントギャップ部分
5ではトラック幅に要する厚さであり、他の部分ではよ
り厚くなっており、かつフロントギャップ部分5の磁気
コア3は基板7側と基板と反対側の両方向から磁気コア
3が薄くなる様に絞り込まれた構造となっている。
合金薄膜から成る磁気コア3は、フロントギャップ部分
5ではトラック幅に要する厚さであり、他の部分ではよ
り厚くなっており、かつフロントギャップ部分5の磁気
コア3は基板7側と基板と反対側の両方向から磁気コア
3が薄くなる様に絞り込まれた構造となっている。
【0019】一方、全体の構成としては、磁気コア3は
、結晶化ガラスから成る非磁性基板7、および非磁性基
板と同等の磨耗性を有する低融点ガラス8で挟み込まれ
ている。後に述べるV字型溝の形状やピッチによっては
、図2に示すように磁気コア3の形成面9と磁気ヘッド
1の上端部分の稜線10とが傾いた構造となる。ギャッ
プ2は低融点ガラス8で溶着保持される。なお、これら
の図において、磁気ヘッド1に巻かれるコイル線、ギャ
ップスペーサは図示を省略した。
、結晶化ガラスから成る非磁性基板7、および非磁性基
板と同等の磨耗性を有する低融点ガラス8で挟み込まれ
ている。後に述べるV字型溝の形状やピッチによっては
、図2に示すように磁気コア3の形成面9と磁気ヘッド
1の上端部分の稜線10とが傾いた構造となる。ギャッ
プ2は低融点ガラス8で溶着保持される。なお、これら
の図において、磁気ヘッド1に巻かれるコイル線、ギャ
ップスペーサは図示を省略した。
【0020】次に、磁気ヘッド1の製造方法を図4〜図
14により説明する。
14により説明する。
【0021】まず、図4に示すように、結晶化ガラスか
ら成る基板7の表面に最終的な磁気ヘッドの厚さおよび
分断する際の切り代を考慮したピッチ寸法Aで平行なV
字型溝11を連続して形成する。磁気コア3となる軟磁
性合金薄膜を形成するV字型溝11の側壁9と基板7の
初期表面の法線とのなす各φと、ピッチ寸法Aは最終的
な磁気ヘッド1で必要な磁気コア3の幅やアジマスによ
って定まる。
ら成る基板7の表面に最終的な磁気ヘッドの厚さおよび
分断する際の切り代を考慮したピッチ寸法Aで平行なV
字型溝11を連続して形成する。磁気コア3となる軟磁
性合金薄膜を形成するV字型溝11の側壁9と基板7の
初期表面の法線とのなす各φと、ピッチ寸法Aは最終的
な磁気ヘッド1で必要な磁気コア3の幅やアジマスによ
って定まる。
【0022】次に、図5および図6に示すように、メタ
ルマスク等の薄膜形成領域を限定する手段とV字状溝1
1の各頂点部分12の自己陰影効果を併用して、V字型
溝11の壁面9でかつ最終的な磁気ヘッド1のフロント
ギャップ部分5に対応する部分のみに、磁気ヘッド1の
トラック幅に要する磁気コア厚さとその他の部分の磁気
コア厚さの差の約1/2 の厚さで電子ビーム蒸着法に
よって非磁性薄膜20を形成する。この厚さは数ミクロ
ンから、数十ミクロンになるので、非磁性薄膜材料は、
熱膨張が基板に近く、後に施される熱処理等で、変質、
変形のないアルミナ、マグネシア、ステアタイト、フォ
ルステライト等の酸化物、複合酸化物であることが好ま
しい。
ルマスク等の薄膜形成領域を限定する手段とV字状溝1
1の各頂点部分12の自己陰影効果を併用して、V字型
溝11の壁面9でかつ最終的な磁気ヘッド1のフロント
ギャップ部分5に対応する部分のみに、磁気ヘッド1の
トラック幅に要する磁気コア厚さとその他の部分の磁気
コア厚さの差の約1/2 の厚さで電子ビーム蒸着法に
よって非磁性薄膜20を形成する。この厚さは数ミクロ
ンから、数十ミクロンになるので、非磁性薄膜材料は、
熱膨張が基板に近く、後に施される熱処理等で、変質、
変形のないアルミナ、マグネシア、ステアタイト、フォ
ルステライト等の酸化物、複合酸化物であることが好ま
しい。
【0023】次に、図7と図8に示すように、非磁性薄
膜20が部分的形成された溝壁面9に磁気ヘッド1のト
ラック幅に要するよりも厚くFeAlSi系合金薄膜3
を電子ビーム蒸着法によって形成する。このような高い
真空度で成膜する方法では、蒸着に寄与する粒子の平均
自由行程が十分に長いので蒸着粒子の飛来方向を適当に
設定すれば、図7に示したように隣接したV字型溝の頂
点部分12の陰影効果で、片方の側面9にのみFeAl
Si系合金薄膜3を形成できる。また、磁気コア3は磁
気ヘッド1の動作する周波数領域を考慮して金属膜3に
SiO2 等の絶縁層を挟み込んで積層構造とすること
が好ましい。さらに、磁気ヘッド1のトラック幅に要す
る厚さの軟磁性合金薄膜3を形成した後、後の工程で用
いるイオンミリングに対してマスクとなる金属(軟磁性
合金薄膜とイオンミリングに対して選択比の取れる金属
で、例えばTi)の1μm程度の薄膜を介して、より厚
く軟磁性合金薄膜を上積みすれば、後に述べる工程のイ
オンミリングのレートに多少のばらつきがあっても、や
やオーバーミリングの条件に設定すれば、所定のトラッ
ク幅を持つ磁気ヘッド1を生産性よく得ることができる
。
膜20が部分的形成された溝壁面9に磁気ヘッド1のト
ラック幅に要するよりも厚くFeAlSi系合金薄膜3
を電子ビーム蒸着法によって形成する。このような高い
真空度で成膜する方法では、蒸着に寄与する粒子の平均
自由行程が十分に長いので蒸着粒子の飛来方向を適当に
設定すれば、図7に示したように隣接したV字型溝の頂
点部分12の陰影効果で、片方の側面9にのみFeAl
Si系合金薄膜3を形成できる。また、磁気コア3は磁
気ヘッド1の動作する周波数領域を考慮して金属膜3に
SiO2 等の絶縁層を挟み込んで積層構造とすること
が好ましい。さらに、磁気ヘッド1のトラック幅に要す
る厚さの軟磁性合金薄膜3を形成した後、後の工程で用
いるイオンミリングに対してマスクとなる金属(軟磁性
合金薄膜とイオンミリングに対して選択比の取れる金属
で、例えばTi)の1μm程度の薄膜を介して、より厚
く軟磁性合金薄膜を上積みすれば、後に述べる工程のイ
オンミリングのレートに多少のばらつきがあっても、や
やオーバーミリングの条件に設定すれば、所定のトラッ
ク幅を持つ磁気ヘッド1を生産性よく得ることができる
。
【0024】次に、図9に示すように、メタルマスク等
のエッチング領域を限定する手段と各溝の頂点部分12
の自己陰影効果を併用してイオンミリングにより磁気ヘ
ッド1のフロントギャップ部分5に対応する部分のみの
軟磁性合金薄膜3をトラック幅に要する厚さに加工する
。
のエッチング領域を限定する手段と各溝の頂点部分12
の自己陰影効果を併用してイオンミリングにより磁気ヘ
ッド1のフロントギャップ部分5に対応する部分のみの
軟磁性合金薄膜3をトラック幅に要する厚さに加工する
。
【0025】これまでの工程によって、図10に示すよ
うに、磁気ヘッド1のトラック幅を決めるフロントギャ
ップ部分5の磁気コア3の厚さはその他の部分の厚さよ
りも薄くなっており、かつフロントギャップ部分5の磁
気コア3は薄膜の基板側と反対側の両方向から磁気コア
3が薄くなる様に絞り込まれた構造の軟磁性合金薄膜3
が形成されたコアブロック母材13が準備される。
うに、磁気ヘッド1のトラック幅を決めるフロントギャ
ップ部分5の磁気コア3の厚さはその他の部分の厚さよ
りも薄くなっており、かつフロントギャップ部分5の磁
気コア3は薄膜の基板側と反対側の両方向から磁気コア
3が薄くなる様に絞り込まれた構造の軟磁性合金薄膜3
が形成されたコアブロック母材13が準備される。
【0026】次に、V字型溝11の壁面に、SiO2
等の保護膜とガラスに対する濡れを良くするための金属
薄膜(Cr等)を形成してから(図示省略)、図11に
示すようにV字型溝を低融点ガラス8で充填し、さらに
余分な低融点ガラス8を除去して基板上面を平坦化して
コアブロック14を得る。
等の保護膜とガラスに対する濡れを良くするための金属
薄膜(Cr等)を形成してから(図示省略)、図11に
示すようにV字型溝を低融点ガラス8で充填し、さらに
余分な低融点ガラス8を除去して基板上面を平坦化して
コアブロック14を得る。
【0027】次に、図12に示すように、コアブロック
14を所定のピッチの、非磁性基板7の下面と前記V字
型溝11の両者に直交する面15で切断してコアピース
16を形成する。この時、フロントギャップ部分5がコ
アピース16のエッジ部分に位置するように位置合わせ
する。図では簡単のため一つのコアブロック14は4分
割されるとして描いたが、実際にはさらに多数に分割す
る。
14を所定のピッチの、非磁性基板7の下面と前記V字
型溝11の両者に直交する面15で切断してコアピース
16を形成する。この時、フロントギャップ部分5がコ
アピース16のエッジ部分に位置するように位置合わせ
する。図では簡単のため一つのコアブロック14は4分
割されるとして描いたが、実際にはさらに多数に分割す
る。
【0028】以上のようにして得られたコアピース16
に対して、公知のVTR用フェライトヘッドの加工と同
様の工程、即ち、コイル巻き線用窓となる溝の形成、ギ
ャップ対向面の精密研磨、ギャップスペーサ形成を施す
。この際、ギャップ対向面となる面は、12図の参照番
号17で示された面である。その後、図13に示すよう
に、一対のコアピース16をギャップ対向面17に露出
した磁気コア3が互いに相対するように位置合わせ加圧
した状態で、低融点ガラス8が接着力を持つような温度
まで昇温してガラス密着を行い、磁気ヘッドコアブロッ
ク18を形成する。該磁気ヘッドコアブロック18は磁
気ヘッドチップ19が多数連結した状態であるので、次
の工程で個々の磁気ヘッドチップ19に分断する。
に対して、公知のVTR用フェライトヘッドの加工と同
様の工程、即ち、コイル巻き線用窓となる溝の形成、ギ
ャップ対向面の精密研磨、ギャップスペーサ形成を施す
。この際、ギャップ対向面となる面は、12図の参照番
号17で示された面である。その後、図13に示すよう
に、一対のコアピース16をギャップ対向面17に露出
した磁気コア3が互いに相対するように位置合わせ加圧
した状態で、低融点ガラス8が接着力を持つような温度
まで昇温してガラス密着を行い、磁気ヘッドコアブロッ
ク18を形成する。該磁気ヘッドコアブロック18は磁
気ヘッドチップ19が多数連結した状態であるので、次
の工程で個々の磁気ヘッドチップ19に分断する。
【0029】即ち、図14に示すように、該磁気ヘッド
コアブロック18をハッチングされた部分を切り代とし
て分断(スライス)する。V字型溝11の形状およびピ
ッチによっては、切断面は図のような磁気コア3と並行
にならないこともある。
コアブロック18をハッチングされた部分を切り代とし
て分断(スライス)する。V字型溝11の形状およびピ
ッチによっては、切断面は図のような磁気コア3と並行
にならないこともある。
【0030】上述のようにして得られた磁気ヘッドチッ
プ19について、従来の磁気ヘッドと同様に、ベース板
への接着固定、コイル巻き、テープ研磨等の仕上げ工程
を施して、磁気ヘッド1を完成する(図1および図2参
照)。
プ19について、従来の磁気ヘッドと同様に、ベース板
への接着固定、コイル巻き、テープ研磨等の仕上げ工程
を施して、磁気ヘッド1を完成する(図1および図2参
照)。
【0031】
【発明の効果】磁気ヘッドのバックギャップ部分の磁気
コアを厚くして、磁気抵抗を小さくし、コア効率を向上
させようとするとき、フロントギャップ部分の磁気コア
は基板側と基板と反対側の両方向から磁気コアが薄くな
る様に絞り込まれた構造とするので、一対の磁気コア半
体が接合されているギャップ突き合わせ面において、バ
ックギャップ部分では磁気コアの厚さ全体が互いに相対
するように位置合わせされることになり、製造上の加工
精度の制約を大きく緩和しても高いコア効率を持つ磁気
ヘッドを生産性よく得ることができる。
コアを厚くして、磁気抵抗を小さくし、コア効率を向上
させようとするとき、フロントギャップ部分の磁気コア
は基板側と基板と反対側の両方向から磁気コアが薄くな
る様に絞り込まれた構造とするので、一対の磁気コア半
体が接合されているギャップ突き合わせ面において、バ
ックギャップ部分では磁気コアの厚さ全体が互いに相対
するように位置合わせされることになり、製造上の加工
精度の制約を大きく緩和しても高いコア効率を持つ磁気
ヘッドを生産性よく得ることができる。
【図1】本発明の磁気ヘッドの斜視図である。
【図2】本発明の変形例を示す斜視図である。
【図3】本発明の磁気ヘッドをギャップ対向面で分割し
て、該ギャップ対向面が観察できるように配置した状態
の斜視図である。
て、該ギャップ対向面が観察できるように配置した状態
の斜視図である。
【図4】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図5】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図6】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図7】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図8】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図9】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説明
図である。
図である。
【図10】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説
明図である。
明図である。
【図11】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説
明図である。
明図である。
【図12】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説
明図である。
明図である。
【図13】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説
明図である。
明図である。
【図14】本発明の磁気ヘッドの製造方法を示す工程説
明図である。
明図である。
【図15】従来の磁気ヘッドの斜視図である。
【図16】他の従来例の磁気ヘッドの斜視図である。
【図17】図16の磁気ヘッドをギャップ対向面で分割
して、ギャップ対向面を露出させた状態の斜視図である
。
して、ギャップ対向面を露出させた状態の斜視図である
。
1−磁気ヘッド
2−ギャップ
3−磁気コア
4−コイル巻き線窓
5−フロントギャップ部分
6−バックギャップ部分
7−基板
8−低融点ガラス
9−磁気コア形成面
10−磁気ヘッドの上端稜線
11−V字型溝
12−V字型溝の頂点
13−コアブロック母材
14−コアブロック
15−切断面
16−コアピース
17−ギャップ対向面になる面
18−磁気ヘッドコアブロック
19−磁気ヘッドチップ
20−非磁性薄膜
Claims (8)
- 【請求項1】 表面に磁性膜によって磁気コアを形成
した基板を付き合わせて両磁気コア間に磁気ギャップが
形成されるように固定した磁気ヘッドにおいて、記録媒
体のトラックに対向する側のギャップ部分の磁気コアが
トラック幅に対応する厚さに形成されると共に、その他
の部分の磁気コアはトラックに対向するギャップ部の磁
気コアよりも厚く形成され、かつ、トラックに対向する
ギャップ部分の磁気コアは、基板側とその反対側の両側
から薄くなるように絞り込まれた構造を有することを特
徴する磁気ヘッド。 - 【請求項2】 表面に磁性膜によって磁気コアを形成
した基板を付き合わせて両磁気コア間に磁気ギャップが
形成されるように両基板を固定した磁気ヘッドの製造方
法において、基板上面に複数の直線状V溝を平行に形成
する工程と、各V溝の一方斜面の頂上近傍に所定ピッチ
で非磁性膜を形成する工程と、V溝の前記磁性膜を有す
る斜面に磁性膜を形成する工程と、磁性膜の非磁性膜に
対向する部分をその背面から所定厚さまで薄くする工程
と、V溝にガラスを充填した後に基板上面を平坦化する
工程と、基板をV溝に直交する面に沿って切断して第1
および第2基板に分割する工程と、各基板の上面と下面
にV溝に直行する方向にコイル巻き用溝を形成する工程
と、第1および第2基板の上面が互いに接触し、かつ、
第1基板の各磁性膜と第2基板の各磁性膜との間に磁気
ギャップが形成されるように、第1基板と第2基板とを
重ね合わせた後に、各V溝のガラスを溶融して第1基板
と第2基板とを接合して一つの接合体にする工程と、そ
の接合体を第1および第2基板の接合面に対して所定角
度だけ傾いた面に沿ってスライスする工程からなる磁気
ヘッドの製造方法。 - 【請求項3】 V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程
において、非磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成さ
れる請求項2記載の磁気ヘッド製造方法。 - 【請求項4】 V溝の斜面に磁性膜を形成する工程に
おいて、磁性膜が電子ビーム蒸着法によって形成される
請求項2記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項5】 磁性膜を薄くする工程において、磁性
膜がイオンミリングによって薄く加工される請求項2記
載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項6】 V溝の斜面に形成される磁性膜は、軟
磁性金属膜と電気絶縁膜を交互に積層した膜である請求
項2記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項7】 V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程
において、非磁性膜が磁気ヘッドのトラック幅に要する
磁気コア厚さとその他の部分の磁気コア厚さとの差の約
1/2 の厚さに形成される請求項2記載の磁気ヘッド
の製造方法。 - 【請求項8】 V溝の斜面に非磁性膜を形成する工程
において、非磁性膜がアルミナ、マグネシア、ステアタ
イト、フォルステライト等の酸化物又は複合酸化物であ
る請求項2の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3084191A JP2633097B2 (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 磁気ヘッドの製造方法 |
EP92106455A EP0509461B1 (en) | 1991-04-16 | 1992-04-14 | Magnetic head and method of manufacturing the same |
DE69220284T DE69220284T2 (de) | 1991-04-16 | 1992-04-14 | Magnetkopf und Verfahren zur Herstellung desselben |
US07/869,539 US5276959A (en) | 1991-04-16 | 1992-04-15 | Method of manufacturing a magnetic tape head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3084191A JP2633097B2 (ja) | 1991-04-16 | 1991-04-16 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04318304A true JPH04318304A (ja) | 1992-11-09 |
JP2633097B2 JP2633097B2 (ja) | 1997-07-23 |
Family
ID=13823586
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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---|---|---|---|---|
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JPH0830909A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Sony Corp | 磁気ヘッド |
JPH103605A (ja) * | 1996-06-13 | 1998-01-06 | Sony Corp | 磁気ヘッドの製造方法 |
JPH1049814A (ja) * | 1996-07-30 | 1998-02-20 | Mitsumi Electric Co Ltd | 磁気ヘッド |
JP4008420B2 (ja) * | 2004-02-23 | 2007-11-14 | Tdk株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
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---|---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2554041B2 (ja) * | 1984-09-27 | 1996-11-13 | シャープ株式会社 | 磁気ヘッドコアの製造方法 |
JPS62146411A (ja) * | 1985-12-20 | 1987-06-30 | Victor Co Of Japan Ltd | 複合磁気ヘツド及びその製造方法 |
JPS62170007A (ja) * | 1986-01-22 | 1987-07-27 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘツド |
JPS6433709A (en) * | 1987-07-29 | 1989-02-03 | Sharp Kk | Magnetic head |
JPH01113909A (ja) * | 1987-10-28 | 1989-05-02 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツド |
JPH01211309A (ja) * | 1988-02-19 | 1989-08-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッド |
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JPH02108208A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-20 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気ヘッド |
JPH02128309A (ja) * | 1988-11-08 | 1990-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッド |
EP0400966B1 (en) * | 1989-05-29 | 1995-02-15 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing a magnetic head |
JPH0340207A (ja) * | 1989-07-07 | 1991-02-21 | Hitachi Ltd | 磁気ヘッド |
JPH03144904A (ja) * | 1989-10-31 | 1991-06-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 積層型磁気ヘッドの製造方法 |
JPH0785289B2 (ja) * | 1990-03-19 | 1995-09-13 | シャープ株式会社 | 磁気ヘッドの製造方法 |
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1991
- 1991-04-16 JP JP3084191A patent/JP2633097B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1992
- 1992-04-14 DE DE69220284T patent/DE69220284T2/de not_active Expired - Fee Related
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- 1992-04-15 US US07/869,539 patent/US5276959A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH01235011A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気ヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69220284D1 (de) | 1997-07-17 |
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EP0509461B1 (en) | 1997-06-11 |
EP0509461A3 (en) | 1993-04-07 |
DE69220284T2 (de) | 1998-01-22 |
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