JPS6280199U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6280199U JPS6280199U JP17195785U JP17195785U JPS6280199U JP S6280199 U JPS6280199 U JP S6280199U JP 17195785 U JP17195785 U JP 17195785U JP 17195785 U JP17195785 U JP 17195785U JP S6280199 U JPS6280199 U JP S6280199U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- chamber
- outside
- tight box
- introduction pipe
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
第１図は本発明の一実施例に係る熱処理炉（焼
結炉）の構成を示す概略断面図であり、第２図は
その横断面図である。 Ａ…処理物、１…チヤンバー、２…ヒータ、３
ａ，３ｂ…断熱材、４…タイトボツクス、４ａ…
本体、４ｂ…蓋部、５…扉、６…供給タンク、７
…不活性ガス導入管、８…制御弁、９…供給タン
ク、１０…特殊ガス導入管、１１…制御弁、１２
…真空ポンプ、１３…排気管、１４…排気弁、１
５…制御手段、１６，１７…圧力センサ。
結炉）の構成を示す概略断面図であり、第２図は
その横断面図である。 Ａ…処理物、１…チヤンバー、２…ヒータ、３
ａ，３ｂ…断熱材、４…タイトボツクス、４ａ…
本体、４ｂ…蓋部、５…扉、６…供給タンク、７
…不活性ガス導入管、８…制御弁、９…供給タン
ク、１０…特殊ガス導入管、１１…制御弁、１２
…真空ポンプ、１３…排気管、１４…排気弁、１
５…制御手段、１６，１７…圧力センサ。
Claims (1)
- チヤンバー内に処理物を収容するタイトボツク
スを配設するとともに、このチヤンバー内に炉外
から不活性ガスを導入する不活性ガス導入管と、
前記タイトボツクス内に炉外から特殊ガスを直接
導入する特殊ガス導入管と、同タイトボツクス内
を真空吸引し炉外に排気する排気管とを備え、か
つ前記チヤンバー内の圧力を前記タイトボツクス
内の圧力よりも常に高くコントロールする制御手
段を具備してなることを特徴とする真空雰囲気熱
処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17195785U JPS634957Y2 (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17195785U JPS634957Y2 (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6280199U true JPS6280199U (ja) | 1987-05-22 |
| JPS634957Y2 JPS634957Y2 (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=31108062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17195785U Expired JPS634957Y2 (ja) | 1985-11-07 | 1985-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS634957Y2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01114635U (ja) * | 1987-09-29 | 1989-08-02 | ||
| JP2005325371A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空浸炭炉 |
| WO2019117250A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 有機膜形成装置 |
-
1985
- 1985-11-07 JP JP17195785U patent/JPS634957Y2/ja not_active Expired
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01114635U (ja) * | 1987-09-29 | 1989-08-02 | ||
| JP2005325371A (ja) * | 2004-05-12 | 2005-11-24 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空浸炭炉 |
| WO2019117250A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 有機膜形成装置 |
| JPWO2019117250A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2020-12-24 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 有機膜形成装置 |
| US11906246B2 (en) | 2017-12-15 | 2024-02-20 | Shibaura Mechatronics Corporation | Organic film forming apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS634957Y2 (ja) | 1988-02-09 |