JPH0339837U - - Google Patents

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JPH0339837U
JPH0339837U JP10067089U JP10067089U JPH0339837U JP H0339837 U JPH0339837 U JP H0339837U JP 10067089 U JP10067089 U JP 10067089U JP 10067089 U JP10067089 U JP 10067089U JP H0339837 U JPH0339837 U JP H0339837U
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vacuum container
chamber
plasma
vacuum
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１実施例の構成を示す図、
第２図は第１図の予備室の詳細構成図、第３図は
ウエハ保持具の平面図、第４図はアームロボツト
の平面図、第５図は第１図の装置の動作を制御す
る制御装置のフローチヤート、第６図はアームが
真空容器内にウエハを搬入する状態を示す要部構
成図、第７図は本考案の第２の実施例を示す構成
図、第８図は第７図の装置におけるウエハと電極
温度の経時変化を示す特性図、第９図は従来のプ
ラズマドライエツチング装置におけるウエハと電
極温度の経時変化を示す特性図、である。 図中、１……真空容器、２……上部電極、３…
…下部電極、４……ＲＦ電源、５…ヒータ、６…
…予備室、２０……ウエハ、２１……ウエハ保持
具、２４……アームロボツト、３０……加熱装置
、４０……第２予備室、５１……ロータリーポン
プである。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器と、該真空容器内にプラズマを形成す
    るプラズマ形成装置と、該真空容器内に搬入され
    る前のウエハ温度を所定値に制御可能な予備室と
    、該予備室内の圧力を調整可能な圧力調整装置と
    、前記予備室から前記真空容器へウエハを搬送す
    る搬送装置と、を備えてなることを特徴とするプ
    ラズマ処理装置。
JP10067089U 1989-08-29 1989-08-29 Pending JPH0339837U (ja)

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JPH0339837U true JPH0339837U (ja) 1991-04-17

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