JPH037144B2 - - Google Patents

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JPH037144B2
JPH037144B2 JP57159956A JP15995682A JPH037144B2 JP H037144 B2 JPH037144 B2 JP H037144B2 JP 57159956 A JP57159956 A JP 57159956A JP 15995682 A JP15995682 A JP 15995682A JP H037144 B2 JPH037144 B2 JP H037144B2
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JP57159956A
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Katsuji Fujita
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Toshiba Corp
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Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
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    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
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    • H01L27/0248Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
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    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体装置に係り、特に外部ピンと内
部素子との間に形成され外来サージ入力から内部
素子を保護するための半導体保護装置に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
この種の半導体保護装置としては、MOS−
FETの入力保護ダイオードなどが知られている
が、バイポーラトランジスタが形成される半導体
装置においてバイポーラトランジスタを用いた保
護装置が必要である。
〔発明の目的〕
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
バイポーラトランジスタを用いて正極性および負
極性のいずれの外来サージ入力に対しても内部素
子を保護し得る半導体保護装置を提供するもので
ある。
〔発明の概要〕
すなわち、本発明の半導体保護装置は一導電形
の半導体基板上に形成された逆導電形の第1の領
域上に前記基板と同一導電形の第2の領域を形成
し、この第2の領域内で互いに独立して高濃度で
逆導電形の第3の領域および第4の領域を設け、
この第4の領域と前記第2の領域とを2個所でそ
れぞれコンタクトにより接続し、これらのコンタ
クトのうち前記第3の領域までの抵抗がより大き
い方のコンタクトと上記第3の領域とを接続して
外部ピンに取り出し、前記残りのコンタクトを半
導体装置の内部素子に接続するようにしたもので
ある。
これにより、負極性の外来サージが入力して内
部素子側にある程度以上の電流が流れると、(基
板、第1の領域、第2の領域)よりなるトランジ
スタおよび(第1の領域、第2の領域、第3の領
域)よりなるトランジスタによりサージ電流が吸
収されるようになり、正極性の外来サージ入力に
対しては(第2の領域、第1の領域、基板)より
なるトランジスタによりサージ電流が吸収される
と共に内部素子側へのサージ入力は前記第4の領
域の抵抗により制限されるので、いずれの極性の
外来サージ入力から内部素子が保護される。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細
に説明する。
第1図a,bにおいて、1はたとえばP形の半
導体基板、2は上記P形基板1上に形成されたN
形領域、3は上記N形領域2上に形成されたP形
領域、4および5は上記P形領域3上で互いに独
立して形成された第1のN+形領域および第2の
N+形領域、6は絶縁膜、7は前記第1のN+形領
域4に対するコンタクト、8は前記第2のN+
領域5のうち上記第1のN+形領域4に近い位置
で前記P形領域3に接合した接合部に対するコン
タクト、9は同じく前記第2のN+形領域5のう
ち前記第1のN+形領域4に遠い位置で前記P形
領域3に接合した接合部に対するコンタクトであ
る。すなわち、第1のN+形領域4は前記P形領
域3内で独立し、第2のN+形領域5は前記P形
領域3と2個所で接続されており、その2個のコ
ンタクト8,9から前記第1のN+形領域4の直
下までの抵抗の大きさが異なつている。そして、
上記第1のN+形領域4までの抵抗分が大きい方
のコンタクト9と前記第1のN+形領域4上のコ
ンタクト7とはたとえばアルミニウム配線10に
より接続されて半導体装置の外部ピンに取り出さ
れている。また、前記第1のN+形領域4まで抵
抗分が小さい方のコンタクト8は、アルミニウム
配線11により半導体装置の内部素子に接続され
ている。なお、12は分離領域である。したがつ
て、上記半導体装置の回路接続は第2図に示すよ
うになり、Q1は(N形領域2、P形領域3、第
1のN+形領域4)が(コレクタ、ベーン、エミ
ツタ)に相当するNPN形トランジスタ、Q2
(P形領域3、N形領域2、P形基板1)が(エ
ミツタ、ベース、コレクタ)に相当するPNP形
トランジスタ、Q3は(P形基板1、N形領域2、
P形領域3)が(エミツタ、ベース、コレクタ)
に相当するPNP形トランジスタである。ここで、
P形基板1は接地電位であり、N形領域2には低
インビーダンスのバイアス電源20に接続され
る。また、R5はコンタクト8,9間の第2のN+
形領域5の抵抗である。
而して、上記構成の半導体保護装置において、
外部ピン側から負極性のサージ電圧が加わつた場
合には、トランジスタQ2は非動作状態となり、
第3図に示すようにトランジスタQ1,Q3および
抵抗R5よりなる回路部分により内部素子が保護
される。すなわち、内部素子側にVBE(Q1)/R5以上 の電流が流れると、トランジスタQ1,Q3が共に
オン動作して内部素子側に入ろうとするサージ電
流を吸収する。なお、VBE(Q1)はトランジスタ
Q1のベース・エミツタ間電圧である。
これに対して、外部ピン側から正極性のサージ
電圧が加わつた場合には、トランジスタQ1およ
びQ3が非動作状態となり、第4図に示すように
サージ入力はトランジスタQ2を通つて吸収され、
内部素子側に入ろうとするサージ電流は抵抗R5
により制限されるので、内部素子が保護される。
なお、本発明は上記実施例に限られるものでは
なく、基板、各領域の導電形を上記実施例の逆に
してもよい。
〔発明の効果〕
上述したように本発明の半導体保護装置によれ
ば、バイポーラトランジスタおよび抵抗の組み合
せ回路により外来サージ入力が正極性、負極性の
いずれであつてもそれを吸収して内部素子を保護
することができるので、内部素子にバイポーラト
ランジスタを有する半導体装置に好適である。
【図面の簡単な説明】
第1図a,bは本発明に係る半導体保護装置の
一実施例を示す平面図および断面図、第2図は第
1図の装置の回路図、第3図および第4図はそれ
ぞれ第2図の回路に負極性、正極性の外来サージ
が入力したときの回路動作を説明するために示す
回路図である。 1……P形基板、2……N形領域、3……P形
領域、4,5……N+形領域、7,8,9……コ
ンタクト、10,11……配線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 一導電形半導体基板と、この基板上に形成さ
    れ上記基板とは逆導電形の第1の領域と、この第
    1の領域上に形成され前記基板と同一導電形の第
    2の領域と、この第2の領域内で互いに独立して
    形成された高濃度で逆導電形の第3の領域および
    第4の領域と、上記第4の領域と第2の領域とを
    2個所で接続する第1コンタクトおよび第2コン
    タクトと、これらのコンタクトのうち前記第3の
    領域までの抵抗がより大きい方のコンタクトと上
    記第3の領域とを接続し、さらに半導体装置の外
    部ピンに接続される配線と、前記2個のコンタク
    トのうち前記第3の領域までの抵抗が小さい方の
    コンタクトを半導体装置の内部素子に接続する配
    線とを具備することを特徴とする半導体保護装
    置。 2 前記基板はP形、第1の領域はN形、第2の
    領域はP形、第3の領域および第4の領域はそれ
    ぞれN+形であることを特徴とする前記特許請求
    の範囲第1項記載の半導体保護装置。
JP57159956A 1982-09-14 1982-09-14 半導体保護装置 Granted JPS5948951A (ja)

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DE8383109072T DE3378509D1 (en) 1982-09-14 1983-09-14 Semiconductor protective device
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