JPS63146204A - 磁気ヘツド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、磁気回路を構成する軟磁性薄膜とその軟磁性
薄膜を支持する基板からなる磁気ヘッドに関するもので
ある。

〈従来の技術〉 磁気記録技術の高密度化に伴ってメタルテープ等の高保
磁力媒体が、主流になってきた現在、磁気ヘッドに使用
されるコア材料は高い飽和磁束密度を有するものが要求
されている。

このような状況の下で第３図（ａ）に示すような軟磁性
金属の薄帯あるいは薄膜１をコア材料とする磁気ヘッド
が試作されている。また軟磁性金属の薄帯あるいは薄膜
ｌを軟磁性フェライト２で挾み込む形態のコアを用いる
第３図（ｂ）に示すような磁気ヘッドも試作されている
。

〈発明が解決しようとする問題点〉 第３図（ａ）に示す構造からなる磁気ヘッドの場合は、
インタリタンスが小さくとれるため高周波対応の磁気ヘ
ッドとして有望視される。軟磁性金属の薄帯あるいは薄
膜１を非磁性基板３で挾み込んで構成するため、製造工
程が繁雑にならざるを得なかった。

つまり、磁気ヘッド加工の後半工程の最終段階で、ギャ
ップ溶着を行なった磁気コアブロックを各チップ苺にス
ライスする際、所定のピッチがでていることが望ましい
。そのためには、挾み込む基板に対して平坦度、平行度
、厚み公差などかなり厳しい条件が必要となり、製造工
程の管理に対する負担が非常に大きくなる。またこの時
化じたピッチ誤差は第３図（ａ）に示すような構造の磁
気ヘッドを加工する時の量産性に係わり、歩留りを低下
させる原因となる。

さらにインダクタンスを小さくするためにヘッドチップ
の幅を小さくしてインダクタンスを減少させる試みもな
されているが、この場合ヘッドの摩耗性が問題となって
くる。

また第３図（ｂ）に示す構造の磁気ヘッドの場合は、磁
気ヘッドの摺動面にフェライトが出現するため摩耗特性
の点では良好になることが予想される。

しかしこの場合も軟磁性金属の薄帯あるいは薄膜１を軟
磁性フェライト２で挾み込むため、製造の後半工程が前
記第３図（ａ）の構造の磁気ヘッドと同様に繁雑になる
。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明は上記従来の磁気ヘッドがもつ欠点を除去した磁
気ヘッドを提供する。

本発明は、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と該軟磁性薄
膜を支持する基板を備えてなる磁気ヘッドにおいて、は
ぼトラック幅と同程度の膜厚からなる軟磁性薄膜を、ト
ラック幅方向には上記軟磁性薄膜を支持する基板と該基
板とほぼ同等の摩耗性を有する非磁性体で挾持し、記録
媒体摺動方向には軟磁性薄膜を支持する基板または上記
非磁性体で挾持して構成し、軟磁性薄膜を記録媒体摺動
面において基板及び非磁性体で囲んで構成する。

〈作　用〉 本発明による磁気ヘッド構造では、記録媒体との摺動面
において、軟磁性薄膜がトラック幅方向及び摺動方向の
いずれにおいても非磁性体或いは軟磁性フェライト等の
他の材質によって囲んだ構成を採るため基板による挾み
込み等の繁雑な組立て作業を経る必要がなくなる。また
軟磁性薄膜が囲まれるため、摩耗性を損うことなく縮小
した形状の磁気ヘッドも可能になる。

〈実施例〉 本実施例では、軟磁性薄膜としてＦｅＡｆｉＳｉ系合金
を用い、そのＦｅＡｆｓｉ薄膜を支持する基板として感
光性結晶化ガラスを用いているが、軟磁性薄膜としては
例えばＮｉＦｅ系合金でも良いし、薄膜を支持する基板
としては結晶化ガラスであっても良いしセラミックスで
あうでも良い。さらに薄膜を支持する基板としては、本
実施例の磁気ヘッド構造では磁気回路が軟磁性薄膜で閉
じているため軟磁性フェライトといった磁性基板であっ
てもかまわない。薄膜を支持する基板の選択基準として
は、摩耗特性によるものが主ではあるが、それ以外にも
所望する磁気ヘッドのインダクタンス、Ｑ値を考慮して
選択することが望ましい。

本発明による一実施例の磁気ヘッドを第１図に示す。図
において、ＦｅＡｎＳｉ系合金からなる軟磁性薄膜８は
、感光性結晶化ガラス５からなる基板及び該基板と同等
の耐摩耗性を有する低融点ガラスｌＯの両弁磁性材料で
挾持されている。特に上記軟磁性薄膜８は、磁気ヘッド
の記録媒体摺動方向においても感光性結晶化ガラス５で
挾持され、記録媒体の摺動面で軟磁性薄膜８は囲まれた
形体をなす。磁気ギャップ近傍の感光性結晶化ガラスは
一部が除去され、代って上記低融点ガラス１０より作業
温度が低い性質を有する第２低融点ガラス１２が充填さ
れている。

次に上記磁気ヘッドの作製工程を挙げて詳細に説明する
。

第２図（ａ）において、基板となる感光性結晶化ガラス
５の表面に、最終的な磁気ヘッドの厚さ、分断する際の
切り代を考慮したピッチ寸法Ａで第１溝６が刻設される
。該第１溝６の少なくとも一方の側壁６ａは、基板表面
の法線とほぼアジマス角θに等しくなるように加工され
る。上記アジマス角θにほぼ等しい角度に加工した斜面
に対して、スパッタ法、蒸着法等の薄膜形成技術を利用
して第２図（ｂ）の如く磁気ヘッドのトラック幅７に相
当する膜厚となるようにＦｅＡｌＳｉ系合金薄膜８を形
成する。該ＦｅＡｆＳｉ系合金薄膜８は、磁気ヘッドを
動作させる周波数帯域によっては、絶縁層を挾み込んで
積層した構造にしてもよい。このように積層したＦｅＡ
ｕＳｉ系合金薄膜を用いた磁気ヘッドでは、磁気回路を
構成するコアのコア効率は積層していない構造の磁気ヘ
ッドに比べ高周波帯域において改善される。

上記工程によって被着したＦｅＡＪｔＳｉ系合金薄膜８
の表面に続いてスパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法、プラズ
マＣＶＤ法、イオンブレーティング法等を用いて第２図
（ｃ）の如く非磁性薄膜９を保護膜として形成する。一
方の側壁６ａにＦｅＡｆｉＳｉ系合金薄膜８及び非磁性
薄膜９を堆積した後、第１溝６に上記基板の感光性結晶
化ガラス５と同等の摩耗性を有する低融点ガラスｌＯを
第２図（ｄ）のように充填する。尚本実施例では充填材
として低融点ガラスを用いたが、感光性結晶化ガラスと
同等の摩耗性を有するものであれば、例えば結晶化ガラ
ス等の材料であってもよい。

第２図（ｅ）は、感光性結晶化ガラス基板５に所定ピッ
チＡで上述の工程を経てＦｅＡβＳＩＡ合金薄膜８等を
形成したコアブロックの平面図で、該基板５は表面に直
交し、且つ第１溝６に直交する面内で適当な寸法に切断
され、磁気ヘッドを作製するためのコアブロック１３を
作製する。

上記コアブロック】３について、第２図（ｆ）に示すよ
うに、ＦｅＡλＳｉ系合金薄膜８を形成した第１溝６の
側壁６ａと側壁１１ａが角度ψをなすように第２溝１１
を、上記第１溝６と平行に形成する。本実施例では、上
記第２溝１１の作製は基板５をコアブロックに分割した
後に形成したが、基板５を第２図（ｅ）に示すコアブロ
ック１３に分割する前に作製してもよい。上記作製した
第２溝Ｉ＋に、第２図（ｇ）の如く第１溝６を充填した
低融点ガラス１０に比べて作業温度の低い第２の低融点
ガラス１２を充填する。

上述のように作製されたコアブロック１３について、公
知のＶＴＲ用フェライトヘッド加工工程と同様に、コイ
ル巻線窓加工、ギャップ対向面の平面研磨、ギャップス
ペーサの形成等を施こし、更にガラス溶着を行って第２
図（ｈ）に示す如く磁気ヘッドコアブロック１４を形成
する。上記磁気へラドコアブロック１４は、基板に磁気
ヘッド構造が多数個連設した状態にあるため、次に各磁
気ヘッドに分割する。即ち第２図（ｉ）に示す如くアジ
マス角を確保するためにＦｅＡｆＳｉ系合金薄膜１２に
対して平行な平面で磁気ヘッドの幅Ｉ５をもってスライ
スし、整形する。上述のようにして得られた磁気ヘッド
について、従来の磁気ヘッド構造と同様にベース板への
当該磁気ヘッドの接着固定、コイル巻線、テープ研磨を
施こして磁気ヘッドを完成する。

上述のような工程を経て作製することにより、トラック
幅とほぼ同程度の膜厚からなるＦｅＡｆｌ、Ｓｉ系合金
薄膜８が、トラック幅方向には感光性結晶化ガラス５と
低融点ガラス１０で挾持され、記録媒体摺動方向には感
光性結晶化ガラス５で挾持され、摺動面において合金薄
膜８が完全に感光性結晶化ガラス、低融点ガラス等の他
の材質で囲まれた磁気ヘッド構造となる。

〈効　果〉 本発明によれば、磁気ヘッドの幅を変えることなく磁気
へソドコアの大きさを調整することができるため、磁気
ヘッドの大きさを小さくしてインダクタンスを小さくし
た場合に従来装置で生じる耐摩耗性の劣化という欠点を
克服でき、また基板のはりあわせが不必要となっている
ため工程の簡略化をはかることができる。さらに磁気回
路としては軟磁性薄膜で閉じているため、基板として非
磁性基板に限定することなく軟磁性フェライト等の磁性
材を用いることも可能であり、基板の選択範囲が広くな
るだけでなく、従来のフェライトヘッド加工工程を十分
に利用できるという多くの効果が期待できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による一実施例を示す磁気ヘラ下の斜視
図、第２図（ａ）〜（ｉ）は同実施例の製造工程を説明
するための図、第３図（ａ）　、　（ｂ）は従来の磁気
ヘッド斜視図である。 ５：感光性結晶化ガラス　８：ＦｅＡｆＳｉ系合金薄膜
　ＩＯ：低融点ガラス　１２：第２低融点ガラス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、磁気回路を構成する軟磁性薄膜と該軟磁性薄膜を支
   持する基板からなる磁気ヘッドにおいて、トラック幅と
   ほぼ同じ寸法の膜厚からなる軟磁性薄膜が、トラック幅
   方向には軟磁性薄膜を支持する基板と、該基板とほぼ同
   等の摩耗性を有する非磁性体とで支持され、記録媒体摺
   動方向には軟磁性薄膜を支持する上記基板または上記非
   磁性体で挾持されてなり、記録媒体対向面で軟磁性薄膜
   が囲まれてなることを特徴とする磁気ヘッド。